JP4490148B2

JP4490148B2 - 基板の搬送装置

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Publication number: JP4490148B2
Application number: JP2004086791A
Authority: JP
Inventors: 克彦片島
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2004-03-24
Filing date: 2004-03-24
Publication date: 2010-06-23
Anticipated expiration: 2024-03-24
Also published as: JP2005272061A

Description

この発明は液晶表示装置に用いられる基板を搬送するための搬送装置に関する。

たとえば液晶表示装置の製造工程においては、ガラス製の基板をエッチング処理したり、エッチング処理後にマスクとして使用されたレジストの剥離処理を行なうなどの工程がある。このような基板の処理工程では、基板を一枚づつ搬送しながら処理する枚葉方式が採用されることがある。

枚葉方式によって基板を処理する場合、基板を搬送しながらその上下面或いは上面にシャワ−ノズルから処理液を噴射して処理する処理装置が知られている。この処理装置はチャンバを有し、このチャンバ内には前記基板を所定方向に沿って搬送するための搬送装置が設けられている。また、複数の処理装置を用いて基板を順次処理する場合、隣り合う処理装置間にも、上流の処理装置から下流の処理装置に基板を搬送するための搬送装置が用いられている。

前記搬送装置は、基板の搬送方向に沿って複数の搬送軸が所定間隔で回転可能に設けられている。この搬送軸には複数の搬送ロ−ラが軸方向に所定間隔で設けられている。そして、前記搬送軸を回転駆動することで、前記基板を搬送ローラによって搬送するようになっている。

処理装置に用いられる搬送装置は、基板の下面を単に複数の搬送ローラで支持しただけでは、この基板に処理液を噴射したとき、基板が処理液から受ける圧力によって変形し、その変形で基板の幅方向両端部がばたついて損傷したり、搬送ローラによって形成された搬送路から外れてしまうなどのことがある。また、基板をブラシで洗浄する場合、基板がブラシから受ける摩擦力によって変形するため、そのときに端部がばたつくということもある。

そこで、基板を搬送する際、この基板の下面を搬送軸に設けられた搬送ローラによって支持するだけでなく、基板の端部下面を端部支持ローラで支持し、この端部支持ローラによって支持された基板の端部上面に押えローラを前記端部支持ローラに対して所定の間隔で対向して配置する。それによって、基板の幅方向両端部が一対の端部ローラによって保持されるから、基板に処理液を噴射したり、ブラシが接触したときに、その端部がばたつくのを防止するようにしている。

ところで、基板には種々のサイズのものがある。そのため、搬送装置に供給される基板のサイズが変更になった場合、そのサイズ変更に応じて搬送軸と押え軸との軸方向両端部にそれぞれ設けられた端部支持ローラと端部押えローラとを、基板の幅寸法に応じて軸方向に沿って移動させ、位置決めすることになる。端部支持ローラは、基板の端部を段差部で支持することで、搬送される基板が幅方向に蛇行するのを阻止する機能も備えている。

基板の幅寸法の変化に対応することができる搬送装置として、本件出願人は特許文献１に示す構成の搬送装置を提案している。この特許文献１に示された搬送装置は、フラットローラからなる支持ローラを有し、この支持ローラの上方には押え軸が軸線を平行にして回転可能に支持されている。

前記押え軸には押えローラが軸方向に沿って移動可能に設けられている。押えローラは、シリンダによって駆動される取付軸の先端に設けられた係合体に連動して前記押え軸の軸線方向に沿って移動するようになっている。
特開平１０−２７５８４５号公報

特許文献１に示されているように、基板を支持する支持ローラとしてフラットローラを用いると、このフラットローラと基板の幅方向端部との接触長さが長くなる。そのため、基板の幅寸法の変更に応じて押えローラを軸方向に移動させても、この押えローラとフラットローラとによって基板の幅方向の端部を確実に保持することが可能となる。

しかしながら、支持ローラにフラットローラを用いると、基板との接触長さが長いことで、基板の裏面が汚れ易いということがあり、好ましくない。しかも、押えローラだけを支持ローラの軸線方向に沿って移動させると、この押えローラと支持ローラとの間隔が変化し易いため、基板の両端部を確実に保持することができなくなるということがある。

そこで、上述したように、基板の幅方向の両端部を、端部支持ローラと端部押えローラとで挟持し、基板との接触長さをできるだけ短くするということが行なわれている。このような構成の場合、基板の幅寸法の変化に応じて端部押えローラだけでなく、端部支持ローラも基板の幅方向に沿って移動させなければならない。

しかしながら、端部押えローラだけでなく、端部支持ローラも基板の幅方向に沿って移動させることができるようにした構成の搬送装置は開発されていなかった。仮に、端部押えローラと端部支持ローラとを、単に基板の幅方向に移動させることができるように設けただけでは、基板の幅寸法の変化に応じて端部支持ローラと端部押えローラとを位置決め調整するのに手間がかかるばかりか、その調整を精密に行なうことも難しいことになる。

この発明は、基板の幅方向の端部を端部支持ローラと端部押えローラとで保持する構成において、基板の幅寸法の変化に応じてこれら一対の端部支持ローラと端部押えローラとを位置ずれが生じることなく精密に、しかも容易に位置決めすることができるようにした基板の搬送装置を提供することにある。

この発明は、基板を所定方向に搬送する搬送装置であって、
内部が前記基板を搬送する搬送室に形成され幅方向両端の外面に機械室が形成されたチャンバと、
軸方向の両端部が前記機械室で回転可能に支持され前記基板の搬送方向に対して軸線を交差させて所定間隔で配置された複数の搬送軸と、
この搬送軸に設けられ前記基板の幅方向両端部を除く部分の下面を支持する複数の搬送ローラと、
前記搬送軸の軸方向両端部に軸線方向に沿って移動可能に設けられ前記基板の幅方向両端部下面を支持する端部支持ローラと、
軸方向の両端部が前記機械室で回転可能に支持され前記搬送軸の上方に軸線を平行にして配置された押え軸と、
この押え軸の軸方向両端部に軸方向に沿って移動可能に設けられ前記端部支持ローラとで前記基板の幅方向両端部を保持する端部押えローラと、
前記基板の幅寸法に応じて前記端部支持ローラと前記端部押えローラとを一体的に前記搬送軸と押え軸との軸方向に駆動する駆動機構を具備し、
前記駆動機構は、
前記機械室に設けられ前記搬送軸と押え軸との前記端部支持ローラ及び端部押えローラよりも軸方向外方に位置する部分を回転可能に支持するとともに軸方向に沿って移動可能に設けられた駆動部材と、
この駆動部材と前記端部支持ローラとを連結し前記搬送軸に軸方向に移動可能かつ一体的に回転するよう設けられた下部連結部材と、
前記駆動部材と前記端部押えローラとを連結し前記押え軸に軸方向に移動可能かつ一体的に回転するよう設けられた上部連結部材と、
前記チャンバの外部に設けられ前記駆動部材を前記搬送軸と前記押え軸との軸方向に沿って駆動することで、前記下部連結部材および上部連結部材を介して前記端部支持ローラ及び端部押えローラを一体的に前記軸方向に移動させる駆動源と
によって構成されていることを特徴とする基板の搬送装置にある。

前記駆動部材は前記搬送軸の軸方向に沿って移動可能に設けられた可動体に取り付けられていて、
前記駆動源はモータであって、このモータによって前記可動体が前記搬送軸の軸方向に沿って駆動される構成であることが好ましい。

前記搬送軸と押え軸の軸方向一端部と他端部とに移動可能に設けられた端部支持ローラと端部押えローラは、同期駆動される別々の駆動機構によって位置決めされることが好ましい。

この発明によれば、基板の幅寸法に応じて端部支持ローラと端部押えローラとを一体的に搬送軸と押え軸との軸方向に駆動できるから、予め位置決めされた端部支持ローラと端部押えローラとに位置ずれが生じるのを防止できるばかりか、基板の端部を挟持するための端部支持ローラと端部押えローラとの隙間も一定に保つことができる。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１は基板を処理液によって処理するための処理装置の縦断面図、図２には同じく横断面図、図３は同じく側断面図である。処理装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１内には図１に鎖線で示す基板Ｗを所定方向に搬送するための搬送装置２が設けられている。この搬送装置２は図２に示すように基板Ｗの搬送方向Ｘに対して軸線をほぼ直交させた複数の搬送軸、この実施の形態では８本の搬送軸３が前記搬送方向に沿って所定間隔で配置されている。

なお、チャンバ１には、基板Ｗの搬送方向Ｘの一端に搬入口１ａが形成され、他端に搬出口１ｂが形成されている。詳細は図示しないが、搬入口１ａと搬出口１ｂはシャッタによって開閉されるようになっている。

前記チャンバ１内の幅方向両端部には、幅方向と交差する搬送方向Ｘに沿って帯板状の取り付け部材４が配置されている。取り付け部材４には前記複数の搬送軸３の端部と対応する位置に軸受５が設けられ、これら軸受５に前記搬送軸３の両端が回転可能に支持されている。

各搬送軸３の一端部は軸受５から突出し、その突出端下方には図２に示すように複数の軸受６ａによって回転可能に支持された動力伝達軸６が基板Ｗの搬送方向Ｘに沿って配置されている。各搬送軸３の突出端には第１の傘歯車７が設けられている。前記動力伝達軸６には、それぞれの第１の傘歯車７に噛合する第２の傘歯車８が設けられている。

前記動力伝達軸６の中途部には従動スプロケット１１が設けられている。従動スプロケット１１が設けられた位置と対応するチャンバ１の外部にはモータと減速機とが一体化された搬送用駆動源１２が設けられている。この搬送用駆動源１２の出力軸１３には駆動スプロケット１４が設けられている。この駆動スプロケット１４と前記従動スプロケット１１にはチェーン１５が張設されている。それによって、前記搬送用駆動源１２が作動すれば、チェーン１５及び第１、第２の傘歯車７，８を介して各搬送軸３が所定方向に回転駆動される。

図１に示すように、前記チャンバ１の幅方向両端側外面には、それぞれ機械室１８が形成されている。なお、チャンバ１内は基板を搬送する搬送室１９になっている。機械室１８には前記搬送軸３の両端部が位置している。それによって、搬送軸３を支持した軸受５や噛合した傘歯車７，８が発塵しても、その塵埃がチャンバ１の基板Ｗを搬送する搬送室１９に拡散するのを抑制できるようになっている。

なお、前記搬送軸３の両端部が搬送室１９から機械室１８に貫通する部分は、フォーク状の仕切り板２０によって塞がれている。

前記搬送軸３の軸方向中途部には複数、この実施の形態では３つの搬送ローラ２１が所定間隔で設けられ、軸方向両端部にはそれぞれ端部支持ローラ２２が軸方向に移動可能に設けられている。図４と図５に拡大して示すように、端部支持ローラ２２の外周面には段差部２３が形成され、この段差部２３に基板Ｗの幅方向の端部下面が支持される。それによって、基板Ｗは前記段差部２３によって蛇行することなくＸ方向に沿って搬送されるようになっている。

前記搬送軸３の前記端部支持ローラ２２よりも軸方向外方にはパイプ材からなる下部連結部材２４が軸方向に移動可能に外嵌保持されている。この下部連結部材２４の一端は前記端部支持ローラ２２の外面に端部材２５を介して連結固定されている。

図１に示すように前記搬送軸３の上方には、軸線を搬送軸３と平行にして押え軸２６が配置されている。押え軸２６は全ての搬送軸３に対向して設けてもよいが、この実施の形態では図３に示すように８本の搬送軸３のうちの２本に対向して設けられている。

搬送軸３と、この搬送軸３の上方に平行に設けられた押え軸２６との端部には、図１に示すように互いに噛合する平歯車３０ａ，３０ｂが設けられている。それによって、搬送軸３が回転すると、その回転が押え軸２６に伝達されるようになっている。なお、図２では全ての搬送軸３に平歯車３０ａが設けられており、押え軸２６の本数を適宜、増加させることができるようになっている。

前記押え軸２６の両端は前記取り付け部材４に設けられた軸受２７によって回転可能に支持されている。押え軸２６の両端部には端部押えローラ２８が前記端部支持ロ−ラ２２と対向し、かつ軸方向に移動可能に設けられている。

図５に示すように端部押えローラ２８の外周面には、前記端部支持ローラ２２の段差部２３に所定の間隔Ｇで対向する突条部２９が形成されている。この突条部２９はＯリングによって形成されている。そして、基板Ｗの幅方向両端部は前記間隔Ｇに入り込んで搬送される。それによって、基板Ｗの幅方向両端部は前記端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とによってばたつくことなく保持されて搬送される。前記間隔Ｇは基板Ｗの厚さとほぼ同じ或いはわずかに大きく設定されている。

前記押え軸２６の前記端部押えローラ２８よりも軸方向外方の端部には筒状の上部連結部材３１が軸方向に移動可能に外嵌されている。この上部連結部材３１の一端には前記端部押えローラ２８の外面に端部材３２を介して連結されている。

図４に示すように、搬送軸３と押え軸２６との下部連結部材２４と上部連結部材３１とが外嵌された部分には、それぞれ軸方向に沿う長孔３ａ，２６ａが径方向に貫通して形成されている。各長孔３ａ，２６ａにはそれぞれ下部連結部材２４と上部連結部材３１に取り付けられた連動ピン２４ａ，３１ａが設けられている。それによって、前記端部支持ローラ２２と押えローラ２８とは、搬送軸３と押え軸２６との回転に前記下部連結部材２４と上部連結部材３１及び連動ピン２４ａ，３１ａを介して連動するようになっている。

また、前記端部支持ローラ２２と押えローラ２８とは、連動ピン２４ａ，３１ａが長孔３ａ，２６ａに沿って移動可能な範囲で、搬送軸３と押え軸２６との軸方向に沿って移動可能となっている。

前記下部連結部材２４と上部連結部材３１の他端にはそれぞれ一端と同様の端部材２５，３２が設けられている。前記搬送軸３と押え軸２６との前記各連結部材２４，３１の他端と、前記軸受５，２７との間の部分には板状の駆動部材３５がチャンバ１の長手方向に沿って設けられている。この駆動部材３５には、図４に示すように搬送軸３と押え軸２６とをそれぞれ回転可能に支持した一対の軸受３３が設けられている。

各軸受３３は前記搬送軸３と押え軸２６とに軸方向に沿ってスライド可能に設けられたカラー３４を介して設けられている。つまり、駆動部材３５には、前記軸受３３が搬送軸３の配置間隔に対応する間隔で設けられ、押え軸３と対応する箇所には図４に示すように上下方向に２つの軸受３３が設けられている。

なお、図３に示すように、駆動部材３５には押え軸２６が設けられる幅方向の中途部だけに凸状部３５ａを設けているが、駆動部材３５の高さ寸法を幅方向全長にわたって高くし，全ての搬送軸３に対向して押え軸２６が設けられるようにしてもよい。

前記駆動部材３５に設けられた軸受３３のインナケースは、上下連結部材２４，３１の他端に設けられた端部材３２に前記カラー３４を介して連結されている。それによって、駆動部材３５が後述する如く搬送軸３の軸方向に駆動されれば、その動きに下部連結部材２４と上部連結部材３１を介して端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とが連動する。また、搬送軸３と押え軸２６とが回転すれば、この回転に下部連結部材２４と上部連結部材３１とが連動するようになっている。

搬送軸３と押え軸２６との軸方向一端部と他端部とに位置する各駆動部材３５の下端の長手方向両端部には軸線を水平にした一対の連結軸３６の一端が連結固定されている。この連結軸３６の他端は可動体としてのベース３７に取り付け部材３８を介して連結固定されている。一対のベース３７は図１に示すようにチャンバ１の幅方向両側外方に形成された機械室１８の下方に配置され、前記連結軸３６は機械室１８の側壁をＯリング３６ａを介して気密かつ進退可能に貫通している。

図３に示すように、前記ベース３７は前記チャンバ１の幅方向、つまり基板Ｗの搬送方向と交差する方向に沿って設けられたリニアガイド３９によって移動可能に支持されている。前記ベース３７の下面には、このベース３７の移動方向に沿ってラック４１が設けられている。このラック４１には平歯車４４が噛合している。この平歯車４４は、モータと減速機とが一体化された位置決め駆動源４２の出力軸４３に嵌着されている。

前記位置決め駆動源４２が作動して平歯車４４によりラック４１とともにベース３７がチャンバ１の幅方向に沿って駆動されれば、このベース３７に連動する駆動部材３５とともに下部連結部材２４と上部連結部材３１とが搬送軸３と押え軸２６との軸方向に沿って移動する。

それによって、各連結部材２４，３１の一端に連結された端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とが搬送軸３と押え軸２６との軸方向に沿って一体的に移動することになる。端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とは、図１に実線で示す最大間隔Ｌ_１の位置と、鎖線で示す最小間隔Ｌ_２の位置との間で位置決めすることができる。

端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とが搬送軸３と押え軸２６との軸方向に沿って一体的に移動するため、これらローラ２２，２８の相対的な位置関係は、搬送軸３と押え軸２６との軸方向の位置を変えても、変化することがない。すなわち、端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とを位置決めすれば、これらローラ２２，２８を移動させても、相対的な位置関係は変わることなく、一定に維持される。

前記下部連結部材２４、上部連結部材３１、駆動部材３５及び位置決め駆動源４２によって端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とを搬送軸３と押え軸２６とに沿って駆動する左右一対の駆動機構５０を構成している。

左右一対の位置決め駆動源４２は制御装置４５によって駆動制御される。制御装置４５は左右一対のベース３７を同期させて駆動する。それによって、チャンバ１の幅方向の中心線に対して左右の端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とを対称に位置決めできるようになっている。
なお、図示しないが、チャンバ１内には、搬送される基板Ｗの上面に処理液を噴射するための複数のノズル体が基板Ｗの幅方向に沿って所定間隔で配置されている。

つぎに、前記構成の搬送装置２によって基板Ｗを搬送する場合について説明する。
図１にＬ_１で示す幅寸法よりもわずかに大きな幅寸法の基板Ｗを搬送する場合、端部支持ローラ２２は図１に実線で示す位置に位置決めされている。それによって、チャンバ１の搬入口１ａから送り込まれた基板Ｗは、幅方向の両端部が端部支持ローラ２２の段差部２３に支持され、両端部を除く幅方向の中央部分は搬送ローラ２１に支持されて搬送される。

基板Ｗが端部押えローラ２８が設けられた位置まで搬送されると、基板Ｗの幅方向の両端部が端部支持ローラ２２の段差部２３と端部押えローラ２８の突条部２９とがなす間隔Ｇに入り込んで保持される。それによって、基板Ｗの上面にノズル体から処理液が噴射されても、基板Ｗの両端部がばたつくことなく搬送されることになる。

一方、基板Ｗの幅寸法が図１に示すＬ_１よりも小さな幅寸法、たとえばＬ_２よりもわずかに大きな幅寸法に変更になる場合には、そのことを制御装置４５に入力する。それによって、制御装置４５は、左右一対の位置決め駆動源４２を同期して作動し、左右一対のベース３７をチャンバ１の幅方向内方に向かって所定寸法、つまり｛（Ｌ_１−Ｌ_２）／２｝の距離だけ駆動する。

ベース３７が駆動されれば、このベース３７に駆動部材３５が連動する。駆動部材３５が駆動されれば、この駆動部材３５に連結された下部連結部材２４と上部連結部材３１を介して端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とが搬送軸３と押え軸２６に沿って一体的にチャンバ１の幅方向内方へ移動する。それによって、搬送軸３と押え軸２６との両端部に設けられた左右一対の端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８との間隔がＬ_２に設定されることになる。

したがって、幅寸法が変更になった基板Ｗがチャンバ１の搬入口１ａから送り込まれると、その基板Ｗは幅方向の両端部が端部支持ローラ３の段差部２３によって支持されて搬送される。そして、端部押えローラ２８が設けられた位置まで搬送されてくると、前記段差部２３と端部押えローラ２８の突条部２９とがなす間隔Ｇに入り込んで端部が保持されるから、処理液の圧力で端部がばたつきことなく搬送されることになる。

このように、基板Ｗの幅寸法が変更になって端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８との位置を変える場合、これらのローラ２２，２８は駆動部材３５によって一体的に駆動される。そのため、端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とは予め設定された相対的な位置関係が変化することなく、搬送軸３と押え軸２６とに沿って移動する。

それによって、これらのローラ２２，２８間に軸方向に沿う位置ずれが生じたり、段差部２３と突条部２９との間隔Ｇが変化するなどのことがないから、基板Ｗの幅寸法が変更になった場合でも、搬送される基板Ｗの幅方向の両端部を確実に保持することができる。しかも、位置決め駆動源４２を作動させることで、端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とを位置決めすることができるから、各ローラ２２，２８を手作業で位置決めする場合に比べてその作業を容易に、しかも確実に行なうことができる。

左右一対の駆動部材３５を別々の駆動機構５０によって駆動するとともに、これら一対の駆動機構５０を制御装置４５によって同期させるようにした。そのため、搬送軸３と押え軸２６との両端部に設けられた端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とを、チャンバ１の幅方向の中心線に対して対称になるよう、正確に位置決めすることができる。

したがって、搬送される基板Ｗの幅寸法が変更になっても、基板Ｗの幅方向中心をチャンバ１の幅方向の中心に一致させて基板Ｗをチャンバ１に送り込めば、基板Ｗの幅方向の両端部を、端部支持ローラ２２と端部押えローラ２８とで確実に保持して搬送することができる。

この発明は上記一実施の形態に限定されず、種々変形可能である。たとえば、チャンバの下部の幅方向中央部に１つの位置決め駆動源を設け、この位置決め駆動源の出力軸に設けられた平歯車に２つのラックを噛合させる。これらラックは平歯車が回転することで、異なる方向に駆動される。そして、各ラックにチャンバの幅方向両端に設けられたベースをそれぞれ連結する。それによって、１つの位置決め駆動源によって２つの駆動機構を駆動することが可能となる。

また、基板を処理液によって処理する処理装置について説明したが、基板を洗浄ブラシで洗浄する処理装置などであってもこの発明は適用できる。さらに、処理装置でなく、基板を単に搬送する場合であっても、この発明の搬送装置を適用することができる。

この発明の一実施の形態を示す処理装置の縦断面図。図１に示す処理装置の横断面図。図１に示す処理装置の側面図。搬送軸と押え軸との端部の拡大図。端部支持ローラと端部押えローラとの拡大図。

符号の説明

３…搬送軸、２１…搬送ローラ、２２…端部支持ローラ、２４…下部連結部材、２６…押え軸、２８…端部押えローラ、３１…上部連結部材、３５…駆動部材、３７…ベース（可動体）、４２…位置決め駆動源（駆動源）、５０…駆動機構。

Claims

基板を所定方向に搬送する搬送装置であって、
内部が前記基板を搬送する搬送室に形成され幅方向両端の外面に機械室が形成されたチャンバと、
軸方向の両端部が前記機械室で回転可能に支持され前記基板の搬送方向に対して軸線を交差させて所定間隔で配置された複数の搬送軸と、
この搬送軸に設けられ前記基板の幅方向両端部を除く部分の下面を支持する複数の搬送ローラと、
前記搬送軸の軸方向両端部に軸線方向に沿って移動可能に設けられ前記基板の幅方向両端部下面を支持する端部支持ローラと、
軸方向の両端部が前記機械室で回転可能に支持され前記搬送軸の上方に軸線を平行にして配置された押え軸と、
この押え軸の軸方向両端部に軸方向に沿って移動可能に設けられ前記端部支持ローラとで前記基板の幅方向両端部を保持する端部押えローラと、
前記基板の幅寸法に応じて前記端部支持ローラと前記端部押えローラとを一体的に前記搬送軸と押え軸との軸方向に駆動する駆動機構を具備し、
前記駆動機構は、
前記機械室に設けられ前記搬送軸と押え軸との前記端部支持ローラ及び端部押えローラよりも軸方向外方に位置する部分を回転可能に支持するとともに軸方向に沿って移動可能に設けられた駆動部材と、
この駆動部材と前記端部支持ローラとを連結し前記搬送軸に軸方向に移動可能かつ一体的に回転するよう設けられた下部連結部材と、
前記駆動部材と前記端部押えローラとを連結し前記押え軸に軸方向に移動可能かつ一体的に回転するよう設けられた上部連結部材と、
前記チャンバの外部に設けられ前記駆動部材を前記搬送軸と前記押え軸との軸方向に沿って駆動することで、前記下部連結部材および上部連結部材を介して前記端部支持ローラ及び端部押えローラを一体的に前記軸方向に移動させる駆動源と
によって構成されていることを特徴とする基板の搬送装置。
前記駆動部材は前記搬送軸の軸方向に沿って移動可能に設けられた可動体に取り付けられていて、
前記駆動源はモータであって、このモータによって前記可動体が前記搬送軸の軸方向に沿って駆動される構成であることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
前記搬送軸と押え軸の軸方向一端部と他端部とに移動可能に設けられた端部支持ローラと端部押えローラは、同期駆動される別々の駆動機構によって位置決めされることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。