JP4827573B2 - 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 - Google Patents
基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4827573B2 JP4827573B2 JP2006090614A JP2006090614A JP4827573B2 JP 4827573 B2 JP4827573 B2 JP 4827573B2 JP 2006090614 A JP2006090614 A JP 2006090614A JP 2006090614 A JP2006090614 A JP 2006090614A JP 4827573 B2 JP4827573 B2 JP 4827573B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transport
- transport direction
- detection mark
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
A.基板を搬送方向と直交する方向に移動して位置検出マークを検索し、
B.上記Aで位置検出マークが検出できない場合は基板を搬送方向下流側に所定距離移動した後に基板を搬送方向と直交する方向に移動して位置検出マークを検索する操作を位置検出マークが検出されるまで繰り返すことを特徴とする。
基板1には基板サイズ毎に、その四隅に処理領域の基準位置となる位置検出マークA1〜A4が設けられており、テーブル2の中心を基準に搬送して吸着固定される。
一方、テーブル2の上方には基板の位置を検出するカメラ4a、4bが、各々図示しない軸、駆動部を備えX、Y方向に独立移動可能に配置されている。このカメラ4a、4bは、図4に示すように視野範囲4a’,4b’を有する。カメラ4a、4bを用い、テーブル2の中心位置と基板1の中心位置が一致した状態で基板1が静止されたときの位置検出マークA1、A2の位置を停止基準位置4ak、4bkとした時に、実際に基板1がテーブル2に搬送して吸着固定された時の基板1上の位置検出マークA1、A2を撮像して停止基準位置4ak、4bkと実際の停止位置とのずれ量を測定する。このようにして得られたずれ量に基づいて、上述の基板位置補正手段を用いて基板位置を補正して基板の位置決めを終了し、基板の処理を行う。
A.基板を搬送方向と直交する方向に移動して位置検出マークを検索
することによって、ほとんどの場合、位置検出マークA1、A2を検出することができる。
また、
B.上記Aで位置検出マークが検出できない場合は基板を搬送方向下流側に所定距離移動した後に基板を搬送方向と直交する方向に移動して位置検出マークを検索する操作を位置検出マークが検出されるまで繰り返す
ことによって、位置検出マークA1、A2を検出することができる。
また、基板サイズが異なる基板が搬送される場合は、第1の基板センサーとストッパーを基板サイズ毎に各々の所定の位置に設けることが、基板を各々の停止基準位置まで搬送させるのに要する時間が短縮でき、また、処理部がテーブル中心基準で構築できるため構成が複雑にならないため好ましい。
条件設定工程が終わると基板搬入工程へ移行する。基板搬入工程51終了時に正常に基板が搬入されたかの判定52を行う。その判定結果が正常の場合(YES)、処理工程53へと動作は進む。判定52結果が異常の場合(NO)、メンテナンスコールのフラグがセットされているか判定57し、その判定結果がフラグリセットであれば基板搬出工程55に進むか、人手による基板排出58を行うかの選択54をする。その後、基板搬入を継続するかの判定56を行い、継続であれば基板搬入工程51へ移行する。メンテナンスコールの判定が(YES)の場合、人手による基板排出59を行い、その後、装置メンテナンスのため基板の位置決め動作は終了する。
続いて、基板搬入工程51の作動について、図6の制御ブロック図に基づいて説明する。まず、上流側装置31より基板搬送の動作指令を通信装置30を介して受け取る(ステップS60)。この信号によりテーブル2の搬送ローラ3、ストッパー7はアクチュエータ駆動部27の駆動により上昇(ステップS61)する。基板搬送駆動部24により搬送ローラ3の速度が第1搬送速度に設定される(ステップS62)。なお、上流側装置は、搬送速度を第1搬送速度になるよう予め設定されている。また、搬送方向の中央を基板1が搬送されるように、例えば、ガイドローラにより基板1の両側端面を規制して中央に位置出しした後、搬送するように構成されている。次に、基板1の搬送方向先端部の位置を第2の基板センサー5により検出されると(ステップS63)、予め設定されている時間経過後、基板搬送駆動部24からの駆動により搬送速度を第1搬送速度より低速の第2搬送速度に切り換える(ステップS64)。続いて、基板1の搬送方向先端部の位置を第1の基板センサー6により検出されると(ステップS65)、この検出信号に基づいて基板搬送駆動部24の駆動により減速停止される(ステップS66)。予め基板1が停止基準位置に停止するように設定されている停止時間経過後に、ストッパーセンサーからの信号を判定(ステップS67)する。、その信号がONなら当接した回数が予め設定されている数を越えたか判定する(ステップS68)。予め設定された数を越えていなければカメラ4a、4bの視野内に基板1に設けられている位置検出マークA1、A2が存在するか判定する(ステップS69)。また、ストッパーセンサーからの信号判定(ステップS67)の結果、その信号がOFFの場合も位置検出マークの判定(ステップS69)へ進む。位置検出マークの判定結果で、位置検出マークA1、A2がカメラ4a、4bの視野内に存在する場合、基準停止位置4ak、4bkと位置検出マークA1、A2とのずれ量を算出する(ステップS70)。この算出した値に基づいて、θ軸駆動部21、X軸駆動部22、Y軸駆動部23を駆動して基板位置を補正すると基板1と処理部10の位置あわせができる(ステップS71)。この位置あわせが終了すると基板搬入工程が終了する。
上記条件で、上流のコロ搬送装置から基板を搬入して、テーブル2の停止基準位置近傍に位置するように停止させた。10回基板を搬送した結果、5回ストッパーに当接し、内1回はテーブル2を搬送方向と直交する方向(X方向)に所定距離移動して、検索することでアライメントマークをカメラ視野内に検出し基板の位置決めが行えた。
第2搬送速度のみ50mm/秒に変更した。他の条件は実施例1と同じ。10回基板を搬送した結果、1回がストッパーに当接したが、テーブル2をX方向に所定距離移動することなくカメラ視野内にアライメントマークを検出できた。
第2搬送速度を低速に変更する回数には至っていないが、搬送回数と停止位置のバラツキを考慮して、第2搬送速度のみ40mm/秒に変更した。他の条件は実施例1と同じ。50回基板を搬送した結果、一度もストッパーに当接することなく、基板の停止と同時にカメラ視野内にアライメントマークが検出でき基板の位置決めが行えた。
停止位置のバラツキを考慮して、第2搬送速度のみ35mm/秒に変更した。他の条件は上記と同じ。500回基板を搬送した結果、停止バラツキがY方向、X方向ともにレンジで3mm以内であることが確認できた。なお、第2搬送速度を下げたため基板搬送に時間が要しないよう第1搬送速度から第2搬送速度に切り換えるタイミングを調整した。
第1搬送速度400mm/秒、第2搬送速度100mm/秒で搬送し、停止時間を0.1秒としてテーブル2の停止基準位置近傍に位置するように停止させた。
次に、基板サイズを700m×1200mmに変更して上記と同様の動作を行った。この時、図2に示したように、基板サイズに対応する第1の基板センサー6aから6、ストッパー7aから7が選択された。また、基板の四隅に位置検出マークとしてアライメントマークが設けられている。
なお、このように基板の位置決め動作を行った後は、本発明の実施の形態に従って処理部との位置合わせが行えることは明らかである。
2 テーブル
3 搬送ローラ
4a、4b カメラ
4ak、4bk 停止基準位置
4a’、4b’ 視野
5 第2の基板センサー
6、6a 第1の基板センサー
7、7a ストッパー
10 処理部
20 演算処理部
21 θ軸駆動部
22 X軸駆動部
23 Y軸駆動部
24 基板搬送駆動部
25 画像処理部
26 センサーI/F部
27 アクチュエータ駆動部
28 入力装置
29 出力装置
30 通信装置
31 上流側装置
32 下流側装置
A1〜A4 アライメントマーク
Claims (9)
- 複数の搬送ローラを用いて基板を基板処理装置上に搬送し、該基板の搬送方向先端部の位置を第1の基板センサーで検出して減速を開始し、搬送方向と直交する方向への位置規制を行わずに該基板上に設けた位置検出マークが停止基準位置近傍に位置するように停止させ、該位置検出マークをカメラで撮像して停止基準位置と実際の停止位置とのずれ量を検出し、前記ずれ量に基づいて基板位置を補正する基板の位置決め方法であって、基板が停止基準位置近傍より搬送方向下流側に進むことを防止するためのストッパーを設け、基板の搬送方向先端部の位置を第1の基板センサーで検出した時の位置検出マークの位置と停止基準位置の搬送方向の距離をL1、基板がストッパーに当接した場合の位置検出マークの位置と停止基準位置の搬送方向の距離をL2とした場合、停止基準位置、停止基準位置よりも搬送方向上流側にL1離れた位置、停止基準位置よりも搬送方向下流側にL2離れた位置の3つがカメラの視野内となるように予め第1の基板センサー、ストッパーおよびカメラを配する基板の位置決め方法。
- 前記第1の基板センサーより搬送方向上流側に第2の基板センサーを設け、基板の搬送方向先端部を該第2の基板センサーで検出して搬送速度を第1搬送速度から第1搬送速度より低速の第2搬送速度に切り替える請求項1に記載の基板の位置決め方法。
- 前記基板が前記ストッパーに当接した回数が予め設定した数を越えた場合に第2搬送速度を低速に変更する請求項2に記載の基板の位置決め方法。
- 前記位置検出マークを前記カメラで撮像する際、位置検出マークがカメラの視野内にない場合、
A.基板を搬送方向と直交する方向に移動して位置検出マークを検索し、
B.上記Aで位置検出マークが検出できない場合は基板を搬送方向下流側に所定距離移動した後に基板を搬送方向と直交する方向に移動して位置検出マークを検索する操作を位置検出マークが検出されるまで繰り返す請求項1〜3のいずれかに記載の基板の位置決め方法。 - 請求項4に記載の基板の位置決め方法を含む基板の処理方法であって、検索を行った回数を記録し、検索を行った回数が予め設定した数を超えた場合は位置決め動作を停止し、警報を発するとともに上下流装置に対し異常信号を送信する基板の処理方法。
- 前記上下流装置に対し異常信号を送信した回数を位置決め異常回数として記録し、位置決め異常回数が予め設定した数を超えた場合は装置のメンテナンスを促す警報を発する請求項5に記載の基板の処理方法。
- 請求項1〜4に記載の基板の位置決め方法により基板を搬入した後に蛍光体粉末を含むペーストを塗布する工程を含むプラズマディスプレイ背面板の製造方法。
- 基板を基板処理装置上に搬送するための複数の搬送ローラ、該基板の搬送方向先端部の位置を検出して減速し停止させるための信号を発する第1の基板センサー、該第1の基板センサーより搬送方向上流側に位置し、基板の搬送方向先端部を検出して搬送速度を第1搬送速度から第1搬送速度より低速の第2搬送速度に切り替える信号を発する第2の基板センサー、該基板上に設けた位置検出マークを撮像して所定の停止基準位置と実際の停止位置とのずれ量を検出するカメラ、および基板が停止基準位置近傍より搬送方向下流側に進むことを防止するためのストッパー、および前記ずれ量に基づいて基板の位置を補正する基板位置補正手段を有する基板の位置決め装置であって、該基板の搬送方向先端部の位置が該第1の基板センサーによる検出位置にある時の該位置検出マークの位置と該停止基準位置の搬送方向の距離をL1、該基板が該ストッパーに当接する位置にある時の該位置検出マークの位置と該停止基準位置の搬送方向の距離をL2とした場合、停止基準位置、停止基準位置よりも搬送方向上流側にL1離れた位置、停止基準位置よりも搬送方向下流側にL2離れた位置の3つがカメラの視野内となるように基板センサー、ストッパーおよびカメラを配してなる基板の位置決め装置。
- 請求項8記載の基板の位置決め装置および蛍光体ペースト塗布装置を備えたプラズマディスプレイの背面板の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006090614A JP4827573B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006090614A JP4827573B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007266393A JP2007266393A (ja) | 2007-10-11 |
JP4827573B2 true JP4827573B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=38639073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006090614A Expired - Fee Related JP4827573B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4827573B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5751583B2 (ja) * | 2011-06-09 | 2015-07-22 | 富士機械製造株式会社 | 基板搬送装置、電子部品実装機、基板搬送方法、電子部品実装方法 |
KR101481992B1 (ko) * | 2012-12-05 | 2015-01-14 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 기판 이송 장치 |
WO2020240939A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 新東工業株式会社 | 情報処理装置および情報処理方法 |
CN113892066B (zh) | 2019-05-29 | 2024-08-30 | 新东工业株式会社 | 信息处理系统、网关、服务器以及信息处理方法 |
CN114702238A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-07-05 | 潍坊兴明光电科技有限公司 | 用于掰片机的玻璃精切刀痕检测控制系统及掰片设备 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2799032B2 (ja) * | 1990-03-02 | 1998-09-17 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | 視覚認識位置補正方法 |
JPH11121992A (ja) * | 1997-10-08 | 1999-04-30 | Fujitsu Ten Ltd | 加工装置および電子回路素子の実装装置 |
JP2003101289A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント基板の搬入方法および装置 |
JP2004228326A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 基板停止位置制御方法および装置 |
-
2006
- 2006-03-29 JP JP2006090614A patent/JP4827573B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007266393A (ja) | 2007-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4836567B2 (ja) | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法並びに搬送装置 | |
JP4827573B2 (ja) | 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 | |
CN110510405B (zh) | 一种物料传输方法、传输装置、传输系统及可读存储介质 | |
WO2017022127A1 (ja) | 印刷システム及び印刷方法 | |
JP2007112626A (ja) | 基板搬送装置及び基板検査装置並びに基板搬送方法 | |
JP5282137B2 (ja) | 基板作業装置 | |
CN103959932A (zh) | 部件安装方法及部件安装系统 | |
JP2006312304A (ja) | 印刷装置および印刷方法 | |
KR101509660B1 (ko) | 고정밀도 전자동 라미네이팅 장치 | |
JP4503954B2 (ja) | 基板位置決め装置及び基板位置決め方法 | |
JP2011124493A (ja) | 部品実装装置及び部品実装方法 | |
JP4788362B2 (ja) | 基板の位置合わせ方法 | |
KR101481992B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
JP2011091288A (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
JP2014014989A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送装置における異物の検出方法 | |
JP2013233639A (ja) | ワークの位置検出方法及びそれを用いたワークの搬送方法 | |
JP2020116612A (ja) | ワーク搬送システム、搬送ワーク枚数検出装置及びワーク搬送システムの制御方法 | |
JP4261932B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2018163272A (ja) | 露光装置 | |
JP2010029878A (ja) | 供出装置及びその供出方法 | |
JP5400082B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
JP4962147B2 (ja) | 基板搬送装置および基板搬送方法 | |
JP6602584B2 (ja) | 部品実装機 | |
JPH05162845A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2009078876A (ja) | 交差コンベアおよび搬送方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090310 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100329 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100329 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100329 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110405 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110826 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4827573 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |