KR20050021935A - 반송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 반송물에 대하여 가로폭 방향의 단부에 대하여 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비함으로써, 반송물의 반송 방향, 또는 반송 자세의 적어도 어느 한쪽을 변경할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 본 발명은 반송물(2)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 장치(33)와, 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 장치(34)를 각각 가지는 제1 반송부와 제2 반송부와, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부를 연결하는 위치에 배치된 중계 반송부를 구비하는 반송 장치로서, 추진력 부여 장치(34)는 송풍식 지지 장치(33)에 의해 지지되는 반송물(2)의 하면에 접촉함으로써 추진력을 부여하고, 중계 반송부에 도달한 반송물의 반송 방향, 또는 반송 자세의 적어도 어느 한쪽을 변경하여, 반송 방향에서 하류측의 반송부에 상기 반송물을 건네주는 핸드오버 장치(45A, 46A)가 반송 장치에 구비되어 있다.

Description

반송 장치 {TRANSPORTING APPARATUS}

본 발명은, 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 상기 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 각각 가지는 제1 반송부와 제2 반송부와, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부를 연결하는 위치에 배치된 중계 반송부를 구비하는 반송 장치에 관한 것이다.

이와 같은 반송 장치는, 액정용의 유리 기판 등의 상기 반송물을 반송하기 위해 사용되는 것으로서, 종래의 반송 장치에서는, 추진력 부여 수단을, 상기 반송물에 있어서의 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 양단측에 대해 추진력을 부여하는 양측 구동식으로 구성하고, 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 상기 반송물을 반송하도록 구성하고 있었다(예를 들면, 일본국 특개 2002-321820호 공보 참조).

또, 상기 반송물의 반송 방향을 변경하는 종래의 다른 반송 장치에서는, 상기 반송물을 제1 반송 방향으로 반송하는 제1 반송부와, 상기 반송물을 상기 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하는 제2 반송부와, 제1 반송부의 반송 아래쪽 단부로 반송된 상기 반송물의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 변경하여 제2 반송부의 반송 위쪽 단부에 주고 받는 중계 반송부가 구비되어 있는 것이 있었다(예를 들면, 일본국 특개 2000-62951호 공보 참조).

그리고, 그 중계 반송부는, 상기 반송물을 유지하는 유지 기구와, 그 유지 기구를 세로 축심 주위에서 회전시키는 회전 구동부와, 유지 기구를 승강시키는 에어 실린더를 구비하고, 제1 반송부의 반송 아래쪽 단부로 반송된 상기 반송물을 유지 기구에 의해 유지하고, 그 유지 기구를, 에어 실린더에 의해 상승시켜, 회전 구동부에 의해 세로 축심 주위에 회동시켜 상기 반송물을 제2 반송부의 위쪽에 위치시키고, 에어 실린더에 의해 하강시켜, 제2 반송부의 반송 위쪽 단부에 주고 받도록 하여 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 변경하도록 구성되어 있었다.

상기의 제1 반송 장치에서는, 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 수 없는 것이었다.

또, 상기의 제2 반송 장치에서는, 중계 반송부에, 유지 기구나 에어 실린더, 회전 구동부 등을 구비하여, 가로폭 방향의 하류 반송부 측에 위치하는 기구를 넘어 상기 반송물을 반송시킬 필요가 있어, 구성이 복잡한 것으로 되어 있었다. 또, 이 반송 장치에서는, 상기 반송물을 비접촉으로 지지하는 장치 전체를 레일 상에서 이동시키는 구조를 가진다. 이와 같은 장치에서는, 상기 반송물을 비접촉으로 지지하기 위해 공급하는 공기를 보내는 튜브의 길이에 한도가 있기 때문에, 긴 반송로의 이용에는 적합하지 않다.

본 발명의 목적은, 상기 반송물에 대하여 접촉하여 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비한 것으로서, 상기 반송물의 반송 방향, 또는 반송 자세의 적어도 어느 한쪽을 변경할 수 있는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

본원 발명의 반송 장치는, 상기 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 상기 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 각각 가지는 제1 반송부와 제2 반송부와, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부를 연결하는 위치에 배치된 중계 반송부를 구비하는 반송 장치로서,

청구항 1의 특징에 의하면, 상기 추진력 부여 수단은 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 상기 반송물의 하면에 접촉함으로써 상기 추진력을 부여하고, 상기 중계 반송부에 도달한 반송물의 반송 방향, 또는 반송 자세의 적어도 어느 한쪽을 변경하여, 하류측의 반송부에 상기 반송물을 건네주는 수단이 반송 장치에 구비되어 있EK.

이로써, 상기 반송물에 대하여 접촉하여 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비함으로써, 상기 반송물의 반송 방향을 변경할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

청구항 2의 특징에 의하면, 상기 제1 반송부는, 상기 반송물을 제1 반송 방향으로 반송하고, 상기 제2 반송부는 상기 반송물을 상기 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하고, 상기 중계 반송부는, 상기 제1 반송부로부터 받은 상기 반송물의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 변경하여 상기 제2 반송부에 주고 받고,

상기 변경하는 수단은 상기 중계 반송부에 구비되고, 상기 변경하는 수단은, 상기 반송물에 있어서의, 상기 제1 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 상기 제2 반송부로부터 멀어지는 쪽의 가로폭 일단부에 대하여 상기 제1 반송 방향의 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성된 제1 추진력 부여부와, 상기 반송물에 있어서의, 상기 제2 반송 방향과 직교하는 전후 폭방향의 상기 제1 반송부로부터 멀어지는 쪽의 전후폭 일단부에 대하여 상기 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성된 제2 추진력 부여부를 구비하여, 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되어 상기 제1 반송 방향으로 반송된 상기 반송물을, 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력을 부여하여 상기 제2 반송 방향으로 반송하도록 상기 반송물의 반송 방향을 변경한다.

따라서, 상기 반송물에 있어서의 가로폭 방향의 제2 반송부가 위치하는 측에는 추진력 부여 수단이 없고, 상기 반송물은 가로폭 방향에서의 제2 반송부가 위치하는 측으로 이동 가능한 상태로 되어 있다. 또한, 상기 반송물에 있어서의 전후 폭방향의 제1 반송부가 위치하는 측에는 추진력 부여 수단이 없고, 상기 반송물은 전후 폭방향에서의 제1 반송부가 위치하는 측으로부터 이동 가능한 상태로 되어 있다.

즉, 제2 추진력 부여부가 상기 반송물에 있어서의 제2 반송 방향과 직교하는 전후 폭방향의 제1 반송부로부터 멀어지는 쪽의 가로폭 일단부에 대하여 추진력을 부여하도록 구성되어 있으므로, 제1 추진력 부여부에 의해 제1 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때, 상기 반송물의 전후폭 일단부의 반대측인 전후폭 타단부에 대하여 추진력을 부여하는 구성에 방해받는 일 없이 반송할 수 있어, 제2 추진력 부여부에 주고 받을 수 있다. 또, 제1 추진력 부여부가 상기 반송물에 있어서의 제1 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 제2 반송부로부터 멀어지는 쪽의 가로폭 일단부에 대하여 추진력을 부여하도록 구성되어 있는 것이므로, 제2 추진력 부여부에 의해 제2 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때, 상기 반송물의 가로폭 일단부의 반대측인 가로폭 타단부에 대하여 추진력을 부여하는 구성에 방해받는 일 없이 반송할 수 있어, 제2 반송 방향에 하류 측으로 반송할 수 있다. 따라서, 중계 반송부를 비교적 간소하게 구성할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있었다.

청구항 3의 특징에 의하면, 상기 제2 추진력 부여부가, 상기 반송물의 하면을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 접촉식의 제2 구동부를 구비하여 구성되며, 또한 상기 반송물을 상기 제2 구동부에 의해 접촉 지지하는 지지 위치와, 상기 반송물과 상기 제2 구동부와의 접촉을 회피하기 위해 하방으로 퇴피한 퇴피 위치로 승강 가능하다.

즉, 제2 추진력 부여부가 지지 위치와 퇴피 위치로 승강 가능하게 구성되어 있으므로, 제2 추진력 부여부를 퇴피 위치에 위치하게 함으로써, 제1 추진력 부여 부에 의해 추진력이 부여되어 제1 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물과 제2 추진력 부여부에서의 구동부가 접촉되지 않게 되어, 상기 반송물 파손을 회피할 수 있다. 그리고, 제2 추진력 부여부에 의해 상기 반송물을 반송할 때는, 제2 추진력 부여부를 지지 위치까지 상승시킴으로써, 제2 추진력 부여부에서의 제2 구동부에 의해 상기 반송물의 하면을 접촉 지지하면서 상기 반송물을 반송할 수 있다.,

따라서, 제2 추진력 부여부와 송풍식 지지 수단과의 협동에 의해 상기 반송물을 지지함으로써, 상기 반송물을 보다 안정된 상태로 지지하면서 상기 반송물을 제2 반송 방향으로 반송할 수 있고, 또한 상기 반송물을 제1 반송 방향으로 반송할 때, 상기 반송물과 제2 추진력 부여부에서의 제2 구동부가 접촉되는 것을 회피할 수 있으므로, 상기 반송물의 파손을 회피하면서 원활하게 반송할 수 있다.

청구항 4의 특징에 의하면, 상기 제1 추진력 부여부는, 상기 반송물에 대하여 제1 반송 방향과는 역방향으로 추진력을 부여할 수 있고, 상기 제2 추진력 부여부는, 상기 반송물에 대하여 제2 반송 방향과는 역방향으로 추진력을 부여할 수 있고, 이로써 상기 중계 반송부는, 상기 제2 반송부로부터 받은 상기 반송물의 반송 방향을 제2 반송 방향으로부터 제1 반송 방향으로 변경하여 상기 제1 반송부에 주고 받도록 구성되며, 상기 제1 추진력 부여부가, 상기 반송물의 하면을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 접촉식의 제1 구동부를 구비하여 구성되며, 또한 상기 반송물을 상기 제1 구동부에 의해 접촉 지지하는 지지 위치와, 상기 반송물과 상기 제1 구동부와의 접촉을 회피하기 위하여 하방으로 퇴피한 퇴피 위치로 승강 가능하다.

즉, 제1 추진력 부여부에 의해 상기 반송물에 대하여 제1 반송 방향으로 추진력을 부여하고, 제2 추진력 부여부에 의해 상기 반송물에 대하여 제2 반송 방향으로 추진력을 부여함으로써, 상기 반송물을 제1 반송부 측으로부터 제2 반송부측으로 반송하는 순방향으로 반송할 수 있고, 또, 제1 추진력 부여부에 의해 상기 반송물에 대하여 제1 반송 방향과는 역방향으로 추진력을 부여하여, 제2 추진력 부여 부에 의해 상기 반송물에 대하여 제2 반송 방향과는 역방향으로 추진력을 부여함으로써, 상기 반송물을 제2 반송부 측으로부터 제1 반송부측으로 반송하는 역방향으로도 반송할 수 있어, 반송 장치의 사용 사정이 양호해 진다.

또, 제1 추진력 부여부가 지지 위치와 퇴피 위치로 승강 가능하게 구성되어 있으므로, 제1 추진력 부여부를 퇴피 위치에 위치하게 함으로써, 제2 추진력 부여 부에 의해 추진력이 부여되어 제2 반송 방향과는 역방향으로 반송되는 상기 반송물과 제1 추진력 부여부에서의 구동부가 접촉되지 않게 되어, 상기 반송물을 역방향으로 반송하는 경우라도 상기 반송물의 파손을 회피할 수 있다. 그리고, 제1 추진력 부여부에 의해 상기 반송물을 반송할 때는, 제1 추진력 부여부를 지지 위치까지 상승시킴으로써, 제1 추진력 부여부에서의 제1 구동부에 의해 상기 반송물의 하면을 접촉 지지하면서 상기 반송물을 반송할 수 있다.

따라서, 제1 추진력 부여부와 송풍식 지지 수단과의 협동에 의해 상기 반송물을 지지함으로써 상기 반송물을 보다 안정된 상태로 지지할 수 있어, 상기 반송물을 원활하게 제1 반송 방향으로 반송할 수 있고, 또한 상기 반송물을 제1 반송 방향과는 역방향으로 반송할 때, 상기 반송물과 제1 추진력 부여부에서의 제2 구동부가 접촉되는 것을 회피할 수 있다.

청구항 5의 특징에 의하면, 상기 반송물에 있어서의 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 가로폭 일단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 가로폭 방향으로 이동하는 상기 반송물을 받아 들이는 제1 캐치부와, 상기 반송물에 있어서의 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 전후폭 일단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 전후 폭방향으로 이동하는 상기 반송물을 받아 들이는 제2 캐치부가 구비되고,

상기 송풍식 지지 수단이, 상기 반송물을, 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 가로폭 일단측보다 상기 가로폭 방향의 가로폭 타단측이 위쪽에 위치하도록 경사진 자세로 되는 제1 반송용 자세와, 상기 반송물을 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 전후폭 일단측보다 상기 전후 폭방향의 전후폭 타단측이 위쪽에 위치하도록 경사진 자세로 되는 제2 반송용 자세로 자세 변경 가능하다.

즉, 상기 반송물을 제1 반송 방향으로 반송할 때는, 송풍식 지지 수단을 제1 반송용 자세로 하여, 상기 반송물을 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 가로폭 일단측보다 가로폭 방향의 가로폭 타단측이 위쪽에 위치하도록 경사진 자세로 지지함으로써, 상기 반송물은, 상기 반송물의 자중에 의해 경사진 하방으로 추진력이 부여되어 상기 반송물의 경사에 따라 가로 경사 하방으로 이동하려고 하지만, 그 상기 반송물의 가로 경사 아래쪽으로의 이동을, 제1 캐치부가 상기 반송물의 측면에 맞닿음으로써 받아 들일 수가 있다.

또, 상기 반송물을 제2 반송 방향으로 반송할 때는, 송풍식 지지 수단을 제2 반송용 자세로 하여, 상기 반송물을 제2 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 전후폭 일단측보다 전후 폭방향의 전후폭 타단측이 위쪽에 위치하도록 경사진 자세로 지지함으로써, 상기 반송물은, 상기 반송물의 자중에 의해 경사진 하방으로 추진력이 부여되어 상기 반송물의 경사에 따라 전후 경사진 하방으로 이동하려고 하지만, 그 상기 반송물의 전후 경사진 아래쪽으로의 이동을, 제2 캐치부가 상기 반송물의 측면에 맞닿음으로써 받아 들일 수가 있다.

따라서, 제1 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때는, 상기 반송물의 가로 경사 아래쪽으로의 이동을 제1 캐치부에 의해 규제하고, 제2 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때는, 상기 반송물의 전후 경사진 아래쪽으로의 이동을 제2 캐치부에 의해 규제할 수 있어, 상기 반송물의 가로폭 타단측으로의 이동이나 전후폭 타단측으로의 이동을 상기 반송물의 자중에 의해 이동하기 어렵게 할 수 있으므로, 상기 반송물을 반송할 때 상기 반송물이 가로폭 방향으로 어긋나 버리거나 기울거나 하지 않아, 상기 반송물을 원활하게 반송할 수 있다.

청구항 6의 특징에 의하면, 상기 반송물에 있어서의 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 가로폭 일단부와는 반대측의 가로폭 타단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 반송물의 상기 가로폭 방향으로의 이동을 규제하는 제1 규제부와, 상기 반송물에 있어서의 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 전후폭 일단부 측과는 반대측의 전후 타단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 반송물의 전후 폭방향으로의 이동을 규제하는 제2 규제부가 구비되고,

상기 제1 규제부가, 상기 제2 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물의 반송 경로에 위치하여, 상기 가로폭 타단부 측의 측면에 맞닿는 작용 위치와, 상기 제2 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물의 반송 경로로부터 퇴피한 퇴피 위치로 위치 변경 가능하게 구성되며,

상기 제2 규제부가, 상기 제1 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물의 반송 경로에 위치하여, 상기 전후폭 타단부 측의 측면에 맞닿는 작용 위치와, 상기 제1 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물의 반송 경로로부터 퇴피한 퇴피 위치로 위치 변경 가능하다.

즉, 제1 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때, 제1 규제부를 작용 위치로 위치 변경하게 함으로써, 제1 규제부에 의해, 상기 반송물이 가로폭 방향의 제1 추진력 부여부로부터 멀어지는 쪽으로 이동하는 것을 규제할 수 있다. 그리고, 제2 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때는, 제1 규제부를 퇴피 위치로 위치 변경하게 함으로써, 상기 반송물을 제2 반송 방향으로 반송할 때의 방해가 되지 않는다.

또, 제2 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때, 제2 규제부를 작용 위치로 위치 변경하게 함으로써, 제2 규제부에 의해, 상기 반송물이 전후 폭방향의 제2 추진력 부여부로부터 멀어지는 쪽으로 이동하는 것을 규제할 수 있고, 그리고, 제1 반송 방향으로 상기 반송물을 반송할 때는, 제2 규제부를 퇴피 위치로 위치 변경시켜 두는 것에 의해, 상기 반송물을 제1 반송 방향으로 반송할 때의 방해가 되지 않는다.

따라서, 제1 규제부에 의해 상기 반송물을 보다 안정된 상태로 제1 반송 방향으로 반송할 수 있고, 제2 규제부에 의해 상기 반송물을 보다 안정된 상태로 제2 반송 방향으로 반송할 수 있으면서, 제1 규제부나 제2 규제부를 상기 반송물의 반송의 방해가 되지 않게 할 수 있었다.

청구항 7의 특징에 의하면, 상기 제1 규제부 및 상기 제2 규제부가, 상기 작용 위치로부터 하강함으로써 상기 퇴피 위치로 위치 변경하도록 구성되며, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 제1 규제부나 상기 제2 규제부가 들어가는 요부(凹部)를 구비하고 있다.

즉, 제1 규제부나 제2 규제부를 작용 위치로부터 하강시켜 퇴피 위치로 위치 변경시킴으로써, 제1 규제부나 제2 규제부가 송풍식 지지 수단에 구비된 요부에 비집고 들어간다. 따라서, 중계 반송부로 퇴피 위치에 위치하는 제1 규제부나 제2 규제부의 퇴피 위치를 확보할 필요가 없어지므로, 중계 반송부를 컴팩트하게 구성할 수 있다.

청구항 8의 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 먼지를 제거하는 제진(除塵) 필터와, 그 제진 필터를 통해 상기 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 제1 반송 방향 및 상기 제2 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있다.

즉, 송풍 장치와 제진 필터를 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 상기 반송물의 반송 방향으로 배열하여 구비하는 것만으로, 반송되는 상기 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있으므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 되고, 따라서, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

청구항 9의 특징에 의하면, 상기 제1 반송부는, 반송물을 제1 반송 방향으로 반송하고, 상기, 제2 반송부는, 반송물을 상기 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하고, 상기 중계 반송부는, 반송물을 상기 제1 반송 방향에 따라 반송하는 것에 의해, 상기 제1 반송부 사이에서 반송물을 반송하고, 반송물을 상기 제2 반송 방향에 따라 반송함으로써 상기 제2 반송부 사이에서 반송물을 반송하고,

상기 중계 반송부에 상기 추진력 부여 수단과 상기 송풍식 지지 수단이 구비되고, 상기 중계 반송부의 상기 추진력 부여 수단이, 반송물에 있어서의 상기 제1 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 양단부를 접촉 지지하는 한쌍의 추진력 부여부를 구비하는 양측 구동식으로 구성되며, 상기 변경하는 수단은 상기 중계 반송부에 구비되고, 상기 변경하는 수단은, 상기 추진력 부여 수단과 상기 송풍식 지지 수단을 어느 상대적인 승강에 의해, 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 접촉시키는 제1 반송 상태와 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 대하여 비접촉 상태로 하는 제2 반송 상태로 전환하여, 상기 제1 반송 상태에 있어서는, 상기 추진력 부여 수단에 의한 추진력에 의해 상기 제1 반송부와 상기 중계 반송부의 사이에서 반송물을 반송하고, 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는, 상기 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 보조 추진 수단에 의해 상기 제2 반송부와 상기 중계 반송부의 사이에서 반송물을 반송하는 것에 따라, 반송물의 반송 방향을 변경한다.

상기의 종래의 반송 장치에서는, 분기(分岐) 반송을 행할 때, 회전판의 중심에 위치하는 세로 축심 주위에 송풍식 지지 수단을 회전시키는 것이므로, 그 회전에 의한 원심력에 의해 송풍식 지지 수단에 지지되는 반송물의 자세가 흐트러질 가능성이 있어, 그것을 억제하기 위해 송풍식 지지 수단의 회전 속도를 늦게 하면, 분기 반송이나 합류 반송을 신속히 행할 수 없다고 하는 문제점이 있다.

청구항 9에 의한 발명의 목적은, 분기 반송이나 합류 반송을 반송물의 자세가 흐트러질 가능성을 억제하고 또한 신속히 행할 수 있는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

즉, 중계 반송부에 의해 분기 반송을 행하는 경우에는, 추진력 부여 수단에 의한 추진력에 의해 제1 반송부로부터 반송물을 반입하고, 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단과의 상대적인 승강에 의해 제1 반송 상태로부터 제2 반송 상태로 전환하고, 반입한 반송물을 보조 추진 수단에 의한 추진력에 의해 제2 반송부로 반출하고, 또, 중계 반송부에 의해 합류 반송을 행하는 경우에는, 보조 추진 수단에 의한 추진력에 의해 제2 반송부로부터 반송물을 반입하고, 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단과의 상대적인 승강에 의해 제2 반송 상태로부터 제1 반송 상태로 전환하여, 반입한 반송물을 추진력 부여 수단에 의한 추진력에 의해 제1 반송부로 반송물을 반출한다.

그리고, 반송물의 가로폭 방향의 양단부를 추진력 부여 수단에서의 한쌍의 추진력 부여부에 의해 접촉 지지하여 추진력을 부여하고 있으므로, 이로써 반송물의 자세를 안정시키면서 추진력을 정확하게 부여하여 제1 반송부 사이에서 반송물의 반송을 행할 수 있다.

또한, 분기 반송이나 합류 반송 시에 행하는 제1 반송부 사이에서의 반송물의 반송, 중계 반송부의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태와의 전환, 제2 반송부와 중계 반송부 사이에서의 반송물의 반송의 어디에 있어서도 반송물이 회전하지 않는 것이므로, 회전에 의한 원심력에 의해 반송물의 자세가 흐트러질 가능성을 억제하기 위해 반송물의 반송 속도를 늦게 하거나 중계 반송부를 제1 반송 상태와 제2 반송 상태와의 변경 속도를 늦게 할 필요가 없고, 반송물의 분기 반송이나 합류 반송을 반송물의 자세가 흐트러질 가능성을 억제하고 또한 안정된 상태로 신속히 행할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있는 데 이르렀다.

청구항 10의 특징에 의하면, 상기 중계 반송부가, 상기 송풍식 지지 수단을, 상기 제1 반송부에 구비되는 송풍식 지지 수단 및 상기 제2 반송부에 구비되는 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 높이로 설치하고, 또한 상기 추진력 부여 수단을, 상기 제1 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이에 위치하는 위쪽 위치로 되고 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는 상기 제2 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단보다 하방에 위치하는 하방 위치로 되도록, 승강 조작 가능하게 설치하도록 구성되어 있다.

즉, 중계 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단을 제1 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이에 위치하는 위쪽 위치로 상승 조작함으로써 제1 반송 상태로 변환되어 중계 반송부에서의 추진력 부여 수단을 제2 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단보다 하방에 위치하는 하방 위치로 하강 조작함으로써 제2 반송 상태로 변환된다.

즉, 추진력 부여 수단의 승강 조작에 의해, 송풍식 지지 수단을 승강 조작시키지 않고 제1 반송 상태와 제2 반송 상태로 전환하므로, 중계 반송부에 구비된 송풍식 지지 수단의 제1 반송부나 제2 반송부에 구비된 송풍식 지지 수단에 대한 높이가 제1 반송 상태와 제2 반송 상태로 변화되지 않기 때문에, 제1 반송부와 중계 반송부 사이에서 반송할 때나 제2 반송부와 중계 반송부 사이에서 반송할 때도 원활하게 반송물을 반송할 수 있다.

청구항 11의 특징에 의하면, 상기 중계 반송부가, 상기 추진력 부여 수단을, 상기 제1 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 또한 상기 제2 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단보다 낮은 높이의 고정 상태로 설치하고, 또한 상기 송풍식 지지 수단을, 상기 제1 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비되는 상기 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 하방 위치로 되고, 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는 상기 제2 반송부에 구비되는 상기 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 위쪽 위치로 되도록, 승강 조작 가능하게 설치하도록 구성되어 있다.

즉, 중계 반송부에 구비되는 송풍식 지지 수단을 제1 반송부에 구비되는 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이에 위치하는 하방 위치로 하강 조작으로함으로써 제1 반송 상태로 변환되고, 중계 반송부에서의 송풍식 지지 수단을 제2 반송부에 구비되는 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이에 위치하는 상승 위치로 상승 조작함으로써 제2 반송 상태로 전환된다.

즉, 송풍식 지지 수단의 승강 조작에 의해, 추진력 부여 수단을 승강 조작하지 않고 제1 반송 상태와 제2 반송 상태로 전환할 수 있으므로, 제1 반송부나 제2 반송부에 구비된 추진력 부여 수단에 대한 중계 반송부에 구비된 추진력 부여 수단의 높이가 제1 반송 상태와 제2 반송 상태로 변화되지 않기 때문에, 상기 각각에 구비된 추진력 부여 수단을 일련의 전동 구조로 구성하기 쉽고 추진력 부여 수단의 전동 구조의 복잡화를 억제할 수 있다.

청구항 12의 특징에 의하면, 상기 보조 추진 수단이, 반송물의 하면을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 구동 회전체를, 상기 제2 반송 상태에 있어서 반송물의 하면을 접촉 지지하고, 또한 상기 제1 반송 상태에서의 반송물의 하면의 접촉 지지를 해제하기 위하여 승강 조작 가능하게 구성되어 있다.

즉, 반송물을 제2 반송 방향으로 반송할 때, 보조 추진 수단에서의 구동 회전체에 의해 반송물의 하면을 접촉 지지하면서 반송물을 제2 반송 방향의 추진력을 부여할 수 있으므로, 보조 추진 수단의 접촉 지지에 의해 자세를 안정시킨 상태로 반송물을 제2 반송 방향으로 반송할 수 있다.

청구항 13의 특징에 의하면, 상기 보조 추진 수단이, 반송물에 있어서의 상기 반송 방향의 반송 위쪽의 측면에 맞닿는 상태로 상기 제2 반송 방향으로 이동하는 것에 의해, 반송물에 대하여 상기 제2 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 가압 부재를 구비하여 구성되어 있다.

즉, 반송물을 제2 반송 방향으로 반송할 때, 가압 부재에 의해 반송물의 측면을 누름으로써 반송물에 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 구성이므로, 가압 부재와 반송물이 슬립되지 않고 반송물을 제2 반송 방향으로 확실하게 반송할 수 있다.

청구항 14의 특징에 의하면, 상기 중계 반송부에 구비된 상기 추진력 부여 수단이, 상기 제1 반송 방향에 따라 반송물을 정역 이동시키도록 추진력을 부여할 수 있도록 구성되며, 상기 보조 추진 수단이, 상기 제2 반송 방향에 따라 반송물을 정역 이동시키도록 추진력을 부여할 수 있도록 구성되어 있다.

즉, 예를 들면, 중계 반송부의 제1 반송 방향의 양측에 제1 반송부를 설치하고, 분기 반송시킬 때는 보조 추진 수단을 제2 반송 방향에 따라 반송물을 정(正)이동시키도록 추진력을 부여하고, 합류 반송시킬 때는 보조 추진 수단을 제2 반송 방향에 따라 반송물을 역(逆)이동시키도록 추진력을 부여하도록 하여, 한쪽의 제1 반송부로부터 반송물을 반입하고 그 반송물을 제2 반송부에 반출하는 분기 조작과, 제2 반송부로부터 반송물을 반입하고 그 반송물을 다른 쪽의 제1 반송부에 반출하는 합류 반송의 양쪽 모두를 행할 수 있는 편리한 중계 반송부로 구성할 수 있다.

청구항 15의 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 먼지를 제거하는 제진 필터와, 그 제진 필터를 통해 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 제1 반송 방향 및 상기 제2 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있다.

즉, 송풍 수단과 제진 필터를 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 제1 반송 방향 및 제2 반송 방향으로 배열하여 구비하는 것만으로, 반송되는 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있으므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 되고, 따라서, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

청구항 16의 특징에 의하면, 상기 제1 반송부는, 반송물을 제1 반송 자세로 반송하고, 상기 제2 반송부는, 반송물을 제1 반송 자세로부터 세로 축심 주위로 소정 각도 회전된 제2 반송 자세로 반송하고, 상기 중계 반송부는, 상기 제1 반송부 사이 및 상기 제2 반송부 사이에서 반송물을 반송하고,

상기 변경하는 수단은 상기 중계 반송부에 구비되고, 상기 변경하는 수단이, 상기 중계 반송부에 구비된 상기 추진력 부여 수단과 상기 송풍식 지지 수단과의 상대적인 승강에 의해, 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 접촉시키는 반송용 상태와 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 대하여 비접촉 상태로 하는 회전용 상태로 전환하여, 상기 반송용 상태에 있어서는, 상기 추진력 부여 수단에 의한 추진력에 의해 상기 제1 반송부와 상기 중계 반송부의 사이, 및 상기 중계 반송부와 상기 제2 반송부의 사이에서 반송물을 반송하고, 또한 상기 회전용 상태에 있어서는, 반송물을 세로 축심 주위에서 회전시키기 위한 자세 변경 수단에 의해 반송물에 회전력을 부여하여 반송물을 상기 제1 반송 자세와 상기 제2 반송 자세로 전환되도록 구성되어 있다.

종래의 반송 장치에서는, 반송물의 자세를 제1 반송 자세로부터 제2 반송 자세로 전환할 때, 그 반송물을 지지하는 송풍식 지지 수단을 회전판의 중심에 위치하는 세로 축심 주위에 회전 조작하는 것이므로, 반송물의 자세를 제1 반송 자세나 제2 반송 자세로 전환할 때 큰 동력이 필요한 문제점이 있다.

청구항 16에 기재된 발명의 목적은, 반송물의 자세를 제1 반송 자세나 제2 반송 자세로 전환할 때 큰 동력이 필요하지 않는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

즉, 본 발명의 반송 장치에 의하면, 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단을 상대적인 승강시켜 중계 반송부를 반송용 상태로부터 회전용 상태로 전환하고, 송풍식 지지 수단에 의해 지지되어 있는 반송물에 대하여 자세 변경 수단에 의해 회전력을 부여하여 반송물을 제1 반송 자세와 제2 반송 자세로 전환하도록 구성되어 있다. 따라서, 자세를 전환할 때의 반송물은 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지되어 있으므로, 반송물의 자세를 제1 반송 자세와 제2 반송 자세로 전환할 때는, 반송물에 대하여 자세 변경 수단에 의해 미소한 회전력을 부여하는 것만으로 되게 되고, 따라서, 반송물의 자세를 제1 반송 자세나 제2 반송 자세로 전환할 때 큰 동력이 필요하지 않는 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.

청구항 17의 특징에 의하면, 상기 자세 변경 수단이, 반송물의 하면을 흡착 유지할 수 있는 흡착부를, 세로 축심 주위에 회전 조작 가능하게, 또한 승강 조작 가능하게 구비하여, 상기 회전용 상태에 있어서는 상기 반송물을 상기 흡착부에 의해 흡착 유지하여 회전시키고, 또한 상기 반송용 상태에 있어서는 상기 반송부에 대한 상기 흡착부의 접촉을 해제시키도록 구성되어 있다.

즉, 회전용 상태에 있어서는 반송물을 흡착부에 의해 흡착 유지하여 그 흡착부를 회전 조작함으로써 반송물에 회전력을 부여하여, 반송물을 회전시켜 반송물의 자세를 제1 반송 자세와 제2 반송 자세로 전환할 수 있고, 반송용 상태에 있어서는, 반송부에 대한 흡착부의 접촉이 해제되어 있으므로, 흡착부에 방해받는 일 없이 반송물을 반송할 수 있다.

그리고, 송풍식 지지 수단, 추진력 부여 수단 및 자세 변경 수단이 모두 반송물의 하면에 작용하도록 구성되어 있고, 송풍식 지지 수단, 추진력 부여 수단 및 자세 변경 수단을 상하로 분산되는 일 없이 반송되는 반송물의 하방에 모아서 설치할 수 있으므로, 반송 장치를 상하 방향으로 컴팩트하게 구성할 수 있다.

청구항 18의 특징에 의하면, 상기 중계 반송부에, 반송물에 가로측 방향으로부터 맞닿음으로써, 상기 제1 반송 자세 또는 상기 제2 반송 자세로부터 어긋난 반송물의 자세를 상기 제1 반송 자세 또는 상기 제2 반송 자세로 수정하는 자세 수정 수단을 설치하고 있다.

즉, 자세 변경 수단에 의해 반송물의 자세를 전환한 후에 그 자세가 제1 반송 자세 또는 제2 반송 자세로부터 어긋남나 있었다고 해도, 자세 수정 수단이 반송물의 가로측 방향으로부터 맞닿음으로써 반송물의 자세를 제1 반송 자세 또는 제2 반송 자세로 수정할 수 있고, 반송물의 자세를 제1 반송부 또는 제2 반송부에 적절한 자세로 반출할 수 있다.

청구항 19의 특징에 의하면, 상기 중계 반송부의 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 제1 반송부에 구비된 송풍식 지지 수단, 및 상기 제2 반송부에 구비된 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 높이로 설치되고,

상기 중계 반송부의 상기 추진력 부여 수단이, 상기 제1 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비된 추진력 부여 수단, 및 상기 제2 반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 접촉 지지하는 위쪽 위치로 되고, 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비된 추진력 부여 수단 및 상기 제2 반송부에 구비된 추진력 부여 수단보다 하방에 위치하는 하방 위치로 되도록 승강 조작 가능하게 형성되어 있다.

즉, 송풍식 지지 수단의 승강 조작에 의해, 추진력 부여 수단을 승강 조작하지 않고 제1 반송 상태와 제2 반송 상태로 전환할 수 있으므로, 제1 반송부와 제2 반송부와 중계 반송부에 각각 구비된 추진력 부여 수단의 높이 관계는 제1 반송 상태에서도 제2 반송 상태에서도 변화되지 않고, 상기 각각에 구비된 추진력 부여 수단을 일련의 전동 구조로 구성할 수 있으므로, 추진력 부여 수단의 전동 구조의 복잡화를 억제할 수 있다.

청구항 20의 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 먼지를 제거하는 제진 필터와, 그 제진 필터를 통해 상기 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있는 점을 특징으로 한다.

즉, 송풍 수단과 제진 필터를 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 반송 방향으로 배열하여 구비하는 것만으로, 반송되는 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있으므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 되고, 따라서, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

청구항 21의 특징에 의하면, 상기 제1 반송부는, 반송물을 제1 반송 방향으로 반송하고, 상기 제2 반송부는, 반송물을 상기 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하고,

상기 중계 반송부에 구비된 상기 추진력 부여 수단에 의해 상기 제1 반송부로부터 상기 중계 반송부로 반송물을 반입하고, 상기 중계 반송부에 도달한 반송물의 상면을 흡착 유지하여 반송물을 승강 및 상기 제2 반송 방향으로 이송 가능한 이송 수단에 의해 상기 반입한 반송물을 상기 제2 반송부에 반출함으로써, 상기 분기 반송을 행하도록 구성되어 있다.

종래의 반송 장치의 분기 반송용의 반송부에서는, 제1 반송부로부터 반입한 반송물을 그 하면을 송풍식 지지 수단에 의해 지지하고, 그 송풍식 지지 수단을 이동시켜 반송물을 제2 반송부에 반출시켜 분기 반송을 행하는 것이다. 따라서, 중계 반송부에의 반송물의 반송과 제2 반송부에의 분기 반송을 동시에 행할 수 없기 때문에, 분기 반송을 능률 좋게 행할 수 없다고 하는 문제점이 있었다.

청구항 21에 기재된 발명의 목적은, 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 분기 반송을 고능력으로 행할 수 있는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

즉, 분기 반송하기 위하여 중계 반송부에 반입된 반송물의 상면을 흡착 유지하여 그 반송물을 상승시킨 상태로 다음의 반송물을 중계 반송부에 반입할 수 있다. 또, 이와 같이 앞의 반송물의 분기 반송이 종료하기 전에 후의 반송물을 미리 중계 반송부에 반입해 두었다고 해도, 이송 수단이 반송물의 상면을 흡착 유지한 상태로 그 반송물을 승강 및 제2 반송 방향으로 이송시키도록 구성되어 있으므로, 미리 중계 반송부에 반입해 둔 반송물의 상면을 흡착 유지하여 그 반송물을 제2 반송부에 반출할 수 있다.

따라서, 앞의 반송물의 분기 반송이 종료하기 전에 다음의 반송물을 미리 분기 반송용의 반송부에 반입시켜 둘 수 있으므로, 분기 반송을 능률 좋게 행할 수 있고, 따라서, 분기 반송을 고능력으로 행할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.

청구항 22의 특징에 의하면, 상기 제2 반송부가, 그것에 구비된 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단과의 상대적인 승강에 의해, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하면에 상기 추진력 부여 수단을 접촉시키는 반송 상태와 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 대하여 상기 추진력 부여 수단을 비접촉 상태로 하는 퇴피 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.

즉, 이송 수단에 의해 퇴피 상태로 전환된 제2 반송부로 반송물을 반출하고, 그 후, 제2 반송부를 반송 상태로 전환하고, 반출된 반송물을 제2 반송부에 구비된 추진력 부여 수단에 의해 추진력을 부여하도록 구성하는 것에 의해, 반송물의 하면에 접촉시킨 추진력 부여 수단에 의해 반송물을 제2 반송 방향으로 확실하게 반송할 수 있는 동시에, 반송물을 제2 반송부에 반출할 때의 반송물과 추진력 부여 수단과의 맞닿음에 의한 반송물의 파손을 미리 방지할 수 있다.

청구항 23의 특징에 의하면, 상기 이송 수단이, 상기 제2 반송부로부터 반송물을 상기 중계 반송부에 반입하고, 그 반입한 반송물을, 상기 중계 반송부의 상기 추진력 부여 수단에 의해 상기 제1 반송부로 반출함으로써, 상기 제2 반송부로부터 반송물을 반입하여 그 반입한 반송물을 상기 제1 반송물에 반출하는 합류 반송을 행하도록 구성되어 있다.

즉, 예를 들면, 중계 반송부의 제1 반송 방향의 양측에 제1 반송부를 설치하고, 반송물을 제2 반송 방향의 정역 방향으로 이동 가능하게 이송 수단을 구성하여, 추진력 부여 수단에서 반송 위쪽의 제1 반송부에서 중계 반송부에 반입하고, 그 반입한 반송물을 이송 수단에 의해 중계 반송부로부터 제2 반송부로 반출하여 분기 반송을 행하고, 이송 수단에 의해 제2 반송부로부터 중계 반송부에 반입하고, 그 반입한 반송물을 추진력 부여 수단에 의해 중계 반송부로부터 반송 아래쪽의 제1 반송부로 반출하여 합류 반송을 행하도록, 분기 조작과 합류 반송과의 양쪽 모두를 행할 수 있는 중계 반송부로 구성할 수 있다.

청구항 24의 특징에 의하면, 상기 중계 반송부가, 그것에 구비된 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단과의 상대적인 승강에 의해, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하면에 상기 추진력 부여 수단을 접촉시키는 반송 상태와 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 대하여 상기 추진력 부여 수단을 비접촉 상태로 하는 퇴피 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.

즉, 예를 들면, 추진력 부여 수단에 의해 반송 위쪽의 제1 반송부로부터 중계 반송부에 반입하고, 그 반입한 반송물을 이송 수단에 의해 중계 반송부로부터 제2 반송부에 반출하는 분기 반송을 행하는 경우에, 중계 반송부에 반출된 반송물을 이송 수단에 의해 흡착 유지할 때 중계 반송부를 퇴피 상태로 전환하여 둠으로써, 반송물을 흡착 유지하기 위하여 이송 수단을 반송물의 상면에 가압했다고 해도, 반송물이 이송 수단과 추진력 부여 수단에 협지되지 않고, 반송물의 파손을 미리 방지할 수 있다.

또, 예를 들면, 이송 수단에서 제2 반송부로부터 중계 반송부에 반입하고, 그 반입한 반송물을 추진력 부여 수단에 의해 중계 반송부로부터 반송 아래쪽의 제1 반송부에 반출하는 합류 반송을 행하는 경우에는, 이송 수단에 의해 퇴피 상태로 전환된 중계 반송부로 반송물을 반출하고, 그 후, 중계 반송부를 반송 상태로 전환하고, 반출된 반송물을 중계 반송부에 구비된 추진력 부여 수단에 의해 추진력을 부여하도록 구성함으로써, 반송물을 확실하게 제1 반송 방향으로 반송할 수 있으면서, 반송물을 중계 반송부에 반출할 때의 반송물과 추진력 부여 수단과의 맞닿음에 의한 반송물의 파손을 미리 방지할 수 있다.

청구항 25의 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 먼지를 제거하는 제진 필터와, 그 제진 필터를 통해 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 제1 반송 방향 및 제2 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있다.

즉, 송풍 수단과 제진 필터를 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 제1 반송 방향 및 제2 반송 방향으로 배열하여 구비하는 것만으로, 반송되는 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있으므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 되고, 따라서, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 복수의 실시예에 있어서, 같은, 또는 유사한 구조를 가지는 부품에는 같은 참조 번호가 부여되어 있다. 또, 하나의 실시예에 있어서 개시되는 특징은, 다른 실시예에서 개시되는 특징과 모순이 발생하지 않는 한, 조합할 수 있고, 이 조합도 본 발명의 범위에 포함된다.

[제1 실시예]

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 장치 H는, 상기 반송물로서의 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X으로 반송하고, 반송 도중에 있어서 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향 X로부터 이 제1 반송 방향 X와 직교하는 제2 반송 방향 Y으로 변경하여, 유리 기판(2)을 제2 반송 방향 Y으로 반송한다.

즉, 반송 장치 H는, 복수의 반송 유닛(1)에 의해 구성되어 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X으로 반송하는, 상류측의 제1 반송부(1A)와, 복수의 반송 유닛(1)에 의해 구성되어 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X와 직교하도록 교차하는 제2 반송 방향 Y으로 반송하는 하류측의 제2 반송부(1B)와, 제1 반송부(1A)로부터 받은 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향 X로부터 제2 반송 방향 Y로 90˚ 변경하여 제2 반송부(1B)에 주고 받는 L형 반송 유닛(1L)(중계 반송부)을 구비하고 있다.

그리고, 반송 장치 H는, 반송 위쪽에 위치하는 반송 유닛(1)에 옮겨 탑재된 유리 기판(2)을 L형 반송 유닛(1L)을 통하여 반송 아래쪽에 위치하는 반송 유닛(1)으로 반송하기 위하여, 송풍식 지지 수단(3) 및 L형 송풍식 지지 수단(33)으로 지지하면서, 추진력 부여 수단(4) 및 L형 추진력 부여 수단(34)에 의해 추진력을 부여하여 반송 위쪽으로부터 반송 아래쪽을 향하여 반송한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 유닛(1)은 상하 2단으로 구성되어 있고, 그 상하 2단의 반송 유닛(1)이 유리 기판(2)의 반송 방향으로 배열되어 있다. 상기 제1 반송부(1A) 및 상기 제2 반송부(1B)는, 모두 반송 방향에 따라 복수의 반송 유닛(1)을 배열하여 구비함으로써 구성되어 있다. 그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송 유닛(1)의 각각은, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해 청정 공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과, 그 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)과, 이들 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)을 수납하는 케이스체(7)를 구비하고 있다. 그리고, 반송 유닛(1)은, 수평용 지지 프레임(19)에 의해 수평 상태로 지지되어 있다. 또, 위쪽의 반송 유닛(1)은, 제1 반송부(1A)이면 제1 반송 방향 X에, 제2 반송부(1B)이면 제2 반송 방향 Y에 각각 따르는 가로 축심 P 주위로 요동 가능하다.

도 3, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 케이스체(7)는, 송풍식 지지 수단(3)을 탑재 지지하는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 유닛용 프레임체(9)과, 유닛용 프레임체(9)의 가로폭 방향의 양측으로 반송 방향에 따라 구비한 수납 프레임(8)과, 양측의 수납 프레임(8)의 상단부에 걸쳐서 구비한 반송 커버(20)를 구비하고 있다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 수납 프레임(8)의 각각은, 반송 방향에서 볼 때 각통형으로 구성되어 있고, 유닛용 프레임체(9)과 연결하는 내벽(8a) 측과는 반대측은 개폐 가능한 수납 커버(8c)에 의해 구성되어 있다. 그리고, 유닛용 프레임체(9)과 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)에 의해 반송 공간 A가 형성되어 있고, 수납 프레임(8) 내에 수납 공간 B가 형성되어 있다. 또, 상기 유닛용 프레임체(9)는, 프레임 부재를 조립한 지지 프레임 부분(9a)과, 그 지지 프레임 부분(9a)보다 하방에 위치하여, 외부 공기를 반송 공간 A 내에 도입하는 공기 도입구(11)를 구비한 대략 사각형으로 판형의 판형 프레임 부분(9b)로 구성되어 있다. 수납 프레임(8)의 하벽(8b)에는, 수납 공간 B의 공기를 외부로 배출하는 외부 배출구(21)를 구비하는 동시에, 이 외부 배출구(21)를 폐색하도록, 송풍 기능과 제진 기능을 가지는 서브 송풍 유닛(23)이 구비되어 있고, 이 서브 송풍 유닛(23)에 의해 수납 공간 B 내의 공기가 외부로 배출된다.

도 3~ 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 송풍식 지지 수단(3)은, 반송 유닛(1)에서의 반송 공간 A에 설치되어 있고, 먼지를 제거하는 제진 필터(12)와 그 제진 필터(12)를 통해 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단으로서의 송풍팬(13)을 하우징을 통하여 일체적으로 조립한 팬 필터 유닛(14)을, 반송 방향과 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향으로 배열하여 구성되어 있다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 가로폭 방향으로 2개 배열된 팬 필터 유닛(14)이 반송 방향으로 3열 배열되고, 송풍식 지지 수단(3)에는 합계 6개의 팬 필터 유닛(14)이 구비되어 있다.

상기 송풍식 지지 수단(3)에 대하여 상세히 설명하면, 도 3~ 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 팬 필터 유닛(14)이, 1개의 송풍팬(13)과 이 1개의 송풍팬(13)의 위쪽을 덮는 1개의 제진 필터(12)를 일체적으로 조립하여 구성되어 있다. 그 팬 필터 유닛(14)의 상부 측에 위치되어 상기 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되는 청정 공기의 정풍(整風)을 행하는 정풍판(다공판)(15)이, 도 1, 도 5에 나타낸 바와 같이, 6개의 팬 필터 유닛(14)의 위쪽을 덮도록 구비되어 있다. 즉, 송풍식 지지 수단(3)은, 6개의 팬 필터 유닛(14)와 1개의 정풍판(15)으로 구성되어 있다. 여기서 정풍이란, 송풍팬(13)으로부터의 바람을, 넓은 범위에 걸쳐 분산시킴으로써, 대략 균일한 공기를 상기 반송물에 보내는 것이다.

그리고, 송풍팬(13)은 전동 모터에 의해 구동된다. 정풍판(15)에는, 팬 필터 유닛의 바로 위에 위치하는 개소에 펀칭에 의해 형성된 통기공(15a)이 구비되어 있다. 또, 송풍식 지지 수단(3)에 구비되는 6개의 송풍팬(13)이 동등한 회전 속도로 구동하도록 구성되어 있고, 정풍판(15)을 통과하여 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되는 청정 공기의 양은, 반송 방향에 있어서도 가로폭 방향에 있어서도 대략 동량이다.

다음에, 상기 추진력 부여 수단(4)에 대하여 설명한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)은, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부에 대하여 추진력을 부여하는 양측 구동식이다. 이 추진력 부여 수단(4)에는, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 접촉식의 구동부로서의 구동 롤러(24)가 구비되어 있다. 그리고, 이 구동 롤러(24)에는, 도 4, 도 8에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부의 측면 각각에 맞닿아, 가로폭 방향으로 이동하는 유리 기판(2)을 받아 들이는 캐치부로서의 대경부(24a)가 구비되어 있다.

추가로 설명하면, 추진력 부여 수단(4)은 한쌍의 수납 프레임(8)의 각각에 구비되어 있다. 추진력 부여 수단(4)의 각각은, 도 7~ 도 9에 나타낸 바와 같이, 전동 모터(25)와, 이 전동 모터(25)의 출력 기어와 서로 맞물리는 평 기어(28)를 구비한 전동축(27)과, 전동축(27)에 구비된 출력 기어(29)와 서로 맞물리는 입력 기어(3O)를 구비한 다수의 출력축(26)을 구비하고 있다. 그리고, 전동 모터(25) 및 전동축(27)은 상기 수납 공간 B 내에 배치되어 있고, 상기 출력축(26)은, 수납 공간 B 측 및 반송 공간 A 측으로 각각 돌출하는 상태로 상기 내벽(8a)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 출력축(26)의 수납 공간 B으로 돌출하는 부분에는 상기 입력 기어(30)가 구비되어 있고, 출력축(26)의 반송 공간 A로 돌출하는 부분에는 상기 구동 롤러(24)가 구비되어 있다.

따라서, 송풍식 지지 수단(3)에 의해, 송풍팬(13)의 송풍 작용에 의해, 송풍팬(13)의 하방으로부터 흡인한 공기를, 제진 필터(12)를 통하고, 정풍판(15)의 통기공(15a)를 통하여 청정 공기로서 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급하고, 그 공급한 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역이 지지되어 있다. 또, 추진력 부여 수단(4)에 의해, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부의 하면이 구동 롤러(24)에 의해 접촉 지지되어 있다. 그리고, 그 유리 기판(2)을 접촉 지지하고 있는 구동 롤러(24)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부에 대하여 반송 방향으로의 추진력이 부여되어 유리 기판(2)이 반송된다.

다음에, 상기 L형 반송 유닛(1L)에 대하여 상세히 설명하면, 도 10, 도 11에 나타낸 바와 같이, 상하 2단으로 구성된 L형 반송 유닛(1L)은, L형 반송 유닛(1L)용의 송풍식 지지 수단인 L형 송풍식 지지 수단(33)과, L형 반송 유닛(1L)용의 추진력 부여 수단인 L형 추진력 부여 수단(34)과, L형 반송 유닛(1L)용의 케이스체인 L형 케이스체(37)를 구비하고 있다.

그리고, L형 반송 유닛(1L)도, 수평용 지지 프레임(19)에 의해 수평 상태로 지지되어 있다. 또, 위쪽의 L형 반송 유닛(1L)은, 도 13에 나타낸 바와 같이, 제1 반송 방향 X에 따르는 가로 축심 Q 주위로 요동 가능하다.

상기 L형 케이스체(37)는, 도 11에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 대략 L자형으로 L형 송풍식 지지 수단(33)을 탑재 지지하는 상기 공기 도입구(11)를 구비한 L형 유닛용 프레임체(39)과, L형 유닛용 프레임체(39)에서의 유리 기판(2)의 반송 경로를 따르는 양측에 구비한 L형 수납 프레임(38)과, 양측의 L형 수납 프레임(38)의 상단부에 걸쳐서 구비한 L형 반송 커버(40)를 구비하고 있다.

상기 L형 수납 프레임(38)은, 도 10, 도 14에 나타낸 바와 같이, L형 유닛용 프레임체(39)를 사이에 협지하여 대향하도록 구비된 양측 프레임 부분(43)과, 상기 제1 반송부(1A)에 대향하는 개소 및 상기 제2 반송부(1B)에 대향하는 개소에 구비되어 L형 유닛용 프레임체(39)의 외측에만 구비된 편측 프레임 부분(44)을 가진다. 그리고, 편측 프레임 부분(44)에서의 제2 반송부(1B)와 대향하는 개소에 구비된 제1 편측 프레임 부분(44a)은 L형 유닛용 프레임체(39)에 대하여 연결 고정되어 있다. 또, 편측 프레임 부분(44)에서의 제1 반송부(1A)와 대향하는 개소에 구비된 제2 편측 프레임 부분(44b)은 승강 가능하다.

상기 제2 편측 프레임 부분(44b)에 대하여 설명하면, 도 16에 나타낸 바와 같이, L형 케이스체(37)에서의 상기 제2 편측 프레임 부분(44b)을 연결하는 부분은 고정 측벽(42)이 연결 고정되어 반송 공간 A가 폐색되어 있고, 상기 제2 편측 프레임 부분(44b)은 이 고정 측벽(42)에 대하여 승강한다. 즉, 고정 측벽(42)의 외면에는 기어 홈(42b)이 형성되어 있고, 그 기어 홈에 승강용 모터(36)의 출력 기어(36a)가 맞물려 있고, 승강용 모터(36)가 정역 회전됨으로써, 제2 편측 프레임 부분(44b)이 승강한다. 그리고, 고정 측벽(42)에는, 제2 편측 프레임 부분(44b)에서의 출력축(26)의 각각이 승강 가능하도록 삽통공(42a)이 형성되어 있다.

도 11~ 도 13에 나타낸 바와 같이, 상기 L형 송풍식 지지 수단(33)은, L형 반송 유닛(1L)에서의 반송 공간 A에 설치되어 있다. 상기 제진 필터(12)와 상기 송풍팬(13)을 일체적으로 조립한 상기 팬 필터 유닛(14)이, 제1 반송 방향 X와 제2 반송 방향 Y으로 배열하여 배치되어 있다. 그리고, 도 14에 나타낸 바와 같이, 가로폭 방향으로 2개 배열된 팬 필터 유닛(14)을 반송 방향으로 3열 배열된 팬 필터 유닛군과, 이 팬 필터 유닛군의 제2 반송 방향 아래쪽에 구비된 2개의 팬 필터 유닛(14)이 구비되어 있고, L형 송풍식 지지 수단(33)에는 합계 8개의 팬 필터 유닛(14)이 구비되어 있다. 또, 상기 정풍판(15)과 마찬가지로 구성된 평면에서 볼 때 L자형의 L형 정풍판(41)이, 8개의 팬 필터 유닛(14)의 위쪽을 덮도록 배치되어 있다. 즉, L형 송풍식 지지 수단(33)은, 8개의 팬 필터 유닛(14)와 1개의 L형 정풍판(41)으로 구성되어 있다.

또, L형 송풍식 지지 수단(33)에 구비되는 8개의 송풍팬은 동등한 회전 속도로 구동하도록 구성되어 있고, 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되는 청정 공기의 양이 가로폭 방향에 있어서도 전후 폭방향에 있어서도 대략 동량의 청정 공기를 공급하도록 L형 송풍식 지지 수단(33)이 구성되어 있다. L형 정풍판(41)에도, 정풍판(15)와 마찬가지로 통기공(41a)이 형성되어 있다.

상기 L형 추진력 부여 수단(34)에 대하여 설명하면, 도 14에 나타낸 바와 같이, 상기 L형 추진력 부여 수단(34)에는, 유리 기판(2)의 하면(2a)의 가로폭 일단부 또는 가로폭 타단부를 접촉 지지하여 제1 반송 방향 X에의 추진력을 부여하는 접촉식의 제1 반송용 구동 롤러(45)와, 유리 기판(2)의 하면(2a)의 전후폭 일단부 또는 전후폭 타단부를 접촉 지지하여 제2 반송 방향 Y로의 추진력을 부여하는 접촉식의 제2 반송용 구동 롤러(46)을 구비하고 있다. 또, 상기 L형 추진력 부여 수단(34)은, 한쌍의 양측 프레임 부분(43)에 각각 구비되어 대향하는 한쌍의 L형 추진력 부여 수단(34)의 협동에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 양단부 또는 전후폭 양단부에 대하여 제1 반송 방향 X 또는 제2 반송 방향 Y에서의 추진력을 부여하는 양측 구동식으로 구성된 양측 추진력 부여부(34A)와, 1개의 L형 추진력 부여 수단(34)에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 일단부 또는 전후폭 일단부에 대하여 제1 반송 방향 X 또는 제2 반송 방향 Y에서의 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성된 편측 추진력 부여부(34B)로 구성되어 있다.

편측 추진력 부여부(34B)는, 제1 추진력 부여부(34Ba)와, 제2 추진력 부여부(34Bb)를 가진다. 이들 제1 추진력 부여부(34Ba)와, 제2 추진력 부여부(34Bb)가 반송물의 반송 방향을 변경하는 수단에 설치되어 있다. 제1 추진력 부여부(34Ba)는, 유리 기판(2)에서의 제1 반송 방향 X와 직교하는 가로폭 방향의 제2 반송부(1B)로부터 멀어지는 쪽의 가로폭 일단부에 대하여 제1 반송 방향 X의 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성되어 있다. 제2 추진력 부여부(34Bb)는, 유리 기판(2)에서의 상기 제2 반송 방향 Y와 직교하는 전후 폭방향의 제1 반송부(1A)로부터 멀어지는 쪽의 전후폭 일단부에 대하여 제2 반송 방향 Y의 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성되어 있다. 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 추진력이 부여되어 제1 반송 방향 X으로 반송된 유리 기판(2)을, 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 추진력을 부여하여 제2 반송 방향 Y으로 반송하도록 유리 기판(2)의 반송 방향을 변경하도록 구성되어 있다.

그리고, 상기 제1 추진력 부여부(34Ba)는, 유리 기판(2)의 하면(2a)의 가로폭 일단부를 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 접촉식의 제1 구동부로서의 제1 구동 롤러(45A)를 구비하고 있다. 상기 제2 추진력 부여부(34Bb)는, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 접촉식의 제2 구동부로서의 제2 구동 롤러(46A)를 구비하고 있다. 즉, 상기 제1 반송용 구동 롤러(45) 중의 제1 추진력 부여부(34Ba)에 구비된 것이 제1 구동 롤러(45A)에 상당하고, 상기 제2 반송용 구동 롤러(46) 중의 제2 추진력 부여부(34Bb)에 구비된 것이 제2 구동 롤러(46A)에 상당한다. 또, 제1 추진력 부여부(34Ba)는, 상기 제1 편측 프레임 부분(44a)에 구비되어 있고, 제2 추진력 부여부(34Bb)는, 상기 제2 편측 프레임 부분(44b)에 구비되어 있다.

상기 제1 구동 롤러(45A)에는, 유리 기판(2)에서의 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 추진력이 부여되는 가로폭 일단부 측의 측면에 맞닿아, 가로폭 방향으로 이동하는 유리 기판(2)을 받아 들이는 제1 캐치부로서의 제1 대경부(45a)(도 13 참조)가 형성되어 있다. 상기 제2 구동 롤러(46A)에는, 유리 기판(2)에서의 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 추진력이 부여되는 전후폭 일단부 측의 측면에 맞닿아, 전후 폭방향으로 이동하는 유리 기판(2)을 받아 들이는 제2 캐치부로서의 제2 대경부(46a)(도 12 참조)가 형성되어 있다. 제1 추진력 부여부(34Ba) 및 제2 추진력 부여부(34Bb)는 모두, 상기 추진력 부여 수단(4)과, 마찬가지로 구성되어 있다.

상기 제2 추진력 부여부(34Bb)는, 유리 기판(2)을 제2 반송용 구동 롤러(46)에 의해 접촉 지지하는 지지 위치와, 유리 기판(2)과 제2 구동 콜라(46)의 접촉을 회피하기 위해 하방으로 퇴피한 퇴피 위치로 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 도 16에 나타낸 바와 같이, 제2 추진력 부여부(34Bb)를 지지하는 제2 편측 프레임 부분(44b)이 승강함으로써, 제2 추진력 부여부(34Bb)가 지지 위치와 퇴피 위치로 승강한다.

도 10, 도 14, 도 15에 나타낸 바와 같이, L형 반송 유닛(1L)에는, 제1 규제부로서의 복수의 제1 규제 롤러(47)와 제2 규제부로서의 복수의 제2 규제 롤러(48)가 구비되어 있다. 제1 규제 롤러(47)는, 유리 기판(2)에서의 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 추진력이 부여되는 가로폭 일단부와는 반대측의 가로폭 타단부 측의 측면에 맞닿아, 유리 기판(2)의 가로폭 방향으로의 이동을 규제한다.

제2 규제 롤러(48)는, 유리 기판(2)에서의 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 추진력이 부여되는 전후폭 일단부 측과는 반대측의 전후 타단부 측의 측면에 맞닿아, 유리 기판(2)의 전후 폭방향으로의 이동을 규제한다.

그리고, 도 15, 도 17에 나타낸 바와 같이, 제1 규제 롤러(47)는, 제2 반송 방향으로 반송되는 유리 기판(2)의 반송 경로에 위치하여, 가로폭 타단부 측의 측면에 맞닿는 작용 위치와, 이 작용 위치로부터 하강함으로써 제2 반송 방향으로 반송되는 유리 기판(2)의 반송 경로로부터 퇴피한 퇴피 위치로 위치 변경 가능하게 구성되어 있다. 또, 제2 규제 롤러(48)는, 제1 반송 방향으로 반송되는 유리 기판(2)의 반송 경로에 위치하여, 전후폭 타단부 측의 측면에 맞닿는 작용 위치와, 이 작용 위치로부터 하강함으로써 제1 반송 방향으로 반송되는 유리 기판(2)의 반송 경로로부터 퇴피한 퇴피 위치로 위치 변경 가능하다.

다음에, 제1 규제 롤러(47) 및 제2 규제 롤러(48)의 위치 변경 구조에 대하여 설명하지만, 제1 규제 롤러(47)와 제2 규제 롤러(48)의 위치 변경 구조는 마찬가지이므로, 제1 규제 롤러(47)의 위치 변경 구조에 대하여 설명하고, 제2 규제 롤러(48)의 위치 변경 구조에 대한 설명은 생략한다.

도 17에 나타낸 바와 같이, 제1 규제 롤러(47)의 각각은 롤러 지지 프레임(49)의 상단부에 세로 축심 주위에 회전 가능하게 지지되어 있고, 그 롤러 지지 프레임(49)가 L형 유닛용 프레임체(39)에 탑재 지지된 전동식의 모터(50)에 의해 상하 방향으로 승강 이동 가능하다.

따라서, 모터(50)에 의해 롤러 지지 프레임(49)를 상하 방향으로 승강 이동시킴으로써, 제1 규제 롤러(47)가 상하 방향으로 위치 조절되어, 작용 위치와 퇴피 위치로 승강 이동한다.

그리고, 상기 L형 송풍식 지지 수단(33)에는, 퇴피 위치에 위치하는 제1 규제 롤러(47)나 제2 규제 롤러(48)가 들어가는 요부(33a)와, 상기 롤러 지지 프레임(34)가 관통하는 관통공(33b)이 형성되어 있다. 그리고, 팬 필터 유닛(14)의 크기나 반송되는 유리 기판(2)의 크기 등에 의해, 제1 규제 롤러(47)나 제2 규제 롤러(48)의 일부분만 비집고 들어가거나, 관통공(33b)을 형성할 필요가 없거나 하는 경우도 있다.

다음에, L형 반송 유닛(1L)에서의 유리 기판(2)을 반송하는 순서를 설명한다.

이미, 도 15 (A)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)과 제2 추진력 부여부(34Bb)가 맞닿지 않게 제2 추진력 부여부(34Bb)를 퇴피 위치로 하강시켜, 유리 기판(2)을 안정된 상태로 제1 반송 방향 X으로 반송하기 위해 제1 규제 롤러(47)를 작용 위치로 상승시키고, 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X으로 반송할 때 방해가 되지 않게 제2 규제 롤러(48)를 퇴피 위치로 하강하게 한다.

그리고, L형 송풍식 지지 수단(33)에 의해 공급한 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역을 지지하고, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 양측 추진력 부여부(34A)에 의해, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부의 하면(2a)을 제1 반송용 구동 롤러(45)에 의해 접촉 지지하고, 제1 반송용 구동 롤러(45)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제1 반송 방향 X으로 반송된다. 이 양측 추진력 부여부(34A)에 의해 반송될 때는, 유리 기판(2)은 가로폭 방향 양측의 제1 반송용 구동 롤러(45)의 제1 대경부(45a)에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 방향으로의 어긋남이 규제되면서 반송된다.

그 후, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 편측 추진력 부여부(34B)의 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해, 유리 기판(2)의 가로폭 일단부 측의 하면(2a)을 제1 구동 롤러(45A)에 의해 접촉 지지하고, 제1 구동 롤러(45A)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제1 반송 방향 X으로 반송된다. 이 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 반송될 때는, 유리 기판(2)은 가로폭 일단부 측의 제1 구동 롤러(45A)의 제1 대경부(45a)와 가로폭 다른 쪽의 제1 규제 롤러(47)와의 협동에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 방향으로의 어긋남이 규제되면서 반송된다.

유리 기판(2)이 제1 반송 방향 종단까지 반송되면, 도 15 (B)에 나타낸 바와 같이, 제2 구동 롤러(46)에 의해 유리 기판(2)의 전후폭 일단측의 하면(2a)을 접촉 지지하도록 제2 추진력 부여부(34Bb)를 지지 위치로 상승시키고, 유리 기판(2)을 제2 반송 방향 Y으로 반송할 때 방해가 되지 않게 제1 규제 롤러(47)를 퇴피 위치로 하강시키고, 유리 기판(2)을 안정된 상태로 제2 반송 방향 Y으로 반송하기 위해 제2 규제 롤러(48)를 작용 위치로 상승시키고, 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 변경한다.

그리고, L형 송풍식 지지 수단(33)에 의해 공급한 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역을 지지하고, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 편측 추진력 부여부(34B)의 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해, 유리 기판(2)의 전후폭 일단부 측의 하면(2a)을 제2 구동 롤러(46A)에 의해 접촉 지지하고, 제2 구동 롤러(46A)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제2 반송 방향 Y으로 반송된다. 이 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 반송될 때는, 유리 기판(2)은 전후폭 한쪽 옆의 제2 구동 롤러(46A)의 제2 대경부(46a)와 전후폭 다른 쪽 옆의 제2 규제 롤러(48)와의 협동에 의해 유리 기판(2)의 전후 폭방향으로의 어긋남이 규제되면서 반송된다.

그 후, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 양측 추진력 부여부(34A)에 의해, 유리 기판(2)의 전후 폭방향의 양단부의 하면(2a)을 제2 반송용 구동 롤러(46)에 의해 접촉 지지하고, 제2 반송용 구동 롤러(46)이 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제2 반송 방향 Y으로 반송된다.

이 양단 추진력 부여부(34A)에 의해 반송될 때는, 유리 기판(2)은 전후 폭방향 양측의 제2 반송용 구동 롤러(46)의 제2 대경부(46a)에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 방향으로의 어긋남이 규제되면서 반송된다.

[제2 실시예]

상기 제1 실시예에서는, L형 추진력 부여 수단을 부분적으로 편측 구동식으로 구성했지만, L형 추진력 부여 수단의 전체를 편측 구동식으로 구성해도 된다. 그리고, 제1 실시예와 마찬가지로 구성되는 것에 대하여는, 제1 실시예와 같은 부호를 붙여 설명을 생략한다. 이것은 이하의 실시예에 관해서도 동일하다.

도 19에 나타낸 바와 같이, 반송 유닛(1)에서의 편측 케이스체(52)는, 송풍식 지지 수단(3)을 탑재 지지하는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 유닛용 프레임체(9)과, 유닛용 프레임체(9)의 가로폭 방향에서의 반송 경로 외측에 반송 방향에 따라 구비된 수납 프레임(8)과, 유닛용 프레임체(9)의 가로폭 방향에서의 반송 경로 내측에 따라 구비된 케이스 측벽(53)과, 수납 프레임(8)의 상단부로부터 케이스 측벽(53)의 상단부에 걸쳐서 구비한 반송 커버(20)를 구비하고 있다. 따라서, 반송 공간 A는, 유닛용 프레임체(9)과 수납 프레임(8)과 케이스 측벽(53)과 반송 커버(20)에 의해 형성되어 있다.

그리고, 반송 유닛(1)은, 경사용 지지 프레임(51)에 의해, 가로폭 방향에 있어서 수납 프레임(8)을 구비하고 있는 측 하방에 위치하도록 경사 상태로 지지되어 있고, 반송 유닛(1)이 경사 상태로 지지됨으로써, 송풍식 지지 수단(3)도 경사 자세로 유닛용 프레임체(9)에 지지되어 있다. 그리고, 도 19에서는, 편측 케이스체(52)의 경사를 알기 쉽게 하기 위해, 반송 유닛(1)을, 반송 방향에서 볼 때 수납 프레임(8)을 구비하고 있는 측만큼 하방에 위치하도록 5˚ 경사지게 나타냈으나. 본원 발명을 실시하려면, 반송 유닛(1)의 경사는 0.5˚정도의 약간 경사로 된다.

다음에, 상기 추진력 부여 수단(4)에 대하여 설명하면, 추진력 부여 수단(4)이 1개의 수납 프레임(8)에 구비되어 편측 구동식으로 구성되어 있다. 그리고, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 공급한 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역이 지지되어 있다. 또, 추진력 부여 수단(4)에 의해, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 가로폭 일단 측부의 하면(2a)이 구동 롤러(24)에 의해 접촉 지지되어 있다.

다음에, 상기 L형 반송 유닛(1L)에 대하여 설명한다.

도 20에 나타낸 바와 같이, L형 반송 유닛(1L)에서의 상기 L형 편측 케이스체(54)는, 상기, L형 유닛용 프레임체(39)와 L형 유닛용 프레임체(39)에서의 유리 기판(2)의 반송 경로 외측을 따라 구비된 L형 일측 수납 프레임(55)과, L형 유닛용 프레임체(39)에서의 유리 기판(2)의 반송 경로 내측에 따라 구비된 L형 케이스 측벽(56)과, L형 일측 수납 프레임(55)의 상단부로부터 L형 케이스 측벽(56)의 상단부에 걸쳐서 구비한 L형 반송 커버(40)를 구비하고 있다.

그리고, L형 송풍식 지지 수단(33)이, 유리 기판(2)을, 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 추진력이 부여되는 가로폭 일단측보다 가로폭 타단측이 위쪽에 위치하도록 경사진 자세로 되는 제1 반송용 자세와, 유리 기판(2)을 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 추진력이 부여되는 전후 일단측보다 전후폭 타단측이 위쪽에 위치하도록 경사진 자세로 되는 제2 반송용 자세로 자세 변경 가능하게 구성되어 있다.

즉, L형 반송 유닛(1L)이, 경사 자세 변경용 프레임(58)에 의해 경사 자세가 변경 가능하게 지지되어 있고, 경사 자세 변경용 프레임(58)에서의 복수의 신축부(58a)가 신축 가능하고, 도 23 (B)에 나타낸 바와 같이, 제1 반송 방향에서 볼 때 L형 일측 수납 프레임(55)을 구비하고 있는 측만큼 하방에 위치하는 경사 상태로 하고, 제2 반송 방향 역방향에서 볼 때 수평 상태로 하고자, 신축부(58a)의 각각이 신축함으로써, L형 송풍식 지지 수단(33)을 제1 반송용 자세로 할 수 있다. 또, 제1 반송 방향에서 볼 때 수평 상태로 하고, 도 24 (B)에 나타낸 바와 같이 제2 반송 방향에서 볼 때 L형 일측 수납 프레임(55)을 구비하고 있는 측만큼 하방에 위치하는 경사 상태로 하고자, 신축부(58a)의 각각을 신축시킴으로써, L형 송풍식 지지 수단(33)을 제2 반송용 자세로 할 수 있다.

상기 L형 일측 수납 프레임(55)에 대하여 상세히 설명하면, 도 21, 도 22에 나타낸 바와 같이, L형 일측 수납 프레임(55)은, L형 유닛용 프레임체(39)의 외측에만 구비된 편측 프레임 부분(44)만으로 구성되어 있다. 그리고, 편측 프레임 부분(44)에서의 제1 반송부(1A)와 대향하는 개소에 위치하는 제2 편측 프레임 부분(44b)은 승강 가능하게 구성되어 있다.

상기 L형 추진력 부여 수단(34)에 대하여 설명하면, 도 21에 나타낸 바와 같이, 상기 L형 추진력 부여 수단(34)은, 상기 편측 프레임 부분(44)에 구비되어 편측 구동식으로 구성된 편측 추진력 부여부(34B)만으로 구성되어 있다.

그리고, 편측 추진력 부여부(34B)에서의 상기 제1 반송 방향 X에 따르는 상기 제1 편측 프레임 부분(44a)에 구비된 부분을 제1 추진력 부여부(34Ba)로 하고, 편측 추진력 부여부(34B)에서의 상기 제2 반송 방향 Y에 따르는 상기 제2 편측 프레임 부분(44b)에 구비된 부분을 제2 추진력 부여부(34Bb)로 하고 있다. 그리고, 상기 제2 추진력 부여부(34Bb)는, 제1 실시예와 마찬가지로 지지 위치와 퇴피 위치로 승강 가능하게 구성되어 있다.

그리고, 제2 실시예에 있어서는, L형 반송 유닛(1L)에는, 제1 규제부나 제2 규제부는 구비되어 있지 않다. 따라서, 상기 L형 송풍식 지지 수단(33)의 요부(33a)나 관통공(33b)도 형성되어 있지 않다.

다음에, L형 반송 유닛(1L)에서의 유리 기판(2)을 반송하는 순서를 설명한다.

이미, 도 23 (A)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)과 제2 추진력 부여부(34Bb)가 맞닿지 않도록 제2 추진력 부여부(34Bb)를 퇴피 위치로 하강시키고, 도 23 (B)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)을 안정된 상태로 제1 반송 방향 X으로 반송하기 위해 L형 송풍식 지지 수단(33)을 제1 반송용 자세로 자세 변경하여 둔다.

그리고, L형 송풍식 지지 수단(33)에 의해 공급한 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역을 지지하고, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부의 하면(2a)을 제1 반송용 구동 롤러(45)에 의해 접촉 지지하고, 제1 반송용 구동 롤러(45)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제1 반송 방향 X으로 반송된다. 이 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 반송될 때는, 유리 기판(2)은 가로폭 한쪽 측으로의 이동은 제1 반송용 구동 롤러(45)의 제1 대경부(45a)에 의해 규제되고, 유리 기판(2)의 가로폭 타단측으로의 이동은 유리 기판(2)의 자중에 의해 이동하기 어려운 상태로 반송된다.

유리 기판(2)이 제1 반송 방향 종단까지 반송되면, 도 24 (A)에 나타낸 바와 같이, 제2 구동 롤러(46)에 의해 유리 기판(2)의 전후폭 일단측의 하면(2a)을 접촉 지지하도록 제2 추진력 부여부(34Bb)를 지지 위치로 상승시키고, 도 24 (B)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)을 안정된 상태로 제2 반송 방향 Y으로 반송하기 위해 L형 송풍식 지지 수단(33)을 제2 반송용 자세로 자세 변경하여, 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 변경한다.

그리고, L형 송풍식 지지 수단(33)에 의해 공급한 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역을 지지하고, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해, 유리 기판(2)의 전후폭 일단부 측의 하면(2a)을 제2 구동 롤러(46)에 의해 접촉 지지하고, 제2 구동 롤러(46)이 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제2 반송 방향 Y으로 반송된다. 이 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 반송될 때는 , 유리 기판(2)은 전후폭 한쪽 측으로의 이동은 제2 구동 롤러(46)의 제2 대경부(46a)에 의해 규제되고, 전후폭 타단측으로의 이동은 유리 기판(2)의 자중에 의해 이동하기 어려운 상태로 반송된다.

[제3 실시예]

상기 제1 실시예나 제2 실시예에서는, 제1 반송 방향으로 반송되는 유리 기판과 제2 추진력 부여부와의 접촉을 회피하기 위하여 제2 추진력 부여부를 퇴피 위치로 하강 가능하게 구성했지만, 제2 추진력 부여부를 하강시키지 않고 유리 기판을 상승시키도록 구성해도 된다. 그리고, 반송 유닛에 대하여는 상기 제2 실시예와 마찬가지로 구성되어 있으므로 설명을 생략하고, L형 반송 유닛에 대하여도, 제1 실시예나 제2 실시예와 마찬가지로 구성되는 것에 대하여는, 제1 실시예나 제2 실시예와 같은 부호를 붙여 설명을 생략한다.

L형 반송 유닛(1L)에 대하여는, 기본적으로는 상기 실시예 2와 마찬가지로 구성되어 있고, 다음의 2점에서 상기 제2 실시예와는 구성이 상위하게 되어 있다.

도 25에 나타낸 바와 같이, 가로폭 방향으로 2개 배열한 팬 필터 유닛(14)을 반송 방향으로 3열 배열된 팬 필터 유닛군에서의 제1 반송 방향 아래쪽의 2개의 팬 필터 유닛(14)이, 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되는 청정 공기의 양을 다른 6개의 팬 필터 유닛으로부터 다량으로 공급할 수 있는 가변 팬 필터 유닛(14A)으로 구성되어 있다.

편측 프레임 부분(44)에서의 제1 반송부(1A)와 대향하는 개소에 구비된 제2 편측 프레임 부분(44b)은 L형 유닛용 프레임체(39)에 대하여 승강 가능하게 구성되어 있지 않다.

수평용 지지 프레임(19)에 의해 수평 상태로 지지되어 있다.

가변 팬 필터 유닛(14A)에 대하여 상세히 설명하면, 가변 팬 필터 유닛(14A)에 구비된 가변 송풍팬(13a)을, 팬 필터 유닛군의 제2 반송 방향 아래쪽에 구비된 2개의 팬 필터 유닛(14)을 포함한 다른 6개의 팬 필터 유닛(14)의 송풍팬(13)과 동등한 등속 회전 속도와, 이 6개의 팬 필터 유닛(14)의 송풍팬(13)보다 회전 속도가 빠른 고속 회전 속도로 변경 가능하게 구성되어 있다. 따라서, 가변 송풍팬(13a)을 등속 회전 속도로 하는 것에 따라, 가변 팬 필터 유닛(14A)은, 다른 팬 필터 유닛(14)과 대략 동량의 청정 공기를 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급할 수 있고, 가변 송풍팬(13a)을 고속 회전 속도로 함으로써, 가변 팬 필터 유닛(14A)은, 다른 팬 필터 유닛(14)보다 다량의 청정 공기를 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급할 수 있다.

다음에, L형 반송 유닛(1L)에서의 유리 기판(2)을 반송하는 순서를 설명한다.

이미, 유리 기판(2)과 제2 추진력 부여부(34Bb)가 맞닿지 않게 가변 팬 필터 유닛(14A)에서의 가변 송풍팬(13a)을 고속 회전 속도로 하고, 유리 기판(2)을 안정된 상태로 제1 반송 방향 X으로 반송하기 위해 L형 송풍식 지지 수단(33)을 제1 반송용 자세로 자세 변경하여 둔다.

그리고, L형 송풍식 지지 수단(33)에 의해 공급된 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역을 지지하고, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부의 하면(2a)을 제1 구동 롤러(45)에 의해 접촉 지지하고, 제1 구동 롤러(45)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제1 반송 방향 X으로 반송된다. 이 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 반송될 때는, 유리 기판(2)은 가로폭 한쪽 측으로의 이동은 제1 구동 롤러(45)의 제1 대경부(45a)에 의해 규제되고, 유리 기판(2)의 가로폭 타단측으로의 이동은 유리 기판(2)의 자중에 의해 이동하기 어려운 상태로 반송된다.

제1 반송 방향 X에서의 종단부 부근에 있어서는, 가변 팬 필터(14A)에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)에 다량의 청정 공기가 공급되어, 유리 기판(2)의 전후폭 일단측으로 되는 반송 아래쪽 단부가 크게 들어 올려진다. 따라서, 도 26 (B)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)의 반송 아래쪽 단부를 크게 들어 올릴 수 있으므로, 유리 기판(2)과 제2 추진력 부여부(34Bb)과의 접촉을 회피하면서, 제2 추진력 부여부(34Bb)의 제2 구동 롤러(46) 상에 유리 기판(2)의 전후폭 일단부 측이 위치할 때까지 유리 기판(2)을 제1 반송 방향으로 반송할 수 있다.

도 23에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)이 제1 반송 방향 종단까지 반송되면, 도 26 (A)에 나타낸 바와 같이, 제2 구동 롤러(46)에 의해 유리 기판(2)의 전후폭 일단측의 하면(2a)을 접촉 지지하도록 가변 팬 필터 유닛(14A)에서의 가변 송풍팬(13a)을 동등 회전 속도로 하고, 유리 기판(2)을 안정된 상태로 제2 반송 방향 Y으로 반송하기 위해 L형 송풍식 지지 수단(33)을 제2 반송용 자세로 자세 변경하여, 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 변경한다.

그리고, L형 송풍식 지지 수단(33)에 의해 공급한 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역을 지지하고, L형 추진력 부여 수단(34)에서의 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해, 유리 기판(2)의 전후폭 일단부 측의 하면(2a)을 제2 구동 롤러(46)에 의해 접촉 지지하고, 제2 구동 롤러(46)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)이 제2 반송 방향 Y으로 반송된다. 이 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 반송될 때는, 유리 기판(2)은 전후폭 한쪽 측으로의 이동은 제2 구동 롤러(46)의 제2 대경부(46a)에 의해 규제되어 전후폭 타단측으로의 이동은 유리 기판(2)의 자중에 의해 이동하기 어려운 상태로 반송된다.

〔제4 실시예〕

다음에 제4 실시예를 설명한다.

도 33에 나타낸 바와 같이, 반송 장치 H는, 유리 기판(2)을 제1 반송 방향으로 반송하는 제1 반송부(1A), 유리 기판(2)을 제1 반송 방향과 직교하는 제2 반송 방향으로 반송하는 제2 반송부(1B), 및 제1 반송부(1A)와 제2 반송부(1B)와의 접속 개소에 위치하여, 유리 기판(2)을 제1 반송 방향에 따라 반송함으로써 제1 반송부(1A) 사이에 유리 기판(2)을 반송하고, 유리 기판(2)을 제2 반송 방향에 따라 반송함으로써 제2 반송부(1B) 사이에 유리 기판(2)을 반송하는 중계 반송부(1D)가 반송부로서 형성되어 있다.

그리고, 도 34, 도 39에 나타낸 바와 같이, 각 반송부는, 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)에 의해 접촉 상태로 지지하는 추진력 부여 수단(4)과 유리 기판(2)을 지지하고, 그 지지된 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 상기 추진력 부여 수단(4)에 의해 부여하여 유리 기판(2)을 반송 방향으로 반송하도록 구성되며, 이들 송풍식 지지 수단(3)이나 추진력 부여 수단(4)이 케이스체(7)에 수납되어 있다.

또, 제1 반송부(1A)는, 제1 반송 유닛을 1개 또는 복수개를 제1 반송 방향에 따라 구비하여 구성되어 있고, 제2 반송부(1B)는, 제2 반송 유닛을 1개 또는 복수개를 제2 반송 방향에 따라 구비하여 구성되어 있고, 중계 반송부(1D)는, 1개의 중계 반송 유닛에 의해 구성되어 있다. 즉, 반송 장치 H는, 제1 반송 유닛와 제2 반송 유닛과 중계 반송 유닛을 조합시켜 구성되어 있다.

중계 반송부(1D)에 대하여 설명한다.

도 34, 도 35에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에는, 중계 반송부(1D)에 구비된 상기 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하는 중계 반송부(1D)에 구비된 상기 추진력 부여 수단(4)과, 유리 기판(2)에 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 보조 추진 수단(6A)과, 이들 송풍식 지지 수단(3), 추진력 부여 수단(4) 및 보조 추진 수단(6A)을 수납하는 중계 반송부(1D)에 구비된 케이스체(7)을 구비하여 구성되어 있다.

도 35, 도 36에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 상기 케이스체(7)는, 송풍식 지지 수단(3)을 탑재 지지하는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 유닛용 프레임체(9)과, 유닛용 프레임체(9)의 가로폭 방향의 양측에 반송 방향에 따라 고정 상태로 구비한 수납 프레임(8)을 구비하고 있다.

중계 반송부(1D)에는, 4개의 팬필터 유닛이 형성되어 있다. 또, 그 정풍판(다공판)(15)에는, 펀칭에 의해 형성된 통기공(15a)과, 상기 보조 추진 수단(6A)이 송풍식 지지 수단(3)보다 위쪽으로 돌출 가능하도록 형성된 승강용 구멍(115b)가 형성되어 있다.

그리고, 도 37에 나타낸 바와 같이, 팬 필터 유닛(14)의 하면에는, 이 팬 필터 유닛(14)을 승강 조작하기 위한 전동식의 지지 수단용 모터(16)가 설치되어 있고, 이 지지 수단용 모터(16)의 출력 기어(16a)와, 유닛용 프레임체(9)에서의 지지 프레임 부분(9a)의 측면에 형성된 기어 홈(9c)가 맞물려 있다. 따라서, 지지 수단용 모터(16)를 정역 방향으로 구동 회전시킴으로써, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)이 승강 조작되게 된다.

중계 반송부(1D)의 추진력 부여 수단(4)은, 도 34, 도 35에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)에서의 가로폭 방향의 양단부를 접촉 지지하는 한쌍의 추진력 부여부(4a)를 구비하여 양측 구동식으로 구성되며, 추진력 부여부(4a)는 상기 한쌍의 수납 프레임(8)에 나누어져 구비되어 있다.

다음에, 보조 추진 수단(6A)에 대하여 설명한다. 도 37, 도 38에 나타낸 바와 같이, 보조 추진 수단(6A)은, 제2 반송 방향의 위쪽에 위치하여 전동식의 구동 모터(32)에 의해 회전하는 구동륜(64)과, 반송 위쪽에 위치하는 회전 가능한 종동륜(65)과, 이들 구동륜(64)과 종동륜(65)에 걸쳐 감겨진 상기 타이밍 벨트(66)(구동 회전체의 일례)와, 타이밍 벨트(66)에서의 이송 경로 부분을 내주면 측으로부터 지지하는 내측 지지륜(67)과, 이들을 지지하는 지지 프레임(70)으로 구성되어 있다.

그리고, 지지 프레임(70)에는, 보조 추진 수단(6A)을 승강 조작하기 위한 전동식의 추진 수단용 모터(69)가 설치되어 있고, 이 추진 수단용 모터(69)의 출력 기어(69a)와 팬 필터 유닛(14)의 측면에 형성된 기어 홈(14a)이 맞물려 있다. 따라서, 추진 수단용 모터(69)를 정역 방향으로 구동 회전시킴으로써, 보조 추진 수단(6A)이 승강 조작되게 된다.

상기 제1 반송부(1A)에 대하여 설명하면, 도 39에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(1A), 제1 반송부(1A)에 구비된 상기 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하는 제1 반송부(1A)에 구비된 상기 추진력 부여 수단(4)과, 이들 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)을 수납하는 제1 반송부(1A)에 구비된 케이스체(7)를 구비하여 구성되어 있다.

그리고, 도 40에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(1A)에는, 중계 반송부(1D)에 구비되어 있던 보조 추진 수단(6A)이 구비되어 있지 않고, 제1 반송부(1A)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)은, 유닛용 프레임체(9)의 지지 프레임 부분에 고정 지지되어 있고, 승강 조작을 할 수 없게 구성되어 있다.

그리고, 제1 반송부(1A)의 추진력 부여 수단(4)이 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 양단부를 접촉 지지하고, 제2 반송부(1B)의 추진력 부여 수단(4)이 유리 기판(2)의 전후 방향의 양단부를 접촉 지지하는 관계로, 제1 반송부(1A)와 제2 반송부(1B)는 가로폭이 상이하도록 구성되어 있지만, 그 외의 점 이외는 마찬가지로 구성되어 있으므로 설명은 생략한다. 그리고, 도 40에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부 (1D)와 제1 반송부(1A)가 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 설치되어 있고, 도 41에 나타낸 바와 같이, 제2 반송부(1B)가 중계 반송부(1D)보다 높은 위치에 형성되어 있다.

즉, 상기 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)은, 도 40에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로, 또한 도 41에 나타낸 바와 같이, 상기 제2 반송부(1B)에 구비된 추진력 부여 수단(4)보다도 낮은 높이로 고정 상태로 형성되어 있다. 또, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)은, 도 40 (A), 도 41 (A)에 나타낸 바와 같은, 상기 제1 반송부(1A)에 구비되는 송풍식 지지 수단(3)과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 유리 기판(2)을 지지하는 하방 위치나, 도 40 (B), 도 41 (B)에 나타낸 바와 같은, 상기 제2 반송부(1B)에 구비되는 송풍식 지지 수단(3)과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 유리 기판(2)을 지지하는 위쪽 위치로 승강 조작 가능하게 설치하도록 구성되어 있다.

그리고, 반송 장치 H에는, 유리 기판의 존재 여부를 검출하는 도시하지 않은 검출 센서나, 이 검출 결과에 따라 추진력 부여 수단(4)에서의 전동 모터(25), 보조 추진 수단(6A)에서의 구동 모터(32), 송풍식 지지 수단(3)을 승강 조작하는 추진 수단용 모터(69) 및 보조 추진 수단(6A)을 승강 조작하는 지지 수단용 모터(16)의 작동을 제어하는 도시하지 않은 제어 수단이 구비되어 있다.

다음에, 중계 반송부(1D)의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태와의 전환에 대하여 설명한다.

전술한 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)은 상기 유닛용 프레임체(9)에 승강 조작 가능하게 지지되어 있고, 중계 반송부(1D)는, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 상기 하방 위치로 하강시킴으로써, 같이 하강한 유리 기판(2)이 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에 접촉하여 지지되는 제1 반송 상태로 되고, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 위쪽 위치로 상승시킴으로써, 같이 상승한 유리 기판(2)은 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에 대하여 비접촉 상태로 되어 제2 반송 상태로 된다.

그리고, 제1 반송 상태에 있어서는, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에 의한 추진력에 의해 제1 반송부(1A) 사이에 유리 기판(2)을 반송하고, 또한 제2 반송 상태에 있어서는, 보조 추진 수단(6A)에 의한 제2 반송 방향에서의 추진력에 의해 제2 반송부(1B) 사이에 유리 기판(2)을 반송하도록 구성되어 있다.

또, 보조 추진 수단(6A)도 전술한 바와 같이 상기 유닛용 프레임체(9)에 승강 조작 가능하게 지지되어 있고, 보조 추진 수단(6A)은, 승강 조작함으로써, 상기 제2 반송 상태에서의 유리 기판(2)의 하면(2a)을 상기 타이밍 벨트(66)에 의해 접촉 지지하기 위하여 상승시키거나, 제1 반송 상태에서의 유리 기판(2)의 하면(2a)의 접촉 지지를 해제하기 위하여 하강하도록 승강 조작 가능하게 구성되어 있다.

그리고, 제2 반송 상태에 있어서는, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)은, 그 하면(2a)이 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)의 상단보다 높고, 또한 중계 반송부(1D)에 구비된 수납 프레임(8)의 상단보다 높게 위치하고, 유리 기판(2)을 그대로 수평으로 제2 반송 방향으로 반송해도 추진력 부여 수단(4)이나 수납 프레임(8)에 간섭하지 않게 하고 있다.

다음에, 도 33의 화살표 A에 나타낸 바와 같은, 유리 기판(2)을 반송 위쪽의 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)을 반송 방향을 바꾸지 않고 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)에 반출하는 제1 반송, 화살표 B에 나타낸 바와 같은, 유리 기판(2)을 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 전환하여 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)에 반출하는 분기 반송, 및 화살표 C에 나타낸 바와 같은, 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)의 반송 방향을 제2 반송 방향으로부터 제1 반송 방향으로 전환하여 유리 기판(2)을 제1 반송부(1A)에 반출하는 합류 반송을 행하는 경우에 대하여 설명한다.

먼저, 화살표 A에 나타낸 바와 같은 제1 반송을 행하는 경우에는, 도 40 (A), 도 41 (A)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 하방 위치로 하강시켜 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태로 하고, 보조 추진 수단(6A)을 유리 기판(2)의 하면(2a)의 접촉 지지를 해제하기 위하여 하강하게 한다. 이 상태에서 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여함으로써, 반송 위쪽의 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)을 반송 방향을 바꾸지 않고 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)에 반출한다.

또, 화살표 B에 나타낸 바와 같이 분기 반송을 행하는 경우에는, 도 40 (A), 도 41 (A)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 하방 위치로 하강시켜 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태로 하고, 보조 추진 수단(6A)을 제1 반송 상태에서의 유리 기판(2)의 하면(2a)의 접촉 지지를 해제하기 위하여 하강하게 한다. 이 상태에서 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단을 작동시켜 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하여 유리 기판(2)을 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)이 중계 반송부(1D)의 소정 위치까지 반송된 것이 상기 검출 센서에 의해 검출되면 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시킨다.

그 후, 도 40 (B), 도 41 (B)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 위쪽 위치로 상승시켜 중계 반송부(1D)를 제2 반송 상태로 한다. 이 때의 보조 추진 수단(6A)은, 송풍식 지지 수단(3)을 상승시키기 전에 상승시키고, 제1 반송 상태에 있어서 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)과 협동하여 접촉 지지한다. 그리고, 유리 기판(2)의 하면(2a)에 대한 접촉 지지를 유지하기 위하여 송풍식 지지 수단(3)의 상승에 맞추어 보조 추진 수단(6A)도 상승시키고, 제2 반송 상태에서의 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)을 보조 추진 수단(6A) 만으로 접촉 지지한다.

이 제2 반송 상태에 있어서 보조 추진 수단(6A)과, 제2 반송부(1B)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제2 반송 방향의 추진력을 부여하여, 유리 기판(2)을 중계 반송부(1D)로부터 제2 반송부(1B)에 반출한다.

마지막으로, 화살표 C에 나타낸 바와 같은 합류 반송을 행하는 경우에는, 도 40 (B), 도 41 (B)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 위쪽 위치로 상승시켜 중계 반송부(1D)를 제2 반송 상태로 하고, 보조 추진 수단(6A)을 제2 반송 상태에서의 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하기 위하여 상승하게 한다. 이 상태에서 보조 추진 수단(6A)과 제2 반송부(1B)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제2 반송 방향의 추진력을 부여하여 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)이 중계 반송부(1D)의 소정 위치까지 반송된 것이 상기 검출 센서에 의해 검출되면 보조 추진 수단(6A)의 작동을 정지시킨다.

그 후, 도 40 (A), 도 41 (A)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 하방 위치로 하강시켜 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태로 한다. 이 때의 보조 추진 수단(6A)은, 유리 기판(2)의 하면(2a)에 대한 접촉 지지를 유지하기 위하여 송풍식 지지 수단(3)의 하강에 맞추어 보조 추진 수단(6A)도 하강시켜, 제1 반송 상태에서의 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)과 협동하여 접촉 지지한다. 그리고, 보조 추진 수단(6A)을 다시 하강시켜 보조 추진 수단(6A)의 유리 기판(2)의 하면(2a)에 대한 접촉 지지를 해제하여, 제1 반송 상태에서의 송풍식, 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)만으로 접촉 지지시킨다.

이 제1 반송 상태에 있어서 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하고, 유리 기판(2)을 중계 반송부(1D)로부터 제2 반송부(1B)에 반출한다.

[제5 실시예]

중계 반송부(1D)의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태와의 전환을, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단을 승강 조작함으로써 전환하는 것으로 한 경우에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 43에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 수납 프레임(8)에서의 제2 반송 방향의 아래쪽에 위치하는 것이, 유닛용 프레임체(9)에 승강 조작 가능하게 지지되어 있다. 즉, 한쪽의 수납 프레임(8)의 하부에는, 이 수납 프레임(8)을 승강 조작하기 위한 전동식의 프레임용 모터(31)가 설치되어 있고, 이 프레임용 모터(31)의 출력 기어(31a)와, 유닛용 프레임체(9)에서의 지지 프레임 부분(9a)의 측면에 형성된 기어 홈이 맞물려 있다. 따라서 프레임용 모터(31)를 정역 방향으로 구동 회전시킴으로써, 한쪽의 수납 프레임(8)이 승강하고, 그 수납 프레임(8)에 구비되어 있는 추진력 부여 수단(4)에서의 한쪽의 추진력 부여부(4a)가 승강 조작되게 된다.

또, 도 42에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에서의 송풍식 지지 수단(3)은, 유닛용 프레임체(9)에 고착 지지되어 있다.

그리고, 도 44, 도 45에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)와 제1 반송부(1A)와 제2 반송부(1B)가 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 설치되어 있다.

즉, 상기 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을, 도 44, 도 45에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(1A)에 구비되는 송풍식 지지 수단(3) 및 제2 반송부(1B)에 구비되는 송풍식 지지 수단(3)과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 유리 기판(2)을 지지하는 높이로 설치하고, 또한 중계 반송부에 구비된 추진력 부여 수단(4)(한쪽의 추진력 부여부(4a))를, 제1 반송 상태에 있어서는, 도 44 (A)에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부 1.A에 구비되는 추진력 부여 수단(4)과 같은 높이 또는 대략 같은 높이에 위치하는 위쪽 위치로 되고, 제2 반송 상태에 있어서는, 도 45 (B)에 나타낸 바와 같이, 제2 반송부(1B)에 구비되는 추진력 부여 수단(4)보다도 하방에 위치하는 하방 위치로 되도록, 승강 조작 가능하게 설치하도록 구성되어 있다.

다음에, 중계 반송부(1D)의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태와의 전환에 대하여 설명한다.

전술한 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)은 승강 조작 가능하게 설치되어 있고, 중계 반송부(1D)는, 상기 추진력 부여 수단(4)에서의 상기 한쪽의 추진력 부여부(4a)를 상기 위쪽 위치로 상승시킴으로써, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)에 지지되는 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하는 제1 반송 상태로 되고, 상기 추진력 부여 수단(4)을 상기 하방 위치로 하강시킴으로써, 중계 반송부(1D)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)에 지지되는 유리 기판(2)의 하면에 대하여 비접촉 상태(한쪽의 추진력 부여부(4a)는 비접촉이며 다른 쪽의 추진력 부여부는 접촉되는 상태)로 되어 제2 반송 상태로 된다.

다음에, 도 33의 화살표 A에 나타낸 바와 같은 제1 반송, 화살표 B로 나타낸 바와 같은 분기 반송, 화살표 C로 나타낸 바와 같은 합류 반송을 행하는 경우에 대하여 설명한다.

먼저, 화살표 A에 나타낸 바와 같이 유리 기판(2)을 반송하는 경우에는, 도 44 (A), 도 45 (A)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 위쪽 위치로 상승시켜 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태로 하고, 보조 추진 수단(6A)을 유리 기판(2)의 하면(2a)의 접촉 지지를 해제하기 위하여 하강하게 한다. 이 상태에서 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하여, 유리 기판(2)을 반송 위쪽의 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)을 반송 방향을 바꾸지 않고 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)에 반출한다.

또, 화살표 B에 나타낸 바와 같이 유리 기판(2)을 반송하는 경우에는, 도 44 (A), 도 45 (A)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 위쪽 위치로 상승시켜 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태로 하고, 보조 추진 수단(6A)을 제1 반송 상태에서의 유리 기판(2)의 하면(2a)의 접촉 지지를 해제하기 위하여 하강하게 한다. 이 상태에서 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하여, 유리 기판(2)을 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)이 중계 반송부(1D)의 소정 위치까지 반송된 것이 상기 검출 센서에 의해 검출되면 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시킨다.

그 후, 보조 추진 수단(6A)을 상승시켜, 보조 추진 수단(6A)에 의해 제1 반송 상태에서의 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하여, 제1 반송 상태에 있어서 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)과 보조 추진 수단(6A)에 의해 접촉 지지한다. 그리고, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 하방 위치로 하강시켜, 추진력 부여 수단(4)의 유리 기판(2)의 하면(2a)에 대한 접촉 지지를 해제하여, 중계 반송부(1D)를 도 44 (B), 도 45 (B)에 나타낸 바와 같은 제2 반송 상태로 하여, 제2 반송 상태에 있어서 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)의 하면(2a)을 다른 쪽의 추진력 부여부(4a)와 보조 추진 수단(6A)에 의해 접촉 지지한다.

이 제2 반송 상태에 있어서 보조 추진 수단(6A)과 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제2 반송 방향의 추진력을 부여하여, 유리 기판(2)을 중계 반송부(1D)로부터 제2 반송부(1B)에 반출한다.

마지막으로, 화살표 C에 나타낸 바와 같이 유리 기판(2)을 반송하는 경우에는, 도 44 (B), 도 45 (B)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 하방 위치로 하강시켜 중계 반송부(1D)를 제2 반송 상태로 하고, 보조 추진 수단(6A)을 제2 반송 상태에 있어서 유리 기판(2)을 접촉 지지하기 위하여 상승하게 한다.

이 상태에서 보조 추진 수단(6A)과 제2 반송부(1B)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제2 반송 방향의 추진력을 부여하여 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)로부터 중계 반송부(1D)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)이 중계 반송부(1D)의 소정 위치까지 반송된 것이 상기 검출 센서에 의해 검출되면 보조 추진 수단(6A)의 작동을 정지시킨다.

그 후, 도 44 (A), 도 45 (A)에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 위쪽 위치로 상승시켜 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태로 하고, 송풍식 지지 수단(3)에 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)과 보조 추진 수단(6A)에 의해 접촉 지지한다. 그리고, 보조 추진 수단(6A)을 하강시켜 보조 추진 수단(6A)의 유리 기판(2)의 하면(2a)에 대한 접촉 지지를 해제하여, 제1 반송 상태에 있어서 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)만으로 접촉 지지한다.

이 제1 반송 상태에 있어서 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하고, 유리 기판(2)을 중계 반송부(1D)로부터 제2 반송부(1B)에 반출한다.

[제6 실시예]

다음에, 반송물의 반송 자세를 변경하는 수단이 형성되어 있는, 본 발명의 제6 실시예를 설명한다.

도 51에 나타낸 바와 같이, 반송 장치 H는, 유리 기판(2)을 그 길이 방향을 반송 방향에 따르는 제1 반송 자세로 반송하는 제1 반송부(1A), 유리 기판(2)을 제1 반송 자세로부터 세로 축심 주위에, 예를 들면, 90˚인 소정 각도로 회전시킨 제2 반송 자세로 반송하는 제2 반송부(1B), 및 제1 반송부(1A)와 제2 반송부(1B)와의 접속 개소에 위치하여, 제1 반송부(1A) 사이 및 제2 반송부(1B) 사이에 유리 기판(2)을 반송하는 중계 반송부(1R)가 반송부로서 형성되어 있다.

그리고, 도 52에 나타낸 바와 같이, 각 반송부는, 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)에 의해 접촉 상태로 지지하는 추진력 부여 수단(4)과 유리 기판(2)을 지지하고, 그 지지된 유리 기판(2)과 반송 방향의 추진력을 추진력 부여 수단(4)에 의해 부여하여 유리 기판(2)을 반송 방향으로 반송하도록 구성되며, 이들 송풍식 지지 수단(3)이나 추진력 부여 수단(4)이 수납 케이스(7)에 수납되어 있다.

또, 제1 반송부(1A)는, 제1 반송 유닛을 1개 또는 복수개를 배열하여 구성되어 있고, 제2 반송부(1B)는, 제2 반송 유닛을 1개 또는 복수개를 배열하여 구성되어 있고, 중계 반송부(1R)는, 1개의 중계 반송 유닛에 의해 구성되어 있다. 즉, 반송 장치 H는, 제1 반송 유닛과 제2 반송 유닛과 중계 반송 유닛을 조합시켜 구성되어 있다.

중계 반송부(1R)에 대하여 설명한다.

도 52, 도 53에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1R)는, 중계 반송부(1R)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 부여하는 중계 반송부(1R)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과, 유리 기판(2)을 제1 반송 자세와 제2 반송 자세로 전환하는 자세 변경 수단(6B)과, 유리 기판(2)의 자세의 어긋남을 수정하는 자세 수정 수단(71)과, 이들 송풍식 지지 수단(3), 추진력 부여 수단(4), 자세 변경 수단(6B) 및 자세 수정 수단(71)을 수납하는 중계 반송부(1R)에 구비된 케이스체(7)을 구비하여 구성되어 있다.

송풍식 지지 수단(3)은, 팬 필터 유닛(14)을 전후 방향으로 2개 배열하고, 가로폭 방향으로 3개 배열된 합계 6개의 팬 필터 유닛을 구비하고 있다.

그리고, 가로폭 방향으로 줄선 2개의 팬 필터 유닛은 옆쪽에 설치되어 있고, 송풍식 지지 수단(3)의 중심부에 상기 자세 변경 수단(6B)이 승강 가능한 공간이 형성되어 있다.

또, 상기 정풍판(15)에는, 상기 자세 변경 수단(6B)이 송풍식 지지 수단(3)로부터 위쪽에 돌출 가능하도록 형성된 변경 수단용 구멍(15e)가 형성되어 있다.

그리고, 정풍판(15)에는, 변경 수단용 구멍(15e) 이외에, 펀칭에 의해 형성된 통기공(15a)나 상기 추진력 부여 수단(4)이 송풍식 지지 수단(3)로부터 위쪽에 돌출 가능하도록 형성된 부여 수단용 구멍(15d), 자세 수정 수단(71)의 일부가 들어가는 요부(15f)가 형성되어 있다.

다음에, 중계 반송부(1R)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에 대하여 설명한다. 도 52, 도 53에 나타낸 바와 같이, 상기 추진력 부여 수단(4)은, 유리 기판(2)에서의 가로폭 방향의 양단부를 접촉 지지하는 한쌍의 벨트식 추진력 부여부(추진력 부여부의 일례)(4b)를 구비하여 양측 구동식으로 구성되어 있다. 이 한쌍의 벨트식 추진력 부여부(4b)는, 도 53에 나타낸 바와 같이, 팬 필터 유닛(14)을 가로폭 방향으로 3개 배열하여 형성되는 2개의 전후 방향의 간격으로 나누어져 설치되어 있고, 가로폭이 좁은 제1 반송 자세의 유리 기판(2)을 지지하는 경우는, 유리 기판(2)의 양단부의 외단 가까이를 지지하고, 가로폭이 넓은 제2 반송 자세의 유리 기판(2)을 지지하는 경우는, 유리 기판(2)의 양단부의 중앙 가까이를 지지하도록 구성되어 있다.

벨트식 추진력 부여 수단(4b)의 각각은, 도 56에 나타낸 바와 같이, 반송 방향의 위쪽에 위치하여 전동식의 구동 모터(32)에 의해 회전하는 구동륜(64)과, 반송 위쪽에 위치하는 회전 가능한 종동륜(65)과, 이들 구동륜(64)과 종동륜(65)에 걸쳐 감기고, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 상기 타이밍 벨트(66)와, 타이밍 벨트(66)에서의 이송 경로 부분을 내주면 측으로부터 지지하는 내측 지지륜(67)과, 이들을 지지하는 지지 프레임(70)으로 구성되어 있다.

그리고, 도 54, 도 56에 나타낸 바와 같이, 지지 프레임(70)에는, 벨트식 추진력 부여부(4b)를 승강 조작하기 위한 전동식의 승강용 모터(69A)가 설치되어 있고, 이 승강용 모터(69A)의 출력 기어(69a)와, 팬 필터 유닛(14)의 측면에 형성된 기어 홈(14b)이 맞물려 있다. 따라서, 승강용 모터(69A)를 정역 방향으로 구동 회전시킴으로써, 벨트식 추진력 부여부(4b)가 승강 조작되게 된다.

다음에, 자세 변경 수단(6B)에 대하여 설명한다. 도 53에 나타낸 바와 같이, 자세 변경 수단(6B)은 유닛용 프레임체(9)에 탑재 지지되어 있고, 회전부(18)의 상면에는 유리 기판(2)의 하면을 흡착 유지할 수 있는 복수의 흡착 패드 S(흡착부의 일례)가, 세로 축심 주위에 회전 조작 가능하게 또한 승강 조작 가능하게 구비되어 있다.

즉, 자세 변경 수단(6B)은, 도 53에 나타낸 바와 같이, 유닛용 프레임체(9)에 탑재 지지되어 내장된 실린더 기구(17a)에 의해 상하 방향으로 신축 가능하게 구성된 신축부(17)와, 이 신축부(17)의 상단부에 설치되어 내장된 회전용 모터(18a)에 의해 회전 가능한 회전부(18)와, 상기 흡착 패드 S로 구성되어 있다. 따라서, 회전부(18)가 회전함으로써 흡착 패드 S가 회전 조작되고, 신축부(17)가 신축함으로써 흡착 패드 S가 승강 조작되도록 구성되어 있다.

그리고, 유리 기판(2)을 흡착 유지한 상태로 흡착 패드 S를 회전 조작함으로써 유리 기판(2)에 회전력을 부여하여 유리 기판(2)을 상기 제1 반송 자세와 상기 제2 반송 자세로 전환되도록 구성되어 있다.

다음에, 상기 자세 수정 수단(71)에 대하여 설명한다. 도 54에 나타낸 바와 같이, 자세 수정 수단(71)은, 중계 반송부(1R)의 내외 방향으로 이동 가능한 한쌍의 수정 기구(72)로 구성되며, 이 한쌍의 수정 기구(72)가, 유리 기판(2)의 경사에 대향하는 각부에 가로측으로부터 협지된 상태로 맞닿도록 구성되어 있다. 그리고, 수정 기구(72)는, 유리 기판(2)의 전후 방향의 한쪽의 측면과 좌우 방향의 한쪽의 측면에 각각 접촉 가능한 한쌍의 가압 부재(73)와, 한쌍의 가압 부재(73)를 연결 지지하는 본체부(74)와, 본체부(74)를 상기 내외 방향으로 이동 조작하는 구동 기구(78)로 구성되어 있다.

따라서, 구동 기구(78)에 의해 본체부(74)를 상기 내외 방향으로 이동시켜, 합계 4개의 가압 부재(73)에 의해 유리 기판(2)을 가로측으로부터 협지하도록 접촉시킴으로써, 제2 반송 자세로부터 어긋난 유리 기판(2)의 자세를 제2 반송 자세로 수정하도록 구성되어 있다.

제1 반송부(1A)와 제2 반송부(1B)는 가로폭이 상이한 점 이외는 대략 마찬가지로 구성되어 있고, 그 구조는 상기의 실시예에서 개시된 것과 같다.

제1 반송부, 제2 반송부 및 중계 반송부에서의 송풍식 지지 수단이나 추진력 부여 수단의 높이 관계를 설명하면, 도 57에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(1A)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)과 제2 반송부(1B)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)과 중계 반송부(1R)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)은, 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하도록 형성되어 있다.

그리고, 중계 반송부(1R)에 구비된 추진력 부여 수단(4)은, 제1 반송부(1A)에 구비되는 추진력 부여 수단(4) 및 제2 반송부(1B)에 구비되는 추진력 부여 수단(4)과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 유리 기판(2)을 접촉 지지하는 위쪽 위치나, 제1 반송부(1A)에 구비되는 추진력 부여 수단(4) 및 제2 반송부(1B)에 구비되는 추진력 부여 수단(4)보다 하방에 위치하는 하방 위치로 승강 조작 가능하게 형성되어 있다.

그리고, 반송 장치 H에는, 유리 기판의 존재 여부를 검출하는 도시하지 않은 검출 센서나, 이 검출 결과에 따라 추진력 부여 수단(4), 자세 변경 수단(6B) 및 자세 수정 수단(71)의 작동을 제어하는 도시하지 않은 제어 수단이 구비되어 있다.

다음에, 중계 반송부(1R)에서의 반송물의 반송 자세의 전환에 대하여 설명한다.

전술한 바와 같이, 중계 반송부(1R)에 구비된 추진력 부여 수단(4)은 승강 조작 가능하게 구성되어 있고, 도 57에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1R)는, 추진력 부여 수단(4)을 상기 위쪽 위치로 상승시킴으로써 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)에 접촉시키는 반송용 상태로 되고, 추진력 부여 수단(4)을 상기 하방 위치로 하강시킴으로써, 유리 기판(2)을 추진력 부여 수단(4)에 대하여 비접촉 상태로 하는 회전용 상태로 되도록 구성되어 있다.

그리고, 반송용 상태에 있어서는, 추진력 부여 수단(4)에 의한 추진력에 의해, 제1 반송부(1A)로부터 유리 기판(2)을 반입하도록 제1 반송부(1A) 사이에서 반송하고, 그 반입한 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)에 반출하도록 제2 반송부(1B) 사이에서 반송물을 반송하고, 또한 회전용 상태에 있어서는, 유리 기판(2)을 세로 축심 주위에서 회전시키기 위해 구비한 상기 자세 변경 수단(6B)에 의해 유리 기판(2)에 회전력을 부여하여 유리 기판(2)이 제1 반송 자세로부터 제2 반송 자세로 전환되도록 구성되어 있다.

제1 반송부(1A)로부터 제1 반송 자세로 반입한 유리 기판을 제2 반송 자세로 전환하여 제2 반송부(1B)로 반출할 때의 중계 반송부의 동작에 대하여 설명한다.

먼저, 도 57 (A)에 나타낸 바와 같이, 추진력 부여 수단(4)을 상승 위치로 상승시켜 유리 기판(2)을 송풍식 지지 수단(3)과 추진력 부여 수단(4)에 의해 지지하는 상기 반송용 상태로 한다. 이 상태에서는, 자세 변경 수단(6B)을 흡착 패드 S가 반송되는 유리 기판(2)에 대하여 접촉을 해제하도록 하강하게 하고, 자세 수정 수단(71)이 반송되는 유리 기판(2)과 맞닿지 않도록 상기 내외 방향에서의 외측으로 이동시켜 퇴피하게 한다. 이 상태에서 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 중계 반송부(1R)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 제1 반송 방향의 추진력을 부여하여, 중계 반송부(1R)의 소정 위치까지 반송된 것이 상기 검출 센서에서 검출되면 이들 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시킨다.

그 후, 도 57 (B)에 나타낸 바와 같이, 추진력 부여 수단(4)을 상기 하강 위치로 하강시켜 유리 기판(2)을 송풍식 지지 수단(3)만으로 비접촉 상태로 지지하는 회전용 상태로 한다. 그리고, 자세 변경 수단(6B)이, 신축부(17)를 신장시켜 흡착 패드 S를 상승시키고, 이 흡착 패드 S에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)을 흡착 유지하고, 회전부(18)를 회전시켜 유리 기판(2)을 제1 반송 자세로부터 제2 반송 자세로 자세 변경시킨다. 그 후, 흡착 패드 S에 의한 흡착 유지를 해제하고, 신축부(17)을 단축시켜 흡착 패드 S를 하강시켜, 흡착 패드 S의 유리 기판(2)에 대한 접촉을 해제한다.

그리고, 자세 수정 수단(71)이, 수정 기구(72)를 상기 내외 방향에서의 내측으로 이동시켜 유리 기판(2)의 경사지게 마주하는 각부에 가로측으로부터 협지하는 상태로 접촉시켜, 제2 반송 자세로부터 어긋나 있는 유리 기판(2)의 자세를 제2 반송 자세로 수정시킨다.

그리고, 유리 기판(2)의 자세를 제2 반송 자세에 전환한 후, 추진력 부여 수단(4)을 상기 위쪽 위치로 상승시켜 상기 반송용 상태로 하고, 자세 수정 수단(7l)이 반송되는 유리 기판(2)과 맞닿지 않게 상기 내외 방향에서의 외측으로 이동시켜 퇴피시킨다.

이 상태에서 중계 반송부(1R)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 제2 반송부(1B)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 부여하여, 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)에 반출한다.

〔제7 실시예〕

다음에, 중계 반송부에 도달한 반송물을, 도 62의 이송 수단(6C)에 의해 제2 반송부에 건네주는 제7 실시예를 설명한다.

도 61에 나타낸 바와 같이, 반송 장치 H는, 유리 기판(2)을 제1 반송 방향으로 반송하는 제1 반송부(1A), 유리 기판(2)을 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하는 제2 반송부(1B), 및 제1 반송부(1A)와 제2 반송부(1B)와의 접속 개소에 위치하여, 제1 반송부(1A)로부터 유리 기판(2)을 반입하여 그 반입한 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)에 반출하는 중계 반송부(1S)가 반송부로서 형성되어 있다.

도 62에 나타낸 바와 같이, 각 반송부는, 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과 접촉 상태로 지지하는 추진력 부여 수단(4)과 유리 기판(2)을 지지하고, 그 지지된 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 추진력 부여 수단(4)에 의해 부여하여 유리 기판(2)을 반송 방향으로 반송하도록 구성되며, 이들 송풍식 지지 수단(3)이나 추진력 부여 수단(4)이 케이스체(7)에 수납되어 있다.

그리고, 도 66에 나타낸 바와 같이, 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는지 여부를 검출하는 중계 반송부(1S)에 구비된 물체 센서 T의 검출 결과에 따라, 각 반송부에 구비된 추진력 부여 수단(4), 유리 기판(2)의 상면(2b)를 흡착 유지하여 유리 기판(2)을 승강 및 제2 반송 방향으로 이송 가능한 이송 수단(6C) 등의 운전을 제어하는 제어 장치 E가 구비되어 있다.

또, 제1 반송부(1A)는, 제1 반송 유닛을 1개 또는 복수개를 배열하여 구성되어 있고, 제2 반송부(1B)는, 제2 반송 유닛을 1개 또는 복수개를 배열하여 구성되어 있고, 중계 반송부(1S)는, 1개의 중계 반송 유닛에 의해 구성되어 있다. 즉, 반송 장치 H는, 제1 반송 유닛과 제2 반송 유닛과 중계 반송 유닛을 조합시켜 구성되어 있다.

중계 반송부(1S)에 대하여 설명한다.

도 62, 도 63에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1S)는, 이미 설명된 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 부여하는 중계 반송부(1S)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과, 상기 물체 센서 T와, 이들 송풍식 지지 수단(3), 추진력 부여 수단(4) 및 물체 센서 T를 수납하는 중계 반송부(1S)에 구비된 케이스체(7)를 구비하여 구성되어 있다.

제2 반송부(1B)에서의 반입용 제2 반송부(1BA)를 제외한 부분과 제1 반송부(1A)는, 가로폭이 상이하지만 다른 부분은 제1 반송부(1A)와 같다. 도 61에 나타낸 바와 같이, 제2 반송부(1B)에는, 중계 반송부(1S)로부터 유리 기판(2)을 반입하기 위한 반입용 제2 반송부(1BA)가 구비되어 있다.

도 64에 나타낸 바와 같이, 반입용 제2 반송부(1BA)는, 반입용 제2 반송부(1BA)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 반입용 제2 반송부(1BA)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과, 이들 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)을 수납하는 반입용 제2 반송부(1BA)에 구비된 케이스체(7)을 구비하여 구성되어 있다.

그리고, 반입용 제2 반송부(1BA)는, 거기에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 승강 조작함으로써, 송풍식 지지 수단(3)에서 지지되는 유리 기판(2)의 하면(2a)에 추진력 부여 수단(4)을 접촉시키는 반송 상태와 송풍식 지지 수단(3)에서 지지되는 유리 기판(2)에 대하여 추진력 부여 수단(4)을 비접촉 상태로 하는 퇴피 상태에 전환 가능하게 구성되어 있다.

반입용 제2 반송부(1BA)에 구비된 추진력 부여 수단(4)의 승강 조작에 대하여 설명하면, 한쌍의 수납 프레임(8)의 각각이, 유닛용 프레임체(9)에 승강 조작 가능하게 지지되어 있다. 즉, 수납 프레임(8)의 각각의 하부에는, 이 수납 프레임(8)을 승강 조작하기 위한 전동식의 프레임용 모터(31)가 설치되어 있고, 이 프레임용 모터(31)의 출력 기어(31a)와, 유닛용 프레임체(9)에서의 지지 프레임 부분(9a)의 측면에 형성된 기어 홈(9c)이 맞물려 있다. 따라서, 한쌍의 프레임용 모터(31)를 각각 정역 방향으로 구동 회전시킴으로써, 한쌍의 수납 프레임(8)의 각각이 승강하고, 그 한쌍의 수납 프레임(8)에 구비되어 있는 추진력 부여 수단(4)이 승강 조작되게 된다. 그리고, 도 64는, 반입용 제2 반송부(1BA)를 퇴피 상태로 전환한 상태를 나타내고 있다.

다음에, 상기 이송 수단(6C)에 대하여 설명한다. 도 62, 도 63, 도 65에 나타낸 바와 같이, 이송 수단(6C)은, 지지부(6C)b의 하면에 유리 기판(2)의 상면(2b)을 흡착 유지하는 흡착 패드(6Ca)가 구비되어 있고, 도면 외의 구동 기구에 의해 흡착 패드(6Ca)를 승강 조작 및 제1 반송부(1A) 상과 반입용 제2 반송부(1BA) 상으로 이동 조작 가능하게 구성되어 있다. 따라서, 유리 기판(2)의 상면(2b)을 흡착 유지한 상태로 흡착 패드(6Ca)를 승강 조작 및 제2 반송 방향으로 이동시킴으로써, 유리 기판(2)을 승강 및 제2 반송 방향으로 이송 가능하게 구성되어 있다.

다음에, 도 61의 화살표 A에 나타낸 바와 같은, 유리 기판(2)을 반송 위쪽의 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1S)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)을 반송 방향을 바꾸지 않고 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)에 반출하는 제1 반송, 및 화살표 B에 나타낸 바와 같은, 유리 기판(2)을 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1S)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 전환하여 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)에 반출하는 분기 반송을 행하는 경우에 대하여 설명한다.

도 61의 화살표 A로 나타낸 바와 같은 제1 반송을 행하는 경우에는, 유리 기판(2)에 대하여 제1 반송 방향의 추진력을 부여하기 위하여 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4) 및 중계 반송부(1S)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시키고, 유리 기판(2)은 반송 위쪽의 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부(1S)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)은 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)로 반출한다.

또, 도 61의 화살표 B로 나타낸 바와 같은 분기 반송을 행하는 경우에는, 먼저, 유리 기판(2)에 대하여 제1 반송 방향의 추진력을 부여하기 위하여 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4) 및 중계 반송부(1S)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시키고, 유리 기판(2)은 반송 위쪽의 제1 반송부(1A)로부터 중계 반송부에(1S)에 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)이 중계 반송부(1S)의 소정 위치까지 반송된 것이 상기 물체 센서 T에서 검출되면, 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4) 및 중계 반송부(1S)에 구비된 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시킨다. 그리고, 이 상태에서는, 도 65 (A)에 나타낸 바와 같이 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)에 의해 하면(2a)이 지지되어 있다.

그리고, 중계 반송부(1S)에 반입된 유리 기판(2)을, 이송 수단(6C)에 의해 제2 반송부(1B)에서의 반입용 제2 반송부(1BA)에 반출한다. 이 유리 기판(2)을 반입용 제2 반송부(1BA)에 반출시킬 때의 이송 수단(6C)의 작동을 상세히 설명하면, 이송 수단(6C)을 하강시켜 중계 반송부(1S)에 반입된 유리 기판(2)의 상면(2b)에 흡착 패드(6Ca)를 가압하여 흡착 패드(6Ca)에 의해 유리 기판(2)의 상면(2b)을 흡착 유지하고, 그 흡착 패드(6Ca)를 상승 조작하여, 도 65 (B)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(2)을 상승시킨다. 그 후, 흡착 패드(6Ca)를 제2 반송 방향으로 이동시켜 유리 기판(2)을 반입용 제2 반송부(1BA) 상까지 이송하고, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 흡착 유지한 유리 기판(2)의 하면(2a)이 지지되어 있다. 도 64, 도 65 (C)에 나타낸 바와 같은 상태까지 흡착 패드(6Ca)를 하강 조작하고 나서 유리 기판(2)에 대한 흡착 유지를 해제한다.

이 유리 기판(2)을 반입용 제2 반송부(1BA)에 반출하려면, 반입용 제2 반송부(1BA)에 구비된 추진력 부여 수단(4)은 하강 조작되어 반입용 제2 반송부(1BA)가 퇴피 상태로 전환되어 있고, 흡착 패드(6Ca)에 의해 흡착 유지된 유리 기판(2)과 반입용 제2 반송부(1BA)에 구비된 추진력 부여 수단(4)이 접촉하지 않게 구성되어 있다. 그리고, 유리 기판(2)이 반입용 제2 반송부(1BA)에 반출되어 흡착 패드(6Ca)가 위쪽으로 퇴피한 후, 추진력 부여 수단(4)이 상승 조작되어 반입용 제2 반송부(1BA)가 반송 상태로 전환되고, 유리 기판(2)은 추진력 부여 수단(4)에 의해 제2 반송 방향의 추진력이 부여되어 반송 아래쪽의 제2 반송부(1B)로 반송된다.

작동을 정지시킨 제1 반송부(1A)에 구비된 추진력 부여 수단(4) 및 중계 반송부(1S)에 구비된 추진력 부여 수단(4), 이송 수단(6C)에 의해 유리 기판(2)을 도 65 (B)에 나타낸 바와 같이 상승되는 것으로 작동이 재개된다.

그리고, 상기와 같이 분기 반송을 행하는 유리 기판(2)의 다음에 반송되는 다음의 유리 기판(2)이 제1 반송 방향으로 반송되고, 이 다음의 유리 기판(2)이 제1 반송을 행하는 것이면, 물체 센서 T에 의해 검출된 후도 추진력 부여 수단(4)의 작동을 계속하여, 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)에 반출하고, 다음의 유리 기판(2)이 분기 반송을 행하는 것이면, 물체 센서 T에 의해 검출되는 것으로 추진력 부여 수단의 작동을 정지시켜, 이송 수단에서 제2 반송부로 반출되도록 중계 반송부(1S) 상에서 대기 하게 한다.

즉, 앞의 유리 기판(2)의 분기 반송이 종료하기 전에 분기 반송을 행하는 다음의 유리 기판(2)을 미리 중계 반송부(1S)에 반입하게 할 수 있고, 앞의 유리 기판(2)의 분기 반송이 종료했을 때 도 65 (C)에 나타낸 바와 같이, 다음의 유리 기판(2)이 미리 중계 반송부(1S)에 반입되어 있으므로 도 65 (B)에 나타낸 바와 같이, 분기 반송을 연속하여 행할 수 있다.

[다른 실시예]

(1) 상기 제1 ~ 제3 실시예에서는, 유리 기판(2)을 제1 반송부(1A)의 위쪽으로부터 제2 반송부(1B)의 아래쪽으로의 순방향으로만 반송하도록 구성했지만, 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)의 아래쪽으로부터 제1 반송부(1A)의 위쪽으로의 역방향으로도 반송하도록 구성해도 된다.

즉, L형 반송 유닛(1L)을, 제1 추진력 부여부(34Ba)에 의해 유리 기판(2)에 대하여 제1 반송 방향 X와는 역방향으로 추진력을 부여할 수 있고, 제2 추진력 부여부(34Bb)에 의해 유리 기판(2)에 대하여 제2 반송 방향 Y와는 역방향으로 추진력을 부여할 수 있도록 구성되며, 제2 반송부(1B)로부터 받은 유리 기판의 반송 방향을 제2 반송 방향 Y로부터 제1 반송 방향 X로 변경하여 제1 반송부(1A)에 주고 받도록 구성한다. 즉, L형 추진력 부여 수단(34)을 포함한 추진력 부여 수단(4)을 반송 방향에 대하여 정역 방향으로 반송 가능하게 구성한다.

그리고, 제1 실시예나 제2 실시예와 같이 구성한 반송 장치에 있어서는, 제1 추진력 부여부(34Ba)가, 유리 기판(2)을 제1 구동 롤러(45)에 의해 접촉 지지하는 지지 위치와, 유리 기판(2)과 제1 구동 롤러(45)와의 접촉을 회피하기 위하여 하방으로 퇴피한 퇴피 위치로 승강 가능하게 구성한다. 즉, 상기 제1 편측 프레임 부분(44a)도 상기 제2 편측 프레임 부분(44b)과 마찬가지로 승강 가능한 구성으로 하고, 제1 추진력 부여부(34Ba)를 지지하는 제1 편측 프레임 부분(44a)을 승강시킴으로써, 제1 추진력 부여부(34Ba)가 지지 위치와 퇴피 위치로 승강하도록 구성한다.

또, 제3 실시예와 같이 구성한 반송 장치에 있어서는, L형 송풍식 지지 수단의 8개의 팬 필터 유닛(14)에 있어서, 상기한 팬 필터 유닛군의 제1 반송 방향 아래쪽에 위치하는 2개에 더하여, 팬 필터 유닛군의 가로폭 일단측에서 제1 반송 방향 위쪽으로부터 2개째와의 합계 3개의 팬 필터 유닛(14)을 가변 팬 필터 유닛(14A)에 구성한다.

제1 실시예나 제2 실시예와 같이 구성한 반송 장치에 있어서, 상기와 같이 L형 추진력 부여 수단(34)을 반송 방향에 대하여 정역 방향으로 반송 가능하게 구성한 경우에 대한 제1 추진력 부여부(34Ba) 및 제2 추진력 부여부(34Bb)의 승강 동작에 대하여 설명한다. 그리고, 유리 기판(2)을 반송 방향과는 역방향으로 반송할 때의 승강 동작에 대하여 설명하고, 유리 기판(2)을 반송 방향으로 반송할 때는 승강 동작의 순서를 역으로 할 뿐이므로 설명은 생략한다. 또, 제1 실시예와 마찬가지로 구성했을 경우의 제1 규제 롤러(47) 및 제2 규제 롤러(48)의 위치 변경을 도 27에 나타내고, 이 도 27에 따라 설명한다. 제2 실시예와 마찬가지로 구성했을 경우의 L형 송풍식 지지 수단(33)의 자세 변경의 도시는 생략한다.

먼저, 도 27 (A)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)과 제1 추진력 부여부(34Ba)가 맞닿지 않게 제1 추진력 부여부(34Ba)를 퇴피 위치로 하강시키고, 제2 구동 롤러(46)에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 일단측의 하면(2a)을 접촉 지지하도록 제2 추진력 부여부(34Bb)를 지지 위치로 상승시켜, 유리 기판(2)을 제2 반송 방향 Y의 역방향으로 반송한다.

그리고, 유리 기판(2)이 제1 반송 방향 종단까지 반송되면, 도 27 (B)에 나타낸 바와 같이, 제1 구동 롤러(45)에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 일단측의 하면(2a)을 접촉 지지하도록 제1 추진력 부여부(34Ba)를 지지 위치로 상승시키고, 유리 기판(2)과 제2 추진력 부여부(34Bb)가 맞닿지 않게 제2 추진력 부여부(34Bb)를 퇴피 위치로 하강시킨 상태로 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X의 역방향으로 반송하는 반송한다.

다음에, 제3 실시예와 같이 구성한 반송 장치에 있어서, 상기와 같이 L형 추진력 부여 수단(34)을 반송 방향에 대하여 정역 방향으로 반송 가능하게 구성한 경우에 대한 3개의 가변 팬 필터 유닛(14A)의 회전 속도 변경 조절에 대하여 설명한다. 그리고, 유리 기판(2)을 반송 방향과는 역방향으로 반송할 때의 승강 동작에 대하여 설명하고, 유리 기판(2)을 반송 방향으로 반송할 때는 승강 동작의 순서를 역으로 할 뿐이므로 설명은 생략한다. 또, 제3 실시예와 마찬가지로 구성했을 경우의 L형 송풍식 지지 수단(33)의 자세 변경은, 제3 실시예의 유리 기판(2)을 정방향으로 반송했을 경우의 역의 순서로 변경한다.

먼저, 도 28에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)과 제1 추진력 부여부(34Ba)가 맞닿지 않게, 3개의 가변 팬 필터 유닛(14A) 중의 제1 반송 방향 X으로 줄선 2개의 가변 팬 필터 유닛(14A)에서의 가변 송풍팬(13a)을 고속 회전 속도로 하고, 제2 추진력 부여부(34Bb)의 제2 구동 롤러(46)에 의해 유리 기판(2)의 전후폭 일단 측에 대해 충분한 추진력을 부여시키기 위해 남은 1개의 팬 필터 유닛(14A)에서의 가변 송풍팬(13a)을 등속 회전 속도로 하여, 유리 기판(2)을 제2 반송 방향 Y의 역방향으로 반송한다.

그리고, 유리 기판(2)과 제2 추진력 부여부(34Bb)가 맞닿지 않게, 3개의 가변 팬 필터 유닛(14A) 중의 제2 반송 방향 Y으로 줄선 2개의 가변 팬 필터 유닛(14A)에서의 가변 송풍팬(13a)을 고속 회전 속도로 하고, 제1 추진력 부여부(34Ba)의 제1 구동 롤러(45)에 의해 유리 기판(2)의 가로폭 일단 측에 대해 충분한 추진력을 부여시키기 위해 남은 1개의 팬 필터 유닛(14A)에서의 가변 송풍팬(13a)을 등속 회전 속도로 하여, 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X의 역방향으로 반송한다.

(2) 상기 실시예에 있어서의 롤러 대신에, 벨트를 사용해도 되고, 역으로, 벨트 대신에 롤러를 사용하는 것도 가능하다.

(3) 상기 제1 실시예 및 제2 실시예에 있어서, 다른 실시예(1)와 같이 제1 편측 프레임 부분을 승강 가능하게 구성해도 되고, 또, 상기 제3 실시예에 있어서, 다른 실시예(1)와 같이 가변 팬 필터 유닛을 3개 구비하여 구성해도 된다.

즉, 반송 방향의 정방향으로만 유리 기판을 반송하는 경우라도, 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 반송 방향을 변경하여 반송할 때, 제1 추진력 부여부가 유리 기판의 하면에 접촉하지 않는 상태로 할 수 있고, 제2 반송 방향으로의 반송을 원활하게 개시할 수 있다.

(4) 상기 제1 , 제2 실시예 및 각 다른 실시예에서는, 중계 반송부를 L형 반송 유닛(1L)으로 하여, 제1 반송부(1A)로부터 받은 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향 X로부터 제2 반송 방향 Y로 변경하여 제2 반송부(1B)에 주고 받는다고 하는 것처럼, 유리 기판(2)의 반송 방향을 반드시 전환하였지만, 유리 기판(2)의 반송 방향은 반드시 변경할 필요는 없다.

예를 들면, 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛(1L)에 대신하여, 도 29에 나타낸 바와 같은, T형 반송 유닛(1T)을 구비하여도 된다. 이 T형 반송 유닛(1T)은, 퇴피 위치로 하강시킨 제2 추진력 부여부(34Bb)를 넘어 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X으로 반송 가능하게 구성되어 있다. 그리고, T형 반송 유닛(1T)을, 제2 실시예와 같이 T형 반송 유닛(1T)의 전체를 편측 구동식으로 구성해도 된다.

즉, T형 반송 유닛(1T)에는, 상기 고정 측벽(42)이 설치되지 않고, 또, 제2 추진력 부여부(34Bb)를 넘은 유리 기판(2)을 반송부(1C)를 향해 추진력을 부여하는 양측 추진력 부여부(34A)가 구비되어 있다. 그리고, 상기 제2 편측 프레임 부분(44b)을 하강시켜 제2 추진력 부여부(34Bb)를 퇴피 위치로 한 상태에서는, 승강 편측 프레임 부분의 상단이 팬 필터 유닛(14)에 의해 지지되는 유리 기판(2)의 하면보다 하방에 위치하도록 구성되어 있다. 따라서, 반송 방향을 제1 반송 방향 X로부터 제2 반송 방향 Y로 변경하는 개소(제1 실시예에 있어서의 제1 반송 방향 종단)로부터, 또한 제1 반송 방향 X로 제2 추진력 부여부(34Bb)를 넘어 반송 가능하도록 구성되어 있다.

그리고, 제2 편측 프레임 부분(44b)과 그 양측에 위치하는 프레임 부분과의 사이에 , 상기 제1 구동 롤러(45)가 설치되도록 간격이 형성되어 있다.

따라서, T형 반송 유닛(1T)에서는, 도 30의 화살표 a에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(1A)로부터 받은 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향 X로부터 제2 반송 방향 Y에 변경하여 제2 반송부(1B)에 주고 받는 것 외에, 도 30의 화살표 e에 나타낸 바와 같이, 제1 반송부(1A)로부터 받은 유리 기판(2)의 반송 방향을 제1 반송 방향 X인 채 전환하지 않고 반송부(1C)에 주고 받을 수가 있다.

그리고, T형 반송 유닛에 의해 화살표 e에 나타낸 바와 같이 반송하는 경우에는, 유리 기판(2)과 제2 추진력 부여부(34Bb)가 접촉하지 않고 유리 기판(2)이 제2 추진력 부여부(34Bb)를 넘어 반송 가능하도록 제2 추진력 부여부(34Bb)를 퇴피 위치로 하강하게 하고, 유리 기판(2)을 안정된 상태로 제1 반송 방향 X으로 반송하기 위해 제1 규제 롤러(47)를 작용 위치로 상승시키고, 유리 기판(2)을 제1 반송 방향 X으로 반송할 때 방해가 되지 않게 제2 규제 롤러(48)를 퇴피 위치로 하강하게 한다.

또, 다른 실시예(1)와 같이, 제1 반송 방향 X와는 역방향으로 유리 기판(2)을 반송하거나, 제2 반송 방향 Y와는 역방향으로 유리 기판(2)을 반송 가능하도록 구성함으로써, 또한 도 30의 화살표 b, c, d, f로 나타낸 바와 같이 유리 기판(2)을 반송할 수 있다.

그리고, 반송부(1C)는, 유리 기판(2)을 화살표 e, f로 나타낸 바와 같이 반송하는 경우는, 제1 반송부(1A)에 대한 하류측인 제2 반송부로 되고, 유리 기판(2)을 화살표 c, d로 나타낸 바와 같이 반송하는 경우는, 제2 반송부(1B)에 대한 상류측인 제1 반송부로 된다.

또한, 예를 들면, 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛(1L)에 대신하여, 도 31에 나타낸 바와 같은, + 형 반송 유닛(1G)를 구비하여도 된다. 이 + 형 반송 유닛(1G)은, 유리 기판(2)을 제1 추진력 부여부(34Ba)를 넘어 제2 반송 방향 Y으로 반송 가능하며, 또한 제2 추진력 부여부(34Bb)를 넘어 제1 반송 방향 X으로 반송 가능하게 구성되어 있는, 이 경우에는, 다른 실시예(1)과 같이, 제1 반송 방향 X와는 역방향으로 유리 기판(2)을 반송하거나, 제2 반송 방향 Y와는 역방향으로 유리 기판(2)을 반송 가능하도록 구성함으로써, 도 32의 화살표 a~1에 나타낸 바와 같이 유리 기판(2)을 주고 받을 수가 있다.

그리고, + 형 반송 유닛(1G)을, 제2 실시예와 같이 + 형 반송 유닛(1G)의 전체를 편측 구동식으로 구성해도 된다.

(5) 상기 각 실시예에서는, 제진 필터와 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 예시했지만, 반드시 제진 필터와 송풍팬을 일체적으로 장착할 필요는 없고, 송풍팬에 의해 송풍되는 공기를 제진 필터에 안내하는 안내로 등을 설치하여, 제진 필터와 송풍팬을 별체에 의해 구성해 실시하는 일도 가능하다.

(6) 상기 실시예에서는, 상기 반송물로서, 액정용의 유리 기판으로 하였으나, 반도체의 웨이퍼 등이라도 되고, 상기 반송물의 형상이나 크기는 실시예에 한정되지 않는다.

(7) 상기 제4 , 제5 실시예에서는, 보조 추진 수단(6A)을, 타이밍 벨트(66) 등을 구비하여 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하여 추진력을 부여하도록 구성하였으나, 유리 기판(2)에서의 가로폭 방향의 한쪽 옆의 측면, 결국은, 제2 반송 방향의 반송 위쪽의 측면에 맞닿는 상태로 제2 반송 방향으로 이동함으로써, 유리 기판(2)에 대하여 제2 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 가압 부재(73)를 구비하여 구성해도 된다.

상기 제4 실시예에 채용한 경우를 예로 들어 설명하면, 도 47에 나타낸 바와 같이, 케이스체(7)를 송풍식 지지 수단(3)의 위쪽을 덮는 커버체(76)을 구비하여 구성하고, 그 커버체(76)에, 구동 기구(77)에 의해 보조 추진 수단(6A)을 제2 반송 방향에 따라 이동 조작 가능하게 지지되어 있다. 그 보조 추진 수단(6A)은, 도 48에 나타낸 바와 같이, 제2 반송 방향으로 이동하는 본체부(74)와, 이 본체부(74)에 지지된 상기 가압 부재(73)와 같이 본체부(74)에 지지되어, 유리 기판(2)의 전후 방향으로의 위치 어긋남을 유리 기판(2)의 전후의 측면에 맞닿음으로써 규제하는 규제 부재(75)와, 규제 부재(75)를 제2 반송 방향에 따라 이동시키는 상기 구동 기구(77)을 구비하여 구성한다.

그리고, 도 48에 나타낸 바와 같이, 정풍판(15)에는 제2 반송 방향에 따라 형성된 오목부 즉 요입부(凹入部)(15c)가 형성되고, 제2 반송 상태에 있어서는 정풍판(15)의 상면으로부터 가압 부재(73)의 하단이 하방에 위치하도록 구성하고, 보조 추진 수단(6A)이 제2 반송 방향으로 이동하려면, 가압 부재(73)의 일부가 요입부(15c)에 들어가는 상태로 이동시켜, 제2 반송 상태에서의 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판의 반송 위쪽의 측면을 확실하게 맞닿도록 구성해도 된다.

(8) 제4 및 제5 실시예에서는, 중계 반송부(1D)의 제1 반송 방향의 반송 위쪽과 반송 아래쪽과의 양측에 제1 반송부(1A)를 설치하고, 중계 반송부(1D)의 제2 반송 방향의 반송 위쪽과 반송 아래쪽 중 한쪽에 제2 반송부(1B)를 설치하였으나, 도 49에 나타낸 바와 같이, 제1 반송 방향의 반송 아래쪽에 제1 반송부(1A)를 설치하거나, 도 50에 나타낸 바와 같이, 제2 반송 방향의 반송 위쪽과 반송 아래쪽과의 양측에 제2 반송부(1B)를 설치하는 등, 적당히 변경하여도 된다.

(9) 제4 및 제5 실시예에서는, 중계 반송부(1D)에 구비된 상기 추진력 부여 수단(4)을, 제1 반송 방향에 따라 유리 기판(2)을 정이동시킬 수 있도록 추진력을 부여하도록 구성하고, 보조 추진 수단(6A)을, 제2 반송 방향에 따라 유리 기판(2)을 정이동시킬 수 있도록 추진력을 부여하도록 구성했지만, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을, 제1 반송 방향에 따라 유리 기판(2)을 정역 이동시키도록 추진력을 부여할 수 있도록 구성하고, 보조 추진 수단(6A)을, 제2 반송 방향에 따라 유리 기판(2)을 정역 이동시키도록 추진력을 부여할 수 있도록 구성해도 된다.

즉, 제4 실시예를 예로 들어 설명하면, 도 33에 나타낸 화살표 A나 화살표 B, 화살표 C에 의해 나타낸 방향과는 역방향으로 유리 기판(2)을 반송 가능하도록 구성할 수 있다. 또, 1개의 중계 반송부(1D)에 있어서 화살표 B에 나타낸 분기 반송과 화살표 C에 나타낸 합류 반송과의 양쪽 모두를 행해지도록 구성할 수도 있다.

(10) 제4 및 제5 실시예에서는, 중계 반송부(1D)에서의 송풍식 지지 수단(3)과 중계 반송부(1D)에서의 추진력 부여부(4) 중 어느 한쪽을 승강 조작하는 것에 의한 상대적인 승강에 의해, 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태와 제2 반송 상태로 전환하도록 구성했지만, 중계 반송부(1D)에서의 송풍식 지지 수단(3)과 중계 반송부(1D)에서의 추진력 부여부(4) 양쪽 모두를 승강 조작함으로써 상대적인 승강시켜, 중계 반송부(1D)를 제1 반송 상태와 제2 반송 상태로 전환하도록 구성해도 된다.

(11) 상기 제5 실시예에서는, 중계 반송부(1D)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에서의 한쪽의 추진력 부여부(4a)를 승강 조작 가능하게 구성했지만, 한쌍의 추진력 부여부(4a)의 양쪽 모두를 승강 조작 가능하게 구성해도 된다.

(12) 제4 실시예에서는, 보조 추진 수단(6A)을, 타이밍 벨트(66)를 구비하여 구성했지만, 복수의 롤러체를 구비하여 구성해도 된다.

(13) 상기 제6 실시예에서는, 제1 반송부(1A)와 제2 반송부(1B)를 별개로 구성했지만, 1개의 반송부에서 제1 반송부와 제2 반송부를 겸용하도록 구성해도 된다.

즉, 예를 들면, 도 58에 나타낸 바와 같이, 제2 반송부로 하여, 유리 기판(2)을 제1 반송 자세 및 제2 반송 자세로 반송하는 제1 반송부와 제2 반송부를 겸용하는 겸용 반송부(1E)를 구비해도 된다.

겸용 반송부(1E)에 대하여 설명하면, 도 59에 나타낸 바와 같이, 겸용 반송부(1E), 겸용 반송부(1E)에 구비된 상기 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)과 반송 방향의 추진력을 부여하는 겸용 반송부(1E)에 구비된 상기 추진력 부여 수단(4)과, 이들 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)을 수납하는 중계 반송부(1R)에 구비된 케이스체(7)를 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 다른 반송부와 마찬가지로 구성되는 것에 대하여는, 다른 반송부와 같은 부호를 붙여 설명은 생략한다.

겸용 반송부(1E)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에 대하여 설명하면, 유리 기판(2)에 제1 반송부(1A)와 같은 방향으로 되는 제1 반송 방향의 추진력을 부여하는 한쌍의 제1 추진력 부여부(4A)와, 유리 기판(2)에 중계 반송부(1R)와 같은 방향으로 되는 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 한쌍의 제2 추진력 부여부(4B)로 구성되어 있고, 제1 추진력 부여부(4A)는, 상기 롤러식 추진력 부여부(4a)와 마찬가지로 구성되며, 제2 추진력 부여부(4B)는, 상기 벨트식 추진력 부여부(4b)와 마찬가지로 구성되어 있다.

도 60에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 제1 추진력 부여부(4A)는, 제2 반송 방향 아래쪽의 제1 추진력 부여부(4A)가 승강 조작 가능하게 구성되며, 한쌍의 제2 추진력 부여부(4B)는, 양쪽 모두가 승강 조작 가능하게 구성되어 있다.

그리고, 겸용 반송부(1E)는, 제1 추진력 부여부(4A)의 다른 한쪽을 상승 조작하고, 제2 추진력 부여부(4B)의 양쪽 모두를 하강 조작하고, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지되는 유리 기판(2)의 하면(2a)을 한쌍의 제1 추진력 부여부(4A)에 의해 접촉 지지하는 제1 반송 상태로 하여, 반송 위쪽의 제1 반송부(1A)로부터 유리 기판(2)을 반입, 및 그 반입한 유리 기판(2)을 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)에 반출을 행한다. 제1 추진력 부여부(4A)의 다른 한쪽을 하강 조작하고, 제2 추진력 부여부(4B)의 양쪽 모두를 상승 조작하여, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지되는 유리 기판(2)의 하면(2a)을 한쌍의 제2 추진력 부여부(4B)에 의해 접촉 지지하는 제2 반송 상태로 하여, 상기 반입한 유리 기판(2)을 반송 아래쪽의 제2 반송부(1B)에 반출을 행한다.

따라서, 겸용 반송부(1E)는, 제1 반송 상태에서는 제1 반송부로서 기능하고, 제2 반송 상태에서는 제2 반송부로서 기능 한다.

(14) 상기 제6 실시예에서는, 반송용 상태와 회전용 상태로 변경을, 추진력 부여 수단(4)을 승강 조작함으로써 변환되도록 구성했지만, 송풍식 지지 수단(3)을 승강 조작함으로써 변환되도록 구성해도 되고, 또, 송풍식 지지 수단(3)과 추진력 부여 수단(4)의 양쪽 모두를 승강 조작함으로써 변환되도록 구성해도 된다.

(15) 상기 제6 실시예에서는, 중계 반송부(1R)를, 제1 반송부(1A)로부터 유리 기판(2)을 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)을 제2 반송부(1B)에 반출하는, 또는 겸용 반송부(제2 반송부)로부터 유리 기판(2)을 반입하고, 그 반입한 유리 기판(2)을 제1 반송부(1A)에 반입하도록 구성했지만, 이들 반송의 양쪽 모두가 행해지도록 구성해도 된다.

(16) 상기 제7 실시예에서는, 제1 반송과 분기 반송을 행할 수 있도록 하였으나, 도 67에 나타낸 바와 같이 분기 반송만이 행해지도록 해도 된다.

(17) 상기 제7 실시예에서는, 제1 반송과 분기 반송이 행해지도록 구성했지만, 이 제1 반송과 분기 반송에 더하여, 도 68에 나타낸 바와 같이, 중계 반송부(1S)의 제2 반송 방향의 양측에 제2 반송부(1B)를 구비하여, 화살표 C로 나타낸 바와 같이, 반송 위쪽의 제2 반송부(1B)로부터 유리 기판(2)을 반입하고 그 반입한 유리 기판(2)을 반송 아래쪽의 제1 반송부(1A)에 반출하는 합류 반송도 행해지도록 구성해도 된다. 이 경우, 이송 수단(6C)에 의해 제2 반송부(1B)로부터 중계 반송부(1S)에 유리 기판(2)을 반입하고 그 반입한 유리 기판(2)을 중계 반송부(1S)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에 의해 제1 반송부(1A)에 반출한다. 또, 반송 위쪽의 제2 반송부(1B)의 유리 기판(2)을 이송 수단(6C)에 의해 중계 반송부(1S)를 넘어 반송 아래쪽의 제2 반송부(1B)(반입용 제2 반송부(1BA))에 반출하는 제2 반송이 행해지도록 구성해도 된다.

(18) 상기 제7 실시예에 있어서, 이송 수단(6C)을, 중계 반송부(1S)로부터 제2 반송부(1B)에 반출할 때 흡착 유지한 유리 기판(2)을 세로 축심 주위에 소정 각도 90˚ 회전 가능하게 구성하고, 제1 반송부(1A)에서의 제1 반송 방향에 대한 유리 기판(2)의 자세와 제2 반송부(1B)에서의 제2 반송 방향에 대한 유리 기판(2)의 자세가 같은 자세로 되도록 하여, 반송부를 겸용 가능하도록 구성해도 된다.

(19) 상기 제7 실시예에서는, 제2 반송부(1B)에서의 추진력 부여 수단(4)을 승강 조작함으로써, 제2 반송부(1B)를 반송 상태와 퇴피 상태로 전환하도록 구성했지만, 제2 반송부(1B)에서의 송풍식 지지 수단(3)을 승강 조작시키는, 또는 제2 반송부(1B)에서의 송풍식 지지 수단(3)으로 제2 반송부(1B)에서의 추진력 부여 수단(4) 양쪽 모두를 승강 조작시킴으로써, 제2 반송부(1B)를 반송 상태와 퇴피 상태로 전환하도록 구성해도 된다.

또, 제2 반송부(1B) 뿐만이 아니라, 중계 반송부(1S)에서의 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)의 한쪽 또는 양쪽 모두를 승강 조작 가능하게 구성하여, 중계 반송부(1S)를 반송 상태와 퇴피 상태로 전환되도록 구성하고, 흡착 패드(6Ca)를 유리 기판(2)의 상면(2b)에 가압할 때 중계 반송부(1S)를 퇴피 상태로 전환하여 두도록 구성해도 된다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 반송물에 대하여 접촉하여 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비함으로써, 상기 반송물의 반송 방향, 또는 반송 자세의 적어도 어느 한쪽을 변경할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시예에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

도 2는 제1 실시예에 있어서의 제1 반송부의 사시도이다.

도 3은 제1 실시예에 있어서의 반송 유닛의 정면 단면도이다.

도 4는 제1 실시예에 있어서의 반송 유닛의 정면 단면의 일부 확대도이다.

도 5는 제1 실시예에 있어서의 반송 유닛의 측면 단면이다.

도 6은 제1 실시예에 있어서의 반송 유닛의 평면도이다.

도 7은 제1 실시예에 있어서의 수납 프레임의 단면도이다.

도 8은 제1 실시예에 있어서의 추진력 부여 수단의 정면 단면도이다.

도 9는 제1 실시예에 있어서의 추진력 부여 수단의 일부 확대 측면도이다.

도 10은 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 사시도이다.

도 11은 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 우측면도이다.

도 12는 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 일부 확대 우측면도이다.

도 13은 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 배면 단면도이다.

도 14는 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 평면도이다.

도 15는 제1 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 작용도이다.

도 16은 제1 실시예에 있어서의 제2 추진력 부여부의 단면도이다.

도 17은 제1 실시예에 있어서의 규제부의 위치 조절 구조를 나타낸 도면이다.

도 18은 제2 실시예에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

도 19는 제2 실시예에 있어서의 반송 유닛의 정면 단면도이다.

도 20은 제2 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 우측면도이다.

도 21은 제2 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 평면도이다.

도 22는 제2 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 사시도이다.

도 23은 제2 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 작용도이다.

도 24는 제2 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 작용도이다.

도 25는 제3 실시예에 있어서의 L형 반송 유닛의 사시도이다.

도 26은 제3 실시예에 있어서의 유리 기판의 지지 상태를 나타낸 도면이다.

도 27은 다른 실시예(1)에 있어서의 L형 반송 유닛의 작용도이다.

도 28은 다른 실시예(1)에 있어서의 L형 반송 유닛의 작용도이다.

도 29은 다른 실시예(4)에 있어서의 T형 반송 유닛의 평면이다.

도 30은 다른 실시예(4)에 있어서의 T형 반송 유닛의 작용도이다.

도 31은 다른 실시예(4)에 있어서의 십자형 반송 유닛의 평면도이다.

도 32는 다른 실시예(4)에 있어서의 십자형 반송 유닛의 작용도이다.

도 33은 제4 실시예에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

도 34는 제4 실시예에 있어서의 중계 반송부의 사시도이다.

도 35는 제4 실시예에 있어서의 중계 반송부의 정면도이다.

도 36은 제4 실시예에 있어서의 중계 반송부의 일부 확대도이다.

도 37은 제4 실시예에 있어서의 중계 반송부의 측면도이다.

도 38은 제4 실시예에 있어서의 보조 추진 수단의 측면도이다.

도 39는 제4 실시예에 있어서의 제1 반송부의 사시도이다.

도 40은 제4 실시예에 있어서의 중계 반송부의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태를 나타낸 측면도이다.

도 41은 제4 실시예에 있어서의 중계 반송부의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태를 나타낸 정면도이다.

도 42는 제5 실시예에 있어서의 중계 반송부의 측면도이다.

도 43은 제5 실시예에 있어서의 추진력 부여 수단의 정면도이다.

도 44는 제5 실시예에 있어서의 중계 반송부의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태를 나타낸 측면도이다.

도 45는 제5 실시예에 있어서의 중계 반송부의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태를 나타낸 정면도이다.

도 46은 다른 실시예(7)에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

도 47은 다른 실시예(7)에 있어서의 중계 반송부의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태를 나타낸 정면도이다.

도 48은 다른 실시예(7)에 있어서의 보조 추진 수단과 정풍판과의 높이 관계를 나타낸 도면이다.

도 49는 다른 실시예(8)에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

도 50은 다른 실시예(8)에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

도 51은 제6 실시예에 의한 반송 장치의 평면도이다.

도 52는 제6 실시예에 의한 중계 반송부의 사시도이다.

도 53은 제6 실시예에 의한 중계 반송부의 정면도이다.

도 54는 제6 실시예에 의한 중계 반송부의 일부 확대 정면도이다.

도 55는 제6 실시예에 의한 중계 반송부의 측면도이다.

도 56은 제6 실시예에 의한 벨트식 추진력 부여부의 측면도이다.

도 57은 제6 실시예에 의한 반송용 상태와 회전용 상태를 나타낸 측면도이다.

도 58은 다른 실시예(13)의 반송 장치의 평면도이다.

도 59는 다른 실시예(13)의 겸용 반송부의 사시도이다.

도 60은 다른 실시예(13)의 제1 반송 상태와 제2 반송 상태를 나타낸 정면도이다.

도 61은 제7 실시예에 의한 반송 장치의 평면도이다.

도 62는 제7 실시예에 의한 중계 반송부의 사시도이다.

도 63은 제7 실시예에 의한 중계 반송부의 정면도이다.

도 64는 제7 실시예에 의한 반입용 반송부의 일부 확대 정면도이다.

도 65는 제7 실시예에 의한 반송 장치의 분기 반송의 작용도이다.

도 66은 제7 실시예에 의한 반송 장치의 제어 블록도이다.

도 67은 다른 실시예(16)에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

도 68은 다른 실시예(17)에 있어서의 반송 장치의 평면도이다.

Claims (25)

1. 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 상기 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 각각 가지는 제1 반송부 및 제2 반송부와, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부가 연결되는 위치에 배치된 중계 반송부를 구비하는 반송 장치로서,

   상기 추진력 부여 수단은 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 상기 반송물의 하면에 접촉함으로써 상기 추진력을 부여하고,

   상기 중계 반송부에 도달한 반송물의 반송 방향, 또는 반송 자세의 적어도 어느 한쪽을 변경시켜, 하류측의 반송부에 상기 반송물을 건네주는 수단을 구비하는, 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1 반송부는, 상기 반송물을 제1 반송 방향으로 반송하고, 상기 제2 반송부는, 상기 반송물을 상기 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하고, 상기 중계 반송부는, 상기 제1 반송부로부터 받은 상기 반송물의 반송 방향을 제1 반송 방향으로부터 제2 반송 방향으로 변경시켜 상기 제2 반송부에 주고 받으며,

   상기 변경하는 수단은 상기 중계 반송부에 구비되고, 상기 반송물에 있어서의, 상기 제1 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 상기 제2 반송부로부터 멀어지는 쪽의 가로폭 일단부에 대하여 상기 제1 반송 방향의 추진력을 부여하는 편측(片側) 구동식으로 구성된 제1 추진력 부여부와, 상기 반송물에 있어서의, 상기 제2 반송 방향과 직교하는 전후 폭방향의 상기 제1 반송부로부터 멀어지는 쪽의 전후폭 일단부에 대하여 상기 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성된 제2 추진력 부여부를 구비하여, 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되어 상기 제1 반송 방향으로 반송된 상기 반송물을, 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력을 부여하여 상기 제2 반송 방향으로 반송하도록 상기 반송물의 반송 방향을 변경시키는, 반송 장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 제2 추진력 부여부는, 상기 반송물의 하면을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 접촉식의 제2 구동부를 구비하여 구성되며, 또한 상기 반송물을 상기 제2 구동부에 의해 접촉 지지하는 지지 위치와, 상기 반송물과 상기 제2 구동부의 접촉을 회피하기 위해 하방으로 퇴피한 퇴피 위치로 승강 가능한, 반송 장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 제1 추진력 부여부는, 상기 반송물에 대하여 제1 반송 방향과는 역방향으로 추진력을 부여할 수 있고, 상기 제2 추진력 부여부는, 상기 반송물에 대하여 제2 반송 방향과는 역방향으로 추진력을 부여할 수 있고, 이로써 상기 중계 반송부는, 상기 제2 반송부로부터 받은 상기 반송물의 반송 방향을 제2 반송 방향으로부터 제1 반송 방향으로 변경시켜 상기 제1 반송부에 주고 받도록 구성되며,

   상기 제1 추진력 부여부는, 상기 반송물의 하면을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 접촉식의 제1 구동부를 구비하여 구성되며, 또한 상기 반송물을 상기 제1 구동부에 의해 접촉 지지하는 지지 위치와, 상기 반송물과 상기 제1 구동부의 접촉을 회피하기 위하여 하방으로 퇴피한 퇴피 위치로 승강 가능한, 반송 장치.
5. 제2항에 있어서,

   상기 반송물에 있어서의 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 가로폭 일단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 가로폭 방향으로 이동하는 상기 반송물을 받아 들이는 제1 캐치부와, 상기 반송물에 있어서의 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 전후폭 일단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 전후 폭방향으로 이동하는 상기 반송물을 받아 들이는 제2 캐치부를 구비하고,

   상기 송풍식 지지 수단은, 상기 반송물을, 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 가로폭 일단측보다 상기 가로폭 방향의 가로폭 타단측이 상부에 위치하도록 경사진 자세가 되는 제1 반송용 자세와, 상기 반송물을 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 전후폭 일단측보다 상기 전후 폭방향의 전후폭 타단측이 상부에 위치하도록 경사진 자세가 되는 제2 반송용 자세로 자세 변경 가능한, 반송 장치.
6. 제2항에 있어서,

   상기 반송물에 있어서의 상기 제1 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 가로폭 일단부와는 반대측의 가로폭 타단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 반송물의 상기 가로폭 방향으로의 이동을 규제하는 제1 규제부와, 상기 반송물에 있어서의 상기 제2 추진력 부여부에 의해 추진력이 부여되는 상기 전후폭 일단부 측과는 반대측의 전후 타단부 측의 측면에 맞닿아, 상기 반송물의 전후 폭방향으로의 이동을 규제하는 제2 규제부를 구비하고,

   상기 제1 규제부는, 상기 제2 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물의 반송 경로에 위치하여, 상기 가로폭 타단부 측의 측면에 맞닿는 작용 위치와, 상기 제2 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물의 반송 경로로부터 퇴피한 퇴피 위치로 위치 변경 가능하게 구성되며,

   상기 제2 규제부는, 상기 제1 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물 반송 경로에 위치하여, 상기 전후폭 타단부 측의 측면에 맞닿는 작용 위치와, 상기 제1 반송 방향으로 반송되는 상기 반송물의 반송 경로로부터 퇴피한 퇴피 위치로 위치 변경 가능한, 반송 장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 제1 규제부 및 상기 제2 규제부는, 상기 작용 위치로부터 하강함으로써 상기 퇴피 위치로 위치 변경되도록 구성되며,

   상기 송풍식 지지 수단은, 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 제1 규제부나 상기 제2 규제부가 들어가는 요부(凹部)를 구비하고 있는, 반송 장치.
8. 제2항에 있어서,

   상기 송풍식 지지 수단은, 먼지를 제거하는 제진(除塵) 필터와, 그 제진 필터를 통해 상기 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 제1 반송 방향 및 상기 제2 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있는, 반송 장치.
9. 제1항에 있어서,

   상기 제1 반송부는, 반송물을 제1 반송 방향으로 반송하고, 상기 제2 반송부는, 반송물을 상기 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하고, 상기 중계 반송부는, 반송물을 상기 제1 반송 방향에 따라 반송함으로써, 상기 제1 반송부와의 사이에서 반송물을 반송하고, 반송물을 상기 제2 반송 방향에 따라 반송함으로써 상기 제2 반송부와의 사이에서 반송물을 반송하고,

   상기 중계 반송부에 상기 추진력 부여 수단과 상기 송풍식 지지 수단이 구비되고, 상기 중계 반송부의 상기 추진력 부여 수단은, 반송물에 있어서의 상기 제1 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 양단부를 접촉 지지하는 한쌍의 추진력 부여부를 구비하는 양측 구동식으로 구성되며,

   상기 변경하는 수단은 상기 중계 반송부에 구비되고, 상기 추진력 부여 수단과 상기 송풍식 지지 수단의 상대적인 승강에 의해, 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 접촉시키는 제1 반송 상태와 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 대하여 비접촉 상태로 하는 제2 반송 상태로 전환하여, 상기 제1 반송 상태에 있어서는, 상기 추진력 부여 수단에 의한 추진력에 의해 상기 제1 반송부와 상기 중계 반송부의 사이에서 반송물을 반송하고, 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는, 상기 제2 반송 방향의 추진력을 부여하는 보조 추진 수단에 의해 상기 제2 반송부와 상기 중계 반송부의 사이에서 반송물을 반송함으로써, 반송물의 반송 방향을 변경시키는, 반송 장치.
10. 제9항에 있어서,

    상기 중계 반송부는, 상기 송풍식 지지 수단을, 상기 제1 반송부에 구비되는 송풍식 지지 수단 및 상기 제2 반송부에 구비되는 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 높이로 설치하고, 또한

    상기 추진력 부여 수단을, 상기 제1 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이에 위치하는 상부 위치가 되고, 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는 상기 제2 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단보다 하방에 위치하는 하방 위치가 되도록, 승강 조작 가능하게 설치하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
11. 제9항에 있어서,

    상기 중계 반송부는, 상기 추진력 부여 수단을, 상기 제1 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로, 또한 상기 제2 반송부에 구비되는 추진력 부여 수단보다 낮은 높이의 고정 상태로 설치하고, 또한

    상기 송풍식 지지 수단을, 상기 제1 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비되는 상기 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 하방 위치가 되고, 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는 상기 제2 반송부에 구비되는 상기 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 상부 위치가 되도록, 승강 조작 가능하게 설치하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
12. 제9항에 있어서,

    상기 보조 추진 수단은, 반송물의 하면을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 구동 회전체를, 상기 제2 반송 상태에 있어서 반송물의 하면을 접촉 지지하고 또한 상기 제1 반송 상태에 있어서의 반송물의 하면의 접촉 지지를 해제하기 위하여 승강 조작 가능하게 구성되어 있는, 반송 장치.
13. 제9항에 있어서,

    상기 보조 추진 수단은, 반송물에 있어서의 상기 반송 방향의 반송 위쪽의 측면에 맞닿는 상태로 상기 제2 반송 방향으로 이동함으로써, 반송물에 대하여 상기 제2 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 가압 부재를 구비하여 구성되어 있는, 반송 장치.
14. 제9항에 있어서,

    상기 중계 반송부에 구비된 상기 추진력 부여 수단은, 상기 제1 반송 방향에 따라 반송물을 정역 이동시키도록 추진력을 부여할 수 있도록 구성되며,

    상기 보조 추진 수단은, 상기 제2 반송 방향에 따라 반송물을 정역 이동시키도록 추진력을 부여할 수 있도록 구성되어 있는, 반송 장치.
15. 제9항에 있어서,

    상기 송풍식 지지 수단은, 먼지를 제거하는 제진 필터와, 그 제진 필터를 통해 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 제1 반송 방향 및 상기 제2 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있는, 반송 장치.
16. 제1항에 있어서,

    상기 제1 반송부는, 반송물을 제1 반송 자세로 반송하고, 상기 제2 반송부는, 반송물을 제1 반송 자세로부터 세로 축심 주위로 소정 각도 회전된 제2 반송 자세로 반송하고, 상기 중계 반송부는, 상기 제1 반송부와의 사이 및 상기 제2 반송부와의 사이에서 반송물을 반송하고,

    상기 변경하는 수단은 상기 중계 반송부에 구비되고, 상기 중계 반송부에 구비된 상기 추진력 부여 수단과 상기 송풍식 지지 수단의 상대적인 승강에 의해, 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 접촉되는 반송용 상태와 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 대하여 비접촉 상태로 하는 회전용 상태로 전환하여, 상기 반송용 상태에 있어서는, 상기 추진력 부여 수단에 의한 추진력에 의해 상기 제1 반송부와 상기 중계 반송부의 사이, 및 상기 중계 반송부와 상기 제2 반송부의 사이에서 반송물을 반송하고, 또한 상기 회전용 상태에 있어서는, 반송물을 세로 축심 주위에서 회전시키기 위한 자세 변경 수단에 의해 반송물에 회전력을 부여하여 반송물이 상기 제1 반송 자세와 상기 제2 반송 자세로 전환되도록 구성되어 있는, 반송 장치.
17. 제16항에 있어서,

    상기 자세 변경 수단은, 반송물의 하면을 흡착 유지할 수 있는 흡착부를, 세로 축심 주위에 회전 조작 가능하게, 또한 승강 조작 가능하게 구비하여, 상기 회전용 상태에 있어서는 상기 반송물을 상기 흡착부에 의해 흡착 유지하여 회전시키고, 또한 상기 반송용 상태에 있어서는 상기 반송부에 대한 상기 흡착부의 접촉을 해제시키도록 구성되어 있는, 반송 장치.
18. 제16항에 있어서,

    상기 중계 반송부에, 반송물에 가로측으로부터 맞닿음으로써, 상기 제1 반송 자세 또는 상기 제2 반송 자세로부터 어긋난 반송물의 자세를 상기 제1 반송 자세 또는 상기 제2 반송 자세로 수정하는 자세 수정 수단이 설치되어 있는, 반송 장치
19. 제16항에 있어서,

    상기 중계 반송부의 상기 송풍식 지지 수단은, 상기 제1 반송부에 구비된 송풍식 지지 수단, 및 상기 제2 반송부에 구비된 송풍식 지지 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 지지하는 높이로 설치되고,

    상기 중계 반송부의 상기 추진력 부여 수단은, 상기 제1 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비된 추진력 부여 수단, 및 상기 제2 반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 같은 높이 또는 대략 같은 높이로 반송물을 접촉 지지하는 상부 위치가 되고, 또한 상기 제2 반송 상태에 있어서는 상기 제1 반송부에 구비된 추진력 부여 수단 및 상기 제2 반송부에 구비된 추진력 부여 수단보다 하방에 위치하는 하방 위치가 되도록 승강 조작 가능하게 설치된, 반송 장치.
20. 제16항에 있어서,

    상기 송풍식 지지 수단은, 먼지를 제거하는 제진 필터와, 그 제진 필터를 통해 상기 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있는, 반송 장치.
21. 제1항에 있어서,

    상기 제1 반송부는, 반송물을 제1 반송 방향으로 반송하고, 상기 제2 반송부는, 반송물을 상기 제1 반송 방향과 교차하는 제2 반송 방향으로 반송하고,

    상기 중계 반송부에 구비된 상기 추진력 부여 수단에 의해 상기 제1 반송부로부터 상기 중계 반송부로 반송물을 반입하고, 상기 중계 반송부에 도달한 반송물의 상면을 흡착 유지하여 반송물을 승강 및 상기 제2 반송 방향으로 이송 가능한 이송 수단에 의해 상기 반입한 반송물을 상기 제2 반송부로 반출함으로써, 분기(分岐) 반송을 행하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
22. 제21항에 있어서,

    상기 제2 반송부는, 제2 반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단의 상대적인 승강에 의해, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하면에 상기 추진력 부여 수단을 접촉시키는 반송 상태와 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 대하여 상기 추진력 부여 수단을 비접촉 상태로 하는 퇴피 상태로 전환 가능하게 구성되어 있는, 반송 장치.
23. 제21항에 있어서,

    상기 이송 수단은, 상기 제2 반송부로부터 반송물을 상기 중계 반송부에 반입하고, 그 반입한 반송물을, 상기 중계 반송부의 상기 추진력 부여 수단에 의해 상기 제1 반송부로 반출함으로써, 상기 제2 반송부로부터 반송물을 반입하여 그 반입한 반송물을 상기 제1 반송물에 반출하는 합류 반송을 행하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
24. 제21항에 있어서,

    상기 중계 반송부는, 중계 반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단의 상대적인 승강에 의해, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하면에 상기 추진력 부여 수단을 접촉시키는 반송 상태와 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 대하여 상기 추진력 부여 수단을 비접촉 상태로 하는 퇴피 상태로 전환 가능하게 구성되어 있는, 반송 장치.
25. 제21항에 있어서,

    상기 송풍식 지지 수단은, 먼지를 제거하는 제진 필터와, 그 제진 필터를 통해 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 제1 반송 방향 및 제2 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있는, 반송 장치.