KR101065324B1 - 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101065324B1
KR101065324B1 KR1020090075031A KR20090075031A KR101065324B1 KR 101065324 B1 KR101065324 B1 KR 101065324B1 KR 1020090075031 A KR1020090075031 A KR 1020090075031A KR 20090075031 A KR20090075031 A KR 20090075031A KR 101065324 B1 KR101065324 B1 KR 101065324B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
weight
flicker
flicker arm
arm
Prior art date
Application number
KR1020090075031A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110017523A (ko
Inventor
조창희
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020090075031A priority Critical patent/KR101065324B1/ko
Publication of KR20110017523A publication Critical patent/KR20110017523A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101065324B1 publication Critical patent/KR101065324B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

기판 감지 장치는 브라켓, 플리커 암, 센서 및 스토퍼를 포함한다. 플리커 암은 상단 부위에 기판과 접촉하는 롤러, 중간 부위에 롤러가 기판과 접촉할 경우 회전하도록 브라켓에 결합된 회전부 및 하단 부위에 무게추를 갖는다. 센서는 플리커 암의 하부에서 브라켓에 장착되며, 플리커 암의 회전 여부를 무게추를 통해 감지하여 기판의 접촉 여부가 확인되도록 한다. 스토퍼는 플리커 암이 회전하는 경로 상에서 브라켓의 일 측면에 장착되어 롤러가 기판과의 접촉으로부터 해제될 때 무게추에 의한 플리커 암의 진자 운동을 저지한다.따라서, 플리커 암의 무게추에 의한 진자 운동을 저지하여 플리커 암을 수직 상태로 빠르게 복귀시킬 수 있다. 따라서, 플리커 암의 무게추에 의한 진자 운동을 저지하여 플리커 암을 수직 상태로 빠르게 복귀시킬 수 있다.

Description

기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{APPARATUS FOR SENSING A GLASS AND APPARATUS FOR PROCESSING A GLASS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 평판표시장치를 제조하기 위한 기판의 존재 여부를 감지하는 장치 및 이를 포함하여 상기 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시장치는 플라즈마를 이용한 플라즈마 표시 패널 또는 액정을 이용한 액정 표시 패널을 포함한다.
이중, 상기 액정 표시 패널은 박막 트랜지스터(Thin Film transistor; 이하, TFT)가 형성된 TFT 기판과 사이에 액정이 주입되도록 상기 TFT 기판과 결합하는 컬러 필터(Color Filter; 이하, CF)가 형성된 CF 기판의 결합으로 이루어진다.
여기서, 상기 TFT 기판과 상기 CF 기판은 유리 재질의 기판을 대상으로 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등을 수행하여 제조된다. 구체적으로, 상기와 같은 공정들은 기판 반송부를 통하여 상기 기판을 반송하면서 수행된다.
이때, 상기 기판 반송부와 인접한 위치에 실질적으로 상기 기판 반송부에서 반송하는 상기 기판이 존재하는지 여부를 감지하기 위한 기판 감지부가 배치된다. 이에, 상기 공정들은 상기 기판의 존재가 상기 기판 감지부로부터 감지될 때 수행된다.
상기 기판 감지부는 포토 센서를 사용하는 것이 일반적이지만, 상기 공정들 중 식각 공정과 같이 특정 화학 용액이 사용되는 공정에서는 상기 화학 용액으로 인하여 상기 포토 센서를 사용하기 부적합하므로, 상기 기판과의 직접적인 접촉을 통한 동작을 감지하는 방식인 플리커 센서(flicker sensor)를 사용한다.
구체적으로, 상기 플리커 센서는 하단 부위에 장착된 무게추로 인하여 수직 상태인 플리커 암이 그 상단 부위에 체결된 롤러가 상기 기판과 접촉함으로써 회전하게 될 때, 이를 상기 플리커 암의 하부에 배치된 센서가 상기 무게추를 감지하지 못함으로써, 상기 기판의 존재 여부가 확인된다.
그러나, 상기 롤러가 상기 기판과의 접촉으로부터 해제될 때 상기 플리커 암이 상기 무게추에 의해서 심하게 진자 운동을 함으로써, 상기 센서가 상기 플리커 암의 진자 운동이 완전하게 멈추기 전까지 상기 기판이 부재한 상태를 안정하게 감지하지 못하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 플리커 암을 진자 운동을 저지할 수 있는 기판 감지 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 기판 감지 장치를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 감지 장치는 브라켓, 플리커 암, 센서 및 스토퍼를 포함한다.
상기 플리커 암은 상단 부위에 기판과 접촉하는 롤러, 중간 부위에 상기 롤러가 상기 기판과 접촉할 경우 회전하도록 상기 브라켓에 결합된 회전부 및 하단 부위에 무게추를 갖는다.
상기 센서는 상기 플리커 암의 하부에서 상기 브라켓에 장착되며, 상기 플리커 암의 회전 여부를 상기 무게추를 통해 감지하여 상기 기판의 접촉 여부가 확인되도록 한다.
상기 스토퍼는 상기 플리커 암이 회전하는 경로 상에서 상기 브라켓의 일 측면에 장착되어 상기 롤러가 상기 기판과의 접촉으로부터 해제될 때 상기 무게추에 의한 상기 플리커 암의 진자 운동을 저지한다.
여기서, 상기 플리커 암은 상기 회전부와 상기 무게추 사이에 상기 스토퍼와 반대되는 방향으로 꺾이도록 구성된 벤딩부를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 벤딩부는 상기 플리커 암의 상기 회전부와 상기 무게추 사이를 절단함으로써 분리되는 제1 및 제2 암들을 링크핀을 통해 연결한 구조를 가질 수 있다.
이때, 상기 제1 및 제2 암들의 서로 마주하는 제1 및 제2 절단면들은 상기 스토퍼와 인접한 일측에서 서로 지지하면서 상기 스토퍼로부터 멀어질수록 그 사이가 더 이격되도록 구성될 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 절단면들은 곡면으로 구성될 수 있다. 한편, 상기 무게추와 상기 센서는 자력을 발생시키는 물질을 포함할 수 있고, 상기 센서는 상기 센서와 상기 무게추 간에 발생하는 인력 또는 척력을 감지함으로써 상기 무게추를 감지할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 처리 장치는 기판 반송부, 기판 감지부 및 기판 처리부를 포함한다.
상기 기판 반송부는 기판의 하부에서 상기 기판을 반송한다. 상기 기판 감지부는 상기 기판의 하부에서 상기 기판 반송부와 인접하게 배치되어 상기 기판의 존재 여부를 감지한다.
상기 기판 처리부는 상기 기판의 상부에 배치되며, 상기 기판 감지부로부터 상기 기판의 존재가 감지될 때 상기 기판에 케미컬을 분사하여 상기 기판을 처리한다.
여기서, 상기 기판 감지부는 브라켓과, 상단 부위에 기판과 접촉하는 롤러, 중간 부위에 상기 롤러가 상기 반송하는 기판과 접촉할 경우 회전하도록 상기 브라켓에 결합된 회전부 및 하단 부위에 무게추를 갖는 플리커 암과, 상기 플리커 암의 하부에서 상기 브라켓에 장착되며, 상기 플리커 암의 회전 여부를 상기 무게추를 통해 감지하여 상기 기판의 존재 여부가 확인되도록 하는 센서와, 상기 플리커 암 이 회전하는 경로 상에서 상기 브라켓의 일 측면에 장착되어 상기 롤러가 상기 기판과의 접촉으로부터 해제될 때 상기 무게추에 의한 상기 플리커 암의 진자 운동을 저지하는 스토퍼를 포함한다.
이러한 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 따르면, 롤러가 반송하는 기판과의 접촉으로부터 해제되어 플리커 암이 수직 상태로 복귀하려고 무게추에 의해 진자 운동할 때 이를 스토퍼가 저지함으로써, 상기 플리커 암을 최대한 빠른 시간에 수직 상태로 복귀시킬 수 있다. 이로써, 상기 플리커 암의 수직 상태를 감지하는 센서가 최대한 빠른 시간에 안정적으로 감지하도록 할 수 있다. 이로써, 상기 플리커 암의 수직 상태를 감지하는 센서가 최대한 빠른 시간에 안정적으로 감지하도록 할 수 있다.
따라서, 상기 센서를 통해 상기 기판이 부재한 상태를 최대한 빠른 시간에 확인되도록 함으로써, 상기 기판을 대상으로 하는 평판표시장치의 공정 시간을 단축시킬 수 있다. 즉, 상기 평판표시장치의 생산성 향상을 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변 경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미 와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 기판 반송부(100), 기판 처리부(200) 및 기판 감지부(300)를 포함한다.
상기 기판 반송부(100)는 기판(G)의 하부에 배치되어 상기 기판(G)을 반송한다. 여기서, 상기 기판(G)은 평판표시장치를 제조하기 위한 유리 재질로 이루어진 TFT 기판 또는 CF 기판일 수 있다. 이와 달리, 상기 기판(G)은 상기 TFT 기판과 상기 CF 기판이 사이에 액정이 주입된 상태로 결합된 액정 표시 패널일 수 있다.
상기 기판 반송부(100)는 상기 기판(G)을 제1 축(x)을 따라 반송시키고자 할 때, 상기 제1 축(x)과 수직한 제2 축(y)을 따라 서로 평행하게 배치된 다수의 반송 롤러(110)들로 이루어질 수 있다.
상기 기판 처리부(200)는 상기 기판 반송부(100)에서 반송하는 기판(G)의 상부에 배치된다. 상기 기판 처리부(200)는 상기 기판(G)에 케미컬(C)을 분사하여 상기 기판(G)을 대상으로 식각 공정을 수행할 수 있다. 이때, 상기 케미컬(C)은 일 예로, 유리를 식각하는데 사용되는 불산(HF)을 포함할 수 있다.
상기 기판 감지부(300)는 상기 기판(G)의 하부에서 상기 기판 반송부(100)와 인접하게 배치된다. 상기 기판 감지부(300)는 상기 기판 반송부(100)에서 실질적으 로 상기 기판 반송부(100)에 반송하는 기판(G)이 존재하는지 여부를 감지한다.
이에 따라, 상기 기판 처리부(200)는 상기 기판 감지부(300)로부터 상기 기판(G)의 존재가 감지될 때 상기 케미컬(C)을 상기 기판(G)에 분사함으로써, 상기 케미컬(C)이 불필요하게 낭비되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 기판 감지부(300)는 외부로부터 상기 기판 처리부(200)에 의해 상기 기판(G)이 처리되는 처리 장소로 반송되는 기판(G)과 상기 처리 장소로부터 외부로 반송되는 기판(G)을 감지하기 위하여 상기 처리 장소의 전단과 후단에 배치되는 것이 바람직하다.
이하, 상기 기판 감지부(300)의 구체적인 구성에 대하여 도 2 내지 도 6을 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 감지부를 구체적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2의 기판 감지부를 옆에서 바라본 도면이고, 도 4는 도 2의 기판 감지부가 정방향으로 반송되는 기판을 감지한 상태를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4에 도시된 기판 감지부의 플리커 암이 스토퍼에 의해 저지된 상태를 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 상기 기판 감지부(300)는 브라켓(310), 플리커 암(320), 센서(370) 및 스토퍼(380)를 포함한다.
상기 브라켓(310)은 외부 프레임(미도시)과 같은 구조물에 고정된다. 상기 브라켓(310)은 받침판(312) 및 상기 받침판(312)의 마주하는 가장 자리들로부터 수직하게 연장된 측벽(314)들로 이루어진다.
상기 측벽(314)들의 상부에는 서로를 연결하는 회전축(316)이 설치된다. 이에, 상기 브라켓(310)은 상기 회전축(316)이 상기 제2 축(y)과 평행하도록 상기 외부 프레임에 고정된다.
상기 플리커 암(320)은 상단, 중간 및 하단 부위들 각각에 롤러(330), 회전부(340) 및 무게추(350)를 갖는다. 상기 롤러(330)는 상기 기판 반송부(100)에 의해 상기 제1 축(x)을 따라 정방향(a)으로 반송하는 기판(G)과 접촉한다. 상기 롤러(330)는 정방향(a)으로 반송하는 기판(G)을 따라 회전하도록 구성된다.
상기 회전부(340)는 상기 회전축(316)에 회전 가능하게 결합된다. 이로써, 상기 플리커 암(320)은 상기 회전부(340)를 통해 상기 측벽(314)들 사이에서 회전하게 된다. 이에, 상기 롤러(330)가 정방향(a)으로 반송하는 기판(G)과 접촉하게 되면, 상기 플리커 암(320)은 상기 회전부(340)를 기준으로 그 하부가 정방향(a)과 반대되는 역방향(b)으로 회전하게 된다.
상기 무게추(350)는 비중이 비교적 금속 재질로 이루어진다. 이로써, 상기 플리커 암(320)은 상기 회전부(340)가 상기 회전축(316)에 결합된 상태에서 외부로부터 힘이 가해지지 않는 한, 상기 무게추(350)로 인하여 항상 수직 상태를 유지하려고 한다. 이에, 상기 무게추(350)는 상기 롤러(330)가 상기 기판(G)과 접촉하지 않은 상태에서 상기 브라켓(310)의 받침판(312)과 마주하도록 위치한다.
상기 센서(370)는 상기 플리커 암(320)의 하부에서 상기 브라켓(310)에 장착된다. 구체적으로, 상기 센서(370)는 수직 상태인 플리커 암(320)의 무게추(350)와 마주하도록 상기 브라켓(310)의 받침판(312)에 장착된다.
상기 센서(370)는 상기 무게추(350)와 반응하여 상기 플리커 암(320)이 수직 상태인지 아닌지를 감지한다. 예를 들어, 상기 센서(370)와 상기 무게추(350)는 자력을 발생시키는 금속 재질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 센서(370) 및 상기 무게추(350)는 자석을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 센서(370)와 상기 무게추(350)가 마주하는 경우, 상기 센서(370)는 상기 센서(370)와 상기 무게추(350)간에 발생하는 자력의 인력 또는 척력을 감지할 수 있다. 이로써, 상기 센서(370)는 상기 무게추(350)와의 사이에 발생되는 자력을 통하여 상기 무게추(350)를 감지할 수 있다.
이를 정리하면, 상기 센서(370)는 상기 플리커 암(320)이 수직 상태일 경우에는 상기 무게추(350)와의 사이에 형성된 자력을 통해 상기 플리커 암(320)을 감지하고, 상기 롤러(330)가 정방향(a)으로 반송하는 기판(G)과 접촉하여 플리커 암(320)의 회전부(340) 하부가 역방향(a)으로 회전할 경우에는 상기 무게추(350)와 이격되어 상기 플리커 암(320)을 감지하지 못하게 된다. 즉, 상기 기판 처리부(200)는 상기 센서(370)가 상기 무게추(350)를 감지하지 못할 때 상기 케미컬(C)을 분사하여 상기 기판(G)을 처리하게 된다.
상기 스토퍼(380)는 상기 플리커 암(320)이 회전하는 경로 상의 정방향(a) 위치에서 상기 브라켓(310)의 측벽(314)들에 장착된다. 구체적으로, 상기 스토퍼(380)는 블록 형태로 장착될 수 있다.
상기 스토퍼(380)는 상기 롤러(330)가 상기 기판(G)과의 접촉으로부터 해제될 때, 즉 상기 기판(G)이 상기 롤러(330)를 지나쳐 갔을 때, 상기 플리커 암(320)이 상기 무게추(350)로 인해 수직 상태로 복귀하려고 하는 진자 운동을 저지한다.
구체적으로, 역방향(b)으로 회전한 상태의 플리커 암(320)이 정방향(a)으로 진자 운동을 진행할 때 상기 스토퍼(380)에 부딪쳐 진자 운동을 위한 에너지가 상 기 스토퍼(380)에 흡수됨으로써, 상기 플리커 암(320)의 진자 운동이 저지될 수 있다.
이때, 상기 스토퍼(380)의 상기 플리커 암(320)과 부딪히는 부위를 충격을 보다 잘 흡수할 수 있는 완충 물질로 구성하여 진자 운동을 위한 에너지를 더 많이 흡수할 수 있다.
이와 같이, 상기 롤러(330)가 반송하는 기판(G)과의 접촉으로부터 해제되어 상기 플리커 암(320)이 수직 상태로 복귀하려고 상기 무게추(350)에 의해 진자 운동할 때 이를 스토퍼(380)가 저지함으로써, 상기 플리커 암(320)을 최대한 빠른 시간에 수직 상태로 복귀시킬 수 있다. 이로써, 상기 플리커 암(320)의 수직 상태를 감지하는 센서(370)가 최대한 빠른 시간에 안정적으로 감지하도록 할 수 있다.
따라서, 상기 센서(370)를 통해 상기 기판(G)이 부재한 상태를 최대한 빠른 시간에 확인되도록 함으로써, 상기 기판(G)을 대상으로 하는 평판표시장치의 공정 시간을 단축시킬 수 있다. 즉, 상기 평판표시장치의 생산성 향상을 기대할 수 있다.
도 6은 도 2의 기판 감지부가 역방향으로 반송되는 기판을 감지한 상태를 나타낸 도면이다.
도 6을 추가적으로 참조하면, 상기 플리커 암(320)은 상기 회전부(340)와 상기 무게추(350) 사이에 벤딩부(360)를 더 포함한다.
상기 벤딩부(360)는 상기 스토퍼(380)와 반대 방향, 즉 상기 스토퍼(380)가 상기 브라켓(310)의 정방향(a)에 장착되어 있으므로, 역방향(b)으로 꺾이도록 구성 된다.
이에, 상기 롤러(330)가 역방향(b)으로 반송하는 기판(G)과 접촉하게 되어 상기 플리커 암(320)의 회전부(340) 하부가 정방향(a)으로 회전하게 될 때, 상기 벤딩부(360)가 꺾임으로써, 상기 플리커 암(320)이 상기 스토퍼(380)와의 충돌로 인해 파손되는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 상기 플리커 암(320)은 상기 벤딩부(360)를 통해 역방향(b)으로 반송하는 기판(G)도 감지할 수 있음과 동시에, 도 5에서와 같이 상기 스토퍼(380)를 통해 수직 상태로 빠르게 복귀할 수도 있다.
이에, 상기 벤딩부(360)의 구조를 보다 상세하게 설명하면, 상기 플리커 암(320)을 상기 회전부(340)와 상기 무게추(350) 사이를 절단하여 제1 및 제2 암(362, 364)들로 구분한다. 이때, 상기 제1 및 제2 암(362, 364)들은 서로 제1 및 제2 절단면(363, 365)들이 일부 접하면서 배치된다.
이에, 상기 제1 및 제2 암(362, 364)들을 링크핀(366)을 통해 연결한다. 이러면, 상기 제1 및 제2 암(362, 364)들은 상기 링크핀(366)과 연결된 부위들을 기준으로 회전이 가능하도록 구성되어 상기 플리커 암(320)이 역방향(b)으로 꺾이게 된다.
이때, 상기 제1 및 제2 절단면(363, 365)들은 상기 플리커 암(320)이 정방향(a)으로는 꺾이지 않으면서 역방향(b)으로만 꺾이도록 하기 위하여 상기 스토퍼(380)와 인접한 일측은 서로 지지되도록 하면서 상기 스토퍼(380)로부터 멀어질수록 서로 더 이격되도록 구성된다. 여기서, 상기 제1 및 제2 절단면(363, 365)들 은 상기 플리커 암(320)의 꺾임 동작이 부드럽게 진행되도록 하기 위하여 곡면으로 구성될 수 있다.
이와 같이, 상기 플리퍼 암에 상기 벤딩부(360)를 구성함으로써, 상기 기판(G)이 역방향(b)으로 반송될 경우에도, 상기 스토퍼(380)에 의해 간섭되지 않도록 하면서 상기 센서(370)를 통해 반송하는 기판(G)의 존재 여부를 확인할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은 롤러가 기판과의 접촉으로부터 해제되어 플리커 암이 무게추에 의해 수직 상태로 복귀하려고 진자 운동할 때 이를 스토퍼가 저지함으로써, 상기 플리커 암을 최대한 빠른 시간에 수직 상태로 복귀시킬 수 있는 감지 장치에 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 감지부를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 기판 감지부를 옆에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 2의 기판 감지부가 정방향으로 반송되는 기판을 감지한 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 기판 감지부의 플리커 암이 스토퍼에 의해 저지된 상태를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 2의 기판 감지부가 역방향으로 반송되는 기판을 감지한 상태를 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
G : 기판 100 : 기판 반송부
200 : 기판 처리부 300 : 기판 감지부
310 : 브라켓 320 : 플리커 암
330 : 롤러 340 : 회전부
350 : 무게추 360 : 벤딩부
370 : 센서 380 : 스토퍼
1000 : 기판 처리 장치

Claims (7)

  1. 브라켓;
    상단 부위에 기판과 접촉하는 롤러, 중간 부위에 상기 롤러가 상기 기판과 접촉할 경우 회전하도록 상기 브라켓에 결합된 회전부 및 하단 부위에 무게추를 갖는 플리커 암;
    상기 플리커 암의 하부에서 상기 브라켓에 장착되며, 상기 플리커 암의 회전 여부를 상기 무게추를 통해 감지하여 상기 기판의 접촉 여부가 확인되도록 하는 센서; 및
    상기 플리커 암이 회전하는 경로 상에서 상기 브라켓의 일 측면에 장착되어 상기 롤러가 상기 기판과의 접촉으로부터 해제될 때 상기 무게추에 의한 상기 플리커 암의 진자 운동을 저지하는 스토퍼를 포함하는 기판 감지 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 플리커 암은 상기 회전부와 상기 무게추 사이에 상기 스토퍼와 반대되는 방향으로 꺾이도록 구성된 벤딩부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 벤딩부는 상기 플리커 암의 상기 회전부와 상기 무게추 사이를 절단함으로써 분리되는 제1 및 제2 암들을 링크핀을 통해 연결한 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 암들의 서로 마주하는 제1 및 제2 절단면들은 상기 스토퍼와 인접한 일측에서 서로 지지하면서 상기 스토퍼로부터 멀어질수록 그 사이가 더 이격되도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 절단면들은 곡면으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 무게추 및 상기 센서는 자력을 발생시키는 물질을 포함하고,
    상기 센서는 상기 센서와 상기 무게추간에 발생하는 자력의 인력 또는 척력을 감지함으로써 상기 무게추를 감지하는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
  7. 기판의 하부에서 상기 기판을 반송하는 기판 반송부;
    상기 기판의 하부에서 상기 기판 반송부와 인접하게 배치되어 상기 기판의 존재 여부를 감지하는 기판 감지부; 및
    상기 기판의 상부에 배치되며, 상기 기판 감지부로부터 상기 기판의 존재가 감지될 때 상기 기판에 케미컬을 분사하여 상기 기판을 처리하는 기판 처리부를 포함하며,
    상기 기판 감지부는
    브라켓;
    상단 부위에 기판과 접촉하는 롤러, 중간 부위에 상기 롤러가 상기 반송하는 기판과 접촉할 경우 회전하도록 상기 브라켓에 결합된 회전부 및 하단 부위에 무게추를 갖는 플리커 암;
    상기 플리커 암의 하부에서 상기 브라켓에 장착되며, 상기 플리커 암의 회전 여부를 상기 무게추를 통해 감지하여 상기 기판의 존재 여부가 확인되도록 하는 센서; 및
    상기 플리커 암이 회전하는 경로 상에서 상기 브라켓의 일 측면에 장착되어 상기 롤러가 상기 기판과의 접촉으로부터 해제될 때 상기 무게추에 의한 상기 플리커 암의 진자 운동을 저지하는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
KR1020090075031A 2009-08-14 2009-08-14 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 KR101065324B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090075031A KR101065324B1 (ko) 2009-08-14 2009-08-14 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090075031A KR101065324B1 (ko) 2009-08-14 2009-08-14 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110017523A KR20110017523A (ko) 2011-02-22
KR101065324B1 true KR101065324B1 (ko) 2011-09-16

Family

ID=43775492

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090075031A KR101065324B1 (ko) 2009-08-14 2009-08-14 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101065324B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103674072B (zh) 2013-12-06 2016-05-11 深圳市华星光电技术有限公司 摇摆式传感器组件
CN105107776B (zh) * 2015-08-24 2017-06-27 京东方科技集团股份有限公司 检测装置及工件清洗设备
KR101953470B1 (ko) * 2017-07-26 2019-02-28 에스케이실트론 주식회사 웨이퍼의 왁스 마운팅 장비에 적용된 트랜스퍼 처짐 감지장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61108138A (ja) 1984-11-01 1986-05-26 Toshiba Corp リ−ドフレ−ム取出装置
KR20060001511A (ko) * 2004-06-30 2006-01-06 현대자동차주식회사 이송 대차용 핀 클램핑 장치
KR20070072156A (ko) * 2005-12-30 2007-07-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 제조용 플리커 센서
KR20090048107A (ko) * 2007-11-09 2009-05-13 세메스 주식회사 진자 센서 장치 및 이를 포함하는 기판 이송 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61108138A (ja) 1984-11-01 1986-05-26 Toshiba Corp リ−ドフレ−ム取出装置
KR20060001511A (ko) * 2004-06-30 2006-01-06 현대자동차주식회사 이송 대차용 핀 클램핑 장치
KR20070072156A (ko) * 2005-12-30 2007-07-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 제조용 플리커 센서
KR20090048107A (ko) * 2007-11-09 2009-05-13 세메스 주식회사 진자 센서 장치 및 이를 포함하는 기판 이송 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110017523A (ko) 2011-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6000019B2 (ja) 基板処理装置
CN101752283B (zh) 基板输送装置以及基板输送方法
KR101065324B1 (ko) 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
TW201433427A (zh) 基板搬運機器人和基板搬運方法
JP2010024042A (ja) 基板の搬送装置及び処理装置
TW200816354A (en) Substrate processing apparatus
KR100706664B1 (ko) 진자 센서 및 이를 이용한 기판 이송 센싱 방법
JP2006303149A (ja) ウェーハ洗浄装置及びウェーハ洗浄方法
JP2011108822A (ja) 基板フォルダ
KR20170006104A (ko) 슬릿 코팅장치용 기판 상의 이물질을 감지할 수 있는 이물질 감지장치, 그 이물질 감지방법 및 그 슬릿 코팅장치
JP6008917B2 (ja) 基板検出装置および基板処理装置
JP2013140934A (ja) 垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置
KR20150076807A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법
JP6857682B2 (ja) 基板処理装置
JP6370578B2 (ja) 基板洗浄装置
KR20080079929A (ko) 에어 나이프 및 이를 구비하는 기판 건조 장치
KR101552637B1 (ko) 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치
KR101427695B1 (ko) 디스플레이 기판 이송장치
KR20130023695A (ko) 벨트 컨베이어용 사행 방지장치
KR20100026677A (ko) 벨트 구동 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20060075152A (ko) 대상물 감지 장치
JP3244865U (ja) 基板洗浄装置
KR100924080B1 (ko) 습식에칭장치 및 이를 이용한 습식에칭방법
WO2011155293A1 (ja) ワイヤーカセットおよびそれを用いた基板搬送装置
WO2018020614A1 (ja) 振子センサユニット、基板検出装置及び基板搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140903

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150902

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160901

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170905

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180904

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190905

Year of fee payment: 9