CN100516984C - 传送系统 - Google Patents

传送系统 Download PDF

Info

Publication number
CN100516984C
CN100516984C CNB2004100572312A CN200410057231A CN100516984C CN 100516984 C CN100516984 C CN 100516984C CN B2004100572312 A CNB2004100572312 A CN B2004100572312A CN 200410057231 A CN200410057231 A CN 200410057231A CN 100516984 C CN100516984 C CN 100516984C
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass substrate
transfer
air
transfer system
transfer member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2004100572312A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1584682A (zh
Inventor
安根洙
尹起天
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of CN1584682A publication Critical patent/CN1584682A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100516984C publication Critical patent/CN100516984C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G53/00—Conveying materials in bulk through troughs, pipes or tubes by floating the materials or by flow of gas, liquid or foam
    • B65G53/02—Floating material troughs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B15/00—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form
    • F26B15/10—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions
    • F26B15/12—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions the lines being all horizontal or slightly inclined
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • F26B25/001—Handling, e.g. loading or unloading arrangements
    • F26B25/003—Handling, e.g. loading or unloading arrangements for articles
    • F26B25/004—Handling, e.g. loading or unloading arrangements for articles in the shape of discrete sheets

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

本发明提供了一种传送系统，该传送系统包括支撑板、在该支撑板上形成并喷射空气以移送传送部件的多个空气喷嘴。

Description

传送系统
技术领域
本发明涉及一种传送系统，尤其涉及一种用于传送大型玻璃基片的传送系统。
背景技术
通常，传送系统是在传送装置上放置传送部件，利用与驱动电动机连接的驱动滚筒使传送装置滑动，移动传送部件的传送系统。
传统的传送系统使用驱动电动机提供动力以移动传送物体及用于动力传送的传送链、传送齿轮、或传动带。
因此，传统系统使用电动机提供动力，所以使用作为传输动力媒介的传送链或传动带等，但这种方法存在折断或磨损所产生的器件碎屑问题。而且，驱动电动机时产生粉尘，所以对清洁要求很高的半导体或液晶显示器中，要外设电动机传输动力，使这种粉尘不致影响半导体或液晶显示器。因此，电动机要与玻璃基片传送处隔离设置，所以不仅其操作困难，装置的结构也变得更为复杂，而且成本也提高了。
由于齿轮的使用也出现了粉尘问题。就传统的装置而言，由于一个电动机应该驱动多个驱动轴，因此在各驱动轴之间均需要诸如齿轮这样的用于传送动力的介质，从而导致上述指出的粉尘问题。
若使用电动机及传送带，还会出现噪音问题。来自机器的噪音妨碍操作者或管理者，其降低了工作效率。
在制造液晶显示器(“LCD”)中，也利用传送系统传送玻璃基片。液晶显示器是目前使用最广泛的平面显示器之一，由形成电场电极的两个面板和介入其间的液晶层组成。向两个电极施加电压，在液晶层产生电场，改变电场强度，重新排列液晶层的液晶分子，从而调节光的透射比显示图像。
这种液晶显示器的两个显示面板通过传送系统传送到各制造工序中完成液晶显示器。
在传统技术中，利用箱盒、加料机、及分度器传送多个玻璃基片。然而，当玻璃基片大型化时，由于不可弯曲和且笨重而使得利用箱盒、加料机、及分度器的传统传送系统变得更难以使用和控制。
为了防止这种问题，扩大各种传送带及自动装置、加料机、AGV(自动导向推进装置)等传统传送装置的大小，或开发和研究利用空气和滚筒的气垫传送装置等。然而，随着玻璃基片的大型化，会引起静电发生、还发生玻璃基片和传动带接触引起的污染及破裂等问题，降低了产品合格率。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种与传送部件不接触移送传送部件的、提高传送速度的传送系统。
优选地，根据本发明的传送系统包括支撑板、在支撑板上形成并喷射空气移送传送部件的多个空气喷嘴。
优选地，上述多个空气喷嘴沿着上述传送部件的移送方向设置，并位于上述传送部件下部。
优选地，在上述空气喷嘴的内表面中形成空气移动槽，使上述空气喷嘴内部处于真空状态。
优选地，可以调节上述多个空气喷嘴倾斜，使其与上述传送部件形成规定角度。
优选地，上述多个空气喷嘴和上述传送部件以规定间距隔开。
优选地，上述多个空气喷嘴和传送部件之间距离为10-30μm。
优选地，上述多个空气喷嘴与上述传送部件的移动方向上下形成规定角度。
而且，上述多个空气喷嘴与上述传送部件的移动方向左右形成规定角度。
而且，优选地，根据本发明的传送方法包括以下工序：多个空气喷嘴以上下方向与传送部件的前进方向形成规定角度喷射空气，从而使上述传送部件向传送部件的前进方向滑动；以及当上述传送部件到达分流点时，多个空气喷嘴向传送部件的分流方向转换喷射空气，从而使传送部件向传送部件的分流方向滑动。
优选地，还包括在上述传送部件未向分流方向滑动之前，使传送部件停止的工序。
优选地，根据本发明的传送系统包括支撑板、移送该支撑板的移送装置、在支撑板上设置并向传送部件喷射空气的多个空气喷嘴。
优选地，根据本发明的传送系统包括支撑板、移送支撑板的移送装置、在支撑板下设置并向传送部件喷射空气的多个空气喷嘴。
优选地，移送装置包括与上述支撑板连接的连接部件、该连接部件滑动的引导线。
优选地，在上述空气喷嘴的内表面中形成空气移动槽，使空气喷嘴内部成真空。
优选地，根据本发明的传送方法包括以下工序：使位于支撑板上的多个空气喷嘴部件以规定间距与传送部件隔开，用空气喷嘴固定传送部件；用与支撑板连接的移送装置移送传送部件；以及当要旋转上述传送部件时，通过旋转移送装置来旋转上述传送部件。
附图说明
图1是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片的停止状态图；
图2是沿着图1所示的II-II′线的传送系统截面图；
图3是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片的移送状态图；
图4是沿着图3所示的IV-IV′线的传送系统截面图；
图5是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片在分流点上的停止状态图；
图6a及6b是沿着图5所示的VIa-VIa′线及VIb-VIb′线的传送系统截面图；
图7是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片在分流点上向分流方向移送的状态图；
图8是沿着图7所示的VIII-VIII′线的传送系统截面图；
图9是根据本发明第二实施例的传送系统立体图；
图10是图9所示的传送系统侧面图；
图11根据本发明第三实施例的传送系统立体图；
图12是图11所示的传送系统侧面图；以及
图13是设置在空气喷嘴的内表面中的空气移动槽的实施例的立体图。
具体实施方式
为了使本领域技术人员能够实施本发明，现参照附图详细说明本发明的实施例，但是本发明可表现为不同形式，它不局限于在此说明的实施例。
下面，参照附图详细说明根据本发明实施例的传送系统。
首先，参照图1至图8详细说明根据本发明优选第一实施例的传送系统。
图1是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片的停止状态图，图2是沿着图1所示的II-II′线的传送系统截面图，图3是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片的移送状态图，图4是沿着图3所示的IV-IV′线的传送系统截面图，图5是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片在分流点上的停止状态图，图6a及6b是沿着图5所示的VIa-VIa′线及VIb-VIb′线的传送系统截面图，图7是根据本发明第一实施例的传送系统立体图，是玻璃基片在分流点上以分流方向移送的状态图，而图8是沿着图7所示的VIII-VIII′线的传送系统截面图。
参照图1至图8，根据本发明第一实施例的传送系统包括支撑板10、在支撑板10上设置并喷射空气移送传送部件的多个空气喷嘴20。
支撑板10沿着传送部件即沿着玻璃基片30的移送方向设置。即沿着玻璃基片30的直行移送方向设置。而且，还沿着玻璃基片30在分流点被分流移送的分流方向B设置。而且，支撑板10上设置的多个空气喷嘴20沿着玻璃基片30的直行移送方向A分流方向B设置。当玻璃基片30被移送时空气喷嘴位于玻璃基片30下部。
多个空气喷嘴20和玻璃基片30不相接触且相互保持规定间隔。为此，空气喷嘴20喷射空气，为了防止玻璃基片30由空气喷射脱离其设定位置，使空气喷嘴20内部真空，从而固定玻璃基片30的位置。
为了使空气喷嘴20内部真空，在空气喷嘴20的内表面中形成空气移动槽21。这种空气移动槽21可以由规定形态形成。即，如图13所示，将空气移动槽21在外形上设置成倾斜的或螺旋形的。
而且，多个空气喷嘴20为了移送玻璃基片30，将它制成可以调节倾斜的形式，使其与玻璃基片30的移送方向成规定角度。
如图3及图4所示，多个空气喷嘴20与玻璃基片30移动方向上下形成规定角度θ。
当空气喷嘴20与玻璃基片30前进方向A上下形成大于0度小于90度的倾斜角时，玻璃基片30则会向前移动。当空气喷嘴20与玻璃基片30前进方向A上下形成大于90度小于180度的倾斜角，玻璃基片30则会向后移动。
而且，调节通过空气喷嘴20喷射的空气压力及方向，从而可以调节玻璃基片30的移送速度。
此时，多个空气喷嘴20和玻璃基片30不接触，所以了提高传送速度，也不产生噪音等问题。优选地，这种空气喷嘴20和玻璃基片30之间距离为10-30μm。
而且，多个空气喷嘴20可以与玻璃基片30的移动方向左右形成规定角度。
如图7及图8所示，当玻璃基片30到达分流点时，为了向分流方向B移送玻璃基片30，多个空气喷嘴20向分流方向B转变空气喷嘴20方向。转变空气喷嘴20方向，使与玻璃基片30的直行方向A左右分别形成大于0度小于90度的倾斜，从而使玻璃基片30向分流方向移送。
下面，说明如上所述的根据本发明的传送系统作用。
首先，如图1及图2所示，通过多个空气喷嘴20喷射空气，玻璃基片30与空气喷嘴20不接触而停止。
下面，如图3和图4所示，多个空气喷嘴20与玻璃基片30的直行方向A上下形成规定角度喷射空气。因此，玻璃基片30向直行方向A滑动移送。与传统不同，本发明的第一实施例中不需要单独的驱动电动机及驱动滚筒。此时，空气喷嘴20和玻璃基片30不接触，所以没有因摩擦力而致的动力损失，提高了传送速度，也不发生噪音。
如图5、图6a、及图6b所示，当玻璃基片30到达分流点时，还利用单独的停止销40将玻璃基片30停止在分流点处。
如图7及图8所示，玻璃基片30到达分流点停止之后，多个空气喷嘴20向玻璃基片30分流方向B转换方向喷射空气。因此，玻璃基片30向分流方向B滑动移送。与传统不同，只用转换空气喷嘴20的方向，就可以分流玻璃基片30，所以不需要分流的单独送料器，且可以解决在分流点传送速度变慢的问题。
在图9中示出了根据本发明第二实施例的传送系统立体图，图10中示出了图9所示的传送系统侧面图。在这里，与上述附图标号相同的附图标号表示具有相同功能的相同部件。
如图9及图10所示，根据本发明第二实施例的传送系统包括支撑板10、移送支撑板10的移送装置50。
移送装置50包括与支撑板10的下部连接的连接部件51、连接部件51滑动移动的引导线52。
在支撑板10上设置多个空气喷嘴20，多个空气喷嘴20向玻璃基片30喷射空气，与玻璃基片30保持规定间距，并固定玻璃基片30。
即，多个空气喷嘴20和玻璃基片30不接触而保持规定间距。为此空气喷嘴20喷射空气，为了防止由空气喷射的玻璃基片30脱离设定位置，使空气喷嘴20内部成真空，固定玻璃基片位置。
为了使空气喷嘴20内部真空，在空气喷嘴20的内表面中形成空气移动槽。这种空气移动槽21可以规定形态形成。即，如图13所示，可以倾斜或螺丝状形成。
因此，随着支撑板10沿着引导线52移动，在支撑板10上设置的空气喷嘴20上固定的玻璃基片30也一起移动。
下面，说明具有上述结构的根据本发明第二实施例的传送系统作用。
首先，使位于支撑板10上的多个空气喷嘴20和玻璃基片30以规定间距隔开，作为空气喷嘴20固定玻璃基片30。
接着，用与支撑板10连接的移送装置50移送玻璃基片30。
因此，无需与在玻璃基片30上形成的液晶显示器图案部接触就可以移送玻璃基片30。
而且，当需要旋转玻璃基片30向另外方向移动时，旋转移送装置50并旋转玻璃基片30向另外方向移送。
还可以从上面拾取和传送玻璃基片30，对此将在以下的第三实施例中进行描述。
在图11中示出了根据本发明第三实施例的传送系统立体图，在图12中示出了图11所示的传送系统侧面图。在这里，与上述的附图标号相同的附图标号表示具有相同功能的相同部件。
如图11及图12所示，根据本发明第三实施例的传送系统包括支撑板10、移送支撑板10的移送装置50。
移送装置50包括与支撑板10的下部连接的连接部件51、连接部件51滑动移动的引导线52。
而且，在支撑板10下面设置多个空气喷嘴20，多个空气喷嘴20向玻璃基片30喷射空气，与玻璃基片30保持规定间距，并固定玻璃基片30。
即，多个空气喷嘴20和玻璃基片30不接触而保持规定间距。为此，空气喷嘴20喷射空气，为了防止玻璃基片30因空气喷射脱离设定位置，使空气喷嘴20内部成真空，固定玻璃基片位置。
为了使空气喷嘴20内部成真空，在空气喷嘴20的内表面中形成空气移动槽。这种空气移动槽21可以规定形态形成。即，如图13所示，可以倾斜或螺丝状形成。
因此，随着支撑板10沿着引导线52移动，在支撑板10上设置的空气喷嘴20上固定的玻璃基片30也一起移动。
下面，说明具有上述结构的根据本发明第三实施例的传送系统作用。
首先，使位于支撑板10下面的多个空气喷嘴20和玻璃基片30以规定间距隔开，用空气喷嘴20固定玻璃基片30。
然后，用与支撑板10连接的移送装置50移送玻璃基片30。
因此，无需与在玻璃基片30上形成的液晶显示器图案部接触就可以移送玻璃基片30。
而且，当需要旋转玻璃基片30向另外方向移动时，旋转移送装置50并旋转玻璃基片30向另外方向移送。
根据本发明的传送系统只用空气移送玻璃基片，而不使用传统传送系统中使用的加料机及分度器，所以具有装置结构简单、减少对传送装置投资的优点。
而且，在玻璃基片和空气喷嘴不接触情况下传送玻璃基片，所以可以防止由接触引起的破损或颗粒及化学污染等，且可以提高产品的合格率。
还有，无摩擦力地移送玻璃基片，所以具有提高传送速度、缩短传送所需时间的优点。
还有，只利用空气移送玻璃基片时，当旋转玻璃基片转换移送方向时，即，解决玻璃基片的旋转、分流、合流及缓冲时的传送所需时间延迟的问题。
而且，不需要连接动力轴之间的传动齿轮、传达动力的媒介-传送链、传动带，所以减少电动机旋转的噪音和由连接动力轴之间的传动齿轮引起的噪音。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种传送系统，包括：
支撑板；以及
多个空气喷嘴，在所述支撑板上设置并喷射空气移送传送部件，
进行调节以使所述多个空气喷嘴与所述传送部件的移送方向形成规定角度，所述多个空气喷嘴与所述传送部件的移动方向左右形成规定角度。
2.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，所述多个空气喷嘴沿着所述传送部件的移送方向设置，并位于所述传送部件下部。
3.根据权利要求2所述的传送系统，其特征在于，在所述空气喷嘴的内表面中形成空气移动槽，使所述空气喷嘴内部成真空。
4.根据权利要求3所述的传送系统，其特征在于，所述多个空气喷嘴和所述传送部件以规定间距隔开。
5.根据权利要求4所述的传送系统，其特征在于，所述多个空气喷嘴和所述传送部件之间的间距为10-30μm。
6.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，所述多个空气喷嘴可以调节成其与所述传送部件的移动方向上下形成规定角度。
CNB2004100572312A 2003-08-21 2004-08-23 传送系统 Expired - Fee Related CN100516984C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030057851A KR20050020138A (ko) 2003-08-21 2003-08-21 반송 시스템
KR1020030057851 2003-08-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1584682A CN1584682A (zh) 2005-02-23
CN100516984C true CN100516984C (zh) 2009-07-22

Family

ID=34225400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100572312A Expired - Fee Related CN100516984C (zh) 2003-08-21 2004-08-23 传送系统

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7134222B2 (zh)
JP (1) JP2005067899A (zh)
KR (1) KR20050020138A (zh)
CN (1) CN100516984C (zh)
TW (1) TWI340726B (zh)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7959395B2 (en) 2002-07-22 2011-06-14 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
KR100956348B1 (ko) * 2003-09-05 2010-05-06 삼성전자주식회사 인라인 반송 시스템
JP4893481B2 (ja) * 2007-06-04 2012-03-07 株式会社Ｓｕｍｃｏ シリコンウェーハ搬送装置
JP2010254453A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 Myotoku Ltd 浮上装置
US8602706B2 (en) 2009-08-17 2013-12-10 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
NL2009764C2 (en) * 2012-11-06 2014-05-08 Univ Delft Tech An apparatus for carrying and transporting a product.
CN104555348A (zh) * 2014-11-28 2015-04-29 祥鑫科技股份有限公司 气吹浮起式输料带
CN108840102A (zh) * 2018-06-13 2018-11-20 合肥工业大学 一种具有倾斜式喷气机构的用于输送玻璃面板的气浮系统
CN110498233B (zh) * 2019-07-26 2021-04-27 江苏科技大学 二维无接触输送平台装置
KR102360184B1 (ko) * 2021-08-18 2022-02-08 주식회사 태양엔지니어링 활성탄 공급장치

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4009785A (en) * 1974-10-02 1977-03-01 Motorola, Inc. Fixture and system for handling plate like objects
US5803448A (en) * 1994-03-03 1998-09-08 Koenig & Bauer-Albert Aktiengesellschaft Device for the suspended guidance of sheets or webs
CN1212070A (zh) * 1996-02-27 1999-03-24 斯蒂芬·E·盖维特 采用多孔空气支承的带传送装置
US5941520A (en) * 1996-09-03 1999-08-24 Heidelberger Druckmaschinen Ag Contact-free sheet guiding device in a sheet-fed printing press
US6099056A (en) * 1996-05-31 2000-08-08 Ipec Precision, Inc. Non-contact holder for wafer-like articles
CN1375100A (zh) * 1999-10-28 2002-10-16 塞格威体系有限公司 用于带子传送的多孔空气支承件及其制造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2905768A (en) * 1954-09-24 1959-09-22 Ibm Air head
US4165132A (en) * 1977-02-28 1979-08-21 International Business Machines Corporation Pneumatic control of the motion of objects suspended on an air film
JPS62130925A (ja) * 1985-11-29 1987-06-13 Mitsubishi Electric Corp 搬送装置
US5207553A (en) * 1992-02-26 1993-05-04 Haruo Konagai Suction lifting device for flat workpieces
JPH07172573A (ja) * 1993-12-17 1995-07-11 Nec Toyama Ltd エア搬送装置
JP2002308425A (ja) * 2001-04-19 2002-10-23 Nano System Kk 板形状物搬送装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4009785A (en) * 1974-10-02 1977-03-01 Motorola, Inc. Fixture and system for handling plate like objects
US5803448A (en) * 1994-03-03 1998-09-08 Koenig & Bauer-Albert Aktiengesellschaft Device for the suspended guidance of sheets or webs
CN1212070A (zh) * 1996-02-27 1999-03-24 斯蒂芬·E·盖维特 采用多孔空气支承的带传送装置
US6099056A (en) * 1996-05-31 2000-08-08 Ipec Precision, Inc. Non-contact holder for wafer-like articles
US5941520A (en) * 1996-09-03 1999-08-24 Heidelberger Druckmaschinen Ag Contact-free sheet guiding device in a sheet-fed printing press
CN1375100A (zh) * 1999-10-28 2002-10-16 塞格威体系有限公司 用于带子传送的多孔空气支承件及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005067899A (ja) 2005-03-17
TWI340726B (en) 2011-04-21
US20050050752A1 (en) 2005-03-10
CN1584682A (zh) 2005-02-23
US7134222B2 (en) 2006-11-14
KR20050020138A (ko) 2005-03-04
TW200517323A (en) 2005-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100516984C (zh) 传送系统
US5716264A (en) Polishing apparatus
CN101863015B (zh) 多关节机器人
US6747725B2 (en) Device for cutting liquid crystal display panel and method for cutting using the same
KR870001903A (ko) 음극선관 페이스플레이트(faceplate) 자동 연마방법 및 장치
CN1107013C (zh) 用于码垛机或同类机械的转位装置
CN203317224U (zh) 磨削装置
CN102131739A (zh) 玻璃板加工方法和玻璃板加工设备
KR102385573B1 (ko) 로드 컵 및 이를 포함하는 화학기계적 연마 장치
CN101190524A (zh) 臂部驱动装置及工业用机器人
CN1590253B (zh) 输送装置
CN101815661B (zh) 悬浮输送装置及具有悬浮输送装置的处理系统
TW200918428A (en) Conveyance direction turnabout apparatus and levitation conveyance system
JP2006110642A (ja) 研磨装置
CN114261564A (zh) 一种抓瓶入托装置及自动化抓瓶入托设备
CN107717703A (zh) 一种流水式曲面玻璃抛光生产线
KR20090006984A (ko) 이중 롤러를 이용한 디버터 컨베이어
EP0879677B1 (en) A planing machine
CN101715422B (zh) 悬浮装置及悬浮输送装置
JP2000042912A (ja) 両面研磨装置
CN111346788A (zh) 一种点胶生产线
CN102528644A (zh) 玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法
KR100602410B1 (ko) 평판 처리 장치
CN211760848U (zh) 射流抛光机
CN212370507U (zh) 物料输送装置和具有该物料输送装置的并线点胶机器人

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.

Effective date: 20121219

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20121219

Address after: Gyeonggi Do, South Korea

Patentee after: SAMSUNG DISPLAY Co.,Ltd.

Address before: Gyeonggi Do, South Korea

Patentee before: Samsung Electronics Co.,Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090722

Termination date: 20210823

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee