KR100602410B1 - 평판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

평판 디스플레이 패널의 제조 과정에서 세정, 에칭, 스트립, 현상 등의 작업에 이용될 수 있는 평판 디스플레이 기판 이송 방향 전환 장치 및 이를 이용한 평판 디스플레이 처리 장치를 개시한다. 이러한 평판 디스플레이 처리 장치는 베이스; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되어 회동가능하게 배치된 프레임을 갖으며 이 프레임에 서로 동력전달이 가능하게 배치되어 동시에 회전하면서 동시에 경사상태로 자세가 변환될 수 있는 다수개의 회전축들; 이 회전축들로 회전력을 전달하는 회전 구동원 및 이 회전축들을 경사상태로 올리거나 내리는 힘을 가하는 경사변환 구동원; 상기 베이스에 배치되며, 상기 다수개의 회전축들을 통하여 경사진 상태로 기판을 이송하면서 기판을 처리하는 제1 프로세싱 베스; 상기 프로세싱 베스를 통하여 배출측으로 이송되는 기판을 경사진 상태로 전달받아서 수평상태로 기판의 자세를 변환시키는 제1 기판자세 변환부; 그리고 이 제1 기판자세 변환부에 의해 수평상태로 변환된 기판을 다시 상기 경사방향과 반대방향의 경사자세로 변환하여 이송하는 제2 기판자세 변환부; 이 제2 기판자세 변환부로부터 전달되는 기판을 상기 제1 프로세싱 베스와 마주하는 자세로 설치되어 있는 제2 프로세싱 베스; 그리고 이 제2 프로세싱 베스로부터 나오는 기판을 전달받는 기판 배출부를 포함한다.
이러한 장치는 기판의 방향을 전환할 수 있는 기판 방향 전환 수단에 의해 기판의 이송 방향을 전환할 수 있어 장치 전체의 설치 면적을 최소화할 수 있다.
평판, 디스플레이, 베스, 세정, 에칭, 스트립, 현상, 방향전환, 기판처리

Description

평판 처리 장치{Apparatus to treat a plat panel}
도 1은 본 발명에 따른 평판 처리 장치의 전체 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 주요부를 확대하여 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 관련하는 프로세싱 베스의 형상을 설명하기 위한 개략도이다.
도 4는 본 발명에 따른 평판 처리 장치에 의해 기판이 이송되는 경로를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 자세 변환부를 설명하기 위한 도면으로서 제1 자세변환부 제2 자세변환부가 모두 수평상태의 자세를 유지하는 것으로 도시하고 있다.
본 발명은 평판 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세정, 에칭, 스트립, 현상공정 등 일련의 작업이 진행되는 평판 디스플레이 패널용 기판 처리장치에 관한 것으로 특히 장치 전체의 점유율을 최소화할 수 있도록 한 장치에 관한 것이 다.
일반적으로 평판 디스플레이용 패널(이하, "기판" 이라고도 함)의 처리 장치는, 기판을 복수의 베스(처리조)에 공급하기 위한 로더(loader) 및 베스에서 처리된 기판을 배출하는 언로더(unloader)가 각각 동일한 형태로 하나의 기판 처리 장치에 배치된다. 그리고 다수의 베스가 연속적으로 배치되거나 또는 기판의 방향을 바꿔주기 위하여 부가적인 베스가 필요한 경우들이 있다. 이러한 일반적인 기판 처리 장치는 클리닝 룸에 배치되는 면적 또는 공간을 많이 차지하여 생산비용의 증가로 이어지는 문제점이 있다.
즉 기판의 처리 공정을 일렬로 배치하게 되면 장치 전체의 길이가 너무 길어지게 되고, 또 이러한 단점을 극복하기 위하여 기판의 처리 공정을 복수열로 배치하면 장치의 넓이가 증가하는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 평판 디스플레이 패널의 처리 장치의 설치 면적을 최소화시켜 생산비용을 감소시킬 수 있는 평판 처리 장치를 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 평판 처리장치는, 베이스; 상기 베이스에 일측이 힌지 결합되어 회동가능하게 배치된 프레임을 갖으며 이 프레임에 서로 동력전달이 가능하게 배치되어 기판을 이송하기 위하여 회전하면서 동시에 경사상태로 자세가 변환될 수 있는 다수개의 회전축들; 이 회전축들로 회전력을 전달하는 회전 구동원 및 이 회전축들을 경사상태로 올리거나 내리는 힘을 가하는 경사 변환 구동원; 상기 베이스에 배치되며, 상기 다수개의 회전축들을 통하여 경사진 상태로 기판을 이송하면서 기판을 처리하는 제1 프로세싱 베스; 상기 프로세싱 베스를 통하여 배출측으로 이송되는 기판을 경사진 상태로 전달받아서 수평상태로 기판의 자세를 변환시키는 제1 기판자세 변환부; 그리고 이 제1 기판자세 변환부에 의해 수평상태로 변환된 기판을 다시 상기 경사방향과 반대방향의 경사자세로 변환하여 이송하는 제2 기판자세 변환부; 이 제2 기판자세 변환부로부터 전달되는 기판을 상기 제1 프로세싱 베스와 마주하는 자세로 설치되어 있는 제2 프로세싱 베스; 그리고 이 제2 프로세싱 베스로부터 나오는 기판을 전달받는 기판 배출부를 포함한다.
이러한 구성의 평판 처리장치는, 다수개의 회전축들이 수평상태로 위치한 상태에서 기판이 공급되면 경사변환 구동원으로 작용으로 이들 회전축들이 경사진 상태로 되면서 동시에 이들 회전축이 회전하면서 기판을 제1 프로세싱 베스로 보내게 된다.
이 프로세싱 베스에서 처리된 기판은 계속하여 경사진 상태로 이동하면서 제1 기판자세 변환부로 전달되고, 이 제1 기판자세 변화부는 기판을 수평상태로 바꾸게 되고, 다시 제2 기판자세 변환부에 의해 이 기판은 경사진 자세로 되면서 제2 프로세싱 베스로 이동하게 된다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 전체적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 주요부분을 확대하여 도시한 도면으로, 기판 처리 장치(평판 디스플레이 처리 장치)를 도시하고 있다. 상기 기판 처리 장치는 프레임 등이 결합되어 이루어질 수 있으며, 틀을 이루는 베이스(1), 상기 베이스(1)에 서로 마주보는 상태로 설치되는 기판 공급부(3) 및 기판 배출부(5), 상기 기판 공급부(3)를 통하여 전달받은 기판을 처리하기 위한 하나 이상의 프로세싱 베스(7, 9, 여러 개로 이루어질 수 있으나 편의상 2개만을 도시하여 설명함), 상기 프로세싱 베스(7, 9)에서 처리된 기판의 이송 방향을 바꾸는 기판 방향 전환부(11), 그리고 상기 기판 방향 전환부(11)에서 진행 방향이 바뀐 기판을 처리하여 기판 배출부(5)로 배출하는 또 다른 프로세싱 베스(13, 15, 여러 개로 이루어질 수 있으나 편의상 2개만을 도시하여 설명)를 도시하고 있다.
상기 기판 공급부(3)는, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 베이스(1)에 힌지 결합(도 2에서 H1으로 표시)되어 일정한 경사로 회전될 수 있는 구조로 배치된다.
상기 기판 공급부(3)는 일정한 간격을 가지고 프레임(21)에 다수개의 회전축(25)들이 결합되는 구성을 갖는다. 상기 회전축(25)들은 기판(도시생략)의 이송 방향과 대략 직각으로 배치되고, 모터와 같은 회전 구동원(27)에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가진다. 그리고 상기 기판 공급부(3)는 상기 회전축(25)들에 다수의 롤러(29) 등이 결합되어 기판을 이동시킬 수 있는 구조를 가진다. 상기 기판 공급부(3)가 상기 회전 구동원(27)에 의하여 구동되는 상기 롤러(29)로 이루어지는 구동부를 가지는 것은, 통상적인 구조가 사용될 수 있다. 즉, 상기 회전축(25)들은 회전 구동원(27)에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가지는데, 이것은 체인(C) 또는 기어 등에 의하여 구동원의 구동력이 회전축(25)에 전달될 수 있는 통상의 구조를 가지는 것이다. 상기 기판 공급부(3)는 일측(프레임 21 부분)이 베이스(1)에 힌지 결합(H1)되고, 일측은 자유단을 가지는 구조로 배치된다.
그리고 상기 기판 공급부(3)는 에어 실린더 또는 모터 등과 같은 경사 변환 구동원(31)에 의하여 힌지 결합된 부분을 중심으로 자유단이 회전될 수 있는 구조를 가진다. 즉 경사변환 구동원(31)의 작동축 끝단이 상기 프레임(21)에 고정된 브라켓트와 볼 조인트와 같은 구조로 연결됨으로서 상기 프레임(21)은 힌지결합(H1) 부분을 중심으로 회전하여 상기 회전축(25)을 경사상태 또는 수평상태로 위치를 변환시킬 수 있다. 상기 경사 변환 구동원(31)은 상기 베이스(1)에 적절한 고정수단을 통하여 결합될 수 있다.
상기 기판을 처리하기 위한 제1 프로세싱 베스(7, 9)는 열을 이루며 1개 이상이 상기 베이스(1)에 설치될 수 있다. 상기 프로세싱 베스(7, 9)의 내부에는 기판을 처리하기 위한 액 분사 노즐(N, 세정장치의 경우) 등이 배치될 수 있으며, 기판이 경사진 상태로 처리되도록 경사진 형태의 이송부(33, 35, 도 1에서 보이는 부분만 번호를 부여 함)들을 가질 수 있다. 상기 이송부(33, 35)들은 경사진 상태로 기판이 처리되면서 기판이 이송되는 통상의 구조를 가질 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 프로세싱 베스(7, 9)를 통과하여 나오는 기판의 이송 방향을 바꾸어 또 다른 프로세싱 베스(13, 15)에 유입시키기 위한 기판 방향 전환부(11)는, 도1 및 도 5에 도시하고 있는 바와 같이, 베이스(1)에 힌지 결합되어 평면을 유지할 때는 서로 중첩이 가능하고, 경사질 때에는 서로 일정한 각을 이루며 자유단이 대향하는 자세를 가지는 제1 기판자세 변환부(41) 및 제2 기판자세 변환부(43)를 포함한다.
상기 제1 기판자세 변환부(41)는 베이스(1)에 힌지 결합될 수 있는 프레임(51)이 구비되고, 상기 프레임(51)에 일정한 간격으로 다수개의 회전축(53)이 결합된다. 상기 회전축(53)들은 프레임(51)과 결합된 부분의 반대측 부분이 자유단으로 이루어진다. 상기 회전축(53)들은 기판의 이송 방향과 대략 직각으로 배치되고, 모터와 같은 수단의 회전 구동원(55)에 의하여 동시에 다수개가 회전될 수 있는 구조를 가진다. 그리고 상기 제1 기판자세 변환부(41)는 상기 회전축(53)들에 다수의 롤러(57) 등이 결합되어 기판을 이동시킬 수 있는 구조를 가진다. 상기 제1 기판자세 변환부(41)가 상기 회전 구동원(55)에 의하여 구동되는 상기 롤러(57)로 이루어지는 구동부를 구비하는 것은, 통상적인 구조가 사용될 수 있다. 즉, 상기 회전축(53)들은 회전 구동원(55)에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가지는데, 이것은 체인 또는 기어 등에 의하여 구동원의 구동력이 회전축(53)에 전달될 수 있는 통상의 구조를 가지는 것이다.
그리고 상기 제1 기판자세 변환부(41)는 에어 실린더와 같은 경사변환 구동원(59) 또는 모터 등의 또 다른 구동원(액츄에이터)에 의하여 상기 베이스(1)에 힌지 결합된 부분을 중심으로 자유단이 회전될 수 있는 구조를 가진다. 상기 경사변환 구동원은 상기 베이스(1)에 결합될 수 있다.
이러한 구조에 의해 경사변환 구동원(59)이 작동하면 프레임(51)이 회전을 하게 되고 이러한 회전으로 프레임(51)에 설치된 회전축(53)이 경사상태 또는 수평상태로 될 수 있다.
상기 제2 기판자세 변환부(43)는 상기 제1 기판자세 변환부(41)와 동일한 형상으로 배치되는데 다만, 서로 반대방향의 경사를 이룰 수 있으며, 서로 간섭이 일어나지 않도록 수평으로 교차될 수 있는 구조를 가지는 것이다. 즉, 상기 제2 기판자세 변환부(43)는 베이스(1)에 힌지 결합될 수 있는 프레임(71)이 구비되고, 상기 프레임(71)에 일정한 간격으로 회전축(73)이 결합된다. 상기 회전축(73)들은 프레임(71)과 결합된 부분의 반대측 부분이 자유단으로 이루어진다. 상기 회전축(73)들은 기판의 이송 방향과 대략 직각으로 배치되고, 회전 구동원(75) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가진다. 그리고 상기 제2 기판자세 변환부(43)는 상기 회전축(73)들에 다수의 롤러(77) 등이 결합되어 기판을 이동시킬 수 있는 구조를 가진다. 상기 제2 기판자세 변환부(43)가 상기 구동원(75)에 의하여 구동되는 상기 롤러(77)로 이루어지는 구동부를 구비하는 것은, 상술한 제1 기판자세 변환부(41)에서의 설명과 마찬가지로 통상적인 구조가 사용될 수 있다. 즉, 상기 회전축(73)들은 회전 구동원(75) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가지는데, 이것은 체인 또는 기어 등에 의하여 구동원의 구동력이 회전축(73)에 전달될 수 있는 통상의 구조를 가지는 것이다.
그리고 상기 제2 기판자세 변환부(43)는 에어 실린더(도시생략, 기판 인출부의 구조와 동일) 또는 모터 등의 또 다른 구동원(액츄에이터)에 의하여 상기 베이스(1)에 힌지 결합된 부분을 중심으로 자유단이 회전될 수 있는 구조를 가진다. 상기 에어 실린더 또는 모터 등은 상기 베이스(1)에 결합될 수 있다.
다시 말하면, 상기 제1 기판자세 변환부(41) 및 상기 제2 기판자세 변환부(43)는 상기 베이스(1)의 수평을 기준으로 대략 60°정도의 각도로 회전될 수 있도록 대향 자세로 배치될 수 있음은 물론 서로 간섭을 일으키지 않으면서 수평 자세로 회전축(53)과 또 다른 회전축(73)이 교대로 배치되어 설치된다. 즉, 상기 제1 기판자세 변환부(41) 및 상기 제2 기판자세 변환부(43)가 평면을 이룰 수 있도록 상기 제1 기판자세 변환부의 회전축들(53) 사이사이에 상기 제2 기판자세 변환부의 회전축들(73)이 동일한 높이로 배치되는 구조를 가지는 것이다(도 5에 도시하고 있음). 이러한 제1 기판자세 변환부(41) 및 제2 기판자세 변환부(43)의 자세는 에어 실린더와 같은 경사변환 구동원(59, 도면에서 보이지 않는 기판 전달부의 에어 실린더는 부호 생략)의 작동에 의하여 변화될 수 있다. 이러한 구조는 제1 기판자세 변환부(41)와 제2 기판자세 변환부(43)의 힌지 부분이 이루는 거리를 최소화할 수 있는 상태에서 기판의 이송 방향을 바꿀 수 있어 기판 처리 장치의 전체 크기를 줄일 수 있도록 하는 것이다.
상기 제2 기판자세 변환부(43)에서 이송되는 기판을 또 다른 처리 과정을 통하여 처리하기 위한 제2 프로세싱 베스(13, 15)는 하나 이상이 모여 열을 이룰 수 있으며, 상술한 제1 프로세싱 베스(7, 9)와 동일하게 기판을 처리하기 위한 액분사노즐이 내부에 설치되고, 기판이 경사진 상태로 처리되도록 경사진 형태의 이송부가 내부에 설치된다. 즉, 상기 제1 프로세싱 베스(7, 9) 및 제2 프로세싱 베스(13, 15)는 기판이 경사진 상태로 이동되면서 기판의 처리가 이루어질 수 있도록 2열의 독립된 형태로 이루어질 수 있다. 상기 제2 프로세싱 베스(13, 15)는 기판이 경사진 형태로 처리됨과 아울러 이송될 수 있는 통상을 구조를 가지는 것이므로 상술한 제1 프로세싱 베스(7, 9)의 설명으로 대치한다.
상기 기판 배출부(5)는, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 상기 제2 프로세싱 베스(15)에서 처리되어 나오는 기판을 처리하기 위한 다른 장치 등으로 배출하기 위한 것으로, 프레임(91)들이 베이스(1)에 힌지결합되고, 상기 프레임(91)에 소정의 간격으로 회전축(95)들이 결합된다. 상기 회전축(95)들은 기판의 이송방향과 대략 직각으로 배치되고, 모터와 같은 회전 구동원(97) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가진다. 그리고 상기 기판 배출부(5)는 상기 회전축(95)들에 다수의 롤러(99) 등이 결합되어 기판을 이동시킬 수 있는 구조를 가진다. 상기 기판 배출부(5)가 상기 모터(97)에 의하여 구동되는 상기 롤러(99)로 이루어지는 구동부를 구비하는 것은, 통상적인 구조가 사용될 수 있다. 즉, 상기 회전축(95)들은 회전 구동원(97) 등의 구동원에 의하여 회전될 수 있는 구조를 가지는데, 이것은 체인 또는 기어 등에 의하여 구동원의 구동력이 회전축(95)에 전달될 수 있는 통상의 구조를 가지는 것이다. 상기 기판 배출부(5)는 상기 기판 공급부(3)의 자유단에 대향하는 자세로 일측(프레임 91부분)이 베이스(1)에 힌지 결합(H2, 도 2에 도시)되고, 일측은 자유단을 가지는 구조로 배치된다.
그리고 상기 기판 배출부(5)는 에어 실린더와 같은 경사변환 구동원(101) 등에 의하여 힌지 결합된 부분을 중심으로 자유단이 회전할 수 있는 구조를 가진다. 이 경사변환 구동원(101)의 작동축 끝단이 프레임(91)에 고정된 브라켓에 볼 조인트와 같은 구조로 연결된다. 상기 경사변환 구동원(10)으로 사용되는 에어 실린더 또는 모터 등은 상기 베이스(1)에 결합될 수 있다.
즉, 상기 기판 공급부(3) 및 기판 배출부(5)는 상기 베이스(1)에 대략 60°정도의 각도로 회전될 수 있도록 대향되는 자세로 배치되어 제1 프로세싱 베스(7,9) 및 제2 프로세싱 베스(13,15)와 대략 동일한 경사각도를 유지하므로서 기판의 전달이 가능하게 되고, 경사변환 구동원(31, 101)이 상기 기판 공급부(3) 및 상기 기판 배출부(5)의 자세를 경사상태에서 수평상태로, 또는 수평상태에서 경사상태로 변환시킬 수 있는 것이다. 이러한 구조는 기판 공급부(3) 및 기판 배출부(5)의 힌지 결합 부분 사이의 거리(H1에서 H2의 거리)를 최대로 짧게 구성하여 기판 처리 장치의 전체 크기를 줄일 수 있도록 하는 것이다.
이와 같이 이루어지는 본 발명의 기판 처리 과정을 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
경사변환 구동원(31)의 작동에 의하여 기판 공급부(3)가 수평 상태로 유지되도록 하고, 또 다른 경사변환 구동원(101)의 작동에 의하여 기판 배출부(5)가 대략 60°정도의 각도를 유지한 상태로 배치되도록 한다. 상기 경사변환 구동원(31)은 도시하지 않은 별도의 제어유닛에 의하여 제어될 수 있다. 이때 로봇(도시생략) 등에 의하여 기판이 상기 기판 공급부(3)의 수평면(상면)에 안착되고, 제어유닛은 경사뱐환 구동원(31)을 제어하여 기판 공급부(3)가 대략 60°정도 경사지도록 힌지점(H1, 도 2에 도시하고 있음)을 중심으로 회전되도록 한다. 그리고 회전 구동원(27)이 제어유닛에 의하여 구동되어 회전축(25)을 회전시키면 롤러(29)들이 회전되면서 기판(G1, 도 3에 도시하고 있음)이 경사진 상태(도 3에 도시하고 있음)로 제1 프로세싱 베스(7, 9) 내로 순차적으로 인입되어 기판의 처리가 이루어진다. 상기 프로세싱 베스(9)에서 처리된 기판은 기판 방향 전환부(11)의 제1 기판자세 변환부(41)로 전달된다. 상기 프로세싱 베스(9)에서 전달받는 기판은 제1 기판자세 변환부(41)가 경사진 상태로 전달받는다. 즉, 경사변환 구동원(59)의 구동에 의하여 제1 기판자세 변환부(41)가 경사진 상태로 있고, 이 상태에서 기판을 전달받게 된다. 그리고 상기 제2 기판자세 변환부(43)를 구동시키는 경사뱐환 구동원에 의하여 제2 기판자세 변환부(43)가 수평 상태로 유지된다. 그리고 제1 기판자세 변환부(41)를 회전시키는 경사변환 구동원(59)에 의하여 기판이 안착된 상기 제1 기판자세 변환부(41)가 수평 상태로 유지된다(도 5에 도시한 상태). 다시 설명하면, 상기 제1 기판자세 변환부(41)의 회전축들(53) 사이 사이에 상기 제2 기판자세 변환부(43)의 회전축들(73) 들이 위치하면서 기판방향 전환부(11)의 회전축들은 전체적으로 수평상태를 이루게 된다.
상기 제1 기판자세 변환부(41)에 전달된 기판은, 상기 제2 기판자세 변환부(43)를 일정한 각도로 회전시키는 경사변환 구동원의 구동에 의하여 일정한 경사각으로 회전된다(대략 60°정도). 그러면 기판은 경사진 상태로 상기 제2 기판자세 변환부(43)에 안착되고, 롤러 등의 구동부에 의하여 기판을 처리하기 위한 제2 프로세싱 베스(13)로 인입된다. 상기 기판(도 3에서 G2의 상태)은 상기 프로세싱 베스(13, 15)를 순차적으로 지나면서 기판 처리가 이루어지고, 또 회전구동원(27)이 작동하여 회전축(25)을 회전시키게 되므로 기판 전달이 가능하게 되고, 경사진 상태로 기판이 기판 배출부(5)로 전달된다. 상기 기판 배출부(5)는 경사변환 구동원(101)의 구동에 의하여 경사진 상태로 기판을 전달받아 힌지 결합부(H2, 도 2에 도시하고 있음)를 중심으로 회전하여 수평 상태를 유지하게 된다. 그러면 로봇 등에 의하여 기판은 옮겨져 다음 공정을 위한 장치로 이송되는 것이다. 즉, 본 발명의 기판 처리 흐름은, 도 4에 도시하고 있는 바와 같이, 기판 공급부(3), 제1 프로세싱 베스(7, 9), 제1 기판자세 변환부(41), 제2 기판자세 변환부(43), 제2 프로세싱 베스(13, 15), 그리고 기판 배출부(5)를 순차적으로 지나는 과정을 거치게 되는 것이다(점선 화살표 방향).
이러한 본 발명은 기판 공급부(3) 및 기판 배출부(5)가 동일한 지점에 위치하여 하나의 로봇 등으로 처리가 가능하여 설비 비용을 줄일 수 있음은 물론 경사진 상태로 연속적인 기판 처리 흐름을 가지게 되어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 평판 디스플레이 처리 장치가 차지하는 면적을 최소화시킬 수 있는 이점을 가진다.
이와 같이 본 발명은 기판이 경사진 형태로 처리됨과 아울러 기판 공급부 및 기판 배출부가 서로 교대되면서 기판의 공급 및 배출이 이루어지는 평판 디스플레 이 처리 장치를 제공하고, 하나의 로봇에 의하여 기판의 공급 및 배출이 이루어지도록 하여 기판 처리 장치의 설치 면적을 최소화할 수 있어 생산 설비 비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은 기판의 방향을 전환할 수 있는 기판 방향 전환부가 서로 교차되면서 기판의 이송 방향을 전환할 수 있어 기판 방향 전환부의 배치 면적을 최소화시킬 수 있어 평판 디스플레이 처리 장치의 크기를 더욱 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 베이스;
    상기 베이스에 일측이 힌지 결합되어 회동가능하게 배치된 프레임을 갖으며 이 프레임에 서로 동력전달이 가능하게 배치되어 동시에 회전하면서 경사상태로 자세가 변환될 수 있으며 모터의 구동력으로 회전하는 다수개의 회전축들을 갖는 기판공급부;
    상기 기판공급부의 회전축들로 회전력을 전달하는 회전 구동원 및 이 회전축들을 경사상태로 올리거나 내리는 힘을 가하는 경사변환 구동원;
    상기 베이스에 설치되며, 모터에 의해 회전하는 다수개의 회전축들을 통하여 경사진 상태로 기판을 이송하면서 기판을 처리하는 제1 프로세싱 베스;
    상기 제1 프로세싱 베스를 통하여 배출측으로 이송되는 기판을 경사진 상태로 전달받아서 수평상태로 기판의 자세를 변환시키며 기판의 이송을 위하여 모터에 의해 회전하는 다수개의 회전축들이 설치되어 있으며 상기 베이스에 힌지결합되며 다른 경사변환 구동원에 의해 회전하는 프레임을 갖는 제1 기판자세 변환부;
    상기 제1 기판자세 변환부에 의해 수평상태로 변환된 기판을 다시 상기 경사방향과 반대방향의 경사자세로 변환하기 위하여 상기 제1 기판자세 변환부의 회전축들 사이에 각각 배치되며 기판의 이송을 위하여 모터에 의해 회전하는 다수개의 회전축들이 설치되어 있으며 상기 베이스에 힌지결합되며 상기 베이스에 설치된 또 다른 경사변환 구동원에 의해 회전하는 프레임을 갖는 제2 기판자세 변환부;
    상기 제2 기판자세 변환부로부터 전달되는 기판의 처리를 위하여 상기 제1 프로세싱 베스와 마주하는 자세로 상기 베이스에 설치되며, 모터에 의해 회전하는 다수개의 회전축들이 경사진 상태로 설치되어 기판을 경사진 상태로 이송하면서 기판을 처리하는 제2 프로세싱 베스;
    그리고 상기 베이스에 설치된 경사변환 구동원에 의해 상기 제2 프로세싱 베스와 동일한 경사각도로 자세가 변하며 모터에 의해 회전하는 다수개의 회전축들 위로 상기 제2 프로세싱 베스로부터 나오는 기판을 전달받는 기판 배출부를 포함하는 평판 처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1 기판자세 변환부는 베이스에 힌지 결합되어 경사변환 구동원에 의해 회동하는 프레임, 이 프레임에 다수개가 배치되어 함께 회동하는 회전축들을 포함하는 평판 처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 기판자세 변환부는 베이스에 힌지 결합되어 경사변환 구동원에 의해 회동하는 프레임, 이 프레임에 다수개가 배치되어 있으며 일측이 자유단으로 설치되는 다수개의 회전축들을 포함하는 평판 처리장치.
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