JP2005178919A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 分岐搬送を高能力に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 中継搬送部５ｃを、それに備えさせた推進力付与手段４にて主搬送部から搬送物２を搬入し、搬送物２の上面２ｂを吸着保持して搬送物２を昇降並びに副搬送方向に移送可能な移送手段６にて搬入した搬送物２を副搬送部５ｂに搬出することにより、分岐搬送を行うように構成する。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられている搬送装置に関するものである。

かかる搬送装置は、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持し、推進力付与手段にて搬送方向での推進力を接触状態で搬送物に付与するように構成されているものであり、例えば、搬送物として液晶用のガラス基板を搬送する場合では、ガラス基板における製品化される部分を送風式支持手段にて非接触状態に支持し、ガラス基板における製品化する際にカットされる部分を前記推進力付与手段にて推進力を接触状態で付与するというように、搬送物における接触支持が好ましくない部分を支持しながら接触状態で推進力を付与して搬送物を確実に搬送するのに適している。
そして、メイン搬送方向に搬送物を搬送するメイン搬送部と、メイン搬送方向と交差するサブ搬送方向に搬送物を搬送するサブ搬送部とを備えて、搬送物の搬送方向をメイン搬送方向からサブ搬送方向に切り換えて搬送する場合では、搬送物をメイン搬送部からサブ搬送部に搬出する分岐搬送を行う必要がある。
そこで、メイン搬送部とサブ搬送部との接続箇所に位置し、メイン搬送部から搬送物を搬入し、その搬入した搬送物をサブ搬送部に搬出する分岐搬送を行う分岐搬送用の搬送部を設け、その分岐搬送用の搬送部が、搬送物の下面を支持して搬送物を昇降並びに副搬送部に向けて移送可能な移載手段にて搬入した搬送物をサブ搬送部に搬出することにより、分岐搬送を行うように構成されているものがあった（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０００−６２９５１号公報

上記従来の分岐搬送用の搬送部では、メイン搬送部から搬入した搬送物をその下面を送風式支持手段にて支持し、その送風式支持手段を移動させて搬送物をサブ搬送部に搬出させて分岐搬送を行うものであり、分岐搬送用の搬送部に搬入された搬送物を送風式支持手段にて支持するためには、搬入された搬送物とその搬送物の下面を支持すべく所定の位置に移動しようとする送風式支持手段との接当を回避するために、送風式支持手段を先に所定の位置に移動させた後に搬送物を分岐搬送用の搬送部に搬入させる必要があり、先の搬送物の分岐搬送が終了する前に次の搬送物を予め分岐搬送用の搬送部に搬入させておくことができないので、分岐搬送を能率良く行えないという不利がある。

本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、分岐搬送を高能力に行うことができる搬送装置を提供する点にある。

本願発明の搬送装置は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられている搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記搬送部として、搬送物を主搬送方向に搬送する主搬送部、搬送物を前記主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する副搬送部、及び、前記主搬送部と前記副搬送部との接続箇所に位置して、前記主搬送部から搬送物を搬入しその搬入した搬送物を前記副搬送部に搬出する分岐搬送を行う中継搬送部が設けられ、前記中継搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段にて前記主搬送部から搬送物を搬入し、搬送物の上面を吸着保持して搬送物を昇降並びに前記副搬送方向に移送可能な移送手段にて前記搬入した搬送物を前記副搬送部に搬出することにより、前記分岐搬送を行うように構成されている点を特徴とする。

すなわち、中継搬送部に備えられた推進力付与手段にて主搬送部から中継搬送部に搬入し、その搬入した搬送物の上面を移送手段にて吸着保持し、その移送手段にて搬送物を昇降並びに副搬送方向に移送させて搬送物を副搬送部に搬出することにより分岐搬送が行われる。
つまり、分岐搬送すべく中継搬送部に搬入された先の搬送物の上面を吸着保持してその先の搬送物を上昇させた状態で次の搬送物を中継搬送部に搬入することができ、また、このように先の搬送物の分岐搬送が終了する前に後の搬送物を予め中継搬送部に搬入しておいたとしても、移送手段が搬送物の上面を吸着保持した状態でその搬送物を昇降並びに副搬送方向に移送させる用に構成されているため、予め中継搬送部に搬入しておいた搬送物の上面を吸着保持してその搬送物を副搬送部に搬出することができる。
従って、先の搬送物の分岐搬送が終了する前に次の搬送物を予め分岐搬送用の搬送部に搬入させておくことができるので、分岐搬送を能率良く行うことができ、もって、分岐搬送を高能力に行うことができる搬送装置を提供することができるに至った。

第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記副搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下面に前記推進力付与手段を接触させる搬送状態と前記送風式支持手段にて支持される搬送物に対して前記推進力付与手段を非接触状態とする退避状態とに切り換え可能に構成されている点を特徴とする。

すなわち、移送手段にて退避状態に切り換えた副搬送部に搬送物を搬出し、その後、副搬送部を搬送状態に切り換え、搬出された搬送物を副搬送部に備えられた推進力付与手段にて推進力を付与するように構成することにより、搬送物の下面に接触させた推進力付与手段にて搬送物を副搬送方向に確実に搬送することができながら、搬送物を副搬送部に搬出する際の搬送物と推進力付与手段との接当による搬送物の破損を未然に防ぐことができる。

第３特徴構成は、上記第１又は第２特徴構成に加えて、前記中継搬送部が、前記移送手段にて前記副搬送部から搬送物を搬入しその搬入した搬送物を前記推進力付与手段にて前記主搬送部に搬出することにより、前記副搬送部から搬送物を搬入しその搬入した搬送物を前記主搬送物に搬出する合流搬送を行うように構成されている点の特徴とする。

すなわち、例えば、中継搬送部の主搬送方向の両側に主搬送部を設け、搬送物を副搬送方向の正逆方向に移動可能に移送手段を構成して、推進力付与手段にて搬送上手側の主搬送部から中継搬送部に搬入し、その搬入した搬送物を移送手段にて中継搬送部から副搬送部に搬出して分岐搬送を行い、移送手段にて副搬送部から中継搬送部に搬入し、その搬入した搬送物を推進力付与手段にて中継搬送部から搬送下手側の主搬送部に搬出して合流搬送を行うというように、分岐操作と合流搬送との両方を行うことができる中継搬送部に構成することができる。

第４特徴構成は、上記第１〜第３特徴構成に加えて、前記中継搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下面に前記推進力付与手段を接触させる搬送状態と前記送風式支持手段にて支持される搬送物に対して前記推進力付与手段を非接触状態とする退避状態とに切り換え可能に構成されている点を特徴とする。

すなわち、例えば、推進力付与手段にて搬送上手側の主搬送部から中継搬送部に搬入し、その搬入した搬送物を移送手段にて中継搬送部から副搬送部に搬出する分岐搬送を行う場合に、中継搬送部に搬出された搬送物を移送手段にて吸着保持する際に中継搬送部を退避状態に切り換えておくことにより、搬送物を吸着保持すべく移送手段を搬送物の上面に押し付けたとしても、搬送物が移送手段と推進力付与手段とに挟まれることがなく、搬送物の破損を未然に防ぐことができる。
また、例えば、移送手段にて副搬送部から中継搬送部に搬入し、その搬入した搬送物を推進力付与手段にて中継搬送部から搬送下手側の主搬送部に搬出する合流搬送を行う場合では、移送手段にて退避状態に切り換えた中継搬送部に搬送物を搬出し、その後、中継搬送部を搬送状態に切り換え、搬出された搬送物を中継搬送部に備えられた推進力付与手段にて推進力を付与するように構成することにより、搬送物を確実に主搬送方向に搬送することができながら、搬送物を中継搬送部に搬出する際の搬送物と推進力付与手段との接当による搬送物の破損を未然に防ぐことができる。

第５特徴構成は、上記第１〜第４特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記主搬送方向及び副搬送方向に並べて構成されている点を特徴とする。

すなわち、送風手段と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを主搬送方向及び副搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。

以下、本発明に係る搬送装置を搬送物として液晶用の矩形状のガラス基板を搬送するように構成した場合について図面に基づいて説明する。

図１に示すように、搬送装置Ｈは、ガラス基板２を主搬送方向に搬送する主搬送部５ａ、ガラス基板２を主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する副搬送部５ｂ、及び、主搬送部５ａと副搬送部５ｂとの接続箇所に位置して、主搬送部５ａからガラス基板２を搬入しその搬入したガラス基板２を副搬送部５ｂに搬出する中継搬送部５ｃが搬送部として設けられている。

図２、図９に示すように、各搬送部は、非接触状態で支持する送風式支持手段３と接触状態で支持する推進力付与手段４とでガラス基板２を支持し、その支持されたガラス基板２に搬送方向の推進力を推進力付与手段４にて付与してガラス基板２を搬送方向に搬送するように構成され、これら送風式支持手段３や推進力付与手段４が収納ケース７に収納されている。
そして、図１２に示すように、搬送経路上にガラス基板２が存在するか否かを検出する中継搬送部５ｃに備えられた在物センサＴの検出結果に基づいて、各搬送部に備えられた推進力付与手段４、ガラス基板２の上面２ｂを吸着保持してガラス基板２を昇降並びに副搬送方向に移送可能な移送手段６等の運転を制御する制御装置Ｅが備えられている。
また、主搬送部５ａは、主搬送ユニットを１つ或いは複数を並べて構成されており、副搬送部５ｂは、副搬送ユニットを１つ或いは複数を並べて構成されており、中継搬送部５ｃは、１つの中継搬送ユニットにて構成されている。つまり、搬送装置Ｈは、主搬送ユニットと副搬送ユニットと中継搬送ユニットとを組み合わせて構成されている。

中継搬送部５ｃについて説明する。
図２、図３に示すように、中継搬送部５ｃは、中継搬送部５ｃに備えさせた送風式支持手段３と、ガラス基板２に搬送方向の推進力を付与する中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４と、前記検出センサＴと、これら送風式支持手段３、推進力付与手段４及び検出センサＴを収納する中継搬送部５ｃに備えられたケース体７とを備えて構成されている。

中継搬送部５ｃに備えられた前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略矩形状のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の両側に搬送方向に沿って固定状態で備えた収納フレーム８とを備えて構成されている。
図４に示すように、前記収納フレーム８のそれぞれは、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成され、収納フレーム８の下壁８ｂには、収納フレーム内の空気を外部に排出する外部排出口２１を備えている。そして、外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納フレーム８内の空気が清浄されて外部に排出されるように構成されている。
前記ユニット用枠体９は、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を導入する空気導入口１１を備えた略矩形で板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。

中継搬送部５ｃに備えられた前記送風式支持手段３について説明すると、図３〜図５に示すように、前記送風式支持手段３は、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する複数個のファンフィルタユニット（送風ユニットの一例）１４と、このファンフィルタユニット１４に載置支持されてガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う整風板１５とを備えて構成されている。ファンフィルタユニット１４は、前記支持枠部分９ａに連結固定されており、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風ファン１３（送風手段の一例）とを一体的に組み付けて構成されている。尚、整風板１５には、パンチングにより形成された通気孔１５ａが形成されている。

次に、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４について説明する。図６〜図８に示すように、前記推進力付与手段４は、ガラス基板２における横幅方向の両端部を接触支持する一対のローラ式の推進力付与部４ａを備えて両側駆動式に構成され、一対の推進力付与部４ａは前記一対の収納フレーム８に振り分けて備えられている。
推進力付与部４ａのそれぞれは、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は収納フレーム８内に配備されており、前記出力軸２６は、収納フレーム８から突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納フレーム８から突出する部分にはガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する前記駆動ローラ２４が備えられており、この駆動ローラ２４には、図７に示すように、ガラス基板２の横幅方向の両端部の側面に接当して、ガラス基板２の横幅方向への移動を受け止める大径部２４ａが備えられている。

次に、主搬送部５ａについて説明する。尚、中継搬送部５ｃと同様に構成されるものについては、中継搬送部５ｃと同じ符号を付け、説明は省略する。
図９に示すように、主搬送部５ａは、主搬送部５ａに備えさせた送風式支持手段３と、ガラス基板２に搬送方向の推進力を付与する主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３及び推進力付与手段４を収納する主搬送部５ａに備えさせたケース体７とを備えて構成されている。そして、ケース体７は、前記ユニット用枠体９と前記一対の収納フレーム８とに加えて、一対の収納フレーム７の上端部にわたって備えた搬送カバー２０を備えて構成されている。

次に、副搬送部５ｂについて説明するが、副搬送部５ｂにおける搬入用副搬送部５ｂａを除く部分と主搬送部５ａとは、横幅が異なる以外は同様に構成されているため、副搬送部５ｂにおける搬入用副搬送部５ｂａを除く部分については主搬送部５ａと同じ符号を付け、説明を省略する。また、搬入用副搬送部５ｂａについても、他の搬送部と同様に構成されているものについては同様の符号を付け、説明を省略する。

図１に示すように、副搬送部５ｂには、中継搬送部５ｃからガラス基板２を搬入するための搬入用副搬送部５ｂａが備えられている。
図１０に示すように、搬入用副搬送部５ｂａは、搬入用副搬送部５ｂａに備えさせた送風式支持手段３と、ガラス基板２に副搬送方向の推進力を付与する搬入用副搬送部５ｂａに備えさせた推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３及び推進力付与手段４を収納する搬入用副搬送部５ｂａに備えさせたケース体７とを備えて構成されている。
そして、搬入用副搬送部５ｂａは、それに備えさせた推進力付与手段４を昇降操作することにより、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２の下面２ａに推進力付与手段４を接触させる搬送状態と送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して推進力付与手段４を非接触状態とする退避状態とに切り換え可能に構成されている。

搬入用副搬送部５ｂａに備えられた推進力付与手段４の昇降操作について説明すると、一対の収納フレーム８のそれぞれが、ユニット用枠体９に昇降操作自在に支持されている。つまり、収納フレーム８のそれぞれの下部には、この収納フレーム８を昇降操作するための電動式のフレーム用モータ３１が設けられており、このフレーム用モータ３１の出力ギヤ３１ａと、ユニット用枠体９における支持枠部分９ａの側面に形成されたギヤ溝９ｃとが噛み合わされている。従って、一対のフレーム用モータ３１をそれぞれ正逆方向に駆動回転させることによって、一対の収納フレーム８の夫々が昇降し、その一対の収納ブレーム８に備えられている推進力付与手段４が昇降操作されることとなる。尚、図１０は、搬入用副搬送部５ｂａを退避状態に切り換えた状態を示している。

次に、前記移送手段６について説明する。図２、図３、図１１に示すように、移送手段６は、支持部６ｂの下面にガラス基板２の上面５ｂを吸着保持する吸着パット６ａが備えられており、図外の駆動機構により吸着パット６ａを昇降操作並びに主搬送部５ａ上と搬入用副搬送部５ｂａ上とに移動操作自在に構成されている。よって、ガラス基板２の上面５ｂを吸着保持した状態で吸着パット６ａを昇降操作並びに副搬送方向に移動させることにより、ガラス基板２を昇降並びに副搬送方向に移送可能に構成されている。

次に、図１の矢印Ａに示すような、ガラス基板２を搬送上手側の主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２を搬送方向を変えずに搬送下手側の主搬送部５ａに搬出する主搬送、及び、矢印Ｂに示すような、ガラス基板２を主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えてガラス基板２を副搬送部５ｂに搬出する分岐搬送を行う場合について説明する。
図１の矢印Ａで示すような主搬送を行なう場合では、ガラス基板２に対して主搬送方向の推進力を付与すべく主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４並びに中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４を作動させ、ガラス基板２は搬送上手側の主搬送部５ａから中継搬送部に５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２は搬送下手側の主搬送部５ａに搬出する。

また、図１の矢印Ｂで示すような分岐搬送を行なう場合では、まず、ガラス基板２に対して主搬送方向の推進力を付与すべく主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４並びに中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４を作動させ、ガラス基板２は搬送上手側の主搬送部５ａから中継搬送部に５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２が中継搬送部５ｃの所定の位置まで搬送されたことが前記検出センサＴにて検出されると、主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４並びに中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４の作動を停止させる。尚、この状態では、図１１（イ）に示すように送風式支持手段３並びに推進力付与手段４にて下面２ａが支持されている。

そして、中継搬送部５ｃに搬入されたガラス基板２を、移送手段６にて副搬送部５ｂにおける搬入用副搬送部５ｂａに搬出する。このガラス基板２を搬入用副搬送部５ｂａに搬出させる際の移送手段６の作動を詳述すると、移送手段６を下降させて中継搬送部５ａに搬入されたガラス基板２の上面２ｂに吸着パット６ａを押し当て、吸着パット６ａにてガラス基板２の上面２ｂを吸着保持し、その吸着パット６ａを上昇操作して、図１１（ロ）に示すようにガラス基板２を上昇させる。その後、吸着パット６ａを副搬送方向に移動させてガラス基板２を搬入用副搬送部５ｂａ上まで移送し、送風式支持手段３にて吸着保持したガラス基板２の下面２ａが支持されている図１０、図１１（ハ）に示すような状態まで吸着パット６ａを下降操作してからガラス基板２に対する吸着保持を解除する。

このガラス基板２を搬入用副搬送部５ｂａに搬出する際には、搬入用副搬送部５ｂａに備えられた推進力付与手段４は下降操作されて搬入用副搬送部５ｂａが退避状態に切り換えられており、吸着パット６ａにて吸着保持されたガラス基板２と搬入用副搬送部５ｂａに備えられた推進力付与手段４とが接触しないように構成されている。そして、ガラス基板２が搬入用副搬送部５ｂａに搬出されて吸着パット６ａが上方に退避した後、推進力付与手段４が上昇操作されて搬入用副搬送部５ｂａが搬送状態に切り換えられ、ガラス基板２は推進力付与手段４にて副搬送方向の推進力が付与されて搬送下手側の副搬送部５ｂに搬送される。

作動を停止させた主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４並びに中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４は、移送手段６にてガラス基板２を図１１（ロ）に示すように上昇されると作動が再開する。
そして、上記のように分岐搬送を行うガラス基板２の次に搬送される次のガラス基板２が主搬送方向に搬送され、この次のガラス基板２が主搬送を行うものであれば検出センサＴにて検出された後も推進力付与手段４の作動を継続して、搬送下手側の主搬送部５ａに搬出し、次のガラス基板２が分岐搬送を行うものであれば、検出センサＴにて検出されると推進力付与手段の作動を停止させ、移送手段にて副搬送部に搬出されるように中継搬送部５ｃ上で待機させておく。
つまり、先のガラス基板２の分岐搬送が終了する前に分岐搬送を行う次のガラス基板２を予め中継用搬送部５ｃに搬入させておくことができ、先のガラス基板２の分岐搬送が終了した際に図１１（ハ）に示すように、次のガラス基板２が予め中継用搬送部５ｃに搬入されていると図１１（ロ）に示すように、分岐搬送を連続して行うことができる。

〔別実施の形態〕
（１） 上記実施の形態では、主搬送と分岐搬送とを行えるようにしたが、図１３に示すように分岐搬送のみを行えるようにしてもよい。

（２） 上記実施の形態では、主搬送と分岐搬送とを行えるように構成したが、この主搬送と分岐搬送とに加えて、図１４に示すように、中継搬送部５ｃの副搬送方向の両側に副搬送部５ｂを備えて、矢印Ｃで示すように、搬送上手側の副搬送部５ｂからガラス基板２を搬入しその搬入したガラス基板２を搬送下手側の主搬送部５ａに搬出する合流搬送も行えるように構成してもよい。この場合、移送手段６にて副搬送部５ｂから中継搬送部５ｃにガラス基板２を搬入しその搬入したガラス基板２を中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４にて主搬送部５ａに搬出する。また、搬送上手側の副搬送部５ｂのガラス基板２を移送手段６にて中継搬送部５ｃを越えて搬送下手側の副搬送部５ｂ（搬入用副搬送部５ｂａ）に搬出する副搬送を行えるように構成してもよい。

（３） 上記各実施の形態において、移送手段６を、中継搬送部５ｃから副搬送部５ｂに搬出する際に吸着保持したガラス基板２を縦軸芯周りに所定角度（９０°）回転可能に構成し、主搬送部５ａにおける主搬送方向に対するガラス基板２の姿勢と副搬送部５ｂにおける副搬送方向に対するガラス基板２の姿勢とが同じ姿勢になるようにして、主搬送部と副搬送部とで搬送部を兼用できるように構成してもよい。

（４） 上記各実施の形態では、副搬送部５ｂにおける推進力付与部４を昇降操作することにより、副搬送部５ｂを搬送状態と退避状態とに切り換えるように構成したが、副搬送部５ｂにおける送風式支持手段３を昇降操作させる、或いは、副搬送部５ｂにおける送風式支持部３と副搬送部５ｂにおける推進力付与部４との両方を昇降操作させることにより、副搬送部５ｂを搬送状態と退避状態とに切り換えるように構成してもよい。
また、副搬送部５ｂだけでなく、中継搬送部５ｃにおける送風式支持手段３及び推進力付与手段４の一方或いは両方を昇降操作可能に構成して、中継搬送部５ｃを搬送状態と退避状態とに切り換えられるように構成し、吸着パット６ａをガラス基板２の上面２ａに押し当てる際に中継搬送部５ｃを退避状態に切り換えておくように構成してもよい。

（５） 上記各実施の形態では、推進付与部４ａを、複数の駆動ローラ２４を備えて構成したが、複数の駆動ローラ２４に替えてタイミングベルト等の無端帯状体を備えて構成してもよい。

（６） 上記各実施の形態では、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に組付けたファンフィルタユニット１４を例示したが、必ずしも除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に取り付ける必要はなく、送風ファン１３にて送風される空気を除塵フィルタ１２に案内する案内路などを設けて、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを別体にて構成して実施することも可能である。

（７） 上記実施の形態では、搬送物として、液晶用のガラス基板２としたが、半導体のウェハ等でもよく、搬送物の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。

搬送装置の平面図 中継搬送部の斜視図 中継搬送部の正面図 中継搬送部の一部拡大正面図 中継搬送部の側面図 推進力付与手段の側面図 推進力付与手段の正面図 推進力付与手段の一部拡大側面図 主搬送部の斜視図 搬入用搬送部の一部拡大正面図 搬送装置の分岐搬送の作用図 搬送装置の制御ブロック図 別実施の形態（１）における搬送装置の平面図 別実施の形態（２）における搬送装置の平面図

符号の説明

２ ガラス基板（搬送物）
２ａ 下面
２ｂ 上面
３ 送風式支持手段
４ 推進力付与手段
５ａ 主搬送部
５ｂ 副搬送部
５ｃ 中継搬送部
６ 移送手段
１２ 除塵フィルタ
１３ 送風ファン（送風手段）
１４ ファンフィルタユニット（送風ユニット）

Claims (5)

1. 搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられている搬送装置であって、
   前記搬送部として、搬送物を主搬送方向に搬送する主搬送部、搬送物を前記主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する副搬送部、及び、前記主搬送部と前記副搬送部との接続箇所に位置して、前記主搬送部から搬送物を搬入しその搬入した搬送物を前記副搬送部に搬出する分岐搬送を行う中継搬送部が設けられ、
   前記中継搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段にて前記主搬送部から搬送物を搬入し、搬送物の上面を吸着保持して搬送物を昇降並びに前記副搬送方向に移送可能な移送手段にて前記搬入した搬送物を前記副搬送部に搬出することにより、前記分岐搬送を行うように構成されている搬送装置。
2. 前記副搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下面に前記推進力付与手段を接触させる搬送状態と前記送風式支持手段にて支持される搬送物に対して前記推進力付与手段を非接触状態とする退避状態とに切り換え可能に構成されている請求項１記載の搬送装置。
3. 前記中継搬送部が、前記移送手段にて前記副搬送部から搬送物を搬入しその搬入した搬送物を前記推進力付与手段にて前記主搬送部に搬出することにより、前記副搬送部から搬送物を搬入しその搬入した搬送物を前記主搬送物に搬出する合流搬送を行うように構成されている請求項１又は２記載の搬送装置。
4. 前記中継搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下面に前記推進力付与手段を接触させる搬送状態と前記送風式支持手段にて支持される搬送物に対して前記推進力付与手段を非接触状態とする退避状態とに切り換え可能に構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
5. 前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記主搬送方向及び副搬送方向に並べて構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。

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