KR20050020138A - 반송 시스템 - Google Patents

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KR20050020138A
KR20050020138A KR1020030057851A KR20030057851A KR20050020138A KR 20050020138 A KR20050020138 A KR 20050020138A KR 1020030057851 A KR1020030057851 A KR 1020030057851A KR 20030057851 A KR20030057851 A KR 20030057851A KR 20050020138 A KR20050020138 A KR 20050020138A
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air
conveying
conveying member
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glass substrate
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KR1020030057851A
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안근수
윤기천
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삼성전자주식회사
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    • B65G53/00—Conveying materials in bulk through troughs, pipes or tubes by floating the materials or by flow of gas, liquid or foam
    • B65G53/02—Floating material troughs
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Abstract

지지판, 지지판 위에 설치되어 있으며, 에어를 분사 또는 흡입하여 반송 부재를 이송시키는 복수개의 에어 노즐을 포함하는 반송 시스템.

Description

반송 시스템{Transfer system}
본 발명은 반송 시스템에 관한 것으로서, 특히 대형화된 글래스 기판의 반송 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반송 시스템은 컨베이어(Conveyor) 위에 반송 부재를 올려놓고 구동 모터에 연결된 구동 롤러를 이용하여 컨베이어를 미끄러지게 하여 반송 부재를 이동시키는 컨베이어 시스템이다.
기존의 컨베이어 시스템은 어떤 물체를 이송하기 위하여 동력은 모터를 사용하고, 동력 전달용으로는 체인이나 기어와 벨트 등을 사용하는 시스템을 갖고 있다.
따라서, 기존의 시스템은 동력을 모터로 사용하기 때문에 동력을 전달하는 매체인 체인이나 벨트와 같은 방법을 사용해야 하나 이와 같은 방법은 끊어지거나 닳아서 생기는 잔재가 많이 생기는 문제점이 있다. 또한, 모터의 구동으로 인해 분진이 발생하기 때문에 청결을 중요시하는 반도체나 액정 표시 장치에서는 이러한 분진이 반도체나 액정 표시 장치에 영향을 주지 않도록 하기 위해 모터를 외부로 빼서 동력을 전달하고 있다. 이로 인해 모터는 글래스 기판이 반송되는 곳과 격리되어 있으므로 작업성이 어려울 뿐만 아니라 장비의 구조도 복잡해지고 경비도 더욱 올라가게 된다.
또한, 동력을 전달하는 방법에도 문제가 있다. 기존의 장비를 보면 동력을 전달하는데 있어 모터 하나에 다수개의 구동 축을 걸어 동력을 모두 주어야 하기 때문에 각 구동 축 간에 기어와 같은 매체가 필요하게 되므로 위에 언급한 문제가 발생한다.
또한, 모터 및 컨베이어 벨트를 사용하게 되면 구동하면서 생기는 소음이 문제가 된다. 이때 생기는 소음으로 인해 작업자나 관리자의 집중력이 떨어져 작업의 효율성 또한 떨어지게 된다.
액정 표시 장치의 제조에 있어서도 반송 시스템을 이용하여 글래스 기판을 반송한다. 액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전계 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절하는 표시 장치이다.
이러한 액정 표시 장치의 두 장의 표시판은 반송 시스템을 통해 각 제조 공정으로 반송되어 액정 표시 장치를 완성한다.
종래에는 다수개의 글래스 기판을 카세트(Cassette), 스토커(Stoker) 및 인덱서(indexer)를 이용하여 반송하였으나, 글래스 기판의 크기가 대형화되는 경우에는 이러한 반송 수단을 이용하여 글래스 기판을 이동시키는 데 문제점이 발생한다.
이를 방지하기 위해 각종 컨베이어(Conveyor) 및 로보트(Robot), 스토커, AGV(Automatic guided vehicles) 등 기존의 반송 설비를 확대하거나, 에어(Air)와 롤러(Roller)를 이용한 에어 쿠션(Air Cushion) 컨베이어 등이 검토되거나 개발되어 있지만 글래스 기판의 대형화로 인한 정전기 발생, 글래스 기판과 컨베이어 벨트의 접촉에 의한 오염 및 크랙(Crack)등에 따른 수율 감소가 문제된다는 단점이 있다.
본 발명의 기술적 과제는 반송 부재와 접촉하지 않고 반송 부재를 이송시켜 반송 속도가 향상된 반송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 반송 시스템은 지지판, 상기 지지판 위에 설치되어 있으며, 에어를 분사 또는 흡입하여 반송 부재를 이송시키는 복수개의 에어 노즐을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이송 방향을 따라 설치되어 있으며, 상기 반송 부재의 하부에 위치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 에어 노즐의 내부가 진공이 되도록 상기 에어 노즐의 내부에 에어 이동 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이송 방향과 소정 각도를 이루도록 경사 조절이 가능한 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 에어 노즐과 상기 반송 부재는 소정 간격 이격되어 위치하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 에어 노즐과 상기 반송 부재 사이의 간격은 10 내지 30㎛인 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이동 방향과 상하로 소정 각도를 이루는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이동 방향과 좌우로 소정 각도를 이루는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 반송 시스템은 복수개의 에어 노즐은 반송 부재의 전진 방향과 상하 방향으로 소정 각도를 이루어 에어를 분사함으로써 상기 반송 부재가 상기 반송 부재의 전진 방향으로 미끄러지는 단계, 상기 반송 부재가 분기점에 도착한 경우에 상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 분기 방향으로 방향을 전환하여 에어를 분사함으로써 상기 반송 부재가 상기 반송 부재의 분기 방향으로 미끄러지는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 반송 부재가 분기 방향으로 미끄러지기 전에 상기 복수개의 에어 노즐은 에어를 흡입함으로써 상기 반송 부재를 정지시키는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 반송 시스템은 지지판, 상기 지지판을 이송시키는 이송 수단, 상기 지지판 위에 설치되어 있으며 반송 부재에 에어를 분사 또는 흡입하는 복수개의 에어 노즐을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 반송 시스템은 지지판, 상기 지지판을 이송시키는 이송 수단, 상기 지지판 아래에 설치되어 있으며 반송 부재에 에어를 분사 또는 흡입하는 복수개의 에어 노즐을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 이송 수단은 상기 지지판에 연결되어 있는 연결부재, 상기 연결부재가 미끄럼 이동되는 가이드라인을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 에어 노즐의 내부가 진공이 되도록 상기 에어 노즐의 내부에 에어 이동 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 반송 시스템은 지지판 위에 위치한 복수개의 에어 노즐과 반송 부재를 소정 간격 이격되도록 하여 상기 에어 노즐로 상기 반송 부재를 고정시키는 단계, 상기 지지판에 연결되어 있는 이송 수단으로 상기 반송 부재를 이송시키는 단계, 상기 반송 부재를 회전 시켜야 할 경우에는 상기 이송 수단을 회전시켜 상기 반송 부재를 회전시키는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 반송 시스템에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
먼저, 도 1 내지 도 8을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 반송 시스템에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 정지한 상태를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 반송 시스템을 II-II'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 이송되는 상태를 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 반송 시스템을 IV-IV'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 분기점에서 정지한 상태를 도시한 도면이고, 도 6a 및 도 6b는 도 5의 반송 시스템을 VIa-VIa'선 및 VIb-VIb'선을 따라 각각 잘라 도시한 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 분기점에서 분기 방향으로 이송되는 상태를 도시한 도면이고, 도 8은 도 7의 반송 시스템을 VIII-VIII'선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템은 지지판(10), 지지판(10) 위에 설치되어 있으며, 에어를 분사 또는 흡입하여 반송 부재를 이송시키는 복수개의 에어 노즐(20)을 포함한다.
지지판(10)은 반송 부재 즉, 글래스 기판(30)의 이송 방향을 따라 설치되어 있다. 즉, 글래스 기판(30)의 직진 이송 방향(A)을 따라 설치되어 있으며, 글래스 기판(30)이 분기점에서 분기되어 이송되는 분기 방향(B)을 따라서도 설치되어 있다. 그리고, 지지판(10) 위에 설치된 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)의 직진 이송 방향(A) 및 분기 방향(B)을 따라 설치되어 있다. 그리고, 글래스 기판(30)이 이송될 때 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)의 하부에 위치한다.
복수개의 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30)은 접촉되지 않고 소정 간격을 유지하며 위치하고 있다. 이를 위해 에어 노즐(20)은 에어를 분사하고, 글래스 기판(30)이 에어의 분사에 의해 설정된 위치를 벗어나는 것을 방지하기 위해 에어 노즐(20)의 내부가 진공이 되도록 하여 글래스 기판(30)의 위치를 고정시킨다.
에어 노즐(20)의 내부가 진공이 되도록 하기 위해 에어 노즐(20)의 내부에는 에어 이동 홈(21)이 형성되어 있다. 이러한 에어 이동 홈(21)은 소정의 모양으로 형성될 수 있다. 즉, 도 13에 도시된 바와 같이, 경사지게 형성되거나 나선 형태로 형성될 수 있다.
또한, 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)을 이송시키기 위해 글래스 기판(30)의 이송 방향과 소정 각도를 이루도록 경사 조절이 가능하게 제작되어 있다.
즉, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)의 이동 방향과 상하로 소정 각도(θ)를 이루는 것이 가능하도록 제작되어 있다.
즉, 글래스 기판(30)의 전진 방향(A)과 에어 노즐(20)이 상하로 0도 초과 내지 90도 미만의 경사각을 이루고 있다면 글래스 기판(30)은 앞으로 이동할 것이고, 글래스 기판(30)의 전진 방향(A)과 에어 노즐(20)이 상하로 90도 초과 내지 180도 미만의 경사각을 이루고 있다면 글래스 기판(30)은 뒤로 이동할 것이다.
또한, 에어 노즐(20)을 통해 분사되는 에어의 압력 및 방향을 조절함으로써 글래스 기판(30)의 이송 속도를 조절할 수 있다.
이 경우에도 복수개의 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30)은 접촉되지 않고 있으므로 반송속도가 향상되고 소음 등의 문제가 발생하지 않는다. 이러한 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30) 사이의 간격은 10 내지 30㎛인 것이 바람직하다.
또한, 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)의 이동 방향과 좌우로 소정 각도를 이루는 것이 가능하도록 제작되어 있다.
즉, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(30)이 분기점에 도달한 경우에는 분기 방향(B)으로 글래스 기판(30)을 이송하기 위해 복수개의 에어 노즐(20)은 분기 방향(B)으로 에어 노즐(20)의 방향을 전환한다. 글래스 기판(30)의 직진 방향(A)과 좌우로 각각 0도 초과 내지 90도 미만의 경사를 이루도록 에어 노즐(20)의 방향을 전환함으로서 글래스 기판(30)이 분기 방향(B)으로 이송되도록 한다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 반송 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수개의 에어 노즐(20)은 에어를 분사함으로써 글래스 기판(30)을 에어 노즐(20)과 접촉하지 않고 정지시킨다.
다음으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)의 전진 방향(A)과 상하 방향으로 소정 각도를 이루어 에어를 분사한다. 따라서, 글래스 기판(30)은 직진 방향(A)으로 미끄러져 이송된다. 종래와 달리 본 발명의 제1 실시예에서는 별도의 구동 모터 및 구동 롤러가 필요하지 않다. 이 경우 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30)은 접촉하고 있지 않으므로 마찰력에 의한 힘의 손실이 없어서 반송 속도가 향상되고 소음이 발생하지 않는다.
다음으로, 도 5, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(30)이 분기점에 도착한 경우에 복수개의 에어 노즐(20)은 에어를 흡입함으로써 글래스 기판(30)을 정지시킨다. 이 경우 별도의 정지핀(40)을 함께 이용하여 글래스 기판(30)을 정지시키는 것이 바람직하다.
다음으로, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(30)이 분기점에 도착하여 정지한 후에는 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)의 분기 방향(B)으로 방향을 전환하여 에어를 분사한다. 따라서, 글래스 기판(30)은 분기 방향(B)으로 미끄러져 이송된다. 종래와 달리 단지 에어 노즐(20)의 방향을 바꾸는 것만으로 글래스 기판(30)을 분기시킬 수 있기 때문에 분기를 위한 별도의 피더(feeder)가 필요하지 않고, 분기점에서 반송 속도가 느려지는 문제를 해결할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도가 도 9에 도시되어 있고, 도 9의 반송 시스템의 측면도가 도 10에 도시되어 있다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 반송 시스템은 지지판(10), 지지판(10)을 이송시키는 이송 수단(50)을 포함한다.
이송 수단(50)은 지지판(10)의 하부와 연결되어 있는 연결부재(51), 연결부재(51)가 미끄럼 이동되는 가이드라인(52)을 포함한다.
그리고, 지지판(10) 위에는 복수개의 에어 노즐(20)이 설치되어 있으며 이러한 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)에 에어를 분사 또는 흡입하여 글래스 기판(30)과 소정 간격을 유지하며 글래스 기판(30)을 고정시킨다.
즉, 복수개의 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30)은 접촉되지 않고 소정 간격을 유지하며 위치하고 있다. 이를 위해 에어 노즐(20)은 에어를 분사하고, 글래스 기판(30)이 에어의 분사에 의해 설정된 위치를 벗어나는 것을 방지하기 위해 에어 노즐(20)의 내부가 진공이 되도록 하여 글래스 기판(30)의 위치를 고정시킨다.
에어 노즐(20)의 내부가 진공이 되도록 하기 위해 에어 노즐(20)의 내부에는 에어 이동 홈(21)이 형성되어 있다. 이러한 에어 이동 홈(21)은 소정의 모양으로 형성될 수 있다. 즉, 도 13에 도시된 바와 같이, 경사지게 형성되거나 나선 형태로 형성될 수 있다.
따라서, 지지판(10)이 가이드라인(52)을 따라 이동함에 따라 지지판(10) 위에 설치된 에어 노즐(20)에 고정되어 있는 글래스 기판(30)도 함께 움직인다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 제2 실시예에 따른 반송 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.
우선, 지지판(10) 위에 위치한 복수개의 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30)을 소정 간격 이격되도록 하여 에어 노즐(20)로 글래스 기판(30)을 고정시킨다.
다음으로, 지지판(10)에 연결되어 있는 이송 수단(50)으로 글래스 기판(30)을 이송시킨다.
따라서, 글래스 기판(30) 위에 형성되는 액정 표시 장치의 패턴부와 접촉 없이 글래스 기판(30)을 반송하는 것이 가능하다.
또한, 글래스 기판(30)을 회전시켜 다른 방향으로 이송하여야 할 경우에는 이송 수단(50)을 회전시켜 글래스 기판(30)을 회전시켜 다른 방향으로 이송한다.
그리고, 본 발명의 제2 실시예와 달리 글래스 기판(30)을 위에서 픽업(Pick up)하여 반송하는 것도 가능하며 제3 실시예에서 설명한다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도가 도 11에 도시되어 있고, 도 11의 반송 시스템의 측면도가 도 12에 도시되어 있다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 반송 시스템은 지지판(10), 지지판(10)을 이송시키는 이송 수단(50)을 포함한다.
이송 수단(50)은 지지판(10)의 하부와 연결되어 있는 연결부재(51), 연결부재(51)가 미끄럼 이동되는 가이드라인(52)을 포함한다.
그리고, 지지판(10) 아래에는 복수개의 에어 노즐(20)이 설치되어 있으며 이러한 복수개의 에어 노즐(20)은 글래스 기판(30)에 에어를 분사 또는 흡입하여 글래스 기판(30)과 소정 간격을 유지하며 글래스 기판(30)을 고정시킨다.
즉, 복수개의 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30)은 접촉되지 않고 소정 간격을 유지하며 위치하고 있다. 이를 위해 에어 노즐(20)은 에어를 분사하고, 글래스 기판(30)이 에어의 분사에 의해 설정된 위치를 벗어나는 것을 방지하기 위해 에어 노즐(20)의 내부가 진공이 되도록 하여 글래스 기판(30)의 위치를 고정시킨다.
에어 노즐(20)의 내부가 진공이 되도록 하기 위해 에어 노즐(20)의 내부에는 에어 이동 홈(21)이 형성되어 있다. 이러한 에어 이동 홈(21)은 소정의 모양으로 형성될 수 있다. 즉, 도 13에 도시된 바와 같이, 경사지게 형성되거나 나선 형태로 형성될 수 있다.
따라서, 지지판(10)이 가이드라인(52)을 따라 이동함에 따라 지지판(10) 위에 설치된 에어 노즐(20)에 고정되어 있는 글래스 기판(30)도 함께 움직인다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 제3 실시예에 따른 반송 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.
우선, 지지판(10) 아래에 위치한 복수개의 에어 노즐(20)과 글래스 기판(30)을 소정 간격 이격되도록 하여 에어 노즐(20)로 글래스 기판(30)을 고정시킨다.
다음으로, 지지판(10)에 연결되어 있는 이송 수단(50)으로 글래스 기판(30)을 이송시킨다.
따라서, 글래스 기판(30) 위에 형성되는 액정 표시 장치의 패턴부와 접촉 없이 글래스 기판(30)을 반송하는 것이 가능하다.
또한, 글래스 기판(30)을 회전시켜 다른 방향으로 이송하여야 할 경우에는 이송 수단(50)을 회전시켜 글래스 기판(30)을 회전시켜 다른 방향으로 이송한다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
본 발명에 따른 반송 시스템은 에어만을 이용하여 글래스 기판을 이송시킴으로써 종래의 반송 시스템에 사용되는 스토커 및 인덱서를 사용하지 않게 되어 장비의 구조가 간단해지고 반송 설비에 대한 투자비가 절감된다는 장점이 있다.
또한, 글래스 기판과 에어 노즐은 접촉되지 않고 글래스 기판을 반송시킴으로써 접촉에 의한 깨짐이나 파티클 및 화학 오염 등을 방지하여 수율을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
또한, 마찰력 없이 글래스 기판을 이송시킬 수 있기 때문에 반송 속도가 향상되고 반송 소요 시간이 단축된다는 장점이 있다.
또한, 에어만을 이용하여 글래스 기판을 이송시키는 경우에는 글래스 기판을 회전시켜 이송 방향을 전환시켜야 할 경우 즉, 글래스 기판의 회전, 분기, 합류 및 버퍼링 경우 반송 소요 시간이 지연되는 문제점이 해결된다.
또한, 동력 축 간의 연결을 해주었던 기어, 동력 전달의 매체인 체인, 벨트 등이 없어지게 되므로, 모터의 회전으로 인한 소음과 동력 축간 연결을 해주었던 기어들의 맏물림에 의한 소음이 감소된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 정지한 상태를 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 반송 시스템을 II-II'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 이송되는 상태를 도시한 도면이고,
도 4는 도 3의 반송 시스템을 IV-IV'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 분기점에서 정지한 상태를 도시한 도면이고,
도 6a 및 도 6b는 도 5의 반송 시스템을 VIa-VIa'선 및 VIb-VIb'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도로서, 글래스 기판이 분기점에서 분기 방향으로 이송되는 상태를 도시한 도면이고,
도 8은 도 7의 반송 시스템을 VIII-VIII'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도이고,
도 10은 도 9의 반송 시스템의 측면도이고,
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 반송 시스템의 사시도이고,
도 12는 도 11의 반송 시스템의 측면도이고,
도 13은 에어 노즐의 내부에 형성되어 있는 에어 이동 홈의 한 실시예이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 지지판 20 : 에어 노즐
30 : 글래스 기판 50 : 이송 수단

Claims (15)

  1. 지지판,
    상기 지지판 위에 설치되어 있으며, 에어를 분사 또는 흡입하여 반송 부재를 이송시키는 복수개의 에어 노즐
    을 포함하는 반송 시스템.
  2. 제1항에서,
    상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이송 방향을 따라 설치되어 있으며, 상기 반송 부재의 하부에 위치하는 반송 시스템.
  3. 제2항에서,
    상기 에어 노즐의 내부가 진공이 되도록 상기 에어 노즐의 내부에 에어 이동 홈이 형성되어 있는 반송 시스템.
  4. 제3항에서,
    상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이송 방향과 소정 각도를 이루도록 경사 조절이 가능한 반송 시스템.
  5. 제4항에서,
    상기 복수개의 에어 노즐과 상기 반송 부재는 소정 간격 이격되어 위치하고 있는 반송 시스템.
  6. 제5항에서,
    상기 복수개의 에어 노즐과 상기 반송 부재 사이의 간격은 10 내지 30㎛인 반송 시스템.
  7. 제4항에서,
    상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이동 방향과 상하로 소정 각도를 이루는 반송 시스템.
  8. 제4항에서,
    상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 이동 방향과 좌우로 소정 각도를 이루는 반송 시스템.
  9. 복수개의 에어 노즐은 반송 부재의 전진 방향과 상하 방향으로 소정 각도를 이루어 에어를 분사함으로써 상기 반송 부재가 상기 반송 부재의 전진 방향으로 미끄러지는 단계,
    상기 반송 부재가 분기점에 도착한 경우에 상기 복수개의 에어 노즐은 상기 반송 부재의 분기 방향으로 방향을 전환하여 에어를 분사함으로써 상기 반송 부재가 상기 반송 부재의 분기 방향으로 미끄러지는 단계를 포함하는
    반송 시스템.
  10. 제9항에서,
    상기 반송 부재가 분기 방향으로 미끄러지기 전에 상기 복수개의 에어 노즐은 에어를 흡입함으로써 상기 반송 부재를 정지시키는 단계를 더 포함하는
    반송 시스템.
  11. 지지판,
    상기 지지판을 이송시키는 이송 수단,
    상기 지지판 위에 설치되어 있으며 반송 부재에 에어를 분사 또는 흡입하는 복수개의 에어 노즐을 포함하는 반송 시스템.
  12. 지지판,
    상기 지지판을 이송시키는 이송 수단,
    상기 지지판 아래에 설치되어 있으며 반송 부재에 에어를 분사 또는 흡입하는 복수개의 에어 노즐을 포함하는 반송 시스템.
  13. 제11항 또는 제12항에서,
    상기 이송 수단은 상기 지지판에 연결되어 있는 연결부재,
    상기 연결부재가 미끄럼 이동되는 가이드라인을 포함하는 반송 시스템.
  14. 제11항 또는 제12항에서,
    상기 에어 노즐의 내부가 진공이 되도록 상기 에어 노즐의 내부에 에어 이동 홈이 형성되어 있는 반송 시스템.
  15. 지지판 위에 위치한 복수개의 에어 노즐과 반송 부재를 소정 간격 이격되도록 하여 상기 에어 노즐로 상기 반송 부재를 고정시키는 단계,
    상기 지지판에 연결되어 있는 이송 수단으로 상기 반송 부재를 이송시키는 단계,
    상기 반송 부재를 회전 시켜야 할 경우에는 상기 이송 수단을 회전시켜 상기 반송 부재를 회전시키는 단계
    를 포함하는 반송 시스템.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102360184B1 (ko) * 2021-08-18 2022-02-08 주식회사 태양엔지니어링 활성탄 공급장치

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7959395B2 (en) * 2002-07-22 2011-06-14 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
KR100956348B1 (ko) * 2003-09-05 2010-05-06 삼성전자주식회사 인라인 반송 시스템
JP4893481B2 (ja) * 2007-06-04 2012-03-07 株式会社Ｓｕｍｃｏ シリコンウェーハ搬送装置
JP2010254453A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 Myotoku Ltd 浮上装置
US8602706B2 (en) 2009-08-17 2013-12-10 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
NL2009764C2 (en) * 2012-11-06 2014-05-08 Univ Delft Tech An apparatus for carrying and transporting a product.
CN104555348A (zh) * 2014-11-28 2015-04-29 祥鑫科技股份有限公司 气吹浮起式输料带
CN108840102A (zh) * 2018-06-13 2018-11-20 合肥工业大学 一种具有倾斜式喷气机构的用于输送玻璃面板的气浮系统
CN110498233B (zh) * 2019-07-26 2021-04-27 江苏科技大学 二维无接触输送平台装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2905768A (en) * 1954-09-24 1959-09-22 Ibm Air head
US4009785A (en) * 1974-10-02 1977-03-01 Motorola, Inc. Fixture and system for handling plate like objects
US4165132A (en) * 1977-02-28 1979-08-21 International Business Machines Corporation Pneumatic control of the motion of objects suspended on an air film
JPS62130925A (ja) * 1985-11-29 1987-06-13 Mitsubishi Electric Corp 搬送装置
US5207553A (en) * 1992-02-26 1993-05-04 Haruo Konagai Suction lifting device for flat workpieces
JPH07172573A (ja) * 1993-12-17 1995-07-11 Nec Toyama Ltd エア搬送装置
DE4406847C2 (de) * 1994-03-03 1997-07-10 Koenig & Bauer Albert Ag Vorrichtung zum schwebenden Führen von Bogen oder Bahnen
US5777823A (en) * 1996-02-27 1998-07-07 Gavit; Stephan E. Tape transport apparatus incorporating porous air bearing
WO1997045862A1 (en) * 1996-05-31 1997-12-04 Ipec Precision, Inc. Non-contact holder for wafer-like articles
JPH1086329A (ja) * 1996-09-03 1998-04-07 Heidelberger Druckmas Ag 枚葉紙印刷機における接触のない枚葉紙案内のための装置
DE69935015D1 (de) * 1999-10-28 2007-03-15 Segway Systems Llc Poröse luftlager für bandtransportgerät und herstellungsverfahren
JP2002308425A (ja) * 2001-04-19 2002-10-23 Nano System Kk 板形状物搬送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102360184B1 (ko) * 2021-08-18 2022-02-08 주식회사 태양엔지니어링 활성탄 공급장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW200517323A (en) 2005-06-01
TWI340726B (en) 2011-04-21
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