KR101071174B1 - 기판 감지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기립상태로 이송하는 기판의 로딩상태를 매우 정확하게 감지할 수 있는 기판 감지장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 감지장치는 몸체; 상기 몸체의 일측에 고정설치되는 센서; 및 일측에는 상기 기판과 접촉하는 기판접촉부가 형성되고, 타측에는 상기 센서가 감지하는 센서감지부가 구비되며, 상기 기판접촉부가 상기 기판에 접촉하면 상기 몸체에 대하여 수평방향으로 회동하도록 결합되는 회동부재;를 포함한다.
기판. 기립. 감지. 자석.

Description

기판 감지장치{APPARATUS FOR SENSING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기립상태로 이송하는 기판의 로딩상태를 매우 정확하게 감지할 수 있는 기판 감지장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 웨이퍼 또는 유리 등의 기판에 다양한 처리를 하게 된다. 이 때, 상기 기판에 소정의 처리를 위하여 각 스테이지로 이송하거나 또는 이송하면서 공정을 수행하게 되는데, 이를 위해 기판 이송장치가 요구된다.
통상적으로 기판 이송장치는 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다.
따라서 종래에도 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정각도 기울어지게 기립시킨 상태에서 이송하는 방식이 개시되었는바, 도 1을 참조하여 종래 기립상태의 기판 이송장치(1)를 설명한다.
도시된 바와 같이, 상면에 기판지지부(20)가 고정설치된 컨베이어밸트(10) 와, 상기 컨베이어밸트(10)를 구동하는 구동부(11)와, 기판(S)을 기립상태로 유지시키는 기립유지수단(미도시)로 구성된다.
이와 같은 기판 이송장치에 기판이 이송되고 있는지 즉, 기판이 로딩상태를 감지하는 것은 매우 중요하다. 왜냐하면, 상기 기판 이송장치에 기판이 로딩여부 또는 로딩타임을 감지해야만 공정을 수행할 수 있고, 이송오류를 범하지 않을 수 있기 때문이다. 이를 위해 도 2a에 도시된 종래의 기판 감지장치(100) 등이 기판 이송장치의 일측에 구비된다.
도 2a를 참조하면, 수직으로 설치되는 몸체(110)와, 상기 몸체(110)의 일측에 고정설치되는 센서(120)와, 상기 몸체(110)에 수직방향으로 회동가능하게 축결합되는 회동부재(130)로 구성된다.
상기 센서(120)는 자석을 감지하는 센서이고, 상기 회동부재(130)의 일측에는 상기 센서(120)가 감지할 수 있는 자석(132)이 구비되며, 타측에는 기립상태로 이송(로딩)되는 기판(S)의 저면에 접하여 구름접촉하는 롤러(133)가 구비된다.
이와 같이 구성된 종래의 기판 감지장치(100)는 기판(S)이 이송되어 오면, 상기 롤러(133)에 기판의 두께면이 접하게 되고, 계속하여 기판이 이송되면 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 회동부재(130)는 축결합부(131)를 중심으로 수직방향으로 회동하게 된다.
이 상태에서는 상기 자석(132)이 센서(120)로부터 멀어지게 되어 상기 센서(120)가 감지하지 못하게 된다. 이 상태는 기판(S)이 이송(로딩)되고 있는 중임을 나타내는 것이다.
상기 기판(S)의 이송이 완료되어 기판 이송장치(1)로부터 언로딩되면, 상기 회동부재(130)는 자중에 의하여 반대방향으로 회전하여 원위치로 복귀하게 되는 것이다.
그러나 이와 같이 작동되는 종래의 기판 감지장치는 기판의 매우 얇은 두께면을 접촉하여야 반응하도록 구성되어 오작동 우려가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기립상태로 이송하는 기판의 로딩상태를 매우 정확하게 감지할 수 있는 기판 감지장치를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 감지장치는 몸체; 상기 몸체의 일측에 고정설치되는 센서; 및 일측에는 상기 기판과 접촉하는 기판접촉부가 형성되고, 타측에는 상기 센서가 감지하는 센서감지부가 구비되며, 상기 기판접촉부가 상기 기판에 접촉하면 상기 몸체에 대하여 수평방향으로 회동하도록 결합되는 회동부재;를 포함한다.
또한 상기 기판접촉부는 이송되는 상기 기판과 구름접촉하는 롤러인 것이 바람직하다.
또한 상기 회동부재를 원위치로 복귀시키는 복귀수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 복귀수단은 상기 몸체 및 회동부재에 각각 구비되는 자석인 것이 바람직하다.
또한 상기 자석은 다극 자석인 것이 바람직하다.
또한 상기 복귀수단은 상기 몸체 및 회동부재에 연결되는 탄성체인 것이 바람직하다.
또한 상기 센서는 자석감지센서인 것이 바람직하다.
또한 상기 센서감지부는 자석이 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 센서는 수발광센서인 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 기립상태로 이송하는 기판의 로딩상태를 매우 정확하게 감지할 수 있는 효과가 있다.
또한 기판의 언로딩시 자력 또는 탄성에 의해 원위치로 복귀시킬 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판 감지장치의 구성 및 작동을 설명한다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 기판 감지장치(200)는 수평상태로 설치되는 몸체(210)와, 상기 몸체(210)의 일측에 고정설치되는 센서(220)와, 상기 몸체(210)에 수평방향으로 회동하도록 결합되는 회동부재(230)로 구성된다.
상기 회동부재(230)는 수평방향으로 회동하도록 상기 몸체(210)에 축결합되며, 일측에는 기립상태로 이송(로딩)되는 기판(S)의 면과 구름접촉하는 롤러(233)가 구비되고, 타측에는 상기 센서(220)가 감지하는 센서감지부로서 자석(232)이 구비된다. 물론, 본 실시예에서 상기 센서(220)는 자석감지센서이다.
또한 상기 회동부재(230)와 몸체(210)는 이들의 축결합부(231) 주위에 자석(211)이 구비된다. 상기 자석(211,241)은 상호 인력 또는 척력에 의해 상기 회동 부재(230)를 원위치로 복귀시키는 기능을 한다.
도 4 및 도 5를 참조하여 본 실시예(200)의 작동상태를 설명한다.
먼저, 도 4와 같이, 기판(S)의 이송(로딩) 전에는 센서(220)가 회동부재(230)의 자석(232)을 감지할 수 있도록 근접하게 위치한다. 이때, 상기 자석(211, 241)은 각각 N극과 S극이 대향되도록 배치되므로 상호 인력이 작용한다.
이 상태에서 기판(S)이 이송(로딩)되어 오면 상기 기판(S)의 두께방향이 아닌 일면에 롤러(233)가 구름접촉하게 되고, 도 5와 같이, 계속하여 기판이 이송되면 상기 롤러(233)가 구름접촉하면서 상기 회동부재(230)는 축결합부(231)를 중심으로 수평방향으로 회동하게 된다. 이때, 상기 회동부재(230) 측에 마련되는 자석(241) 역시 수평방향으로 회동함으로써 상기 몸체(210) 측에 마련되는 자석(211)과 서로 같은 극끼리 대향되도록 배치되므로 각각의 자석(211, 241)에는 척력이 작용한다. 이와 같이 롤러(233)가 기판(S)의 두께방향이 아닌 면에 접촉하기 때문에 접촉오류가 발생할 여지가 거의 없다. 이 상태에서는 상기 자석(232)이 센서(220)로부터 멀어지게 되므로, 상기 센서(220)는 자석(232)을 감지할 수 없다. 이와 같이 센서(220)가 자석(232)을 감지하지 못하는 경우에는 기판이 이송(로딩) 중이라는 것을 나타낸다.
상기 기판(S)의 이송이 완료되어 언로딩되면, 상기 회동부재(230) 및 몸체(210)의 축결합부(231) 주위에 각각 구비되는 자석(211,241)의 인력 또는 척력의 작용으로 상기 회동부재(230)는 원위치로 복귀하게 된다. 구체적으로, 상기 기판(S)이 이송 중인 경우 상술한 바와 같이 각각의 자석(211, 241)에는 척력이 작용하는데, 상기 기판(S)이 언로딩되면 각각의 자석(211, 241)에 작용하는 척력에 의하여 상기 회동부재(230)는 원위치로 회동되고, 상기 회동부재(230)가 원위치로 회동됨에 따라 상기 자석(211, 241)은 다시 N극과 S극이 대향되도록 배치되므로 상호 인력이 작용하여 상기 회동부재(230)는 원위치로 복귀하게 된다. 따라서 상기 센서(220)는 회동부재(230)의 자석(232)을 감지하게 되고, 이 상태는 기판(S)이 언로딩되었다는 것을 나타낸다.
도시된 바와 달리, 본 발명에 의한 기판 감지장치는 다양한 변형이 가능하다. 예를 들어 상기 센서와 자석 대신 수발광 센서나 기타 공지의 센서 및 센서감지부로 대체할 수 있다. 또한 회동부재의 원위치로의 복귀를 위한 자석 대신 탄성체를 구비할 수도 있다. 예를 들어 양단이 회동부재와 몸체에 각각 연결되는 스프링으로 대체할 수 있는 것이다.
삭제
도 1은 종래 기판 이송장치를 나타낸 것이다.
도 2a 및 도 2b는 종래 기판 감지장치를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명에 의한 기판 감지장치의 정면도를 나타낸 것이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 의한 기판 감지장치의 평면도를 나타낸 것이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
200: 기판 감지장치 210: 몸체
220: 센서 230: 회동부재
231: 결합부 232: 센서감지부
233: 롤러

Claims (9)

  1. 몸체;
    상기 몸체의 일측에 고정설치되는 센서;
    일측에는 상기 기판의 면과 접촉하는 기판접촉부가 형성되고, 타측에는 상기 센서가 감지하는 자석이 구비되며, 상기 기판접촉부가 상기 기판에 접촉하면 상기 몸체에 대하여 수평방향으로 회동하도록 결합되는 회동부재; 및
    상기 회동부재를 원위치로 복귀시키는 복귀수단;을 포함하며,
    상기 복귀수단은 상기 몸체 및 회동부재에 각각 구비되는 다극 자석인 것을 특징으로 하는 기판 감지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판접촉부는 이송되는 상기 기판의 면과 구름접촉하는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 감지장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 센서는 자석감지센서인 것을 특징으로 하는 기판 감지장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
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