JP3173038B2 - 不定形ウエーハ用マウンター - Google Patents
不定形ウエーハ用マウンターInfo
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- JP3173038B2 JP3173038B2 JP10813791A JP10813791A JP3173038B2 JP 3173038 B2 JP3173038 B2 JP 3173038B2 JP 10813791 A JP10813791 A JP 10813791A JP 10813791 A JP10813791 A JP 10813791A JP 3173038 B2 JP3173038 B2 JP 3173038B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、不定形のウエーハ、特
に破損などして不定形となったウエーハも、自動的にフ
レームの所定位置に位置付けしてマウントし、１つのフ
レームに２以上のウエーハをマウントさせることが出来
る不定形ウエーハ用マウンターに関するものである。
に破損などして不定形となったウエーハも、自動的にフ
レームの所定位置に位置付けしてマウントし、１つのフ
レームに２以上のウエーハをマウントさせることが出来
る不定形ウエーハ用マウンターに関するものである。
【０００２】
【従来技術】この種のウエーハ用マウンターとしては、
例えば特公平２−１６５８３号公報に開示された構成の
ものが従来例として周知である。この従来例において
は、マウントされるウエーハが一定の形状を有する特定
されたウエーハを整然と揃えて供給するものであり、不
定形のウエーハをマウントするものではない。要する
に、破損などによって不定形となったウエーハのマウン
トは、一般的には行っていないのである。
例えば特公平２−１６５８３号公報に開示された構成の
ものが従来例として周知である。この従来例において
は、マウントされるウエーハが一定の形状を有する特定
されたウエーハを整然と揃えて供給するものであり、不
定形のウエーハをマウントするものではない。要する
に、破損などによって不定形となったウエーハのマウン
トは、一般的には行っていないのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来例のように、
一定の形状を保持したウエーハが整然と供給されて、マ
ウントされる装置は周知であるが、破損などによって不
定形となったウエーハは廃棄されることが多く、高価な
材料で形成されたウエーハを無駄にしている。
一定の形状を保持したウエーハが整然と供給されて、マ
ウントされる装置は周知であるが、破損などによって不
定形となったウエーハは廃棄されることが多く、高価な
材料で形成されたウエーハを無駄にしている。
【０００４】仮に、前記したような不定形のウエーハを
フレームにマウントできたにしても、１つのフレームに
対して１個のウエーハしか搭載させることができず、し
かも不定形であるためウエーハのストリートの方向付け
が困難であり、そしてその後の切削工程においても、切
削方向のアライメントが著しく困難になるばかりでな
く、ウエーハのマウント及び切削作業能率が著しく低下
すると言う問題点を有している。
フレームにマウントできたにしても、１つのフレームに
対して１個のウエーハしか搭載させることができず、し
かも不定形であるためウエーハのストリートの方向付け
が困難であり、そしてその後の切削工程においても、切
削方向のアライメントが著しく困難になるばかりでな
く、ウエーハのマウント及び切削作業能率が著しく低下
すると言う問題点を有している。
【０００５】従って、材料無駄を無くすこと並びに、仮
に不定形のウエーハを利用するにしても、作業性の著し
い低下に解決しなければならない課題を有している。
に不定形のウエーハを利用するにしても、作業性の著し
い低下に解決しなければならない課題を有している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する具体
的手段として本発明は、不定形のウェーハをフレーム内
の所定位置に位置付けして接着テープにより固定するマ
ウンターであって、前記ウェーハの大きさ形状及び方向
を検出する検出手段と、該検出手段の検出データに基づ
いて検出した前記ウェーハをマウントエリアの前記所定
位置に移送する移送手段とを具備し、単数又は複数の前
記ウェーハを前記フレームに選択的に搭載させることを
特徴とする不定形ウェーハ用マウンターを提供するもの
である。更に、前記検出手段の配設位置に前記ウェーハ
を載置するターンテーブルを設け、該ターンテーブルへ
前記ウェーハを搬送する搬送手段を設けること、及び前
記移送手段が第１のアームと第２のアーム及び吸着部材
とから構成され、前記第１のアームと第２のアームとが
連動して前記ウェーハを平行移送させること、並びに前
記搬送手段にストッパー部材とウェーハ反転アームとを
備えることも含まれるものである。
的手段として本発明は、不定形のウェーハをフレーム内
の所定位置に位置付けして接着テープにより固定するマ
ウンターであって、前記ウェーハの大きさ形状及び方向
を検出する検出手段と、該検出手段の検出データに基づ
いて検出した前記ウェーハをマウントエリアの前記所定
位置に移送する移送手段とを具備し、単数又は複数の前
記ウェーハを前記フレームに選択的に搭載させることを
特徴とする不定形ウェーハ用マウンターを提供するもの
である。更に、前記検出手段の配設位置に前記ウェーハ
を載置するターンテーブルを設け、該ターンテーブルへ
前記ウェーハを搬送する搬送手段を設けること、及び前
記移送手段が第１のアームと第２のアーム及び吸着部材
とから構成され、前記第１のアームと第２のアームとが
連動して前記ウェーハを平行移送させること、並びに前
記搬送手段にストッパー部材とウェーハ反転アームとを
備えることも含まれるものである。
【０００７】
【作用】フレームのマウントエリアにマウントされるべ
きウエーハを、検出手段によりその大きさ形状及び方向
の検出を行い、その検出データに基づきマウントエリア
との関係を演算しがら、方向を変えることなく移送手段
により所定の位置に移送させることで、不定形のウエー
ハを単数又は複数枚をフレームに搭載させることがで
き、しかもそのマウント時に前記検出手段のデータによ
りプリアライメントされているので、その後のダイシン
グにおいて、精密アライメント及びカッティングストロ
ークの算出が容易に行えるのである。
きウエーハを、検出手段によりその大きさ形状及び方向
の検出を行い、その検出データに基づきマウントエリア
との関係を演算しがら、方向を変えることなく移送手段
により所定の位置に移送させることで、不定形のウエー
ハを単数又は複数枚をフレームに搭載させることがで
き、しかもそのマウント時に前記検出手段のデータによ
りプリアライメントされているので、その後のダイシン
グにおいて、精密アライメント及びカッティングストロ
ークの算出が容易に行えるのである。
【０００８】
【実施例】次に本発明を図示の実施例により更に詳しく
説明すると、１は支持台であり、該支持台１上に予め接
着テープが取り付けられたフレーム２が方向決めされて
載置されるようになっている。又、この支持台１には、
ウエーハ移送手段３が配設されている。
説明すると、１は支持台であり、該支持台１上に予め接
着テープが取り付けられたフレーム２が方向決めされて
載置されるようになっている。又、この支持台１には、
ウエーハ移送手段３が配設されている。
【０００９】このウェーハ移送手段３は、上下動する支
柱４と、該支柱４の頂部に回転自在に基端部が取り付け
られた第１のアーム５と、該第１のアーム５の先端に回
転自在に基端部が取り付けられた第２のアーム６と、該
第２のアーム６の先端に取り付けられた吸着部材７とか
ら構成され、これら両アームは例えばコンピュータ等の
適宜の制御手段により自由自在に駆動される。
柱４と、該支柱４の頂部に回転自在に基端部が取り付け
られた第１のアーム５と、該第１のアーム５の先端に回
転自在に基端部が取り付けられた第２のアーム６と、該
第２のアーム６の先端に取り付けられた吸着部材７とか
ら構成され、これら両アームは例えばコンピュータ等の
適宜の制御手段により自由自在に駆動される。
【００１０】前記支持台１には隣接して回転自在なター
ンテーブル８が配設され、該ターンテーブル８の上面に
は吸着面９が設けられており、例えば減圧手段等により
吸着作用が付与されるものである。このターンテーブル
８の上部に上下動する顕微鏡及びＣＣＤカメラ等を装備
した検出手段１０が所定の間隔をもって配設されてい
る。そして、前記ターンテーブル８の回転駆動情報及び
前記検出手段１０の検出情報が前記制御手段に入力され
る。
ンテーブル８が配設され、該ターンテーブル８の上面に
は吸着面９が設けられており、例えば減圧手段等により
吸着作用が付与されるものである。このターンテーブル
８の上部に上下動する顕微鏡及びＣＣＤカメラ等を装備
した検出手段１０が所定の間隔をもって配設されてい
る。そして、前記ターンテーブル８の回転駆動情報及び
前記検出手段１０の検出情報が前記制御手段に入力され
る。
【００１１】前記ターンテーブル８に隣接してウエーハ
搬送手段１１が配設され、該ウエーハ搬送手段１１は、
駆動ローラ１２，１３間に一対のエンドレスベルト１１
ａ，１１ｂを所定間隔をもって平行に配設して構成さ
れ、前記ターンテーブル８側の駆動ローラ１２側にスト
ッパー部材１４と、ウエーハ反転アーム１５とが配設さ
れている。
搬送手段１１が配設され、該ウエーハ搬送手段１１は、
駆動ローラ１２，１３間に一対のエンドレスベルト１１
ａ，１１ｂを所定間隔をもって平行に配設して構成さ
れ、前記ターンテーブル８側の駆動ローラ１２側にスト
ッパー部材１４と、ウエーハ反転アーム１５とが配設さ
れている。
【００１２】このウエーハ反転アーム１５は、その基部
側が軸受けされ、起立する方向に略１８０°回転し、又
反転して元の位置に戻るように構成されている。そし
て、前記ウエーハ反転アーム１５の上面１５ａは吸着面
としてある。
側が軸受けされ、起立する方向に略１８０°回転し、又
反転して元の位置に戻るように構成されている。そし
て、前記ウエーハ反転アーム１５の上面１５ａは吸着面
としてある。
【００１３】前記構成を有する本発明のウエーハ用マウ
ンターは、図３及び図４に示したように駆動される。即
ち、ウエーハ搬送手段１１によって搬送されて来た不定
形のウエーハはストッパー部材１４に当接して停止し、
その停止位置においてウエーハ反転アーム１５がウエー
ハを吸着し、且つ略１８０°起立する方向に回転してタ
ーンテーブル８上の略中央部にウエーハを供給する。
ンターは、図３及び図４に示したように駆動される。即
ち、ウエーハ搬送手段１１によって搬送されて来た不定
形のウエーハはストッパー部材１４に当接して停止し、
その停止位置においてウエーハ反転アーム１５がウエー
ハを吸着し、且つ略１８０°起立する方向に回転してタ
ーンテーブル８上の略中央部にウエーハを供給する。
【００１４】ターンテーブル８上に供給された不定形の
ウエーハは検出手段１０によってその方向性と大きさ形
状とが検出される。つまり、ウエーハには横方向（Ｘ
軸）と縦方向（Ｙ軸）とに切削されるべき多数条のスト
リートが存在し、そのストリートの方向を検出手段１０
で検出し、ターンテーブル８を回転させながら基準のＸ
−Ｙマトリックスに沿って位置合わせをすると共に、検
出手段１０で撮し出された映像が１つのパターンとして
捉えられ、やはり基準のＸ−Ｙマトリックス上におい
て、その大きさ形状が検出されるのである。
ウエーハは検出手段１０によってその方向性と大きさ形
状とが検出される。つまり、ウエーハには横方向（Ｘ
軸）と縦方向（Ｙ軸）とに切削されるべき多数条のスト
リートが存在し、そのストリートの方向を検出手段１０
で検出し、ターンテーブル８を回転させながら基準のＸ
−Ｙマトリックスに沿って位置合わせをすると共に、検
出手段１０で撮し出された映像が１つのパターンとして
捉えられ、やはり基準のＸ−Ｙマトリックス上におい
て、その大きさ形状が検出されるのである。
【００１５】位置合わせが終了したウェーハは、前記移
送手段３によってターンテーブル８から支持台１のフレ
ーム２に移される。この場合に、ターンテーブル８上で
位置合わせされているので、移送手段３の第１のアーム
５及び第２のアーム６が連動してストリートの角度が変
えられないように動作し、吸着部材７でウェーハを吸着
して移送させる。
送手段３によってターンテーブル８から支持台１のフレ
ーム２に移される。この場合に、ターンテーブル８上で
位置合わせされているので、移送手段３の第１のアーム
５及び第２のアーム６が連動してストリートの角度が変
えられないように動作し、吸着部材７でウェーハを吸着
して移送させる。
【００１６】フレーム２上に移されるウエーハは、中央
部に載置されるのではなく、前記検出手段１０によって
検出された大きさ形状に基づき、選択された所定の位置
に載置される。この場合に、例えば最初に移送されたウ
エーハ１６ａをマウントエリアの左上に載置し、２番目
に移送されたウエーハ１６ｂを左下に載置し、３番目に
移送したウエーハ１６ｃを右上に、そして４番目に移送
されるウエーハ１６ｄを右下に載置するようにする。
部に載置されるのではなく、前記検出手段１０によって
検出された大きさ形状に基づき、選択された所定の位置
に載置される。この場合に、例えば最初に移送されたウ
エーハ１６ａをマウントエリアの左上に載置し、２番目
に移送されたウエーハ１６ｂを左下に載置し、３番目に
移送したウエーハ１６ｃを右上に、そして４番目に移送
されるウエーハ１６ｄを右下に載置するようにする。
【００１７】このような仕様は、予め制御部に記憶させ
ておき、検出手段１０によって検出された大きさ形状の
データにより、マウントエリアの状況を演算しながら、
載置されるべき位置が選択されるのである。従って、第
１番目に移送されたウエーハが大きいものであれば、一
枚のウエーハしか載置出来ない場合もあり、又その大き
さによっては２枚若しくは３枚である場合もあり得るの
である。
ておき、検出手段１０によって検出された大きさ形状の
データにより、マウントエリアの状況を演算しながら、
載置されるべき位置が選択されるのである。従って、第
１番目に移送されたウエーハが大きいものであれば、一
枚のウエーハしか載置出来ない場合もあり、又その大き
さによっては２枚若しくは３枚である場合もあり得るの
である。
【００１８】そして、検出手段１０で検出された位置合
わせのデータと、大きさ形状のデータ、並びにフレーム
２に対する載置位置のデータとが個々のウエーハについ
て制御部に記憶され、その後のダイシング装置による切
削工程時に、それらのデータに基づいて個々のウエーハ
の切削が遂行される。
わせのデータと、大きさ形状のデータ、並びにフレーム
２に対する載置位置のデータとが個々のウエーハについ
て制御部に記憶され、その後のダイシング装置による切
削工程時に、それらのデータに基づいて個々のウエーハ
の切削が遂行される。
【００１９】この場合に、前記データに基づき、最適ア
ライメントストローク及びカッティングストロークが個
々のウエーハについて演算され、不定形のウエーハであ
っても正確に且つ能率良くダイシング出来るのである。
従って、ターンテーブル８と検出手段１０とによる位置
合わせは、所謂個々のウエーハについてのプリアライメ
ントと言うことが出来る。
ライメントストローク及びカッティングストロークが個
々のウエーハについて演算され、不定形のウエーハであ
っても正確に且つ能率良くダイシング出来るのである。
従って、ターンテーブル８と検出手段１０とによる位置
合わせは、所謂個々のウエーハについてのプリアライメ
ントと言うことが出来る。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る不定
形ウエーハ用マウンターは、不定形のウエーハをフレー
ム内の所定位置に位置付けして接着テープにより固定す
るマウンターであって、前記ウエーハの大きさ形状及び
方向を検出する検出手段と、該検出手段の検出データに
基づいて検出したウエーハをマウントエリアの所定位置
に移送する移送手段とを具備し、単数又は複数のウエー
ハをフレームに選択的に搭載させる構成としたことによ
り、従来破損したような不定形のウエーハであっても、
フレームに対してウエーハを方向を揃えてマウントさせ
ることができ、しかもその後のダイシング工程において
も前記検出手段による検出データにより、各ウエーハ毎
に正確に切削が遂行できるので、材料無駄がなくなると
共に、作業性の向上が図れると言う優れた効果を奏す
る。
形ウエーハ用マウンターは、不定形のウエーハをフレー
ム内の所定位置に位置付けして接着テープにより固定す
るマウンターであって、前記ウエーハの大きさ形状及び
方向を検出する検出手段と、該検出手段の検出データに
基づいて検出したウエーハをマウントエリアの所定位置
に移送する移送手段とを具備し、単数又は複数のウエー
ハをフレームに選択的に搭載させる構成としたことによ
り、従来破損したような不定形のウエーハであっても、
フレームに対してウエーハを方向を揃えてマウントさせ
ることができ、しかもその後のダイシング工程において
も前記検出手段による検出データにより、各ウエーハ毎
に正確に切削が遂行できるので、材料無駄がなくなると
共に、作業性の向上が図れると言う優れた効果を奏す
る。
【００２１】更に、前記検出手段の配設位置にウエーハ
を載置するターンテーブルを設け、該ターンテーブルへ
ウエーハを搬送する搬送手段を設けること、及び前記移
送手段が第１のアームと第２のアーム及び吸着部材とか
ら構成され、前記第１のアームと第２のアームとが連動
してウエーハを平行移送させるように構成したことによ
り、不定形のウエーハであってもフレームに対して正確
な方向付けとダイシング工程における切削作業に無駄の
ないマウントが出来ると言う優れた効果を奏する。
を載置するターンテーブルを設け、該ターンテーブルへ
ウエーハを搬送する搬送手段を設けること、及び前記移
送手段が第１のアームと第２のアーム及び吸着部材とか
ら構成され、前記第１のアームと第２のアームとが連動
してウエーハを平行移送させるように構成したことによ
り、不定形のウエーハであってもフレームに対して正確
な方向付けとダイシング工程における切削作業に無駄の
ないマウントが出来ると言う優れた効果を奏する。
【図１】本発明に係るマウンターの要部を略示的に示し
た平面図である。
た平面図である。
【図２】本発明に係るマウンターの要部を略示的に示し
た側面図である。
た側面図である。
【図３】本発明に係るマウンターの作動状況を略示的に
示した要部の平面図である。
示した要部の平面図である。
【図４】本発明に係るマウンターの作動状況を略示的に
示した要部の側面図である。
示した要部の側面図である。
１ 支持台 ２ フレーム ３ 移送手段 ４ 支柱 ５ 第１のアーム ６ 第２のアーム ７ 吸着部材 ８ ターンテーブル ９，１５ａ 吸着面 １０ 検出手段 １１ 搬送手段 １１ａ、１１ｂ エンドレスベルト １２、１３ 駆動ローラ １４ ストッパー部材 １５ ウェーハ反転アーム １６ａ〜１６ｄ ウェーハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｇ Ｈ０１Ｌ 21/301 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｃ Ｎ (56)参考文献 特開 平４−109652（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−363047（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/301
Claims (4)
- 【請求項１】不定形のウェーハをフレーム内の所定位置
に位置付けして接着テープにより固定するマウンターで
あって、前記ウェーハの大きさ形状及び方向を検出する
検出手段と、該検出手段の検出データに基づいて検出し
た前記ウェーハをマウントエリアの前記所定位置に移送
する移送手段とを具備し、単数又は複数の前記ウェーハ
を前記フレームに選択的に搭載させることを特徴とする
不定形ウェーハ用マウンター。 - 【請求項２】前記検出手段の配設位置に前記ウェーハを
載置するターンテーブルを設け、該ターンテーブルへ前
記ウェーハを搬送する搬送手段を設けた請求項１に記載
の不定形ウェーハ用マウンター。 - 【請求項３】前記移送手段が第１のアームと第２のアー
ム及び吸着部材とから構成され、前記第１のアームと第
２のアームとが連動して前記ウェーハを平行移送させる
請求項１に記載の不定形ウェーハ用マウンター。 - 【請求項４】前記搬送手段にストッパー部材とウェーハ
反転アームとを備えた請求項２に記載の不定形ウェーハ
用マウンター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10813791A JP3173038B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 不定形ウエーハ用マウンター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10813791A JP3173038B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 不定形ウエーハ用マウンター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04316348A JPH04316348A (ja) | 1992-11-06 |
| JP3173038B2 true JP3173038B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=14476876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10813791A Expired - Fee Related JP3173038B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 不定形ウエーハ用マウンター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3173038B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100441128B1 (ko) * | 1996-11-28 | 2004-10-08 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지용웨이퍼마운팅방법및그장치 |
-
1991
- 1991-04-15 JP JP10813791A patent/JP3173038B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04316348A (ja) | 1992-11-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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