CN103674072B - 摇摆式传感器组件 - Google Patents
摇摆式传感器组件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103674072B CN103674072B CN201310656638.6A CN201310656638A CN103674072B CN 103674072 B CN103674072 B CN 103674072B CN 201310656638 A CN201310656638 A CN 201310656638A CN 103674072 B CN103674072 B CN 103674072B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sensor
- vibration generator
- pipe
- swing
- sensor cluster
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H7/00—Controlling article feeding, separating, pile-advancing, or associated apparatus, to take account of incorrect feeding, absence of articles, or presence of faulty articles
- B65H7/02—Controlling article feeding, separating, pile-advancing, or associated apparatus, to take account of incorrect feeding, absence of articles, or presence of faulty articles by feelers or detectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2406/00—Means using fluid
- B65H2406/10—Means using fluid made only for exhausting gaseous medium
- B65H2406/12—Means using fluid made only for exhausting gaseous medium producing gas blast
- B65H2406/122—Nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2511/00—Dimensions; Position; Numbers; Identification; Occurrences
- B65H2511/50—Occurence
- B65H2511/51—Presence
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2513/00—Dynamic entities; Timing aspects
- B65H2513/40—Movement
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2553/00—Sensing or detecting means
- B65H2553/60—Details of intermediate means between the sensing means and the element to be sensed
- B65H2553/61—Mechanical means, e.g. contact arms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H1/00—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector
- G01H1/003—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector of rotating machines
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本发明公开了一种摇摆式传感器组件,包括支架和传感器振子,支架上设有销轴,传感器振子连接在销轴上并能绕销轴摆动,所述支架上还连接有通气管,所述通气管能对传感器振子吹气。所述通气管上设有控制阀,控制阀的进口经管子连接洁净干燥压缩空气的供应端。该摇摆式传感器组件使传感器振子不容易粘连、保证传感器振子的回复力。
Description
技术领域
本发明涉及液晶显示面板制造领域,具体涉及一种摇摆式传感器组件。
背景技术
在液晶面板的制造过程中,其中用于制造液晶面板的玻璃基板在湿制程中会通过一至多个药液腔室,药液腔室内为强酸或强碱溶液。玻璃基板在通过湿制程中的腔室时通过摇摆式传感器来传递基板的信息给下一道工序,即玻璃基板经过摇摆式传感器时压弯腔室内的摇摆式传感器振子使振子摆动一个角度,玻璃基板与传感器振子分离后,振子复位从而传递信号给下一道工序,下一道工序做好接收玻璃基板的准备。但由于摇摆式传感器工作在药液环境中,若传感器振子较长时间不使用,药液风干容易造成振子粘连和/或回复力不够,玻璃基板经过摇摆式传感器后,振子不能弯曲和复位,不会发送信号给下一道工序的接收器。下一道工序接收器未接到信号,不能接收玻璃基板,导致玻璃基板长时间浸泡在强酸或强碱环境中,造成产品报废,从而降低产品良率。而且一旦摇摆式传感器出现故障而无法正常传递信号,需要关闭设备进行检修,造成设备稼动率降低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,提供一种使传感器振子不容易粘连、保证传感器振子的回复力的摇摆式传感器组件。
本发明的技术解决方案是,提供一种具有以下结构的摇摆式传感器组件,包括支架和传感器振子,支架上设有销轴,传感器振子连接在销轴上并能绕销轴摆动,所述支架上还连接有通气管,所述通气管能对传感器振子吹气。
与现有技术相比,本发明的摇摆式传感器组件具有以下优点:通过通气管能对传感器振子吹气,从而即便是在传感器振子长时间不使用出现药液风干粘连或回复力不够的情况下,通气管吹出的气体能给予传感器振子以动力,使传感器振子脱离粘连状态,具有足够的回复力,保证振子能复位。因而,在玻璃基板通过时能比较灵敏地反应玻璃基板的状态,保证信号传送正常,减少宕机和检修,提高产品良率和设备稼动率。
在一个实施例中,所述通气管上设有控制阀。通过控制阀来控制通气管的开启和关闭,从而能控制什么时候来开启吹气管吹气,以及吹气时间的长短。
在一个优选的实施例中,所述控制阀为电磁控制阀。使用电磁控制阀来控制通气管的开启和关闭,电磁控制阀相比手动控制阀方便进行远程控制和远程操作,容易实现自动化控制。
在优选的实施例中,所述通气管为氟塑料管。氟塑料管耐强酸和强碱,在强酸或强碱的环境中不容易被腐蚀。进一步优选氟塑料管为四氟乙烯(全氟烷氧基树脂PFA)管,PFA管能在强酸和强碱环境下使用,而且固定在支架上时不容易移动。
在一个实施例中,所述通气管的内径为4~10mm。在本实施例中优选内径为5mm的通气管。在现有技术中称作细管,经过该通气管的气体的体积量较少,不会影响腔室内的压力。
在优选的实施例中,所述通气管内通入的气体为洁净干燥压缩空气。洁净干燥压缩空气是指,大气经压缩机压缩后除湿,再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及炭氢化合物以供给无尘室。通入的洁净干燥压缩空气量少、干净无污染,不容易对玻璃基板造成影响。
在进一步优选的实施例中,控制阀的进口经管子连接洁净干燥压缩空气的供应端。保证洁净干燥压缩空气的供应。
在一个实施例中,传感器振子电连接有控制器,控制器上设有用于控制电磁控制阀的开启与关闭的按钮。通过控制器上的按钮来对控制阀进行控制,尤其是传感器较长时间没使用,通过按钮直接控制对传感器振子进行吹扫以保证摇摆式传感器的灵敏度。
在一个实施例中,通气管的管口距离传感器振子10~60mm。在这个距离内,通气管内通气量稍大一些或者稍小一些都能吹到传感器振子以保证传感器振子的灵敏度,而且传感器振子在摇摆时不会碰撞到通气管。
在优选的实施例中,通气管的管口距离传感器振子30mm。30mm是经过测试效果最好的距离,通气管吹气时对粘连的传感器振子起到有效的作用。
附图说明
图1所示是本发明的摇摆式传感器组件在玻璃基板经过时正常弯曲的一种具体实施例。
图2所示是图1中的摇摆式传感器组件在玻璃基板经过时由于粘连不能正常弯曲和复位的结构示意图。
图3所示是图1中的摆式传感器组件中的支架与传感器阵子连接的一种具体结构。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。
如图1所示为本发明的摇摆式传感器组件的一种具体实施例。在该实施例中,该摇摆式传感器组件包括支架1、传感器振子2和控制器3,所述传感器振子2与控制器3电连接,支架1上设有销轴4,传感器振子2连接在销轴4上并能绕销轴4往复摆动(如图3所示),所述支架1上还连接有通气管5,所述通气管5能对传感器振子2吹气。
所述通气管5一般采用内径为4~10mm、耐腐蚀的软管,通气管5的出口端即吹气端安装固定在支架1上。在本实施例中,通气管5采用的是PFA(全氟烷氧基树脂)管,PFA管不仅耐强酸、强碱腐蚀,而且安装后不容易移动,从而能保证吹气端一直对着传感器阵子2,保证吹气质量,优选通气管5的内径为5mm。
所述通气管5的进口端连接有电磁控制阀6。电磁控制阀6的进口经管子7连接到洁净干燥压缩空气的供应端8。电磁控制阀6开启时,所述供应端8经电磁控制阀6、通气管5向传感器振子2吹送洁净干燥压缩空气。
在本实施例中,控制器3优选为触摸式控制器,控制器3的触摸屏上设有用于控制电磁控制阀6的开启与关闭的按钮3.1。在需要进行吹气时,通过按钮3.1来启动电磁控制阀6,从而进行吹气,吹气结束后,通过按钮3.1来关闭电磁控制阀6,从而不需要到电磁控制阀6的安装位置去操作电磁控制阀6,可实现远程控制,更方便。
在安装通气管5时,根据不同的通气管5的内径,一般要求通气管5安装后其管口即吹气端距离传感器振子2的距离为10~60mm,在这个范围内,能保证通气管5内的洁净干燥压缩空气能吹到传感器阵子2上。
在本实施例中,经过测试试验,内径为5mm的通气管5的管口与传感器振子2的距离为30mm时,吹气量大一些或者小一些都能使传感器振子2较快地复位。即在这个距离内能保证吹气时使得粘连和/或回复力不够的传感器振子2较快地复位,在玻璃基板9经过时,传感器振子2能正常传递信号给下一道工序。同时,又能保证传感器振子2在往复摆动时不会碰撞到通气管5。
在图1中,所述传感器阵子2在经过通气管5吹气,工作正常,玻璃基板9经过时能正常弯曲,玻璃基板9脱离传感器阵子2后,传感器阵子2能正常复位发送信号给下一道工序。
在图2中,所述传感器阵子2由于药液风干等原因造成传感器阵子2粘连或者销轴4阻力过大导致传感器阵子2的回复力不够,在玻璃基板9经过时不能正常弯曲,玻璃基板9与传感器阵子2脱离后,传感器阵子2不能发送信号。导致玻璃基板9长时间浸泡在强酸或强碱的腔室内被腐蚀。
虽然已经结合具体实施例对本发明进行了描述,然而可以理解,在不脱离本发明的范围的情况下,可以对其进行各种改进或替换。尤其是,只要不存在结构上的冲突,各实施例中的特征均可相互结合起来,所形成的组合式特征仍属于本发明的范围内。本发明并不局限于文中公开的特定实施例,而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (11)
1.一种摇摆式传感器组件,包括支架和传感器振子,支架上设有销轴,传感器振子连接在销轴上并能绕销轴摆动,所述支架上还连接有通气管,所述通气管能对传感器振子吹气,通过所述通气管吹出的气体能给予传感器振子以动力,使传感器振子脱离粘连状态,具有足够的回复力,保证该传感器振子能复位。
2.根据权利要求1所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,所述通气管上设有控制阀。
3.根据权利要求2所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,所述控制阀为电磁控制阀。
4.根据权利要求1所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,所述通气管为氟塑料管。
5.根据权利要求4所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,所述通气管为全氟烷氧基树脂管。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,所述通气管的内径为4~10mm。
7.根据权利要求6所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,所述通气管内通入的气体为洁净干燥压缩空气。
8.根据权利要求7所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,控制阀的进口经管子连接洁净干燥压缩空气的供应端。
9.根据权利要求3或7所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,传感器振子电连接有控制器,控制器上设有用于控制电磁控制阀的开启与关闭的按钮。
10.根据权利要求1所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,通气管的管口距离传感器振子10~60mm。
11.根据权利要求10所述的摇摆式传感器组件,其特征在于,通气管的管口距离传感器振子30mm。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310656638.6A CN103674072B (zh) | 2013-12-06 | 2013-12-06 | 摇摆式传感器组件 |
US14/241,423 US9487369B2 (en) | 2013-12-06 | 2014-01-21 | Swing-type sensor assembly |
PCT/CN2014/071029 WO2015081629A1 (zh) | 2013-12-06 | 2014-01-21 | 摇摆式传感器组件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310656638.6A CN103674072B (zh) | 2013-12-06 | 2013-12-06 | 摇摆式传感器组件 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103674072A CN103674072A (zh) | 2014-03-26 |
CN103674072B true CN103674072B (zh) | 2016-05-11 |
Family
ID=50312340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310656638.6A Active CN103674072B (zh) | 2013-12-06 | 2013-12-06 | 摇摆式传感器组件 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9487369B2 (zh) |
CN (1) | CN103674072B (zh) |
WO (1) | WO2015081629A1 (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103776477A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-05-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种摇摆式传感器组件 |
CN105107776B (zh) * | 2015-08-24 | 2017-06-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测装置及工件清洗设备 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2138623A1 (de) * | 1971-08-02 | 1973-02-15 | Kugelfischer G Schaefer & Co | Kraftstoffzufuhrregeleinrichtung |
EP0886842A4 (en) * | 1996-03-12 | 2001-01-03 | Tecnetics Ind Inc | APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING CHANGES IN SIZE AND CALIBRATION ON A CONVEYOR |
TWM338232U (en) * | 2008-03-11 | 2008-08-11 | Gallant Prec Machining Co Ltd | Swing sensor |
KR101065324B1 (ko) * | 2009-08-14 | 2011-09-16 | 세메스 주식회사 | 기판 감지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
KR101100279B1 (ko) * | 2009-12-03 | 2011-12-30 | 세메스 주식회사 | 이송 센서의 제조 방법 |
CN201567086U (zh) * | 2009-12-17 | 2010-09-01 | 河南丰博自动化有限公司 | 一种失重称料仓 |
JP5546288B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-07-09 | キヤノン株式会社 | シート厚検出装置、画像形成装置およびシート給送装置 |
CN202853638U (zh) * | 2012-05-14 | 2013-04-03 | 成都工投电子设备有限公司 | 摇摆式传感器 |
CN202939103U (zh) * | 2012-09-19 | 2013-05-15 | 天津海鸥表业集团有限公司 | 动态硅游丝刚度和摆轮转动惯量的测量装置 |
CN203148455U (zh) * | 2013-04-17 | 2013-08-21 | 中国长江电力股份有限公司 | 一种振摆传感器安装支架 |
CN103246097B (zh) * | 2013-04-25 | 2015-06-17 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 摇摆式感应装置 |
-
2013
- 2013-12-06 CN CN201310656638.6A patent/CN103674072B/zh active Active
-
2014
- 2014-01-21 US US14/241,423 patent/US9487369B2/en active Active
- 2014-01-21 WO PCT/CN2014/071029 patent/WO2015081629A1/zh active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015081629A1 (zh) | 2015-06-11 |
US20150153219A1 (en) | 2015-06-04 |
CN103674072A (zh) | 2014-03-26 |
US9487369B2 (en) | 2016-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109612045A (zh) | 一种适用于建筑过渡季的自然通风与机械通风转换系统 | |
CN103674072B (zh) | 摇摆式传感器组件 | |
CN207610828U (zh) | 便携式门窗密封性现场检测设备 | |
CN206937351U (zh) | 一种门板取料装置 | |
CN204388297U (zh) | 一种压差自平衡装置 | |
CN104849634A (zh) | 一种模拟绝缘子自然积污系统 | |
CN203929355U (zh) | 一种活动式砂尘试验系统 | |
CN108479620A (zh) | 一种和膏机温度监控装置、系统及方法 | |
CN203385094U (zh) | 家用立式加湿空调 | |
CN204111580U (zh) | 一种钢化玻璃成型前的预弯装置 | |
CN203537362U (zh) | 自清洁式光电开关 | |
CN102463230A (zh) | 集装箱数据中心及其除尘装置 | |
CN206281153U (zh) | 一种工厂中央空调系统用远程监控中心 | |
CN211161026U (zh) | 一种火电厂二次风量在线吹扫装置 | |
CN205009376U (zh) | 一种混凝土砌块的智能化蒸汽养护系统 | |
CN211203628U (zh) | 一种储气罐自动排水装置 | |
CN209014545U (zh) | 一种带有清洗功能的气体检测装置 | |
CN204018303U (zh) | 玻璃表面吹扫系统 | |
CN203396033U (zh) | 室内空气湿度自动控制器 | |
CN208791181U (zh) | Psa制氧机中气体控制阀开启状态监测装置 | |
CN201774951U (zh) | 风选风送设备的风量湿度自动控制装置 | |
CN202044210U (zh) | 吸尘室 | |
CN102649509A (zh) | 一种传送基板的系统及方法 | |
CN203070053U (zh) | 智能空气炮控制箱 | |
CN218583297U (zh) | 一种车间恒温恒湿系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |