JPH055756U - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板表面に洗浄時の水滴が付着していても、
基板を搬送部上で常に一定した位置に停止することがで
き、また、基板を損傷することなく次工程に搬送でき、
基板の不良品発生率を低減できる基板搬送装置を提供す
ることである。 【構成】 基板搬送装置１は、搬送部４にローラ３を設
け、搬送部４の端部近傍に、軸受台６を介してローラ状
の回転自在のストッパ５を設ける。ストッパ５の回転軸
７は、基板２の延長線上で、基板２の先端部と平行に設
ける。ストッパ５の直径は基板２の厚みよりも充分に大
きい。回転表面は、適当な弾力と硬度を有する耐摩耗性
を有する樹脂等により形成する。この様な基板搬送装置
１により、基板２を損傷することが無く定位置に停止す
ることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、基板を搬送するための装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

近年、電子部品の技術の進歩には目覚しいものがあり、複雑化され、性能が向 上されている。また、その進歩に伴い需要も急増している。このため、電子部品 の製造工程は自動化が進み、センサやロボットが多用されている。

【０００３】 このような電子部品に用いられる基板は、製造工程中に、基盤搬送装置によっ て次工程に搬送されることが多い。基板は、搬送装置の搬送部に設けられたロー ラの回転によって搬送される。さらに、基板が搬送部の停止位置近傍まで移動す ると、光ファイバーセンサにより検出され、ローラの回転を停止させ、基板を定 位置に停止させる。次に、基板が定位置に停止していることを光ファイバーセン サにより確認した後、ロボット等に保持されて次工程に送られる。

【０００４】 しかし、基板の製造工程中には洗浄を要する。この洗浄された基板は、表面に 水滴の付着した状態で基板搬送装置によって搬送される。この場合に、基板表面 に洗浄時の水滴が付着しているため、光ファイバーセンサの光が屈折し、基板の 検出及び確認に誤差が生じることがある。この誤差は、場合によっては、約３０ ｍｍ程度の位置ずれとなる。位置ずれが生じると、ロボット等による次工程への 搬送に支障が生じることになる。即ち、ロボットに完全に保持されず落下する等 の問題や、次工程の装着位置にずれが生じ基板として不良品となる等の問題が発 生している。

【０００５】 この問題を解決するために、現在は光ファイバーセンサと共に、基板を機械的 に定位置に停止させる手段が用いられている。

【０００６】 この機械的手段の設けられた基盤搬送装置１１として、図３に示すような装置 が提案されている。この装置１１は、搬送部４にローラ３が回転自在に設けられ ている。この搬送部４の先端部近傍には、基板の移動方向に対して直交する垂直 方向に、壁状のストッパ１５が設けられている。

【０００７】 この様な装置１１では、基板２はローラ３の回転によって搬送部４上を移動す る。搬送部端部まで移動した基板２は、搬送部４端部近傍のストッパ１５に当接 して停止する。即ち、ストッパ１５の設けられた基板搬送装置１１によって、基 板２は常時一定した位置に停止することができる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、この様な装置１１で基板２をストッパによって機械的に停止さ せる場合には、基板２がストッパ１５に当接した後、ローラ３の回転方向の力が 加わり続けた場合に、基板２に歪みが生じることがある。さらに、ストッパ１５ 当接時の衝撃による基板２の損傷することもある。

【０００９】 また、図４に示すように、ストッパ１５側も、基板２の当接が繰返されること により当接位置が損傷し凹状部１５ａが形成される。この凹状部１５ａが形成さ れると、基板２側縁部が凹状部１５ａに入り込んだ状態で停止することになる。 この状態で停止した基板２をロボット等により次工程に送る時に、基板２の縁部 がストッパ１５の凹状部１５ａに引っ掛かり、この基板２の縁部が損傷する問題 がある。また、損傷しないまでも、基板２が傾く等の位置ずれが起こり、落下す る等が起こっている。

【００１０】 これらの問題が起こっているため、基板２の不良品発生率が高い値となってい る。

【００１１】 本考案は、上記のような従来技術の課題を解決するために提供されたもので、 その目的は、基板表面に洗浄時の水滴が付着していても、基板を搬送部上で常に 一定した位置に停止することができ、また、基板を損傷することなく次工程に送 ることのできる基板搬送装置で、基板の不良品発生率を低減することのできる基 板搬送装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

基板を次工程に搬送するため搬送部と、前記搬送部上の基板を一定した位置に 停止させるためのストッパとを備えた基板搬送装置において、前記ストッパを回 転自在な部材から構成したことを特徴とする。

【００１３】

【作用】

以上のような構成を有する基板搬送装置の作用は次の通りとなる。

【００１４】 即ち、基板を次工程に搬送する場合、まず、基板搬送装置の搬送部に設けられ たローラ等によって、基板は一定した位置まで搬送される。この基板がストッパ に当接して定位置に停止した後、ロボット等によって次工程に送られる。

【００１５】 この様な基板搬送装置では、ストッパが回転自在に設けられているため、基板 がストッパに当接した後に、さらにストッパ方向の力が加わっても、ストッパの 回転により、この力を減少することができる。また、ストッパに凹状部が形成さ れ、この凹状部に基板の縁部が入り込んだ状態で停止し、ロボット等による次工 程へ移動する力が加わっても、ストッパの回転により、引っ掛かることなく円滑 に次工程に送られる。即ち、凹状部に基板が引っ掛かる等による損傷が生じるこ とや位置ずれ等の発生を皆無とすることができる。

【００１６】

【実施例】

以下、本考案の基板搬送装置の一実施例を図１及び図２に基づいて説明する。 なお、本実施例において従来技術と同様の部材に関しては同一の符号を付し、説 明は省略する。

【００１７】 即ち、本実施例の基板搬送装置１は、ローラ３の設けられた搬送部４の端部近 傍には、ストッパ５が軸受台６を介して設けられている。このストッパ５はロー ラ状に形成され、搬送部４のローラ３と同一方向に回転自在に設けられている。 その回転軸７は、搬送部４の基板２の移動する略延長線上にあり、基板２の移動 方向の端部と平行に設けられている。また、ストッパ５の直径は基板２の厚みよ りも充分に大きく形成されている。この様なストッパ５の回転する表面は、適当 な弾力と硬度を有する耐摩耗性を有する樹脂等の部材によって覆われている。

【００１８】 以上のように構成される本実施例では、基板２は、ローラ３の回転によって搬 送部４端部まで送られ、搬送部４端部近傍に設けられた回転自在のストッパ５表 面に当接する。このストッパ５は、基板２に比べて充分に大きいため、壁として 作用する。従って、このストッパ５によって、基板２は常時一定した位置に停止 する。

【００１９】 以上のような本実施例では、基板２にローラ３の回転方向の力が加わり続けて 過負荷となっても、ストッパ５の回転によって基板２は上方に持ち上げられ、基 板の損傷や歪みを防止することができる。また、この様なストッパ５では、基板 ２の当接箇所は回転表面の一部で、これは常時同一箇所とはならない。従って、 ストッパ５表面に凹状部が形成されることが減少される。さらに、凹状部が形成 されても、基板２の縁部の損傷を防止することができる。即ち、基板が凹状部に 入り込んだ状態で停止し、ロボット等による次工程へ移動する力が加わっても、 ストッパ５の回転により、引っ掛かることなく円滑に次工程に送られる。また、 基板２がストッパ５に当接するときの衝撃は、ストッパ５の回転により弱められ るので、基板の損傷が皆無となる。さらに、ストッパ５の摩耗も低減できので、 摩耗時に発生する粉塵が減少し、この粉塵による基板の汚染が激減する。

【００２０】 上述したことから、基板２の不良品発生率が低率となる基板搬送装置を提供す ることができる。

【００２１】 なお、本考案は上述した実施例に限定されるものではなく、具体的な各部材の 形状等は適宜変更可能である。

【００２２】 例えば、基板搬送装置１のローラ３及びストッパ５の回転面の幅や個数は限定 されず、搬送する基板に応じて変更が可能である。さらに、ローラ３やストッパ ５の形状を円筒状とすることも可能である。この時、その幅を基板の幅と略同一 とすれば、ローラ３の場合には基板２をしっかりと保持することができ、また、 ストッパ５の場合には基板２の端部全体と当接するので、基板２に部分的に力が 加わり歪みが生じる等が無くなる。

【００２３】 また、ストッパの回転方向は、基板の搬送方向に対して直交方向に限定されな い。即ち、ロボットの移動方向に合わせた回転方向とすることによって、基板に 掛かる負荷を減少することができる。

【００２４】 さらに、ストッパ５に基板２が当接したことを検出するセンサを設けることも 可能である。これによって、基板がストッパに当接すると同時にローラ３の回転 を停止させることができる。従って、停止した基板２に、ローラ３の回転方向の 力が加わることが無くなり、基板２に歪みが生じることや基板２が上方に持ち上 げられる等を防止することができる。

【００２５】 また、基板２を停止させるための手段として、ストッパ５単独で用いる以外に 、光ファイバーセンサ等のセンサと併用することもできる。これによって、基板 ２の位置ずれ等がなく、確実に一定した位置に停止することができる。

【００２６】

【考案の効果】

本考案では、表面に洗浄時の水滴が付着した基板でも、基板を搬送部上で常に 一定した位置に停止させることができる。また、この時、基板を損傷することの なく次工程に送ることができるので、基板の不良品発生率が低率である基板搬送 装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例である基板搬送装置を示す側
面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】従来の基板搬送装置を示す側面図である。

【図４】図３のストッパに形成された凹状部を示す要部
拡大側面図である。

【符号の説明】

１，１１ … 基板搬送装置 ２ … 基板 ３ … ローラ ４ … 搬送部 ５，１５ … ストッパ ６ … 軸受台 ７ … 回転軸

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 基板を次工程に搬送するための搬送部
   と、前記搬送部上の基板を一定した位置に停止させるた
   めのストッパとを備えた基板搬送装置において、 前記ストッパを回転自在な部材から構成したことを特徴
   とする基板搬送装置。