JP3759130B2 - マウンタの基板セット装置およびバックアップピン切替方法 - Google Patents

マウンタの基板セット装置およびバックアップピン切替方法 Download PDF

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Description

本発明は、部品実装位置に基板を搬入すると共に、搬入した基板に下側から支持するように多数のバックアップピンを臨ませるマウンタの基板セット装置およびバックアップピン切替方法に関するものである。
マウンタの基板セット装置における多数のバックアップピンは、基板に電子部品を装着する際に、基板の撓みを防止すべく基板を裏側からこれを支持するものであり、基板の大きさや厚み、基板の裏側に先付け部品があるか否かなどにより、その配置が異なる。このため、従来のマウンタでは、基板の段取り替えの際に多数のバックアップピンを抜き差しして、新たな基板に対し適切な配置になるように並び替えている。この並び替えは、作業者がマウンタに臨んで手動で行う場合と、マウンタの装着ヘッドを駆動して自動で行う場合とがある。
特開平成3−108800号公報
バックアップピンの並替え作業は、手動の場合には作業がし難くバックアップピンの誤装着が生じ易く、自動の場合にはバックアップピンの装着ミス(ピンの倒れ)や制御系が複雑になる問題があるが、それ以上に作業に時間がかかる問題がある。すなわち、基板の段取り替えに要する時間が、バックアップピンの並び替えの作業時間に左右され、長くなる問題があった。
本発明は、基板の段取り替えに要する時間が、バックアップピンの並替えの作業時間に左右されることのない、マウンタの基板セット装置およびバックアップピン切替方法を提供することをその目的としている。
このため第1の発明は、各種形状の異なる基板を部品実装位置まで搬入し且つ部品実装位置から搬出する基板搬送機構と、部品実装位置に搬入した基板に下側からこれを支持するように臨む多数のバックアップピン、および搬入した基板に対応させた配置で多数のバックアップピンを着脱自在に立設したバックアップピンプレートを有する基板バックアップユニットと、基板バックアップユニットを着脱可能に支持すると共にこれを昇降させるユニット昇降機構とを備えたマウンタの基板セット装置であって、基板搬送機構は、ユニットキャリアに搭載した状態の基板バックアップユニットを部品実装位置まで搬入可能且つ部品実装位置から搬出可能に構成され、ユニット昇降機構は、部品実装位置まで搬入した基板バックアップユニットをユニットキャリアから受取り可能に構成されていることを特徴とする。
第2の発明は、好ましくは、ユニット昇降機構は、その上面と基板バックアップユニットの下面とのいずれか一方に、マグネットが装着されており、マグネットを介して基板バックアップユニットを受け取ることを特徴とする。
第3の発明は、好ましくは、ユニット昇降機構は、上部に、搬入した基板に対応させた配置で多数のバックアップピンを立設可能なベースプレートを有しており、ベースプレートの上面で基板バックアップユニットを受け取ることを特徴とする。
第4の発明のマウンタのバックアップピン切替方法は、多数のバックアップピンを着脱自在に立設するバックアップピンプレートを、このバックアップピンプレートを昇降させる昇降機構に対し着脱自在に構成し、装置外において、予め前記バックアップピンプレートに多数のバックアップピンを基板に対応させた配置で立設しておき、この状態で当該バックアップピンプレートをユニットキャリアに搭載し、基板を搬入・搬出する基板搬送機構を用いてバックアップピンプレートを搭載したユニットキャリアを装置外から装置内に搬入し、昇降機構は、ユニットキャリアからバックアッププレートを受け取ることを特徴とする。
第1の発明及び第4の発明の基板セット装置およびバックアップピン切替方法によれば、装置外において、基板に対応させた配置でバックアップピンをバックアップピンプレートに立設しておき、これを基板と同様に装置内に導入するようにしているので、基板の段取り替えの際に、バックアップピンの配置替えを行う必要がない。したがって、基板の段取り替えに要する時間が、バックアップピンの並び替えの作業時間に左右されることのなく、段取り替えに要する時間を極端に短縮することができる。また、ユニットキャリアにより、基板バックアップユニットのバックアップピンが他の構成装置と干渉しないように、これを搬入・搬出することができる。また、基板バックアップユニットを、直接基板搬送機構で搬入・搬出できるような構造にする必要がない。さらに、サイズの異なる複数種の基板バックアップユニットに対し、単一のユニットキャリアでこれを搬送することができる。
第2の発明の基板セット装置によれば、ユニット昇降機構の上面と基板バックアップユニットの下面とのいずれか一方には、マグネットが装着されており、ユニット昇降機構は、マグネットを介して基板バックアップユニットを受け取るので、ユニット昇降機構に対する基板バックアップユニットの着脱を簡単かつ正確に行うことができる。
第3の発明の基板セット装置によれば、ユニット昇降機構は上部に、搬入した基板に対応させた配置で多数のバックアップピンを立設可能なベースプレートを有しており、ユニット昇降機構は、ベースプレートの上面で基板バックアップユニットを受け取るので、従来のようにベースプレートを利用して、装置内でバックアップピンをセットすることができると共に、装置外でバックアップピンをセットした基板バックアップユニットを、装置内に導入することができる。すなわち、装置内および装置外のいずれでも、バックアップピンの配置替えを行うことができる。また、既存のマウンタにも、基板バックアップユニットを導入することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係るマウンタの基板セット装置およびバックアップピン切替方法を、多機能チップマウンタの基板供給部に適用した場合について説明する。このマウンタは、各種の電子部品を各種形態の異なる基板に実装可能に構成されている。図1はマウンタの平面図であり、同図に示すように、マウンタ1は、機台2と、機台2の中央部に左右方向に延在する基板供給部3と、機台2の前部(図示の下側)に配設した第1部品供給部4aと、機台2の後部(図示の上側)に配設した第2部品供給部4bと、機台2の前部に移動自在に配設した第1XYステージ5aと、機台2の後部に移動自在に配設した第2XYステージ5bとを備えている。
第1XYステージ5aには、電子部品を吸着および装置するための第1ヘッドユニット6aが、同様に第2XYステージ5bには、第2ヘッドユニット6bがそれぞれ搭載されている。各ヘッドユニット6a,6bには、吸着ノズル7を装着した2台の装着ヘッド8,8が搭載されている他、2台の装着ヘッド8,8の間に基板認識カメラ9が搭載されている。また、機台2上には、基板供給部3を挟んで、各一対2組の部品認識カメラ10,10,10,10と、2台のノズルストッカ11,11とが、それぞれ配設されている。この場合、前部に位置する両部品認識カメラ10,10およびノズルストッカ11は第1ヘッドユニット6aに対応し、後部に位置する両部品認識カメラ10,10およびノズルストッカ11は第2ヘッドユニット6bに対応している。
このマウンタ1では、表面実装部品などの小さい電子部品は、主に第1部品供給部4aおよび第2部品供給部4bから供給され、多リード部品など大きい電子部品は、主に図示しないトレイ形式の部品供給部から供給される。また、基板は、基板供給部3により左方から供給されて機台2の中央に不動にセットされ、右方に排出される。例えば、第1XYステージ5aを用いる電子部品の実装では、第1XYステージ5aにより、第1ヘッドユニット6aを第1部品供給部(他の部品供給部でも可)4aに臨ませ、所望の電子部品を吸着し、次にこの電子部品を部品認識カメラ10に臨ませて位置認識し、更に第1ヘッドユニット6aを基板の所定の位置まで移動させて、基板認識カメラ9で基板位置を認識した後、電子部品を基板に装着する。なお、通常、第1XYステージ5aと第2XYステージ5bとは交互運転となる。
第1部品供給部4aおよび第2部品供給部4bは、いずれも多数のテープカセット12を横並びに配設したものである。各テープカセット12には、キャリアテープ(図示では省略)に装填された状態で電子部品が収容され、電子部品はテープカセット12の先端から1つずつ供給される。通常の運転において、第1ヘッドユニット6aが装着動作している場合には、第2部品供給部4bでテープカセット12の交換作業が行われ、第2ヘッドユニット6bが装着動作している場合には、第1部品供給部4aでテープカセット12の交換作業が行われる。
第1XYステージ5aおよび第2XYステージ5bは、機台2の左右両端部に配設した一対のY軸ガイドレール14,14に案内されて、前後方向(Y軸方向)に移動するY動ビーム15,15を、それぞれ有している。第1XYステージ5aのY動ビーム15は、左部のボールねじおよびこれを回転させるY軸モータ(いずれも図示省略)により、Y軸方向(前後方向)に進退する。同様に、第2XYステージ5bのY動ビーム15は、右部のボールねじおよびこれを回転させるY軸モータ(いずれも図示省略)により、Y軸方向に進退する。
一方、両Y動ビーム15,15は全く同一のものであり、それぞれX軸ガイドレール16を有し、上記の駆動系と同様に、ボールねじおよびX軸モータ(いずれも図示省略)の構成で、上記の各ヘッドユニット6a,6bをX軸方向(左右方向)に進退させる。このように、各ヘッドユニット6a,6bは、X軸方向およびY軸方向、すなわち水平面内において移動自在となっている。
基板供給部3は、中央に配設したクランプ装置21と、クランプ装置21の図示左側に連なる基板搬入機構22と、クランプ装置5の図示右側に連なる基板搬出機構23とを有している。基板は、基板搬入機構22により、装置外からクランプ装置21に搬入され、クランプ装置21で電子部品の装着を受けるべく不動にセットされ、且つ部品装着の際に撓まないように下側から支持される。そして、電子部品の装着が完了した基板は、クランプ装置21から基板搬出機構23を介して装置外に搬出される。この場合、基板搬入機構22には供給待機状態の基板が有り、また基板搬出機構23には排出待機状態の基板が有り(図示では省略)、これら基板は順送りで搬送される。
ところで、クランプ装置21にクランプされた基板に、電子部品が装着(実装)されるが、その際、基板の撓みを防止すべく基板の裏側から後述するバックアップピン34を臨ませて、これを支持するようにしている。基板は、その大きさや厚み、基板の裏側に先付け部品があるか否かなどにより、その配置が異なるため、基板の段取り替えの際に多数のバックアップピン34を抜き差しして、新たな基板に対し適切な配置になるように並び替えている。そこで、実施形態のマウンタ1では、クランプ装置21に、バックアップピン34を装着可能に備えるが、これとは別に、バックアップピンプレート62にバックアップピン61を装着した基板バックアップユニット60(いずれも後述する)を、基板搬入機構22を介して装置外からクランプ装置21に導入可能に構成している。
ここで、図2および図3を参照して、クランプ装置21について更に詳細に説明する。なお、以降のクランプ装置21の説明では、基板の搬送方向(長手方向)を前後(マウンタ1全体としては左右)とし、基板の幅方向を左右(マウンタ1全体としては前後)として説明を進めることとする。
クランプ装置21は、基板Sの左右両側端部をそれぞれ支持する固定側基板導入台31aおよび可動側基板導入台31bと、導入する基板Sの幅に合わせて可動側基板導入台31bを左右方向に進退させる導入台移動装置32と、基板Sを基板搬入機構22から受け取って両基板導入台31a,31bの所定のクランプ位置(部品実装位置)まで搬送すると共に、電子部品の装着が完了した基板Sをクランプ位置から基板搬出機構23まで搬送するコンベア形式の基板移送装置33とを備えている。
また、クランプ装置21は、クランプ位置にセットされた基板Sに下側から臨みこれを支持する多数のバックアップピン34と、多数のバックアップピン34が立設されたバックアップテーブル35と、バックアップテーブル35を介してバックアップピン34を昇降させるバックアップピン昇降装置36とを備えている。そして、固定側基板導入台31aと可動側基板導入台31bとは、対向するように配設され、またバックアップテーブル35とバックアップピン昇降装置36とは、両基板導入台31a,31b間の下方に配設されている。なお、請求項にいうユニット昇降機構は、このバックアップテーブル35とバックアップピン昇降装置36とを合わせたものである。
固定側基板導入台31aには、その内側の部位と、これに取り付けた基板移送装置33のコンベアローラ33aとにより、基板Sの側端部を案内する断面「コ」字状のガイド溝38が形成されている。同様に、可動側基板導入台31bには、その内側の部位と、これに取り付けた基板移送装置33のコンベアローラ33aとにより、基板Sの側端部を案内する断面「コ」字状のガイド溝38が形成されている。また、可動側基板導入台31bには、ガイド溝38の部分にエアーシリンダ39が臨んでおり、導入した基板Sを固定側基板導入台31aとの間で押圧・固定できるようになっている。
バックアップテーブル35は、平面視略方形に形成されており、4本のシャフト40,40,40,40に支持されたテーブルベース41と、テーブルベース41の上側に載置したバックアップピン34を立設するためのピンセットプレート42と、テーブルベース41の幅方向の両端部に配設した各複数枚のクランププレート43とを有している。クランププレート43は、基板Sを下側から押さえるものであり、剛性のある基板Sが導入された場合には、バックアップピン34を用いることなく、クランププレート43のみで基板Sを支持する。
一方、ベースプレートとしてのピンセットプレート42には、バックアップピン34を立設するための多数のセット孔44が形成されている。多数のセット孔44は、ピンセットプレート42の全域に分布しているが、広狭幅の異なる基板Sに対応させるべく、固定基板導入台31a側は細かいピッチで且つ可動基板導入台31bは荒いピッチで配設されている。この場合、バックアップピン34は、基板Sの大きさに合わせ、且つ基板Sの裏面に先付け部品がある場合にはこれを逃げて、適宜セット孔44に差し込まれるようにしてセット(装着)される。なお、図3中の符号45,45は、それぞれ部品実装位置に導入された基板Sの前後を位置決めするためのストッパであり、基板によりいずれかのストッパ45を使用する。
バックアップピン昇降装置36は、バックアップテーブル35を支持する4本のシャフト40,40,40,40と、これらを支持すると共に機台2上に載置固定した支持フレーム46と、4本のシャフト40を同時に昇降させる図外の昇降モータを有している。この場合、昇降モータの回転動力は、ベルト47を介して各シャフト40と同軸上に配設した従動プーリ48に伝達され、回転ブロック49を介してボールねじスプラインシャフトで構成された各シャフト40を昇降させる。そして、4本のシャフト40が同時に昇降することで、バックアップピン34を立設したバックアップテーブル35が昇降する。
基板搬入機構22から移送された基板Sは、両コンベアローラ33aにより、ストッパ45に突き当たるクランプ位置(部品実装位置)まで搬送される。続いてエアーシリンダ39が作動して、基板Sを幅方向において不動に固定する。次に、バックアップピン昇降装置36が作動して、クランププレート42が基板Sを下側から不動に支持する。なお、その際バッアップピン34は、実際にはわずかに間隙を存して基板Sに対峙する。この状態で基板Sに対し電子部品の装着が行われ、装着が完了すると上記と逆の手順で基板Sの固定が解かれ、基板Sは、両コンベアローラ33aにより基板搬出機構23に移送される。
次に、図4および図5を参照して、上記のバックアップピン34およびピンセットプレート42に相当する基板バックアップユニット60を、装置外から導入する方法について説明する。この場合、バックアップピン61をセットした基板バックアップユニット60は、ユニットキャリア70に搭載され、基板を導入する場合と全く同様に基板搬入機構22を介して導入され、ピンセットプレート42上に受け取られる。また、段取り替えの際には、装置外から空のユニットキャリア70を送り込み、基板バックアップユニット60をピンセットプレート42からユニットキャリア70に移載し、この状態で基板と同様に、基板搬出機構23を介して装置外に搬出するようにしている。
基板バックアップユニット60は、ピンセットプレート42と同様に、多数のセット孔63を有するバックアップピンプレート62と、これに装着される多数のバックアップピン(樹脂製)61とで構成されている。ただし、バックアップピンプレート62はサイズの異なる数種類のものが用意されている。また、バックアップピン61は上記のバックアップピン34と同様に、基板に対応されたパターンでバックアップピンプレート62にセットされる。もちろん、このセット作業(抜き差しの配置替え作業)は、マウンタ1の稼働と切り離して装置外で行われる。なお、バックアップピンプレート62の長辺方向の2箇所には、上記のセット孔63とは別に、ユニットキャリア70に位置決めするための貫通孔64,64が形成されている。
一方、ユニットキャリア70は、基板と同様の方形板状のキャリアプレート71と、キャリアプレート71の下面の左右に取り付けた固定支持プレート72および可動支持プレート73と、キャリアプレート71の上面に取り付けた前後一対の取っ手74とを有している。固定支持プレート72および可動支持プレート73は、断面略「S」字状に形成され、対向するようにして配設されている。そして、両支持プレート72,73の下部水平片72a,73a間に渡すように、基板バックアップユニット60が載置される。なお、固定支持プレート72および可動支持プレート73の下垂寸法は、バックアップピンプレート62に立設したバックアップピン61が、キャリアプレート71につかえないだけでなく、移載のためにバックアップピンプレート62を持ち上げたときにも、バックアップピン61がキャリアプレート71につかえない寸法となっている。
固定支持プレート72の下部水平片72aには、前後一対の上向き突起75が設けられており、この上向き突起75にバックアップピンプレート62の貫通孔64が嵌合して、基板バックアップユニット60がユニットキャリア70に位置決めされる。この位置決めにより、基板バックアップユニット60、より具体的にはこれに立設したバックアップピン61の位置と、ユニットキャリア70のキャリアプレート71の前端(実際にはその一方の角部の位置)とが、正確に位置決めされる。これにより、基板と同様に部品実装位置に搬入されるユニットキャリア70から、基板バックアップユニット60がバックアップテーブル35に移載(上下移動で移載される)されると、この段階で、バックアップピン61は装置に対し正確に位置決めされることになる。
可動支持プレート73の上端部は、前後一対のねじ付きのレバー76により、キャリアプレート71に固定されている。すなわち、可動支持プレート73は、キャリアプレート71に形成した左右方向に延びる長孔77を介して、レバー76によりユニットキャリア71に締結されている。上述したように、バックアップピンプレート62はサイズの異なる数種類のものが用意されており、このレバー76により固定を解いて、長孔77に沿って可動支持プレート73の位置を可変させることで、ユニットキャリア70にサイズの異なる基板バックアップユニット60を搭載できるようになっている。
キャリアプレート71の上面中央の幅方向片側に寄った位置には、断面略「S」字状の板片78が取り付けられており、板片78は、上部が屈曲してキャリアプレート71から幅方向にはみ出している。ユニットキャリア70を装置内に導入する際には、基板搬入機構22にユニットキャリア70をセットするが、ユニットキャリア70の前後を間違えると、この板片78が基板搬入機構22のセンサ24につかえて、セットすることができないようになっている。すなわち、板片78とセンサ24とにより、前後を誤ったユニットキャリア70の搬入を阻止する搬入阻止手段が、構成されている。
一方、装置内において、ユニットキャリア70を受けるピンセットプレート42の上面には、左右一対、2条の受けブロック50,50が取り付けられている。受けブロック50は、マグネットで構成されており、基板バックアップユニット60を下側から吸着することで、これを受け取ると共にピンセットプレート42上に装着状態とする。上記のストッパ45側に位置する一方の受けブロック50の上面には、前後一対の位置決め突起51が突設されており、この位置決め突起51が、バックアップピンプレート62の所定のセット孔63に嵌合して、基板バックアップユニット60が、ピンセットプレート42に位置決めされる。なお、受けブロック50を、基板バックアップユニット60の下面に取り付けるようにしてもよい。
次に、図6および図7を参照して、基板バックアップユニット60の導入手順について説明する。先ず、装置外において、図外の治具上にバックアップピンプレート62をセットし(図6(a))、基板に対応させてバックアップピンプレート62上に多数のバックアップピン61を装着する(配置替え)(図6(b))。次に、この基板バックアップユニット60をユニットキャリア70に乗せ(セットし)、この状態で基板搬入機構22にセットする(図6(c))。ここで、基板供給部3を駆動させる。
これにより、先ず基板搬入機構2およびクランプ装置21の基板移送装置33が駆動して、ユニットキャリア70を、基板と同様に部品実装位置に搬入し、且つこれを固定する(図7(a))。次に、バックアップピン昇降装置36が駆動してバックアップテーブル35を上昇させる。バックアップテーブル35が上昇すると、受けブロック50がバックアップピンプレート62に突き当たってこれを吸着すると共に、ユニットキャリア70から浮き上がらせる(図7(b))。すなわち、受けブロック50が基板バックアップユニット60を吸着して、これをバックアップテーブル35にセットした状態にする。
続いて、基板移送装置33および基板搬出機構23が駆動して、空のユニットキャリア70を先方に搬送し、これを装置外に搬出する(図7(c))。また、ユニットキャリア70が部品実装位置から搬出されると同時に、バックアップピン昇降装置36が駆動して、基板バックアップユニット60を載置したバックアップテーブル35を下降させ、待機位置に戻る。以降、基板を導入して通常の実装動作に移る。
一方、段取り替えに際し、新たな基板バックアップユニット60を導入する場合には、その導入に先立ち、先ずバックアップテーブル35を介して、基板バックアップユニット60を受渡し位置まで上昇させる。次に、基板搬入機構22を介して、空のユニットキャリア70を部品実装位置に搬入する(図7(d))。この際、ユニットキャリア70は、その両支持プレート72,73が、基板バックアップユニット60の下側に潜り込むように導入される。ここで、バックアップテーブル35を下降させて、基板バックアップユニット60をユニットキャリア70に受け渡す(図7(e))。そして、基板バックアップユニット60を搭載したユニットキャリア70を、基板搬出機構23を介して装置外に搬出する。
以上のように本実施形態によれば、バックアップピン61のセット(配置替え)を装置外で行っておいて、これを基板の段取り替えの際に、基板搬入機構22を利用して導入し、且つバックアップテーブル35にセットするようにしているので、バックアップピン61の配置替えを、マウンタ1の段取り替え時ではなく、稼働時に行うことができる。すなわち、次基板に対する段取り替え作業のうち、最も時間を要するバックアップピン61の配置替え作業を、マウンタ1の稼働と並行して行うことができる。したがって、段取り替えに要する時間を極端に短縮することができる。
なお、本実施形態では、基板バックアップユニットをユニットキャリアに搭載した状態で装置内に搬入(搬出)するようにしているが、必ずしもユニットキャリアを用いる必要はなく、基板バックアップユニットを基板と同様に搬入するようにしてもよい。また、基板バックアップユニットを搭載したユニットキャリアを、基板搬入機構および基板搬出機構を利用して、装置内に対し搬入・搬出するようにしているが、作業者が、基板バックアップユニットを直接、装置内に搬入しセットするようにしてもよい。さらに、本発明は、いわゆる高速マウンタ(ロータリー式)にも、適用可能である。
本発明の一実施形態に係る基板セット装置およびバックアップピン切替方法をその基板供給部に適用したマウンタの平面図である。 実施形態に係る基板供給部(クランプ装置)の正面図である。 実施形態に係る基板供給部(クランプ装置)の平面図である。 実施形態に係る基板供給部に基板バックアップユニット導入した状態を示す正面図である。 実施形態に係る基板供給部に基板バックアップユニット導入した状態を示す平面図である。 バックアップピン切替方法(1)を示す説明図である。 バックアップピン切替方法(2)を示す説明図である。
符号の説明
1 マウンタ
3 基板供給部
21 クランプ装置
22 基板搬入機構
23 基板搬出機構
24 センサ
33 基板移送装置
34 バックアップピン
35 バックアップテーブル
36 バックアップ昇降装置
42 ピンセットプレート
50 受けブロック
60 基板バックアップユニット
61 バックアップピン
62 バックアップピンプレート
63 セット孔
64 貫通孔
70 ユニットキャリア
75 上向き突起
78 板片
S 基板

Claims (4)

  1. 各種形状の異なる基板を部品実装位置まで搬入し且つ部品実装位置から搬出する基板搬送機構と、
    部品実装位置に搬入した基板に下側からこれを支持するように臨む多数のバックアップピン、および搬入した基板に対応させた配置で前記多数のバックアップピンを着脱自在に立設したバックアップピンプレートを有する基板バックアップユニットと、
    前記基板バックアップユニットを着脱可能に支持すると共にこれを昇降させるユニット昇降機構とを備えたマウンタの基板セット装置であって、
    前記基板搬送機構は、ユニットキャリアに搭載した状態の前記基板バックアップユニットを部品実装位置まで搬入可能且つ部品実装位置から搬出可能に構成され、
    前記ユニット昇降機構は、部品実装位置まで搬入した前記基板バックアップユニットを前記ユニットキャリアから受取り可能に構成されていることを特徴とするマウンタの基板セット装置。
  2. 前記ユニット昇降機構は、その上面と前記基板バックアップユニットの下面とのいずれか一方に、マグネットが装着されており、前記マグネットを介して前記基板バックアップユニットを受け取ることを特徴とする請求項1に記載のマウンタの基板セット装置。
  3. 前記ユニット昇降機構は、上部に、搬入した基板に対応させた配置で多数のバックアップピンを立設可能なベースプレートを有しており、前記ベースプレートの上面で前記基板バックアップユニットを受け取ることを特徴とする請求項1に記載のマウンタの基板セット装置。
  4. 多数のバックアップピンを着脱自在に立設するバックアップピンプレートを、当該バックアップピンプレートを昇降させる昇降機構に対し着脱自在に構成し、装置外において、予め前記バックアップピンプレートに前記多数のバックアップピンを基板に対応させた配置で立設しておき、この状態で当該バックアップピンプレートをユニットキャリアに搭載し、基板を搬入・搬出する基板搬送機構を用いて前記バックアップピンプレートを搭載したユニットキャリアを装置外から装置内に搬入し、前記昇降機構は、前記ユニットキャリアから前記バックアッププレートを受け取ることを特徴とするマウンタのバックアップピン切替方法。
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