JP2003226424A - 予備位置決め機構およびその方法 - Google Patents

予備位置決め機構およびその方法

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JP2003226424A JP2002028976A JP2002028976A JP2003226424A JP 2003226424 A JP2003226424 A JP 2003226424A JP 2002028976 A JP2002028976 A JP 2002028976A JP 2002028976 A JP2002028976 A JP 2002028976A JP 2003226424 A JP2003226424 A JP 2003226424A
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雄二 岡村
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加藤  学
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】基板の端面に反りが生じても適正な予備位置決
めができ、また位置決め不良基板を次ステージへ搬送す
ることのない予備位置決め機構を提供する。 【解決手段】矩形薄板状の基板Wを所定位置に導き入れ
る送りローラ2aと、この送りローラ2aの所定位置に
支持された前記基板Wの四辺の近傍に配置され、前記基
板Wの端面を押動する押動部31a、32aを有する移
動機構部31、32と、前記押動部31a、32aで押
動した前記基板Wの周縁に対向する位置に配置された基
板検出センサ31h、32hと、この基板検出センサ3
1h、32hで感知できなかった前記基板Wを前記送り
ローラ2a上から排出するための基板排出機構部6とを
備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板や液
晶基板などの露光作業により所定のパターンを形成する
基板の位置を予備的に位置決めするための予備位置決め
機構に係り、特に基板が薄板である場合に適正な予備位
置決め作業を行うことができる予備位置決め機構および
その方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来において、基板に所定パターンを露
光作業により形成する場合には、搬入ステージ、整合ス
テージ、露光ステージおよび搬出ステージなどの各ステ
ージを備える露光装置が使用されている。そして、各ス
テージに基板を搬送するためには、搬送手段であるハン
ドラが一般的に使用されている。搬入ステージでは、基
板を受け取る送りローラが設けられ、送りローラの回転
により所定位置まで基板を導き入れ、予備位置決め機構
により基板の位置を予備位置決めする。基板の予備位置
決めが終了すると、ハンドラは、送りローラ近傍まで降
下し、吸着パットを基板に当接して基板を真空吸着し、
その状態で上昇することで、基板を送りローラからハン
ドラに受け渡している。ハンドラは、基板を保持した状
態で、ガイドフレームに沿って水平方向に移動し、次ス
テージ(整合ステージ等)に基板を搬送している。
【0003】ここで、基板の位置を予備位置決めする
際、基板を導き入れると共に、基板を載置するための送
りローラと、基板の端面を押動し、基準位置にその基板
を予備位置決めする押動部を有する移動機構部とから構
成された予備位置決め機構が知られている。この予備位
置決め機構では、基板が送りローラ上の所定位置に載置
されると、その基板の四方の近傍に配置された移動機構
部の押動部が、送りローラの上端より突出し、送りロー
ラ間を移動し、基板の端面を押動して、基板を基準位置
に移動させている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板の予備位置決め機構の構成では以下のような問題点
が存在した。
【0005】送りローラ上の基板は、特に基板が薄い場
合には基板自体に腰が無いために、基板の端面に反りが
生じやすかった。さらに、このような端面に反りが生じ
た基板は、押動部で押動されると、その端面が押動部の
下に潜り込み、端面に曲がり、折れ等の変形が生じる
(図4参照)。従来の予備位置決め装置では、このよう
な基板も、基板が基準位置に移動するまで、押動部によ
り押動されるので、基板の端面が復元することなく変形
してしまい、適切な予備位置決めができない不良基板が
発生するという問題があった。また、この不良基板もハ
ンドラで次ステージ(整合ステージ)に搬送されてしま
うという問題もあった。
【0006】そこで、本発明は、このような問題点を解
決すべく創案されたもので、その目的は、基板の端面に
反りが生じても適正な予備位置決めができ、また位置決
め不良基板を次ステージへ搬送することのない予備位置
決め機構を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、請求項1に記載の発明は、矩形薄板状の基板を所定
位置に導き入れる送りローラと、この送りローラの所定
位置に支持された前記基板の四辺の近傍に配置され、前
記基板の端面を押動する押動部を有する移動機構部と、
前記押動部で押動した前記基板の周縁に対向する位置に
配置された基板検出センサと、この基板検出センサで感
知できなかった前記基板を前記送りローラ上から排出す
るための基板排出機構部とを備える予備位置決め機構と
して構成したものである。
【0008】前記の構成において、基板検出センサが押
動部で押動した基板の周縁となる位置に配置されている
ことにより、基板の端面の曲がり、折れ等の変形を検出
し、押動部の押動を停止および退行移動させて、基板の
端面の変形を復元させる(基板の端面の曲がり、折れ等
がなくなり、水平状態に戻る)。また、変形が復元しな
い基板は基板排出機構部により予備位置決め機構外に排
出させる。
【0009】請求項2に記載の発明は、矩形薄板状の基
板を所定位置に導き入れる送りローラと、この送りロー
ラで所定位置に配置された前記基板の四辺の近傍に配置
され、前記送りローラ間を移動して前記基板の端面を押
動する押動部を有する移動機構部と、前記送りローラの
上端が突出する貫通穴を有すると共に、前記押動部が移
動する貫通長穴を有する前記基板の載置板と、この載置
板に載置された基板に対して前記押動部が押動する前記
基板の周縁に対向する位置に配置された基板検出センサ
と、前記送りローラまたは前記載置板の少なくとも一方
を昇降させるための昇降機構部と、前記基板検出センサ
で感知できなかった前記基板を前記載置板上から排出す
るための基板排出機構部とを備える予備位置決め機構と
して構成したものである。
【0010】前記の構成において、載置板上に基板が載
置されるので、基板の端面に反りが発生しにくくなり、
基板の端面を押動部で押動しても曲がり、折れ等の変形
が発生しにくくなる。また、発生した基板の端面の変形
は基板検出センサが検出し、再度、基板の予備位置決め
がなされる。さらに、変形した基板は基板排出機構部に
より予備位置決め機構外に排出される。
【0011】請求項3に記載の発明は、前記基板検出セ
ンサが、前記移動機構部の押動部を支持する支持躯体側
に配置された予備位置決め機構として構成したものであ
る。
【0012】前記の構成により、基板の端面の曲がり、
折れ等の変形を検出し、押動部の押動を停止および退行
移動させて、基板の端面の変形を復元させる(基板の端
面の曲がり、折れ等がなくなり、水平状態に戻る)。ま
た、変形が復元しない基板は基板排出機構部により予備
位置決め機構外に排出させる。
【0013】請求項4に記載の発明は、矩形薄板状の基
板の端面を、前記基板の四辺の近傍に配置された移動機
構部の押動部で押動することにより、前記基板を予備位
置決めする方法において、前記押動部で押動する前記基
板の周縁に対向する位置に配置された基板検出センサに
より前記基板の端面を感知しながら、前記基板の端面を
前記押動部で押動して、前記基板センサの感知が正常に
ならないときは、前記押動部の押動を停止し、退行移動
させ、再度、前記基板の端面を前記押動部で押動して、
前記基板検出センサの感知が正常なときには前記押動部
の押動による予備位置決めを行い、前記基板検出センサ
の感知が正常にならないときには基板排出機構部により
前記基板を排出する予備位置決め方法として構成したも
のである。
【0014】前記の構成により、基板検出センサが基板
の端面の変形を検出し、押動部の停止および退行移動さ
せるので、基板の変形が復元し、再度、基板の予備位置
決めがなされる。また、変形が復元しない基板は基板排
出機構部により予備位置決め機構外に排出される。
【発明の実施の形態】
【0015】以下、本発明にかかる予備位置決め機構の
実施の形態を図面に基づき説明する。図1は第1の実施
形態の予備位置決め作業を示す模式図、図2は移動機構
部の斜視図、図3は移動機構部の平面図、図4は基板の
端面の状態を示す模式図、図5は第2の実施形態の載置
板の平面図、図6は第2の実施形態の予備位置決め作業
を示す模式図、図7は第2の実施形態の載置板昇降機構
部の断面図、図8は第3の実施形態の予備位置決め作業
を示す模式図、図9は第3の実施形態の載置板の平面
図、図10は第3の実施形態の送りローラ昇降機構部の
部分断面図である。
【0016】予備位置決め機構1は、図1〜図3で示す
ように、基板Wを載置する送りローラ2aと、基板Wの
端面を押動して基板Wを移動させるための移動機構部3
1、32、41、42と、基板検出センサ31h、32
h、41h、42hと、基板排出機構部6から構成され
ている。
【0017】送りローラ2aは、図5で示すように、支
持フレーム2fに複数列に配置された回転軸2bに支持
されており、その回転軸2bの両端に取り付けたプーリ
2dに掛け渡した無端ベルト2cを介して、駆動モータ
(図示せず)により所定速度で回転するように構成され
ている。
【0018】また、送りローラ2aは、列ごとに、ある
いは、所定の位置ごとに、それぞれが、独立した駆動源
(駆動モータ)を介して回転するように構成しても構わ
ない。そして、送りローラ2aの駆動源を異ならせる場
合は、所定位置の送りローラ2aに駆動源を設けないで
従動回転する従動送りローラ(図示せず)を設ける構成
としても良い。
【0019】移動機構部31、32、41、42は、図
1〜図3で示すように、基板Wの四方で設置板30上の
対面する位置に配置され、その押動部31a、32a、
41a、42aで基板W中心方向に、基板Wを四方から
押動する。
【0020】移動機構部31、32は、基板Wの対向す
る端部を押動する押動部31a、32aと、この押動部
31a、32aを支持する支持躯体31b、32bと、
この支持躯体31b、32bを支持する基台31j、3
2jと、この基台31j、32jを支持する架台31
d、32dとを備えている。そして、この架台31d、
32dは、支持躯体31b、32bの移動方向に沿って
設けたガイド31c、32cを摺動自在に保持し、駆動
モータ31fによって駆動する駆動ベルト31eに接続
されている(移動機構部31、32で共有)。
【0021】したがって、駆動モータ31fの回転によ
って駆動ベルト31eが駆動すると、架台31d、32
dがガイド31c、32cに沿って移動し、架台31
d、32dに支持されている支持躯体31b、32b、
押動部31a、32aが基板W側に移動する。また、駆
動モータ31fの反転駆動により、押動部31a、32
aは基板Wから離間する方向に移動する。また、対面す
る2つの移動機構部31、32のそれぞれが駆動ベルト
31e、駆動モータ31fを備えた構成としても良い。
【0022】また、基台31j、32jは、押動部31
a、32aを、基板Wの大きさ、予備位置決めする基準
位置に対応して1つ以上支持できるように構成されてい
る。そして、支持躯体31b、32bの後方には、基板
Wの端面に押動部31a、32aが当接する際に、その
衝撃を吸収するように、弾性部材の伸縮方向と、押動部
31a、32aの移動方向が沿うように、弾性部材31
g、32gが設けられている。
【0023】また、基板Wが送りローラ2aに搬入され
て来たときに、邪魔にならないように、押動部31a、
32aが上下に移動して送りローラ2aから出没自在に
なるように支持躯体31b、32bを上下動させる上下
駆動部31i、32iを備える。
【0024】また、前記の駆動モータ31fとしては、
交流(または直流)モータやパルスモータ等が使用され
る。特に、パルスモータは動力制御をパルス量で制御す
るので、前記支持躯体31b、32bの移動精度が高ま
り、押動部31a、32aを数mm単位で制御できる。
なお、パルスモータでは、押動部31a、32aの制御
幅が狭いので、基板Wの厚さに対応した調整が必要でな
いため、作業効率の面からパルスモータの使用が好まし
い。
【0025】さらに、移動機構部41、42は移動機構
部31、32と同一の構造であり、図3における押動部
41a、42aは押動部31a、32a、支持躯体41
b、42bは支持躯体31b、32b、ガイド41c、
42cはガイド31c、32c、架台41d、42dは
架台31d、32d、駆動ベルト41eは駆動ベルト3
1e、駆動モータ41fは駆動モータ31f、弾性部材
41g、42gは弾性部材31g、32g、上下駆動部
41i、42iは上下駆動部31i、32i、基台41
j、42jは基台31j、32jと同一であるが、押動
部41a、42a間の距離、ガイド41c、42cの長
さは押動部31a、32a間、ガイド31c、32cと
異なる場合がある。また、押動部41a、42aは、基
板Wの搬入時(搬入方向A)の障害にならないので、上
下駆動部41i、42iによる上下動を行わない構成と
しても良い。
【0026】基板検出センサ31h、32h、41h、
42hは、押動部31a、32a、41a、42aで押
動した基板Wの周縁に対向する位置に配置される。周縁
に対向する位置は、押動部31a、32a、41a、4
2aの前方(基板W側)で、基板Wの端面を検出できる
位置ならば移動機構部31、32、41、42上に限定
されず、例えば、設置板30上でも構わない。なお、作
業性または検出精度の点から、押動部31a、32a、
41a、42aを支持する支持躯体31b、32b、4
1b、42b側に配置され、図1〜図4では押動部31
a、32a、41a,42aの基端近傍の基板W側(支
持躯体31b、32b、41b、42bの先端)に配置
されることが好ましい。
【0027】この基板検出センサ31h、32h、41
h、42hには、光電センサや静電容量センサ等が使用
される。この基板検出センサ31h、32h、41h、
42hは、基板Wを感知した場合を正常、基板Wを感知
しない場合を異常と判断する。すなわち、基板Wの水平
が狂うような曲がり、折れ等の変形が生じた基板Wは、
基板検出センサ31h、32h、41h、42hでは感
知できず、異常と判断する。このような基板Wの変形
は、図4に示すように、端面に反りが生じた基板Wを押
動部31a、32a、41a、42a(32a、41
a、42aは図示せず)で押動し、基板Wの端面が押動
部の下部に潜り込んでしまった場合等に発生する。
【0028】基板排出機構部6は、図1に示すように、
端面が変形した基板Wを予備位置決め機構1外に排出す
る機能を有するものであれば特に限定されず、例えば、
搬入ステージから次ステージ(整合ステージ等)に基板
Wを搬送しているハンドラ20に、端面が変形し位置決
め不良となった基板Wの排出機能を兼用させることでき
る。ハンドラ20はガイドレールに沿って水平、垂直方
向に移動できるように配置されている。前記ハンドラ2
0は、基板Wを吸着する吸着パッド21と、この吸着パ
ッド21を支持する保持板22と、この保持板22を上
下動自在に支持する緩衝部23と、この緩衝部23を支
持する支持フレーム24とから構成されている。緩衝部
23は載置板5上の基板Wと当接した際の衝撃を吸収す
るようにコイルスプリング、ゴム筒、板バネ、エアーク
ッション等の弾性部材で構成されている。
【0029】予備位置決め機構1の予備位置決め方法
は、下記の通りである。 (第1工程)図1(a)で示すように、送りローラ2a
の上に基板Wを受け取ると、送りローラ2aが回転し、
基板Wを所定の位置まで移動させて、停止する。
【0030】(第2工程)図1(b)で示すように、移
動機構部31、32、41、42(41、42は図示せ
ず)の押動部31a、32a、41a、42a(41
a、42aは図示せず)が、上下駆動部31i、32
i、41i、42i(41i、42iは図示せず)によ
り送りローラ2aの上端から突出する。さらに押動部3
1a、32a、41a、42a(41a、42aは図示
せず)が、駆動モータ31f、41f(41fは図示せ
ず)の駆動により送りローラ2a間を移動して、基板W
の端面を押動して予備位置決めを行う。
【0031】(第3工程)基板検出センサ31h、32
h、41h、42hが基板Wを感知して正常と判断され
た場合には、駆動モータ31f、41fが停止して押動
部31a、32a、41a、42aによる押動が停止
し、基板Wを次ステージ(整合ステージ等)に搬出する
指示を基板排出機構部6に出力する。(第6工程)の動
作に移る。
【0032】(第4工程)基板検出センサ31h、32
h、41h、42hが基板Wを感知できず異常と判断さ
れた場合、すなわち、図4に示されているような端面が
変形した基板Wが発生した場合には、押動部31a、3
2a、41a、42a(32a、41a、42aは図示
せず)の押動が停止し、駆動モータ31f、41f(図
示せず)が反転駆動して押動部31a、32a、41
a、42a(32a、41a、42aは図示せず)が退
行移動する。そして、再度、押動部31a、32a、4
1a、42aによる予備位置決めをやり直す指示を移動
機構部31、32、41、42に出力する。
【0033】(第5工程)再度の予備位置決めで、基板
Wが感知された場合には(第3工程)へ、基板Wが感知
されない場合には、基板Wを予備位置決め機構1外に排
出する指示を基板排出機構部6に出力する。
【0034】(第6工程)図1(c)で示すように、基
板排出機構部6のハンドラ20が、送りローラ2a近傍
まで降下し、吸着パット21が基板Wに当接して、基板
Wを真空吸着する。その状態でハンドラ20が上昇する
ことで、基板Wが送りローラ2aからハンドラ20に受
け渡される。ハンドラ20が基板Wを保持した状態で、
ガイドフレームに沿って水平方向に移動して、基板Wを
次ステージに搬出、または予備位置決め機構1外に排出
する。
【0035】前記(第4工程)の動作において、押動部
31a、32a、41a、42aが停止し、駆動モータ
31f、41fが反転駆動して押動部31a、32a、
41a、42aが退行移動することにより、基板Wの端
面の曲がり、折れ等の変形が復元し、再度、押動部31
a、32a、41a、42aで押動することができ、基
板Wが適正な位置に予備位置決めされる。
【0036】また前記(第4工程)の動作において、基
板W端面の曲がり、折れ等の変形が復元しない場合に
は、(第6工程)の動作において、基板排出機構部6に
より基板Wが予備位置決め機構1外に排出される。
【0037】つぎに、本発明の第2の実施形態について
説明する。予備位置決め機構10は、図6に示すよう
に、前記予備位置決め機構1に、基板Wの反りを防止す
るための載置板5と、この載置板5を昇降させる昇降機
構部としての載置板昇降機構部9を追加した予備位置決
め機構である。なお、前記した構成と同じ部材について
は同じ符号を付して説明を省略する。
【0038】載置板5は、図5に示すように、その貫通
穴5aが、送りローラ2aの回転の障害にならず、か
つ、その送りローラ2aの上端が少なくとも載置板5よ
り上方に突出できるように構成されている。そして、予
備位置決め用の貫通長穴5bを、移動機構部31、3
2、41、42の押動部31a、32a、41a、42
aの基板W中心方向への移動の障害にならないように、
送りローラ2aの送り方向に沿ったA方向に2本の貫通
長穴5bと、送りローラ2aの送り方向に直交するB方
向に2本の貫通長穴5bを形成している。
【0039】また、貫通穴5aおよび貫通長穴5bは、
それぞれの開口周縁を面取りするように形成されてお
り、載置板5上の基板Wの移動がスムーズにできるよう
に構成されている。この貫通穴5aおよび貫通長穴5b
の面取りは基板Wが薄板である場合に重要であり、基板
Wの端部が貫通穴5aおよび貫通長穴5bに引っ掛かる
ことを防止し、移動をスムーズにしている。
【0040】さらに、図5には載置板5に開口部5c
(図5では4箇所)が形成されている。開口部5cは、
基板Wの予備位置決め時には空気を吹いて基板Wの移動
をスムーズにし、また、予備位置決め終了時には真空吸
引して載置板5上での基板Wの位置を固定する。
【0041】載置板昇降機構部9は、載置板5を昇降さ
せる機能を有するものであれば特に限定されず、例え
ば、図7に示すように、載置板5を着脱自在に支持する
支持脚7と、この支持脚7の上部に設けた緩衝部8と、
支持脚7を上下動自在に保持する駆動部9Aとから構成
されている。
【0042】また、緩衝部8は、載置板5に接続して設
けた筒状の当接部8aと、この当接部8aに設けた支持
棹8cと、この支持棹8cに巻回して設けた弾性部材で
あるコイルスプリング8bとから構成されている。そし
て、支持脚7の上端に取り付けた支持環7aが、コイル
スプリング8bの下端を支持すると共に、支持棹8cが
支持脚7の内部に沿って摺動自在となるように構成され
ている。そのため、載置板5上の基板Wが、後記する基
板排出機構部6としてのハンドラ20に当接した際、コ
イルスプリング8bが収縮し、支持環7aおよび支持脚
7が、支持棹8c側に摺動することで、衝撃を吸収する
ように構成されている。また、弾性部材として、ゴム
筒、板バネ、エアークッション等を使用しても良い。
【0043】さらに、駆動部9Aは、設置板30の下方
に設けられており、その設置板30を貫通して配置され
ている支持脚7の下端を保持する保持部9hと、この保
持部9hを固定支持する固定板9gと、この固定板9g
に設けられた移動ブロック9dと、この移動ブロック9
dを移動させる送りネジ9cと、この送りネジ9cを伝
達ベルト9bを介して回動させる駆動モータ9aと、送
りネジ9cに対して平行に配置され、固定板9gに取り
付けた摺動部9eを介して移動ブロック9dの移動をガ
イドするガイドフレーム9fとから構成されている。前
記の送りねじ機構の代わりに、シリンダ機構、ラックア
ンドピニオン等により支持脚7を上下動させ、載置板5
を昇降移動させる構成であっても良い。
【0044】基板排出機構部6は、図6に示すように、
搬入ステージから次ステージ(整合ステージ等)に基板
Wを搬送しているハンドラ20を用いることができる。
予備位置決め機構10の予備位置決め方法は、以下の通
りである。
【0045】(第A工程)図6(a)で示すように、載
置板5の貫通穴5a(図示せず)から上端を突出した送
りローラ2aの上に基板Wを受け取ると、送りローラ2
aが回転し、基板Wを所定の位置まで移動させて、停止
する。
【0046】(第B工程)図6(b)で示すように、載
置板昇降機構部9の駆動部9Aを介して支持脚7が上方
に移動して載置板5が上昇し、送りローラ2aの上端が
基板Wに接触しない状態で載置板5上に基板Wが支持さ
れる。移動機構部31、32、41、42(41、42
は図示せず)の上下駆動部31i、32i、41i、4
2i(41i、42iは図示せず)により押動部31
a、32a、41a、42a(41a、42aは図示せ
ず)が送りローラ2aの上端から突出し、駆動モータ3
1f、41f(41fは図示せず)の駆動により、押動
部31a、32a、41a、42a(41a、42aは
図示せず)が載置板5の貫通長穴5b(図示せず)に沿
って移動して、基板Wの端面を押動して予備位置決めを
行う。このとき、開口部5cから空気が流出して基板W
の移動をスムーズにしている。
【0047】(第C工程)基板検出センサ31h、32
h、41h、42hが基板Wを感知して正常と判断され
た場合には、駆動モータ31f、41fが停止して押動
部31a、32a、41a、42aによる押動が停止
し、基板Wを次ステージ(整合ステージ等)に搬出する
指示を基板排出機構部6に出力する。(第F工程)の動
作に移る。
【0048】(第D工程)基板検出センサ31h、32
h、41h、42hが基板Wを感知できず異常と判断さ
れた場合、すなわち、図4に示されているような端面が
変形した基板Wが発生した場合には、押動部31a、3
2a、41a、42a(32a、41a、42aは図示
せず)の押動が停止し、駆動モータ31f、41f(図
示せず)が反転駆動して押動部31a、32a、41
a、42a(32a、41a、42aは図示せず)が退
行移動する。そして、再度、押動部31a、32a、4
1a、42aによる予備位置決めをやり直す指示を移動
機構部31、32、41、42に出力する。
【0049】(第E工程)再度の予備位置決めで、基板
Wが感知された場合には(第C工程)へ、基板Wが感知
されない場合には、基板Wを予備位置決め機構10外に
排出する指示を基板排出機構部6に出力する。
【0050】(第F工程)図6(c)で示すように、載
置板昇降機構部9の駆動部9Aにより支持脚7がさらに
上方に移動して、載置板5が上昇し、待機している基板
排出機構部6のハンドラ20の吸着パット21が基板W
に当接して、基板Wを真空吸着する。その状態で載置板
5が降下することで、基板Wが載置板5からハンドラ2
0に受け渡される。ハンドラ20が基板Wを保持した状
態で、ガイドフレームに沿って水平方向に移動して、基
板Wを次ステージに搬出、または予備位置決め機構10
外に排出する。
【0051】前記(前記B工程)の動作において、基板
Wは載置板5上で支持保持されるので、基板W端面の反
りが発生しにくくなり、押動部31a、32a、41
a、42aの押動による基板Wの端面の変形が発生しに
くくなり、基板Wが適正な位置に予備位置決めされる。
【0052】前記(前記D工程)の動作において、押動
部31a、32a、41a、42aが停止し、駆動モー
タ31f、41fが反転駆動して押動部31a、32
a、41a、42aが退行移動することにより、基板W
の端面の曲がり、折れ等の変形が復元し、再度、押動部
31a、32a、41a、42aで押動することがで
き、基板Wが適正な位置に予備位置決めされる。
【0053】また前記(前記D工程)の動作において、
基板W端面の曲がり、折れ等の変形が復元しない場合に
は、(前記F工程)の動作において、基板排出機構部6
により基板Wが予備位置決め機構10外に排出される。
【0054】つぎに、本発明の第3の実施形態について
説明する。予備位置決め機構40は、図8に示すよう
に、前記予備位置決め機構10の載置板昇降機構部9の
代わりに、前記載置板5を送りローラ2a上に配置する
ための受渡機構部51と、基板Wを載置板5の上に支持
するための送りローラ昇降機構部2g(図10)を備え
た予備位置決め機構である。なお、前記した構成と同じ
部材については同じ符号を付して説明を省略する。
【0055】受渡機構部51は、図9に示すように、載
置板5の端面に接続された受渡腕51cと、この受渡腕
51cで載置板5を送りローラ2a上から垂直方向に立
ち上げるための回転軸51bと、この回転軸51bを回
転させる駆動モータ51aから構成されている。この受
渡機構部51により、開口部5cの真空吸引により載置
板5上に固定された基板Wが次ステージ(整合ステージ
等)へ受け渡される。
【0056】送りローラ昇降機構部2gは、送りローラ
2aを昇降させる機能を有するものであれば特に限定さ
れず、例えば、図10に示すように、シリンダ機構によ
り支持フレーム2fに固定された駆動モータ2eを降下
させて、送りローラ2aの上端が基板Wと接触しない状
態にして、基板Wを載置板5上に支持させるように構成
されており、シリンダ機構の代わりに、送りネジ機構、
ラックアンドピニオン等により駆動モータ2eを上下動
させ、送りローラ2aを昇降移動させる構成であっても
良い。
【0057】予備位置決め機構40の予備位置決め方法
は、以下の通りである。 (第イ工程)図8(a)で示すように、受渡機構部51
を介して載置板5を送りローラ2a上に閉じて、この載
置板5の貫通穴5a(図示せず)から上端を突出した送
りローラ2aの上に基板Wを受け取ると、送りローラ2
aが回転し、基板Wを所定の位置まで移動させて、停止
する。
【0058】(第ロ工程)図8(b)で示すように、送
りローラ昇降機構部2g(図10)のシリンダ機構によ
り送りローラ2aを降下させて、送りローラ2aの上端
が基板Wに接触しない状態で載置板5上に基板Wが支持
される。移動機構部31、32、41、42(41、4
2は図示せず)の上下駆動部31i、32i、41i、
42i(41i、42iは図示せず)により押動部31
a、32a、41a、42a(41a、42aは図示せ
ず)が送りローラ2aの上端から突出し、駆動モータ3
1f、41f(41fは図示せず)の駆動により、押動
部31a、32a、41a、42a(41a、42aは
図示せず)が載置板5の貫通長穴5b(図示せず)に沿
って移動して、基板Wの端面を押動して予備位置決めを
行う。
【0059】(第ハ工程)基板検出センサ31h、32
h、41h、42hが基板Wを感知して正常と判断され
た場合には、駆動モータ31f、41fが停止して押動
部31a、32a、41a、42aによる押動が停止
し、載置板5の開口部5cで基板Wを真空吸引して、載
置板5上に基板Wを固定し、受渡機構部51により基板
Wを次ステージ(整合ステージ等)へ受け渡す。
【0060】(第ニ工程)基板検出センサ31h、32
h、41h、42hが基板Wを感知できず異常と判断さ
れた場合、すなわち、図4に示されているような端面が
変形した基板Wが発生した場合には、押動部31a、3
2a、41a、42a(32a、41a、42aは図示
せず)の押動が停止し、駆動モータ31f、41f(図
示せず)が反転駆動して押動部31a、32a、41
a、42a(32a、41a、42aは図示せず)が退
行移動する。そして、再度、押動部31a、32a、4
1a、42aによる予備位置決めをやり直す指示を移動
機構部31、32、41、42に出力する。
【0061】(第ホ工程)再度の予備位置決めで、基板
Wが感知された場合には(第ハ工程)へ、基板Wが感知
されない場合には、基板Wを予備位置決め機構40外に
排出する指示を基板排出機構部6に出力する。
【0062】(第ヘ工程)図8(c)で示すように、基
板排出機構部6のハンドラ20が、送りローラ2a近傍
まで降下し、吸着パット21が基板Wに当接して、基板
Wを真空吸着する。その状態でハンドラ20が上昇する
ことで、基板Wが送りローラ2aからハンドラ20に受
け渡される。ハンドラ20が基板Wを保持した状態で、
ガイドフレームに沿って水平方向に移動して、基板Wを
予備位置決め機構40外に排出する。
【0063】前記(前記ロ工程)の動作により、基板W
は載置板5上で支持保持されるので、基板W端面の反り
が発生しにくくなり、押動部31a、32a、41a、
42aの押動による基板Wの端面の変形が発生しにくく
なり、基板Wが適正な位置に予備位置決めされる。
【0064】前記(前記ニ工程)の動作において、押動
部31a、32a、41a、42aが停止し、駆動モー
タ31f、41fが反転駆動して押動部31a、32
a、41a、42aが退行移動することにより、基板W
の端面の曲がり、折れ等の変形が復元し、再度、押動部
31a、32a、41a、42aで押動することがで
き、基板Wが適正な位置に予備位置決めされる。
【0065】また前記(前記ニ工程)の動作において、
基板W端面の曲がり、折れ等の変形が復元しない場合に
は、(前記ヘ工程)の動作において、基板排出機構部6
により基板Wが予備位置決め機構40外に排出される。
【0066】
【発明の効果】前記したように、本発明において、基板
検出センサが押動部で押動した基板の周縁となる位置ま
たは移動機構部の押動部を支持する支持躯体側に配置さ
れていることにより、基板の端面に反りが生じても適正
な予備位置決めができ、また位置決め不良基板を次ステ
ージへ搬送することのない予備位置決め機構を提供でき
る。
【0067】また、本発明において、基板を載置板上で
支持するための載置板昇降機構部または送りローラ昇降
機構部が備えられていることにより、基板の端面に反り
が発生しにくくなり、さらに適正な予備位置決めが可能
となる。
【0068】また、所定位置に導き入れられた基板を、
移動機構部の押動部の押動により予備位置決め作業を行
う際に、押動部で押動した基板の周縁となる位置に配置
された基板検出センサの感知が正常にならないときは、
前記押動部の押動を停止し、退行移動させた後に再度押
動による予備位置決めを行う、または、前記基板検出セ
ンサの感知が正常にならないときには基板排出機構部に
より前記基板を排出するので、基板の端面に反りが生じ
ても適正な予備位置決めができ、また位置決め不良基板
を次ステージへ搬送することのない予備位置決め方法を
提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の予備位置決め作業を
示す模式図である。
【図2】本発明の移動機構部の斜視図である。
【図3】本発明の移動機構部の平面図である。
【図4】本発明の基板の端面の状態を示す模式図であ
る。
【図5】本発明の第2の実施形態の載置板の平面図であ
る。
【図6】本発明の第2の実施形態の予備位置決め作業を
示す模式図である。
【図7】本発明の第2の実施形態の載置板昇降機構部の
断面図である。
【図8】本発明の第3の実施形態の予備位置決め作業を
示す模式図である。
【図9】本発明の第3の実施形態の載置板の平面図であ
る。
【図10】本発明の第3の実施形態の送りローラ昇降機
構部を示す部分断面図である。
【符号の説明】
1、10、40 予備位置決め機構 2a 送りローラ 2b 回転軸 2c 無端ベルト 2d プーリ 2e 駆動モータ 2f 支持フレーム 2g 送りローラ昇降機構部 30 設置板 31、32、41、42 移動機構部 31a、32a、41a、42a 押動部 31b、32b、41b、42b 支持躯体 31c、32c、41c、42c ガイド 31d、32d、41d、42d 架台 31e、41e 駆動ベルト 31f、41f 駆動モータ 31g、32g、41g、42g 弾性部材 31h、32h、41h、42h 基板検出センサ 31i、32i、41i、42i 上下駆動部 31j、32j、41j、42j 基台 5 載置板 5a 貫通穴 5b 貫通長穴 5c 開口部 51 受渡機構部 51a 駆動モータ 51b 回転軸 51c 受渡腕 6 基板排出機構部 7 支持脚 8 緩衝部 9 載置板昇降機構部 9A 駆動部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 学 東京都調布市調布ヶ丘3丁目34番1号 株 式会社オーク製作所内 (72)発明者 神部 圭一 東京都調布市調布ヶ丘3丁目34番1号 株 式会社オーク製作所内 Fターム(参考) 2H097 KA03 KA28 LA09 LA12 5F031 CA05 FA02 FA07 GA24 GA53 JA02 JA09 JA17 JA21 JA36 KA02 KA12 LA07 LA09 LA12 LA13 LA14 LA15 MA27 PA13

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 矩形薄板状の基板を所定位置に導き入れ
    る送りローラと、 この送りローラの所定位置に支持された前記基板の四辺
    の近傍に配置され、前記基板の端面を押動する押動部を
    有する移動機構部と、 前記押動部で押動した前記基板の周縁に対向する位置に
    配置された基板検出センサと、 この基板検出センサで感知できなかった前記基板を前記
    送りローラ上から排出するための基板排出機構部とを備
    えることを特徴とする予備位置決め機構。
  2. 【請求項2】 矩形薄板状の基板を所定位置に導き入れ
    る送りローラと、 この送りローラで所定位置に配置された前記基板の四辺
    の近傍に配置され、前記送りローラ間を移動して前記基
    板の端面を押動する押動部を有する移動機構部と、 前記送りローラの上端が突出する貫通穴を有すると共
    に、前記押動部が移動する貫通長穴を有する前記基板の
    載置板と、 この載置板に載置された基板に対して前記押動部が押動
    する前記基板の周縁に対向する位置に配置された基板検
    出センサと、 前記送りローラまたは前記載置板の少なくとも一方を昇
    降させるための昇降機構部と、 前記基板検出センサで感知できなかった前記基板を前記
    載置板上から排出するための基板排出機構部とを備える
    ことを特徴とする予備位置決め機構。
  3. 【請求項3】 前記基板検出センサが、前記移動機構部
    の押動部を支持する支持躯体側に配置されたことを特徴
    とする請求項1または2に記載の予備位置決め機構。
  4. 【請求項4】 矩形薄板状の基板の端面を、前記基板の
    四辺の近傍に配置された移動機構部の押動部で押動する
    ことにより、前記基板を予備位置決めする方法におい
    て、 前記押動部で押動する前記基板の周縁に対向する位置に
    配置された基板検出センサにより前記基板の端面を感知
    しながら、前記基板の端面を前記押動部で押動して、前
    記基板検出センサの感知が正常にならないときは、前記
    押動部の押動を停止し、退行移動させる第1工程と、再
    度、前記基板の端面を前記押動部で押動して、前記基板
    検出センサの感知が正常なときには前記押動部の押動に
    よる予備位置決めを行い、前記基板検出センサの感知が
    正常にならないときには基板排出機構部により前記基板
    を排出する第2工程とを備えることを特徴とする予備位
    置決め方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008235736A (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Lintec Corp 搬送装置及び搬送方法
KR100924266B1 (ko) 2008-01-18 2009-10-30 주식회사 에스에프에이 기판 이송장치

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