KR20090001050A - 기판 반송 로봇 - Google Patents

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KR20090001050A
KR20090001050A KR1020070065120A KR20070065120A KR20090001050A KR 20090001050 A KR20090001050 A KR 20090001050A KR 1020070065120 A KR1020070065120 A KR 1020070065120A KR 20070065120 A KR20070065120 A KR 20070065120A KR 20090001050 A KR20090001050 A KR 20090001050A
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arm
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KR1020070065120A
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최용원
강경원
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 반송 로봇에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 로봇핸드의 동력 전달 장치를 변경하여 기판을 운송하는 로봇핸드의 구동방식을 개선한 기판 반송 로봇을 제공하기 위한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 반송 로봇은 기판을 반송하기 위해서 로봇핸드를 이용하는 기판반송장치에 있어서, 상기 로봇핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강축에 지지되는 암프레임;을 포함하고, 상기 로봇핸드는 상기 암프레임에 회전 가능하게 지지되는 제1로봇암;과 상기 제1로봇암의 단부에 회전 가능하게 지지되는 제2로봇암;과 상기 제1로봇암을 회전시킴에 따라 상기 로봇핸드를 회전시키는 제1구동장치;와 상기 제2로봇암을 회전시킴에 따라 상기 제1구동장치와 함께 상기 로봇핸드를 반경 방향으로 신축시키는 제2구동장치;와 상기 로봇핸드를 회전시킬 때 상기 제1구동장치를 동작시킴과 동시에 상기 제2구동장치를 정지시키고, 상기 로봇핸드를 반경 방향으로 신축시킬 때 상기 제1구동장치와 상기 제2구동장치를 함께 동작시키는 제어부;를 포함하여 구성되는 것이다.
이와 같은 구성을 통하여, 본 발명은 로봇핸드에 제1구동장치와 제2구동장치를 마련하여 회전운동과 반경 방향의 직선 운동을 하게 되므로 구동장치인 모터의 용량을 획기적으로 줄여 비용을 감소하는 효과가 있다.

Description

기판 반송 로봇{WAFER TRANSFER ROBOT}
도 1은 종래 기술에 따른 기판 반송 로봇을 나타낸 정면도.
도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 로봇을 나타낸 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 기판 반송 로봇을 나타낸 종단면도.
도 4는 본 발명에 따른 로봇핸드가 회전 운동하는 것을 나타낸 동작 상태도.
도 5는 본 발명에 따른 로봇핸드가 반경 방향으로 신축하는 것을 나타낸 동작 상태도.
도 6은 본 발명에 따른 로봇핸드의 제어부를 나타낸 동작 순서도.
*도면의 주요부분에 대한 부호 설명*
10: 암프레임 11: 승강축
12: 제1로봇암 13: 제2로봇암
14: 기판홀더부재 15: 로봇핸드
20: 제1구동장치 21: 제1구동모터
22: 제1지지축 30: 제2구동장치
31: 제2구동모터 32: 제2지지축
33: 제3지지축 B : 벨트(belt)
D : 감속기(deceleration) P : 풀리(pulley)
본 발명은 기판 반송 로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 운송하는 로봇핸드의 구동방식을 개선한 기판 반송 로봇에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자를 제조하기 위해서는 유리 기판 상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피(photolithography)공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수차례 반복하여야 하는데, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다.
통상 기판 반송 로봇은 반송 챔버에 마련되고, 반송 챔버 주위에는 다수의 공정 챔버가 마련된다. 이때 다수의 공정 챔버는 반송 챔버의 주위에서 일정한 간격을 유지한 상태로 배치되기 때문에 기판 반송 로봇은 하나의 공정 챔버에서 다른 공정 챔버로 기판을 반송하기 위해서 회전 운동이 가능하도록 마련된다. 또한 기판 반송 로봇은 하나의 챔버에 기판을 취출하거나 장입시키기 위해서 반경 방향으로 직선 운동이 가능하도록 마련된다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 반송 로봇을 나타낸 정면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판 반송 로봇은 하측에 수평으로 이동 가능하게 마련된 베이스(1)와, 베이스(1) 상부에서 회전 가능하게 설치되는 회전프레임(2) 과, 회전프레임(2)에서 상측으로 형성된 승강축(3)과, 승강축(3)에서 상하 운동이 가능하도록 마련된 암프레임(4)과, 암프레임(4)에서 굴신 가능하게 마련된 제1로봇암(5) 및 제2로봇암(6)과, 제2로봇암(6)의 단부에는 기판을 지지하는 기판홀더부재(7)를 구비한다. 제1로봇암(5)과 제2로봇암(6)과 기판홀더부재(7)를 포함하여 로봇핸드(8)가 이루어진다.
이때 기판 반송 로봇의 회전운동은 기판 반송 로봇의 하측에 마련된 회전프레임(2)이 담당하게 된다. 회전프레임(2) 내부에는 모터(미도시)와 감속기(미도시)기 구비되어 있다. 이를 통해 모터의 회전력이 감속기를 통하여 회전프레임(2)을 베이스(1) 상에서 회전하도록 하는 것이다.
그러나 대형 기판을 반송하는 기판 반송 로봇의 경우 기판홀더부재(7) 및 제1로봇암(5) 및 제2로봇암(6)의 크기 및 무게가 증가하게 되고, 제1로봇암(5) 및 제2로봇암(6)이 장착되는 암프레임(4)의 크기 및 무게가 증가하게 된다. 따라서 회전프레임(2)을 구동하기 위해서는 용량이 매우 큰 모터를 사용하게 되고, 이에 따라 감속기 및 제어기 용량이 증가하게 되어 비용이 상승하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 로봇핸드의 동력 전달 장치를 변경하여 기판을 운송하는 로봇핸드의 구동방식을 개선한 기판 반송 로봇을 제공하기 위함이다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명에 따른 기 판 반송 로봇은 기판을 반송하기 위해서 로봇핸드를 이용하는 기판반송장치에 있어서, 상기 로봇핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강축에 지지되는 암프레임;을 포함하고, 상기 로봇핸드는 상기 암프레임에 회전 가능하게 지지되는 제1로봇암;과 상기 제1로봇암의 단부에 회전 가능하게 지지되는 제2로봇암;과 상기 제1로봇암을 회전시킴에 따라 상기 로봇핸드를 회전시키는 제1구동장치;와 상기 제2로봇암을 회전시킴에 따라 상기 제1구동장치와 함께 상기 로봇핸드를 반경 방향으로 신축시키는 제2구동장치;와 상기 로봇핸드를 회전시킬 때 상기 제1구동장치를 동작시킴과 동시에 상기 제2구동장치를 정지시키고, 상기 로봇핸드를 반경 방향으로 신축시킬 때 상기 제1구동장치와 상기 제2구동장치를 함께 동작시키는 제어부;를 포함한다.
또한, 상기 제1구동장치와 상기 제2구동장치가 함께 동작할 때 상기 제1로봇암과 상기 제2로봇암은 서로 반대 방향으로 회전하고, 상기 제2로봇암의 회전속도는 상기 제1로봇암의 회전속도에 2배가 된다.
또한, 상기 제2로봇암에 회전 가능하게 지지되는 기판홀더부재;를 포함하고,
상기 제2로봇암과 상기 기판홀더부재는 서로 반대 방향으로 회전하고, 상기 제2로봇암의 회전속도는 상기 기판홀더부재의 회전속도에 2배가 된다.
또한, 상기 제1구동장치는 제1구동모터;와, 상기 제1구동모터의 출력을 상기 제1로봇암에 전달하는 제1전달장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1전달장치는 상기 암프레임과 상기 제1로봇암을 연결하는 제1지지축과, 상기 제1구동모터의 출력을 상기 제1지지축에 전달하는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2구동장치는 제2구동모터;와, 상기 제2구동모터의 출력을 상기 제2로봇암 및 상기 기판홀더부재에 전달하는 제2전달장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2전달장치는 상기 제1로봇암과 상기 제2로봇암을 연결하는 제2지지축과, 상기 제2로봇암과 상기 기판홀더부재를 연결하는 제3지지축과, 상기 구동모터의 출력을 상기 제2지지축 및 상기 제3지지축에 전달하는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 로봇핸드는 상기 암프레임에 한 쌍으로 마련되고, 상하 대칭되게 마련되는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 기판 반송 로봇의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 로봇을 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 반송 로봇을 나타낸 종단면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 반송 로봇은 상하 이동이 가능하게 마련된 암프레임(10)과, 이 암프레임(10)에 회전 가능하게 지지되고 굴신 가능한 로봇핸드(15)로 이루어진다. 이때 로봇핸드(15)는 한 쌍으로 마련되며, 상하로 대칭되게 배치된다. 로봇핸드(15)는 암프레임(10)에 회전 가능하게 지지되고 제1로봇암(12)과, 제1로봇암(12)의 단부에는 제2로봇암(13)이 제1로봇암(12)에 대해서 회전 가능하게 지지되고, 제2로봇암(13)의 단부에는 기판을 올려 놓을 수 있는 기판홀더부재(14)가 제2로봇암(13)에 대해서 회전 가능하게 지지된다.
이하에서는 본 발명에 따른 로봇핸드(15)는 한 쌍으로 서로 대칭되게 마련되므로 상대적으로 하측에 마련된 로봇핸드(15)를 가지고 설명한다.
암프레임(10)과 제1로봇암(12)에는 제1구동장치(20)가 마련되고, 제1로봇암(12), 제2로봇암(13) 및 기판홀더부재(14)에는 제2구동장치(30)가 마련된다. 제1구동장치(20)는 제1로봇암(12)이 암프레임(10)에 대해서 회전하도록 설치되고, 제2구동장치(30)는 제1구동장치(20)가 동작할 때 제2로봇암(13)이 제1로봇암(12)에 대해서 회전하도록 설치되고 기판홀더부재(14)가 제2로봇암(13)에 대해서 회전하도록 설치된다.
이때 제1구동장치(20)는 독립적으로 구동이 가능하지만 제2구동장치(30)는 제1구동장치(20)와 함께 동작하여야 한다. 즉 로봇핸드(15)를 회전시키기 위해서 제1로봇암(12)을 회전시키는 제1구동장치(20)를 동작시킬 때 제2구동장치(30)는 정지상태로 있어야 하고, 로봇핸드(15)를 반경 방향으로 신축시키기 위해서는 제1구동장치(20)를 이용하여 제1로봇암(12)을 회전시킴과 동시에 제2구동장치(30)를 동작시켜 제2로봇암(13) 및 기판홀더부재(14)를 회전시켜야 한다. 이처럼 제1구동장치(20)만 구동시키는지 여부 및 제1구동장치(20)와 제2구동장치(30)를 함께 구동시키는지 여부는 제어부가 조정하도록 마련된다.
암프레임(10)은 승강축(11)에서 상하 방향으로 이동 가능하게 마련된다. 승강축(11) 내에는 랙 앤 피니언 기어(rack and pinion gear) 또는 볼 스크류(ball screw) 등의 구동장치가 마련된다. 이 구동장치에 의해서 암프레임(10)은 승강축(11)에서 일단 또는 다단으로 상승 또는 하강할 수 있게 마련된다. 따라서 로봇 핸드(15)를 상하 방향으로 이동시킴으로써 기판을 상하로 이동시킬 수 있게 되어 기판을 원하는 위치에 이송시킬 수 있는 것이다.
이때 도 1에 도시된 바와 같이, 승강축(3)이 설치되는 위치를 살펴보면, 종래의 승강축(3)은 회전프레임(2) 단부에 설치된다. 이와 같은 구조에서는 로봇핸드(8)를 회전시키기 위해서 회전프레임(2)을 회전시킬 때 승강축(3)도 함께 회전하게 된다. 승강축(3)은 로봇핸드(8)의 지지보 역할을 하게 되는데, 이러한 지지보가 움직이게 되면 오차가 발생하여 기판을 정확하게 이송하지 못하는 문제점이 발생하게 된다.
또한, 승강축(3)과 회전프레임(2)은 기구적 조인트 결합을 갖게 된다. 이러한 기구적 조인트 결합은 기판 반송 로봇의 전체 강성을 떨어뜨리는 문제점이 있다.
이에 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 승강축(11)이 바닥면에 고정되어 있어서, 승강축(11)이 회전 운동하지 않게 됨과 동시에 기구적인 강성이 우수하게 된다. 따라서 로봇핸드(15)는 기판을 더욱 정밀하게 이송시킬 수 있는 것이다. 이처럼 승강축(11)을 바닥에 고정시킴에도 불구하고 로봇핸드(15)를 회전시키기 위해서는 로봇핸드(15)의 구동방식을 개선하여야 한다. 아래에서는 본 발명에 따른 로봇핸드(15)의 구동방식에 대해서 설명한다.
상기에서 언급한 바와 같이, 로봇핸드(15)에는 제1구동장치(20)와 제2구동장치(30)가 설치된다. 먼저 제1구동장치(20)는 암프레임(10)에 내장된 제1구동모터(21)와, 제1구동모터(21)의 출력을 제1로봇암(12)에 전달하는 제1전달장치로 이 루어진다. 제1전달장치는 제1지지축(22)과 풀리(P)와 벨트(B)를 포함한다. 암프레임(10)과 제1로봇암(12)은 제1지지축(22)에 의해서 연결되고, 제1지지축(22)의 하부에는 풀리(P)가 형성되어 있다. 이때 제1구동모터(21)와 풀리(P)를 벨트(B)로 연결하게 되면, 제1구동모터(21)의 회전력에 의해서 제1로봇암(12)이 정 회전 또는 역 회전을 하게 되는 것이다. 다만 제1로봇암(12)이 적절한 속도로 회전할 수 있도록 제1구동모터(21)의 회전력은 감속기(D)를 통하여 제1로봇암(12)에 전달되도록 한다.
다음으로 제2구동장치(30)는 제1로봇암(12)에 내장된 제2구동모터(31)와, 제2구동모터(31)의 출력을 제2로봇암(13)과 기판홀더부재(14)에 차례로 전달하는 제2전달장치로 이루어진다. 제2전달장치는 제2지지축(32)과 제3지지축(33)과 풀리(P)와 벨트(B)를 포함한다. 제1로봇암(12)과 제2로봇암(13)은 제2지지축(32)에 의해서 연결되고, 제2로봇암(13)과 기판홀더부재(14)는 제3지지축(33)에 의해서 연결된다. 제2지지축(32)의 상부 및 하부에는 풀리(P)가 형성되고, 제3지지축(33)의 하부에도 풀리(P)가 형성된다. 이때 제2구동모터(31)와 제2지지축(32)의 하부 풀리(P)를 벨트(B)로 연결하고, 제2지지축(32)의 상부 풀리(P)와 제3지지축(33)의 하부 풀리(P)를 벨트(B)로 연결하게 되면, 제2구동모터(31)의 회전력에 의해서 제2로봇암(13)과 기판홀더부재(14)는 서로 반대 방향으로 회전하게 되는 것이다. 다만 제2로봇암(13) 및 기판홀더부재(14)도 적절한 속도로 회전할 수 있도록 제2구동모터(31)의 회전력은 감속기를 통하여 제2로봇암(13) 및 기판홀더부재(14)에 전달되도록 한다.
이때 제1로봇암(12)의 회전속도와 제2로봇암(13)의 회전속도의 비는 1:2가 되도록 하여야 하고, 제2로봇암(13)의 회전속도와 기판홀더부재(14)의 회전속도의 비는 2:1이 되도록 하여야 한다. 예를 들면 제1구동모터(21)와 제2구동모터(31)가 같은 출력을 갖고 있을 경우, 제1지지축(22)의 풀리(P)와 제2지지축(32)의 풀리(P)의 크기 비를 2:1로 하고, 제2지지축(32)의 풀리(P)와 제3지지축(33)의 풀리(P)의 크기 비를 1:2로 하면 제1로봇암(12) 및 제2로봇암(13) 및 기판홀더부재(14)의 회전 속도 비 1:2:1로 조정할 수 있다. 뿐만 아니라 감속기(D)를 조정하여 회전속도 비를 조정할 수도 있다는 것은 당업자에게 자명한 사항으로 상세히 기재하는 것은 생략한다.
이하에서 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 동작원리를 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 로봇핸드가 회전 운동하는 것을 나타낸 동작 상태도이다.
도 5는 본 발명에 따른 로봇핸드가 반경 방향으로 신축하는 것을 나타낸 동작 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 로봇핸드의 제어부를 나타낸 동작 순서도이다.
도 4 및 6에 도시된 바와 같이, 로봇핸드(15)를 회전시키도록 신호를 인가받으면, 제어부는 제1구동장치(20)를 동작시키고, 제2구동장치(30)는 정지(즉, 브레이크가 작동하고 있는 상태)시킨다. 따라서 제1구동모터(21)와 제1전달장치에 의해 제1로봇암(12)이 회전하고, 제2구동모터(31)와 제2전달장치는 정지 상태에 있으므로 제2로봇암(13)은 제1로봇암(12)과 일정한 각도를 유지하고, 기판홀더부재(14)는 제2로봇암(13)과 일정한 각도를 유지하게 된다.
이처럼 본 발명에 다른 기판반송로봇의 경우 로봇핸드(15)를 회전 시키기 위한 모터의 용량은 제1구동모터(21)가 제1로봇암(12)을 회전시키기 위한 용량 만큼만 필요하게 된다. 이에 도 1에 도시된 바와 같이, 종래 로봇핸드(8)와 암프레임(4)과 승강축(3)을 지지하던 회전프레임(2)을 회전시키기 위해 필요하던 모터의 용량을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 로봇핸드(15)가 반경 방향으로 직선 운동하도록 신호를 인가 받으면, 제어부는 제1구동장치(20)와 제2구동장치(30)를 함께 동작시킨다. 따라서 제1구동모터(21)와 제1전달장치에 의해서 제1로봇암(12)이 반시계 방향으로 45ㅀ회전하게 되면, 제2구동모터(31)와 제2전달장치에 의해서 제2로봇암(13)은 시계방향으로 90ㅀ 회전하게 되고, 기판홀더부재(14)는 반시계 방향으로 45ㅀ 회전하게 된다. 왜냐하면 제1로봇암(12)과 제2로봇암(13)의 회전 속도 비는 1:2이고, 제2로봇암(13)과 기판홀더부재(14)의 회전 속도 비가 2:1이기 때문이다. 이로써 로봇핸드(15)를 반경 방향으로 신축시킴으로써 기판을 직선 방향으로 이송시킬 수 있는 것이다.
위에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 로봇핸드(15)는 암프레임(10)에 한 쌍으로 마련된다. 한 쌍의 로봇핸드(15)는 각각 제1로봇암(12)과 제2로봇암(13)과 기판홀더부재(14)를 포함하고 있고, 이들을 구동시키는 제1구동장치(20)와 제2구동장치(30)와 제어부가 각각 마련된다. 따라서 한 쌍의 로봇핸드(15)는 각각 서로 간섭되지 아니하고 독립적으로 회전 운동이 가능하고, 반경 방향으로의 신축 운동이 가능하게 된다.
상기와 같은 구성을 통하여, 기판반송로봇은 로봇핸드에 제1구동장치와 제2구동장치를 마련하여 회전운동과 반경 방향의 직선 운동을 하게 되므로 구동장치인 모터의 용량을 획기적으로 줄여 비용을 감소하는 효과가 있다.
또한, 기판반송로봇 전체를 회전시킬 필요가 없어서 회전 관성이 감소함에 따라 회전기구를 구성하는데 필요한 감속기 및 구동장치의 용량이 감소함과 동시에 제어부의 용량이 감소하게 되어 각 구성품의 단가가 저렴해지므로 기판반송로봇의 가격을 낮출 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판반송로봇의 승강축을 바닥에 고정시킴으로써 회전프레임에 장착되는 기구적 조인트 결합이 필요없게 되어 기판반송로봇 전체의 강성을 향상시킨다. 따라서 기판 반송의 정확도 및 정밀도가 크게 향상되는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 기판을 반송하기 위해서 로봇핸드를 이용하는 기판반송장치에 있어서,
    상기 로봇핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강축에 지지되는 암프레임;을 포함하고,
    상기 로봇핸드는 상기 암프레임에 회전 가능하게 지지되는 제1로봇암;과
    상기 제1로봇암의 단부에 회전 가능하게 지지되는 제2로봇암;과
    상기 제1로봇암을 회전시킴에 따라 상기 로봇핸드를 회전시키는 제1구동장치;와
    상기 제2로봇암을 회전시킴에 따라 상기 제1구동장치와 함께 상기 로봇핸드를 반경 방향으로 신축시키는 제2구동장치;와
    상기 로봇핸드를 회전시킬 때 상기 제1구동장치를 동작시킴과 동시에 상기 제2구동장치를 정지시키고, 상기 로봇핸드를 반경 방향으로 신축시킬 때 상기 제1구동장치와 상기 제2구동장치를 함께 동작시키는 제어부;를
    포함하는 기판반송로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1구동장치와 상기 제2구동장치가 함께 동작할 때 상기 제1로봇암과 상기 제2로봇암은 서로 반대 방향으로 회전하고, 상기 제2로봇암의 회전속도는 상기 제1로봇암의 회전속도에 2배가 되는 기판반송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2로봇암에 회전 가능하게 지지되는 기판홀더부재;를 포함하고,
    상기 제2로봇암과 상기 기판홀더부재는 서로 반대 방향으로 회전하고, 상기 제2로봇암의 회전속도는 상기 기판홀더부재의 회전속도에 2배가 되는 기판반송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1구동장치는 제1구동모터;와, 상기 제1구동모터의 출력을 상기 제1로봇암에 전달하는 제1전달장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1전달장치는 상기 암프레임과 상기 제1로봇암을 연결하는 제1지지축과, 상기 제1구동모터의 출력을 상기 제1지지축에 전달하는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2구동장치는 제2구동모터;와, 상기 제2구동모터의 출력을 상기 제2로봇암 및 상기 기판홀더부재에 전달하는 제2전달장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2전달장치는 상기 제1로봇암과 상기 제2로봇암을 연결하는 제2지지축과, 상기 제2로봇암과 상기 기판홀더부재를 연결하는 제3지지축과, 상기 구동모터의 출력을 상기 제2지지축 및 상기 제3지지축에 전달하는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 로봇핸드는 상기 암프레임에 한 쌍으로 마련되고, 상하 대칭되게 마련되는 것을 특징으로 하는 기판반송로봇.
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