JP7033155B2

JP7033155B2 - 対基板作業装置

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Publication number: JP7033155B2
Application number: JP2020018857A
Authority: JP
Inventors: 立雄蛭川; 泰範亀谷; 毅近藤; 光昭加藤; 剛水越; 敦志鳥居; 淳飯阪; 一弘楠
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Priority date: 2020-02-06
Filing date: 2020-02-06
Publication date: 2022-03-09
Anticipated expiration: 2035-06-08
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Description

本発明は、印刷装置及び対基板作業装置に関する。

従来、基板に対してスクリーンマスクを用いて粘性流体の印刷処理を行う印刷装置において、スクリーンマスクの自動交換を行うものが知られている。例えば、特許文献１には、下方に突出したロッドと、ロッドを移動させることによりスクリーンマスクを摺動させて本体フレームへの出し入れを行う摺動子と、を備えた印刷装置が記載されている。

特開平０４－１０７１４６号公報

ところで、印刷などの基板に対する作業を行う対基板作業装置では、作業時に基板を支持する基板支持部材を用いる場合がある。そして、作業対象の基板の種類に適した支持部材を用いるようにする場合、基板支持部材の交換が必要になる。しかし、特許文献１の印刷装置では、基板支持部材の交換については考慮されていなかった。

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、基板支持部材の自動交換を行うことを主目的とする。

本発明は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。

本発明の印刷装置は、
基板支持部材上に固定された基板に対してスクリーンマスクを用いて粘性流体の印刷処理を行う印刷装置であって、
前記スクリーンマスク及び前記基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬出対象のスクリーンマスクを搬出するマスク搬出処理及び搬入対象の前記スクリーンマスクを搬入するマスク搬入処理を含むマスク交換処理を実行可能であり、前記支持部材搬送部を制御して搬出対象の前記基板支持部材を搬出する支持部材搬出処理及び搬入対象の前記基板支持部材を搬入する支持部材搬入処理とを含む支持部材交換処理を実行可能である交換制御部と、
を備えたものである。

この印刷装置は、スクリーンマスク及び基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部を備えている。そして、この印刷装置では、この支持部材搬送部を用いて、基板支持部材の搬出及び搬入を含む支持部材交換処理を実行可能である。したがって、この印刷装置は、基板支持部材の自動交換を行うことができる。また、この印刷装置は、この支持部材搬送部を用いて、スクリーンマスクの搬出及び搬入を行うマスク交換処理を行うこともできる。すなわち、同じ支持部材搬送部を用いて基板支持部材の自動交換とスクリーンマスクの自動交換とを共に行うことができる。したがって、例えば印刷装置がスクリーンマスク交換用の搬送部と基板支持部材交換用の搬送部とを別々に備える場合と比較して、装置構成をコンパクトにすることができる。

本発明の対基板作業装置は、
基板支持部材上に固定された基板に対して対基板作業を行う対基板作業装置であって、
前記基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部と、
前記基板支持部材を配置可能であり、前記対基板作業を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記基板固定部に配置された前記基板支持部材を移動させて該基板支持部材の水平方向の位置決めを行う位置決め部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬出対象の前記基板支持部材を搬出する支持部材搬出処理と、前記支持部材搬送部を制御して搬入対象の前記基板支持部材を前記基板固定部まで搬送し、前記位置決め部を制御して該搬送された基板支持部材の位置決めを行う支持部材搬入処理と、を含む支持部材交換処理を行う交換制御部と、
を備えたものである。

この対基板作業装置では、基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部を用いて、基板支持部材の搬出及び搬入を含む支持部材交換処理を実行可能である。したがって、この対基板作業装置は、基板支持部材の自動交換を行うことができる。また、この対基板作業装置は、支持部材搬入処理において、位置決め部を用いて搬送された基板支持部材の位置決めを行う。そのため、支持部材搬入処理で搬入された基板支持部材の基板固定部内での位置ずれを抑制できる。なお、本発明の対基板作業装置において、本発明の印刷装置の種々の態様を採用してもよいし、本発明の印刷装置が備える種々の構成を追加してもよい。

実装システム１０の構成の概略の一例を示す構成図。印刷装置２０の印刷処理等を実行する構成の説明図。印刷装置２０の印刷処理等を実行する構成の斜視図。印刷装置２０の電気的な接続関係を示すブロック図。基板支持部材７０及び搬送治具８０の斜視図。印刷処理ルーチンの一例を示すフローチャート。スクリーンマスクＭ及び基板支持部材７０の交換処理の様子を示す説明図。スクリーンマスクＭ及び基板支持部材７０の交換処理の様子を示す説明図。スクリーンマスクＭ及び基板支持部材７０の交換処理の様子を示す説明図。基板Ｓの搬送、吸着、及び印刷処理の説明図。支持部材搬入処理と支持部材搬出処理とを並行して行う様子を示す説明図。

次に、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である実装システム１０の構成の概略の一例を示す構成図である。図２は、印刷装置２０の印刷処理，マスク交換処理，及び支持部材交換処理を実行する構成であるマスク作業部２６、第１基板固定部３０、第２基板固定部４０，処理部５０及び収納部６０の説明図である。図３は、印刷装置２０の印刷処理等を実行する構成であるマスク作業部２６、第１基板固定部３０、第２基板固定部４０及び処理部５０の斜視図である。図４は、印刷装置２０の電気的な接続関係を示すブロック図である。図５は、基板支持部材７０及び搬送治具８０の斜視図である。実装システム１０は、粘性流体としてのはんだペーストを基板Ｓ上に印刷処理する印刷装置２０と、電子部品を基板Ｓ上に実装する複数の図示しない実装装置と、印刷装置２０や実装装置での処理に関する情報を管理する管理コンピュータ（ＰＣ）９０とを備えている。粘性流体としては、はんだペーストのほか、例えば導電性ペースト、接着剤などが挙げられる。印刷装置２０は、搬送された基板Ｓを固定する基板固定部を２つ有するデュアルレーンの印刷装置に構成されている。また、印刷装置２０は、印刷対象を異なる種類の基板Ｓに変更する段取り替えを行う際に、印刷処理に用いるスクリーンマスクＭの自動交換や、基板Ｓを支持固定する基板支持部材７０の搬送治具８０を用いた自動交換が可能な装置として構成されている。本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１～３に示した通りとする。

印刷装置２０は、図１～４に示すように、スキージ２５を用いてスクリーンマスクＭ上のはんだをスクリーンマスクＭに形成されたパターン孔１１，１２に押し込むことによりそのパターン孔を介して下方の基板Ｓにはんだペーストを塗布（印刷）する装置である。印刷装置２０は、制御部２１と、印刷処理部２２と、マスク作業部２６と、第１基板固定部３０と、第２基板固定部４０と、処理部５０と、収納部６０とを備えている。また、印刷装置２０は、表示画面が表示され作業者による各種入力操作が可能な操作パネルと、ＬＡＮに接続された機器と通信を行う通信部とを備えている。

制御部２１は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するＲＯＭ、作業領域として用いられるＲＡＭ、各種データを記憶するＨＤＤなどを備えている。

印刷処理部２２は、印刷装置２０の上段に配設されており、スクリーンマスクＭを用いて粘性流体を基板Ｓ上に印刷処理するユニットである。印刷処理部２２は、図４に示すように、印刷ヘッド２３と、ヘッド移動部２４と、スキージ２５と、搬送ロッド２５ａとを備えている。印刷装置２０は、スクリーンマスクＭ上へはんだペーストを加圧供給する印刷ヘッド２３を備えている。ヘッド移動部２４は、印刷ヘッド２３を所定の印刷方向（前後方向）に移動するものであり、前後方向に形成されたガイドとガイドに沿って移動するスライダとスライダを駆動するモータとを備えている。ヘッド移動部２４には、印刷ヘッド２３を上下動させる機構も配設されている。スキージ２５は、上下動可能に印刷ヘッド２３に配設されている。このスキージ２５は、所定方向（図１のＸ方向）に長い板状の部材であり、パターン孔１１，１２よりも長い長さに形成されている。搬送ロッド２５ａは、図示しないモーターにより昇降可能に印刷ヘッド２３に配設されている。この搬送ロッド２５ａは、スキージ２５よりも下方に突出した状態でヘッド移動部２４により前後に移動することで、スクリーンマスクＭや搬送治具８０を前後に押して搬送する。

マスク作業部２６は、印刷処理部２２と、第１基板固定部３０及び第２基板固定部４０との間に配設されており、スクリーンマスクＭを固定保持するユニットである。スクリーンマスクＭは、所望の配線パターンが形成された、例えば金属の薄板であり、枠体（マスク固定部２７）に所定のテンションで固定されている。スクリーンマスクＭには、印刷処理の第１，第２レーン（第１，第２基板固定部３０，４０）の基板Ｓにそれぞれ配線パターンを形成するパターン孔１１，１２が形成されている。スクリーンマスクＭの下面には位置認識用の識別部（例えばマーク）が形成されている。マスク作業部２６は、マスク固定部２７と、位置調整部２８（図４参照）と、搬送レール２９（図４参照）とを備えている。マスク固定部２７は、枠体にはめ込まれた状態のスクリーンマスクＭを位置決めして水平な姿勢で支持固定するものである。位置調整部２８は、第１基板固定部３０又は第２基板固定部４０に固定された基板Ｓに対して適正な位置にパターン孔１１，１２が配置されるようマスク固定部２７をＸＹ方向に位置調整するものである。搬送レール２９は、前後方向に伸びた左右１対のレールであり、搬送ロッド２５ａに押されたスクリーンマスクＭや搬送治具８０が前後方向に沿って移動するようにこれらをガイドする。

第１基板固定部３０は、マスク作業部２６の下方に配設され、基板Ｓを搬入し、搬入した基板Ｓを位置決めして支持し、所定の配線パターンが形成されたスクリーンマスクＭに接触，離間させるユニットである。第１基板固定部３０は、印刷処理の第１レーンを構成する。第１基板固定部３０は、基板搬送コンベア３１と、基板ガイド３２と、基板ガイド移動部３３（図４参照）と、支持台昇降部３５と、固定部昇降部３６と、支持台３７と、Ｙ軸押圧部３８と、Ｚ軸クランプ部３９と、を備えている。基板搬送コンベア３１は、図２に示すように、１対のサイドフレーム３０ｂの各々に設けられたコンベヤベルトと、コンベヤベルトを周回駆動させるベルト周回装置とを備えている。なお、印刷装置２０は、図示は省略したが、基板搬送コンベア３１の基板搬送経路の上流側及び下流側（図１の左右側）にもそれぞれ搬入コンベアと搬出コンベアとが内設されている。基板ガイド３２は、１対のサイドフレーム３０ｂの各々の上面に設けられた板状部材である。基板ガイド移動部３３は、１対のサイドフレーム３０ｂを前後方向に移動させて互いに接近・離間させる機構である。これにより、基板ガイド３２も前後方向に移動し、基板Ｓの上面と基板ガイド３２の上面とが面一の状態で基板Ｓを挟み固定する。支持台昇降部３５は、第１基板固定部３０の本体３０ａに対して支持台３７を昇降する機構であり、支持台３７を上下方向に導きこれを支持する支柱と、支柱を上下動させる駆動モータとを備える。支持台３７は、基板支持部材７０を配置可能な部材である。基板支持部材７０は、基板Ｓに応じて交換される。

基板支持部材７０は、支持台３７上に配置され、図示しない減圧装置に配管で接続されて、負圧により基板Ｓを下面側から支持しつつ吸着固定する部材である。基板支持部材７０は、図５に示すように、本体部７０ａと、本体部７０ａの左右から突出するように配設された円柱状の一対の突起部７１，７１と、突起部７１よりも前方に配設された一対の突起部７２，７２と、本体部７０ａの上面に開口する複数の吸引口７３と、傾斜した上面を有し本体部７０ａの後方に突出している被クランプ部７４と、を備えている。また、本体部７０ａの上面には、位置認識用の識別部７５（例えばマーク）と、基板支持部材７０の種別認識用のバーコード７６とが形成されている。

固定部昇降部３６は、装置本体に対して第１基板固定部３０の全体を昇降する機構であり、第１基板固定部３０の本体を上下方向に導きこれを支持する支柱と、支柱を上下動させる駆動モータとを備える。Ｙ軸押圧部３８（図２参照）は、基板支持部材７０の位置決めに用いられる機構であり、支持台３７に配設されている。Ｙ軸押圧部３８は、前後方向に移動可能であり基板支持部材７０を後方に押圧して移動させるブロック状の本体と、本体を前後に移動させる図示しないシリンダーなどの駆動機構とを備えている。また、Ｙ軸押圧部３８は基板支持部材７０への負圧の供給機構も兼ねており、本体の後方には、図示しない減圧装置に配管で接続された吸引口が配設されている。Ｙ軸押圧部３８の本体が基板支持部材７０に押圧されることで、減圧装置から吸引口７３までの経路が接続され、負圧が吸引口７３に供給される。Ｚ軸クランプ部３９は、基板支持部材７０の固定に用いられる機構であり、後方のサイドフレーム３０ｂに配設されている。Ｚ軸クランプ部３９は、上下方向に移動可能なブロック状の本体と、本体を上下に移動させるシリンダーなどの駆動機構とを備えている。下方に移動したＺ軸クランプ部３９の本体は、支持台３７と共に基板支持部材７０の被クランプ部７４を挟持して基板支持部材７０を固定する。また、Ｚ軸クランプ部３９の前方には上下左右方向に沿った支持板３９ａが配設されている。基板ガイド移動部３３によりサイドフレーム３０ｂが前後に移動すると、Ｚ軸クランプ部３９及び支持板３９ａも前後に移動し、これにより基板支持部材７０の前後方向の固定位置が変更できるようになっている。

第２基板固定部４０は、第１基板固定部３０に併設され、第１基板固定部３０と同様に基板Ｓを搬送固定するユニットである。第２基板固定部４０は、印刷処理の第２レーンを構成する。この第２基板固定部４０は、本体４０ａ、サイドフレーム４０ｂを有し、基板搬送コンベア４１、基板ガイド４２、基板ガイド移動部４３、支持台昇降部４５、固定部昇降部４６、支持台４７、Ｙ軸押圧部４８及びＺ軸クランプ部４９を備えている。また、支持台４７には基板支持部材７０を配置可能である。この第２基板固定部４０は、基本構成が第１基板固定部３０と同様であるものとしてその説明を割愛する。印刷装置２０は、第１基板固定部３０と第２基板固定部４０との２つの基板搬送装置と、１つのマスク作業部２６とを備えた構成となっている。

処理部５０は、基板Ｓ上に形成された位置認識用の識別部（例えばマークや切り欠き、凹凸、文字など）などを撮像する撮像処理を実行するユニットである。この処理部５０は、キャリッジ５１と、処理部移動部５２と、位置情報取得部５５と、を備えている。また、処理部５０は、基板搬送コンベア３１，４１により右方向に搬送された基板Ｓを左右方向の所定位置で停止させるための基板ストッパー５６を備えている。キャリッジ５１は、位置情報取得部５５と基板ストッパー５６とが配設されており、処理部移動部５２によってＸＹ方向に移動する。処理部移動部５２は、Ｘ軸スライダ５３とＹ軸スライダ５４とを備えている。Ｙ軸スライダ５４は、Ｘ軸方向を長手方向とする板状部材であり、装置のＹ軸方向（前後方向）に形成された支持レール５８に沿って移動モータにより移動する。Ｘ軸スライダ５３は、キャリッジ５１が配設されており、Ｙ軸スライダ５４上でＸ軸方向に形成されたガイドに沿って移動モータにより移動する。この処理部５０は、第１レーンである第１基板固定部３０の領域（第１領域ともいう）と、第２レーンである第２基板固定部４０の領域（第２領域ともいう）と、これらから外れた退避領域（図１～３参照）とのいずれかに移動する。位置情報取得部５５は、基板Ｓに形成された識別部と、スクリーンマスクＭの下面に形成された識別部と、基板支持部材７０の識別部７５とを撮像可能であり、撮像によりこれらの位置情報を取得するユニットである。位置情報取得部５５は、その下面側と、その上面側とが撮像領域である。基板ストッパー５６は、例えば棒状の部材であり、図示しないモーターにより昇降可能にキャリッジ５１に配設されている。この基板ストッパー５６は、第１，第２基板固定部３０，４０の上方で支持レール５８よりも下方に突出した状態となることにより、基板搬送コンベア３１，４１により基板支持部材７０の上方に搬送された基板Ｓに当接して、基板Ｓを停止させる。

収納部６０は、印刷装置２０本体の後方に配設されており、スクリーンマスクＭや基板支持部材７０の自動交換の際に交換対象（搬入対象及び搬出対象）の部材を収納する機構である。収納部６０は、前方が開口した収納箱と、収容箱を昇降させるコンベア昇降部６２と、を備えている。収容箱内には、載置された物体を前後方向に搬送する一対の搬送コンベア６１が上下に複数段（本実施形態では４段）配設されている。４段の搬送コンベア６１のうち３つには、マスク作業部２６への搬入対象のスクリーンマスクＭと、第１，第２基板固定部３０，４０への搬入対象の基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０と、第１，第２基板固定部３０，４０からの搬出対象の基板支持部材７０を取り付けるための搬送治具８０と、が予め作業者によって収納されている。また、残り１段の搬送コンベア６１は、マスク作業部２６からの搬出対象のスクリーンマスクＭを収納できるように空けられている。この収納部６０は、コンベア昇降部６２によっていずれかの搬送コンベア６１の上面が搬送レール２９の上面と同じ高さになるようにし、その状態で搬送コンベア６１を動作させることで、搬送コンベア６１上に載置された部材をマスク作業部２６内に搬入したり、マスク作業部２６から部材を搬出したりする。

搬送治具８０は、搬送コンベア６１や搬送ロッド２５ａを用いて基板支持部材７０を搬送可能にするための部材である。搬送治具８０は、図５に示すように、枠体８５の内側に第１～第４突起保持部８１～８４が後方から前方に向かってこの順で配設されている。第１～第４突起保持部８１～８４は、それぞれ左右方向に１対ずつ配設されており、枠体８５の下方に伸びる腕部の先端に配設されている。搬送治具８０は、図２に示すように、第１，第２突起保持部８１，８２により基板支持部材７０を１つ取り付け可能であり、第３，第４突起保持部８３，８４により基板支持部材７０を１つ取り付け可能である。第１～第４突起保持部８１～８４の上面には基板支持部材７０の突起部７１や突起部７２の外径よりもわずかに大きい凹部が形成されている。この凹部に突起部７１，７２が載置されることで、搬送治具８０は基板支持部材７０の前後方向の位置を固定しつつ搬送可能である。なお、基板支持部材７０は、支持する基板Ｓの種別に応じて複数種が存在するが、いずれも突起部７１，７２の外径は同じとした。また、第２突起保持部８２，第４突起保持部８４は前後方向の位置を調整することができ、これにより大きさ（突起部７１，突起部７２間の距離）の異なる複数種の基板支持部材７０を取り付け可能である。搬送治具８０は、スクリーンマスクＭのマスク固定部２７と左右方向の幅が略同一になっている。これにより、搬送治具８０はスクリーンマスクＭと同じ搬送レール２９に沿って搬送可能である。また、搬送治具８０とスクリーンマスクＭとで同じ収納部６０を用いることができるため、搬送治具８０とスクリーンマスクＭとの前後方向の長さが近い方が好ましい。なお、搬送治具８０には枠体８５や突出保持部の大きさなどが異なる複数種類が存在していてもよく、枠体８５の上面には搬送治具８０の種別認識用のバーコード８６が取り付けられている。

次に、印刷装置２０がスクリーンマスクＭや基板支持部材７０の自動交換を実行しつつ基板Ｓに印刷処理を実行する処理について説明する。図６は、制御部２１のＣＰＵが実行する印刷処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。図７～９は、スクリーンマスクＭ及び基板支持部材７０の交換処理の様子を示す説明図である。図１０は、基板Ｓの搬送、吸着、及び印刷処理の説明図である。

印刷処理ルーチンは、制御部２１のＨＤＤに記憶され、作業者が印刷装置２０に印刷処理を指示したあと実行される。印刷処理ルーチンを実行すると、制御部２１のＣＰＵは、まず、マスク作業部２６に存在するスクリーンマスクＭや第１，第２基板固定部３０，４０に存在する基板支持部材７０の交換処理、すなわち段取り替えが必要か否かを判定する（ステップＳ１００）。制御部２１は、例えば管理ＰＣ９０から取得した印刷処理に関する情報に基づいて、印刷処理に必要なスクリーンマスクＭや基板支持部材７０が前回と今回とで異なるか否かによって、段取り替えが必要か否かを判定する。なお、段取り替えが必要な場合、図２に示したように収納部６０には、搬入対象のスクリーンマスクＭと、搬入対象の基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０と、搬出対象の基板支持部材７０を取り付けるための搬送治具８０と、が予め作業者によって収納されているものとする。なお、作業者は、必要に応じてバーコード７６やバーコード８６をバーコードリーダーで読み取って正しい部材が収納部６０に収納されているかの照合を行う。また、作業者は、搬出対象の基板支持部材７０を取り付けるための搬送治具８０については、予め第２突起保持部８２及び第４突起保持部８４の前後方向の位置を調整しておく。

ステップＳ１００で段取り替えが必要な場合には、制御部２１は、搬出対象のスクリーンマスクＭのマスク作業部２６から搬出するマスク搬出処理を行う（ステップＳ１１０）。制御部２１は、搬送ロッド２５ａを移動させて、図７（ａ）に示すようにマスク作業部２６に存在する搬出対象のスクリーンマスクＭを搬送レール２９に対して摺動させつつ後方に搬送する。また、コンベア昇降部６２及び搬送コンベア６１を制御して、空いている搬送コンベア６１に搬出対象のスクリーンマスクＭを載置する。なお、基板支持部材７０の交換処理を行うためにはマスク作業部２６内のスクリーンマスクＭを一度搬出する必要があるため、制御部２１は、スクリーンマスクＭが交換対象ではない場合でもスクリーンマスクＭの搬出処理を行う。

続いて、制御部２１は、搬出対象の基板支持部材７０を第１，第２基板固定部３０，４０から搬出する支持部材搬出処理を行う（ステップＳ１２０）。制御部２１は、まず、コンベア昇降部６２及び搬送コンベア６１を制御して空の搬送治具８０を搬送レール２９上に搬入し、さらに搬送ロッド２５ａを前方に移動させて第１，第２基板固定部３０，４０の上方まで搬送治具８０を搬送する（図７（ｂ））。このとき、制御部２１は、第１～第４突起保持部８１～８４が基板支持部材７０の突起部７１，７２の直上から前後方向（例えば後方）にずれて位置するようにする。続いて、制御部２１は、支持台３７，４７上の基板支持部材７０の固定を解除する。具体的には、制御部２１は、Ｙ軸押圧部３８，４８を前方に移動させ、Ｚ軸クランプ部３９，４９を上方に移動させると共に、基板ガイド移動部３３，４３により一対のサイドフレーム３０ｂ，４０ｂを前後に離間させる（図７（ｃ））。次に、制御部２１は、支持台昇降部３５，４５及び固定部昇降部３６，４６により支持台３７，４７上の基板支持部材７０をそれぞれ上昇させる（図８（ａ））。これにより、基板支持部材７０の突起部７１，７２が第１～第４突起保持部８１～８４よりも上方まで上昇する。続いて、制御部２１は、搬送ロッド２５ａにより搬送治具８０を前方に移動させて、支持台３７上の基板支持部材７０の突起部７１，７２の真下に第１，第２突起保持部８１，８２が位置し、支持台４７上の基板支持部材７０の突起部７１，７２の真下に第３，第４突起保持部８３，８４が位置するようにする（図８（ｂ））。そして、制御部２１は、支持台３７，４７を下降させる。これにより、２つの基板支持部材７０は突起部７１，７２が第１～第４突起保持部８１～８４上に保持されて、搬送治具８０に取り付けられた状態になる（図８（ｃ））。その後、制御部２１は、固定部昇降部３６，４６により第１，第２基板固定部３０，４０全体を下降させて、搬出対象の２つの基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０を搬送ロッド２５ａにより後方に移動させる（図９）。そして、制御部２１は、基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０をそのまま空いている搬送コンベア６１に載置する。以上のように、制御部２１は、搬送治具８０の前後の搬送と支持台３７，４７の昇降とを組み合わせて、基板支持部材７０の支持部材搬出処理を行う。

ステップＳ１２０の支持部材搬出処理のあと、制御部２１は、搬入対象の基板支持部材７０を第１，第２基板固定部３０，４０に搬入する支持部材搬入処理を行う（ステップＳ１３０）。この処理は、上述した支持部材搬出処理と逆の手順で行うことができる。すなわち、制御部２１は、まず、搬入対象の基板支持部材７０が２つ取り付けられた搬送治具８０を前方に搬送し（図９）、基板支持部材７０を支持台３７，４７の上方まで搬送し（図８（ｃ））、支持台３７，４７を上昇させて突起部７１，７２を第１～第４突起保持部８１～８４から浮き上がらせる（図８（ｂ））。続いて、制御部２１は、搬送治具８０を後方に移動させてから（図８（ａ））、支持台３７，４７を下降させる（図７（ｃ））。次に、制御部２１は、搬送治具８０を後方に移動させて搬出すると共に、支持台３７，４７上で基板支持部材７０を位置決めして固定する（図７（ｂ））。具体的には、まず、制御部２１は、基板ガイド移動部３３，４３により一対のサイドフレーム３０ｂ，４０ｂを前後に接近させて、支持板３９ａ，４９ａを所定位置まで移動させる。支持板３９ａ，４９ａを移動させる前後方向の位置は、印刷対象の基板Ｓの種類や基板支持部材７０の種類などに応じて予め定められており、例えば管理ＰＣ９０から取得する。続いて、制御部２１は、Ｙ軸押圧部３８，４８を後方に移動させて、支持台３７，４７上の基板支持部材７０をそれぞれ支持板３９ａ，４９ａに当接するまで後方に移動させる。このように、支持板３９ａ，４９ａとＹ軸押圧部３８，４８とを前後に移動させることで、搬送治具８０から取り外した基板支持部材７０の位置が前後にずれていたとしても、基板支持部材７０を適切な位置に位置決めすることができる。基板支持部材７０をそれぞれ支持板３９ａ，４９ａに当接させると、制御部２１は、Ｚ軸クランプ部３９，４９を下方に移動させて被クランプ部７４を押圧させ、支持台３７，４７上の基板支持部材７０の位置を固定する。以上のように、制御部２１は、搬送治具８０の前後の搬送と支持台３７，４７の昇降とを組み合わせて、基板支持部材７０の支持部材搬入処理を行う。また、制御部２１は、基板支持部材７０の前後方向の位置決めを行う。

ステップＳ１３０の支持部材搬出処理のあと、制御部２１は、搬入対象のスクリーンマスクＭをマスク作業部２６に搬入するマスク搬入処理を行う（ステップＳ１４０）。制御部２１は、マスク搬出処理とは逆の手順でこの処理を行う。すなわち、制御部２１はまずコンベア昇降部６２及び搬送コンベア６１を制御して搬入対象のスクリーンマスクＭを搬送レール２９上まで搬送し、搬送ロッド２５ａによりスクリーンマスクＭを前方に移動させてマスク作業部２６に搬入する。なお、スクリーンマスクＭが交換対象でない場合には、マスク搬出処理で搬出したスクリーンマスクＭを搬入する。

ステップＳ１１０～Ｓ１４０の処理を行ってスクリーンマスクＭ及び基板支持部材７０の交換処理が終了すると、制御部２１は、搬入した基板支持部材７０の左右方向の位置情報を取得し（ステップＳ１５０）、取得した位置情報に基づいて基板Ｓの停止位置の補正値を決定する（ステップＳ１６０）。制御部２１は、図１０（ａ）に示すようにキャリッジ５１を支持台３７の上方に移動させ、基板支持部材７０の上面の識別部７５を位置情報取得部５５に撮像させる。そして、制御部２１は、位置情報取得部５５から取得した画像における識別部７５の位置に基づいて、支持台３７上での基板支持部材７０の左右方向（基板Ｓの搬送方向）の位置ずれを求め、基板Ｓの搬送時の停止位置の補正値を導出してＲＡＭなどに記憶する。ここで、支持台３７上で基板支持部材７０が基板Ｓの搬送方向にずれていると、基板Ｓの停止位置によっては基板Ｓの吸着固定に不具合が生じる場合がある。制御部２１は、基板支持部材７０の位置が左右方向にずれていた場合には、その分だけ基板Ｓの停止位置も補正して、基板支持部材７０と基板Ｓとの位置関係が変わらないようにするのである。制御部２１は、支持台４７上の基板支持部材７０についても、同様に位置情報の取得及び補正値の導出を行う。

ステップＳ１６０の後、又はステップＳ１００で段取り替えが不要な場合には、制御部２１は、基板搬送コンベア３１を駆動して第１基板固定部３０（第１レーン）へ基板Ｓを搬送させ、基板Ｓを基板支持部材７０に吸着させる（ステップＳ１７０）。第１基板固定部３０へ基板Ｓを搬送させる際には、制御部２１は、キャリッジ５１を前後左右に移動させると共に基板ストッパー５６を下降させ、右方に搬送されてきた基板Ｓを基板支持部材７０上の所定の停止位置で停止させる（図１０（ｂ））。このとき、ステップＳ１６０で導出した補正値があるときには、補正値を加味した位置に基板ストッパー５６を移動させる。また、制御部２１は、支持台３７を上昇させて、停止した基板Ｓの下面に基板支持部材７０の上面を当接させ、減圧装置からの負圧により基板Ｓを吸着固定する。

続いて、制御部２１は、位置情報取得部５５により基板Ｓ及びスクリーンマスクＭの識別部の撮像処理を行い（ステップＳ１８０）、得られた画像に基づいて基板ＳとスクリーンマスクＭのパターン孔１１とが適正な位置になるよう位置調整を行う（ステップＳ１９０）。そして、制御部２１は、第１基板固定部３０での印刷を開始する（ステップＳ２００、図１０（ｃ））。制御部２１は、第１基板固定部３０を上昇させて基板Ｓの上面とスクリーンマスクＭの下面に当接させる。そして、第１レーン側のスクリーンマスクＭ上に印刷ヘッド２３を移動し、印刷ヘッド２３からはんだペーストを加圧吐出させ、スキージ２５を前後に移動させてはんだペーストを基板Ｓ上に印刷する。

第１基板固定部３０での印刷処理の後、制御部２１は、生産処理が完了したか否かを、次に印刷すべき基板Ｓがあるか否かに基づいて判定する（ステップＳ２１０）。生産処理が完了していないときには、第２基板固定部４０を用いて基板Ｓの搬送やスクリーンマスクＭの位置調整、印刷処理などを行う（ステップＳ２２０～２５０）。この処理は、上述した第１基板固定部３０での処理（ステップＳ１７０～２００）と同様であるため、具体的な説明を省略する。ステップＳ２５０の後、制御部２１は、生産が完了したか否かを判定し（ステップＳ２６０）、完了していないときにはステップＳ１００移行の処理を実行する。すなわち、必要に応じて段取り替えを行いながら、第１，第２基板固定部３０，４０に固定した基板Ｓへの印刷処理を順次実行する。ステップＳ２１０又はＳ２６０で生産処理が完了したときには、制御部２１は本ルーチンを終了する。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の搬送ロッド２５ａが本発明の支持部材搬送部に相当し、制御部２１が交換制御部に相当する。また、第１，第２基板固定部３０，４０が基板固定部に相当し、Ｙ軸押圧部３８，４８，基板ガイド移動部３３，４３，及び支持板３９ａ，４９ａが位置決め部に相当し、基板搬送コンベア３１，４１が基板搬送部に相当し、位置情報取得部５５が位置情報取得部に相当し、制御部２１及び基板ストッパー５６が補正部に相当し、支持台３７，４７が支持台に相当し、支持台昇降部３５，４５及び固定部昇降部３６，４６が支持部材昇降部に相当し、搬送治具８０が搬送治具に相当する。

以上詳述した実施形態の印刷装置２０は、スクリーンマスクＭ及び基板支持部材７０を搬出入する支持部材搬送部（搬送ロッド２５ａ）を備えている。そして、この印刷装置２０では、この搬送ロッド２５ａを用いて、基板支持部材７０の搬出及び搬入を含む支持部材交換処理（ステップＳ１２０，Ｓ１３０）を実行可能であり、基板支持部材７０の自動交換を行うことができる。また、この印刷装置２０は、搬送ロッド２５ａを用いて、スクリーンマスクＭの搬出及び搬入を行うマスク交換処理（ステップＳ１１０，Ｓ１４０）を行うこともできる。すなわち、同じ搬送ロッド２５ａを用いて基板支持部材７０の自動交換とスクリーンマスクＭの自動交換とを共に行うことができる。したがって、例えば印刷装置２０がスクリーンマスク交換用の搬送部と基板支持部材交換用の搬送部とを別々に備える場合と比較して、装置構成をコンパクトにすることができる。

また、印刷装置２０は、基板支持部材７０を配置可能であり、印刷処理を行う際に配置された基板支持部材７０により基板Ｓを固定する第１，第２基板固定部３０，４０と、第１，第２基板固定部３０，４０に配置された基板支持部材７０を移動させて基板支持部材の水平方向の位置決めを行う位置決め部（Ｙ軸押圧部３８，４８，基板ガイド移動部３３，４３，及び支持板３９ａ，４９ａ）と、を備えている。そして、制御部２１は、支持部材搬入処理において、搬送ロッド２５ａを制御して搬入対象の基板支持部材７０を第１，第２基板固定部３０，４０まで搬送し、Ｙ軸押圧部３８，４８，基板ガイド移動部３３，４３，及び支持板３９ａ，４９ａを制御して搬送された基板支持部材７０の前後方向の位置決めを行う。したがって、支持部材搬入処理で搬入された基板支持部材７０の第１，第２基板固定部３０，４０内での前後方向の位置ずれを抑制できる。

さらに、印刷装置２０は、第１，第２基板固定部３０，４０と、基板Ｓを所定の基板搬送方向（左右方向）に搬送する基板搬送コンベア３１，４１と、第１，第２基板固定部３０，４０に配置された基板支持部材７０の基板搬送方向の位置に関する位置情報を取得する位置情報取得部５５と、を備えている。そして、印刷装置２０は、取得された位置情報に基づいて、基板搬送コンベア３１，４１が基板Ｓを搬送する際の基板支持部材７０上の停止位置を補正する補正部（制御部２１及び基板ストッパー５６）を備えている。これにより、支持部材搬入処理で第１，第２基板固定部３０，４０に搬入された基板支持部材７０の位置が基板搬送方向にずれていた場合でも、位置情報に基づいて基板Ｓの停止位置を補正できる。したがって、基板支持部材７０による基板Ｓの固定に不具合が生じるのを抑制できる。

さらにまた、印刷装置２０は、基板支持部材７０を配置可能な支持台３７，４７を有し、印刷処理を行う際に配置された基板支持部材７０により基板Ｓを固定する第１，第２基板固定部３０，４０と、支持台３７，４７を昇降させることで支持台３７，４７に配置された基板支持部材７０を昇降させる支持台昇降部３５，４５及び固定部昇降部３６，４６と、を備えている。そして、搬送ロッド２５ａは、基板支持部材７０を取り付け可能な搬送治具８０を搬出入し、制御部２１は、支持部材搬出処理において、搬送ロッド２５ａ及び支持台昇降部３５，４５，固定部昇降部３６，４６を制御して、搬送治具８０を搬送して第１，第２基板固定部３０，４０の上方まで搬送し、支持台３７，３８に配置された搬出対象の基板支持部材７０を上昇させて搬送治具８０に取り付け、取り付け後の搬送治具８０を搬出する処理を行う。また、制御部２１は、支持部材搬入処理において、搬送ロッド２５ａ及び支持台昇降部３５，４５，固定部昇降部３６，４６を制御して、搬入対象の基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０を第１，第２基板固定部３０，４０の上方まで搬送し、支持台３７，４７を上昇させて搬入対象の基板支持部材７０を搬送治具８０から取り外して支持台３７，４７上に配置し、取り外し後の搬送治具８０を搬出する処理を行う。こうすれば、例えば基板支持部材７０の形状や大きさが搬送ロッド２５ａによる搬送に適さない場合でも、搬送治具８０を用いて基板支持部材７０を搬送することで支持部材交換処理を行うことができる。本実施形態の印刷装置２０では、搬送ロッド２５ａがスクリーンマスクＭと基板支持部材７０とを共に搬送するが、スクリーンマスクＭよりも基板支持部材７０は左右方向の幅が小さいため、搬送レール２９上を摺動させて基板支持部材７０を直接搬送ロッド２５ａにより搬送することはできない。このようにスクリーンマスクＭと基板支持部材７０との形状や大きさが異なる場合に、搬送治具８０を用いる意義が高い。

そしてまた、印刷装置２０は、基板固定部として第１基板固定部３０と第２基板固定部４０とを有しており、支持部材昇降部として支持台３７を昇降させる第１支持部材昇降部（支持台昇降部３５及び固定部昇降部３６）と、支持台４７を昇降させる第２支持部材昇降部（支持台昇降部４５及び固定部昇降部４６）と、を有している。また、搬送ロッド２５ａは、基板支持部材７０を複数取り付け可能な搬送治具８０を搬出入する。そして、制御部２１は、支持部材搬出処理において、搬送ロッド２５ａ及び支持台昇降部３５，４５，固定部昇降部３６，４６を制御して、搬送治具８０を搬入し、支持台３７，４７に配置された搬出対象の基板支持部材７０の各々を上昇させて搬送治具８０に取り付け、取り付け後の搬送治具８０を搬出する処理を行う。また、制御部２１は、支持部材搬入処理において、搬送ロッド２５ａ及び支持台昇降部３５，４５，固定部昇降部３６，４６を制御して、支持台３７，支持台４７にそれぞれ配置する搬入対象の基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０を搬入し、支持台３７，４７を上昇させて搬入対象の基板支持部材７０の各々を搬送治具８０から取り外して支持台３７，４７上にそれぞれ配置し、取り外し後の搬送治具８０を搬出する処理を行う。これにより、制御部２１は、支持台３７に配置される基板支持部材７０の交換と支持台４７に配置される基板支持部材７０の交換とを並行して行う。こうすることで、１回の搬送治具８０の搬出入で支持台３７，４７に配置された搬出対象の基板支持部材７０を共に搬出でき、１回の搬送治具８０の搬出入で支持台３７，４７に配置する搬入対象の基板支持部材７０を共に搬入できるため、支持部材交換処理に要する時間を短縮できる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、制御部２１は、２つの基板支持部材７０を取り付け可能な搬送治具８０を用いて、支持台３７に配置される基板支持部材７０の交換と支持台４７に配置される基板支持部材７０の交換とを並行して行ったが、これに限られない。例えば、支持台３７，４７上のいずれか一方の基板支持部材７０のみを交換してもよい。また、この場合、制御部２１は、支持部材搬入処理と支持部材搬出処理とを並行して行ってもよい。図１１は、支持部材搬入処理と支持部材搬出処理とを並行して行う様子を示す説明図である。ここでは、第２基板固定部４０の基板支持部材７０を交換する場合について説明する。制御部２１は、まず、搬入対象の基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０を第２基板固定部４０の上方まで搬送する（図１１（ａ））。続いて、制御部２１は、支持台４７に配置された搬出対象の基板支持部材７０を上昇させて搬送治具８０に取り付ける（図１１（ｂ）。次に、制御部２１は、取り付け後の搬送治具８０をさらに前方に搬送して支持台４７の上方に搬入対象の基板支持部材７０を搬送し、支持台４７を上昇させて搬入対象の基板支持部材７０を搬送治具８０から取り外して支持台４７上に配置する（図１１（ｃ）。そして、制御部２１は、取り外し後の搬送治具８０（搬出対象の基板支持部材７０が取り付けられた搬送治具８０）を後方に搬出する。こうすれば、１回の搬送治具８０の搬出入で基板支持部材７０の搬出と搬入とを行うことができる。したがって、支持部材交換処理に要する時間を短縮できる。

上述した実施形態では、印刷装置２０は、搬送ロッド２５ａを用いてスクリーンマスクＭと基板支持部材７０とを共に搬出入可能であったが、これに限られない。基板支持部材７０の搬出入を行う支持部材搬送部を備えていれば、少なくとも基板支持部材交換処理を行うことはできる。また、この場合でも、第１，第２基板固定部３０，４０に配置された基板支持部材７０を移動させて基板支持部材の水平方向の位置決めを行うことで、基板支持部材７０の第１，第２基板固定部３０，４０内での前後方向の位置ずれを抑制する効果が得られる。なお、上述した実施形態では基板支持部材７０の交換を行う印刷装置２０として説明したが、基板支持部材交換処理を行うものであれば、印刷装置に限られない。本発明は、基板支持部材上に固定された基板に対して対基板作業を行う対基板作業装置について、適用可能である。印刷装置以外の対基板作業装置としては、例えば、基板上への部品の実装処理を行う実装装置が挙げられる。また、上述した実施形態では、印刷装置２０は、支持部材搬送部として搬送ロッド２５ａを備えていたが、基板支持部材７０の搬出入を行うことができれば、どのような支持部材搬送部を備えていてもよい。例えば、支持部材搬送部は、コンベヤベルトとコンベヤベルトを周回駆動させるベルト周回装置とを備えた支持部材搬送コンベアであってもよい。

上述した実施形態では、搬送治具８０を用いて基板支持部材７０を搬送したが、例えば搬送レール２９と搬送ロッド２５ａとを用いて基板支持部材７０を搬送可能であれば、搬送治具８０を用いなくてもよい。

上述した実施形態では、Ｙ軸押圧部３８，基板ガイド移動部３３，及び支持板３９ａを用いて基板支持部材７０の前後方向の位置決めを行うものとしたが、水平方向の位置決めを行うものであればこれに限られない。例えば、前後方向の位置決めに加えて又は代えて、左右方向の位置決めもおこなってもよい。

上述した実施形態では、基板支持部材７０の突起部７１，７２は円柱状としたが、搬送治具８０への取り付け及び取り外しができればこれに限られない。例えば、突起部は四角柱形状としてもよいし、板状としてもよいし、２本の円柱を隣接させた１つの部材としてもよい。また、突起部の数も、左右に２本ずつとしたが、これに限らず左右の各々に１本や３本以上の突起部があってもよい。

上述した実施形態では、第１～第４突起保持部８１～８４は凹部により突起部７１，７２を保持したが、搬送治具８０への取り付け及び取り外しができればこれに限られない。例えば、搬送治具８０が枠体８５の内側に突出する一対の板状部材を備えているものとし、この板状部材の上面に突起部７１，７２を載置することで搬送治具８０への基板支持部材７０の取り付けを行ってもよい。また、搬送治具８０から基板支持部材７０を取り外す際には、基板支持部材７０の上昇と搬送治具８０の搬送とを組み合わせたが、これに限られない。例えば、搬送治具８０が、下方に押下可能なボタンと、ボタンの上下に伴って軸回転し上下方向の運動を左右方向の運動に変換するレバーと、レバーの回転に伴って左右方向に移動する板状部材と、を備えた板状部材移動機構を備えていてもよい。この場合、前後一対の板状部材移動機構の板状部材に基板支持部材７０を載置して搬送し、例えば搬送ロッド２５ａなどで一対の板状部材移動機構のボタンを押下して一対の板状部材を左右に離間させ、これにより搬送治具８０から基板支持部材７０を取り外してもよい。このような機構を採用すれば、搬送治具８０から基板支持部材７０を取り外す際に搬送治具８０を前後に搬送する動作は必要ない。

上述した実施形態では、印刷装置２０は収納部６０を備えるものとしたが、印刷装置２０が収納部６０を備えなくてもよい。また、印刷装置２０は、第１，第２基板固定部３０，４０を有するデュアルレーンの印刷装置としたが、これに限られない。例えば、印刷装置２０は、基板固定部を１つ有するシングルレーンの印刷装置としてもよい。

上述した実施形態では、基板支持部材７０は、負圧により基板Ｓを下面側から支持しつつ吸着固定する部材としたが、基板を固定する部材であればよい。例えば、基板支持部材は、基板支持部材は上面に立設された複数の突起部（バックアップピン）を備えており、基板支持部材がこの突起部により基板Ｓを下方から支持及び固定してもよい。

本発明は、部品を基板に実装する実装装置や実装装置に関する印刷装置など、基板に対して対基板作業を行う対基板作業装置に利用可能である。

１０実装システム、１１，１２パターン孔、２０印刷装置、２１制御部、２２印刷処理部、２３印刷ヘッド、２４ヘッド移動部、２５スキージ、２５ａ搬送ロッド、２６マスク作業部、２７マスク固定部、２８位置調整部、２９搬送レール、３０第１基板固定部、３０ａ本体、３０ｂサイドフレーム、３１基板搬送コンベア、３２基板ガイド、３３基板ガイド移動部、３５支持台昇降部、３６固定部昇降部、３７支持台、３８Ｙ軸押圧部、３９Ｚ軸クランプ部、３９ａ支持板、４０第２基板固定部、４０ａ本体、４０ｂサイドフレーム、４１基板搬送コンベア、４２基板ガイド、４３基板ガイド移動部、４５支持台昇降部、４６固定部昇降部、４７支持台、４８Ｙ軸押圧部、４９Ｚ軸クランプ部、４９ａ支持板、５０処理部、５１キャリッジ、５２処理部移動部、５３Ｘ軸スライダ、５４Ｙ軸スライダ、５５位置情報取得部、５６基板ストッパー、５８支持レール、６０収納部、６１搬送コンベア、６２コンベア昇降部、７０基板支持部材、７０ａ本体部、７１，７２突起部、７３吸引孔、７４被クランプ部、７５識別部、７６バーコード、８０搬送治具、８１～８４第１～第４突起保持部、８５枠体、８６バーコード、９０管理ＰＣ、Ｍ，Ｍ２スクリーンマスク、Ｓ基板。

Claims

基板支持部材上に固定された基板に対して対基板作業を行う対基板作業装置であって、
前記基板を所定の基板搬送方向に搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送部に対して前記基板搬送方向から外れた位置に設けられ、前記基板支持部材を取り付け可能な搬送治具を収納する収納部と、
前記搬送治具を用いて前記基板支持部材を搬送する支持部材搬送部と、
前記基板支持部材を配置可能な支持台を有し、前記対基板作業を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記支持台を昇降させることで該支持台に配置された基板支持部材を昇降させる支持部材昇降部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬入対象の前記基板支持部材が取り付けられた前記搬送治具を前記収納部から前記基板搬送方向と直交する方向に移動させて前記支持台の上方まで搬送し、前記支持部材昇降部を制御して該支持台を上昇させることにより、搬入対象の前記基板支持部材を前記搬送治具から該支持台上に配置し、前記搬送治具を搬出する支持部材搬入処理を行う制御部と、
を備えた対基板作業装置。
基板支持部材上に固定された基板に対して対基板作業を行う対基板作業装置であって、
前記基板支持部材を取り付け可能な搬送治具を用いて前記基板支持部材を搬送する支持部材搬送部と、
前記基板支持部材を配置可能な支持台を有し、前記対基板作業を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記支持台を昇降させることで該支持台に配置された基板支持部材を昇降させる支持部材昇降部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬入対象の前記基板支持部材が取り付けられた前記搬送治具を前記支持台の上方まで搬送し、前記支持部材昇降部を制御して該支持台を上昇させることにより、搬入対象の前記基板支持部材を前記搬送治具から該支持台上に配置し、前記搬送治具を搬出する支持部材搬入処理を行う制御部と、
を備え、
前記搬送治具は、前記基板支持部材の一部を下方から支える保持部を備え、
前記制御部は、前記支持部材搬入処理において、前記支持部材昇降部を制御して該支持台を上昇させることにより、前記基板支持部材の前記一部を前記保持部から浮き上がらせ、前記支持部材搬送部を制御して前記搬送治具を移動させてから、前記支持台を下降させることにより、搬入対象の前記基板支持部材を前記搬送治具から該支持台上に配置する、
対基板作業装置。
前記制御部は、前記支持部材搬送部を制御して前記搬送治具を前記支持台の上方まで搬送し、前記支持部材昇降部を制御して搬出対象の前記基板支持部材が配置された前記支持台を上昇させて、搬出対象の前記基板支持部材を前記搬送治具に取り付けることにより搬出対象の前記基板支持部材を搬出する支持部材搬出処理を実行する、
請求項１又は２に記載の対基板作業装置。
請求項１～３のいずれか１項に記載の対基板作業装置であって、
前記搬送治具が前記基板支持部材を搬送する際に前記搬送治具をガイドする搬送レールを備えた対基板作業装置。
前記基板支持部材は、前記搬送治具の下端から突出した状態で前記搬送治具に取り付けられる、
請求項１～４のいずれか１項に記載の対基板作業装置。