JP2006245328A - 基板の処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明は上下一対のエアーナイフの間隔及び回転方向の角度調整を容易に、しかも正確に行うことができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】ユニット基体８と、ユニット基体の長手方向両端部に設けられ上部エアーナイフ２６の両端部をそれぞれ上下方向及び回転方向の位置決め調整可能に支持した一対の第１の支持手段と、ユニット基体の長手方向両端部に設けられ下部エアーナイフ３９の両端部をそれぞれ上下方向及び回転方向の位置決め調整可能に支持した一対の第２の支持手段と、ユニット基体の長手方向の一端部に設けられ一対の第１の支持手段及び第２の支持手段をそれぞれ作動させて上部エアーナイフと下部エアーナイフとの上下方向及び回転方向の位置決めをする第１、第２の上下用ノブ１５，１６及び第１、第２の角度調整用ノブ３５，４５を具備する。
【選択図】図２

Description

この発明は洗浄処理された基板に付着残留する洗浄液をエアーナイフから噴射される気体によって乾燥処理する基板の処理装置に関する。

たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、これら装置の処理対象物であるガラス基板や半導体ウエハなどの基板にレジストを塗布し、現像処理してからエッチング処理することで、基板の表面に回路パターンを精密に形成する。基板に回路パターンを形成したならば、その基板の表面に付着しているレジスト膜やレジスト残渣などの有機物を洗浄液によって除去する洗浄処理が行われる。

洗浄処理された基板に洗浄液が残留すると汚れの原因になる。そこで、洗浄液によって洗浄された基板にエアーナイフから気体を噴射し、基板に付着残留した洗浄液を除去する乾燥処理が行われる。つまり、基板をチャンバ内へ搬送するとともに、このチャンバ内を搬送される基板の上下面に上下一対のエアーナイフによって気体を噴射し、その気体によって基板に付着した洗浄液を除去するようにしている。

一対のエアーナイフを用いて基板を乾燥処理する場合、基板の板面をむらなく均一に、しかも効率よく確実に乾燥処理することが要求される。そのため、上下一対のエアーナイフと基板の板面との間隔及び基板に対するエアーナイフの傾斜角度を精度よく設定することが重要となる。

一対のエアーナイフを備えた処理装置としては特許文献１に示される構成が知られている。この特許文献１に示された処理装置は一対のエアーナイフの両端部にそれぞれ支持機構が設けられている。この支持機構はガイド溝を有するガイド体を備えている。一対のガイド体のガイド溝にはそれぞれ一対のブロックが上下動可能に設けられ、これらのブロックに上下一対のエアーナイフの両端部がそれぞれ回転可能に支持されている。

一対のガイド体の上面には一対のエアーナイフの上下方向の位置を調整するための上下調整つまみ及び回転角度を調整するための角度調整つまみが設けられている。したがって、上記上下調整つまみ及び角度調整つまみを操作することで、チャンバ内を水平に搬送される基板の上下面に対する上下一対のエアーナイフの間隔及び角度を設定できるようになっている。

従来、一対のエアーナイフをチャンバ内に組み込む場合、まず、一対のガイド体をチャンバの内底部に取付け固定する。ついで、このガイド体に上下一対のエアーナイフの両端部を上下動及び角度調整可能に組み込むということが行われていた。
特開平１０−２１１４７３号公報

しかしながら、一対のエアーナイフをチャンバ内で組み立てるようにすると、その作業性が悪いということがあったり、一対のエアーナイフの上下方向や回転角度の位置決め調整を容易かつ精度よく行うことが難しいということがあった。

しかも、一対のエアーナイフの一端部と他端部を、一対のガイド体にそれぞれ設けられた上下調整つまみ及び角度調整つまみを操作して調整しなければならなかった。つまり、エアーナイフの一端部と他端部との調整を別々に行わなければならなかった。そのため、そのことによっても作業性の低下や位置決め精度の低下を招くということがあった。

この発明は、一対のエアーナイフの組み込み作業や位置決め調整を容易かつ精度よく行うことができるようにした基板の処理装置を提供することにある。

この発明は、チャンバ内を搬送される基板の上面と下面に上部エアーナイフと下部エアーナイフから気体を噴射してこの基板を乾燥処理する処理装置であって、
ユニット基体と、
このユニット基体の長手方向両端部に設けられ上記上部エアーナイフの両端部をそれぞれ上下方向及び回転方向の位置決め調整可能に支持した一対の第１の支持手段と、
上記ユニット基体の長手方向両端部に設けられ上記下部エアーナイフの両端部をそれぞれ上下方向及び回転方向の位置決め調整可能に支持した一対の第２の支持手段と、
上記ユニット基体の長手方向の一端部に設けられ上記一対の第１の支持手段及び第２の支持手段をそれぞれ作動させて上記上部エアーナイフと下部エアーナイフとの上下方向及び回転方向の位置決めをする操作手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。

上記操作手段は、第１の支持手段と第２の支持手段を介して上部エアーナイフと下部エアーナイフをそれぞれ上下方向に駆動する第１、第２の上下操作部及び回転方向に駆動する第１、第２の角度調整部を有することが好ましい。

上記第１の上下操作部を操作して上部エアーナイフの一端部を上下方向に駆動したときに上記上部エアーナイフの他端部を上下方向に連動させる第１の同期機構と、上記第２の上下操作部を操作して下部エアーナイフの一端部を上下方向に駆動したときに上記下部エアーナイフの他端部を上下方向に連動させる第２の同期機構とが設けられていることが好ましい。

上記チャンバには、上記基板の搬送方向と交差する方向に沿って開放した取付け部が形成され、上記ユニット基体は少なくとも上記操作手段が設けられた長手方向の一端部をチャンバの外部に突出させて上記取り付け部に設けられることが好ましい。

上記ユニット基体は長手方向の両端部をチャンバの幅方向両側から外部に突出させていて、これら両端部は上記チャンバの外部に設けられた設置部に着脱可能に取付け固定されることが好ましい。

この発明によれば、上下一対のエアーナイフをユニット基体によって一体化したから、チャンバ内への組み込み作業を容易に行うことが可能となり、しかも一対のエアーナイフの一端部と他端部との位置決め調整を長手方向の一端部で行えるから、その調整作業を容易かつ精度よく行うことが可能となる。

以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１乃至図７はこの発明の第１の実施の形態を示し、図１に示す処理装置は箱型状のチャンバ１を備えている。このチャンバ１内には複数の搬送ローラ２が軸線を平行にして所定間隔で配置されている。搬送ローラ２は図示しない駆動源によって回転駆動されるようになっている。それによって、上記チャンバ１の長手方向一端の搬入口１ａから供給された、たとえば液晶表示装置用のガラス製の基板Ｗを他端の搬出口１ｂに向かって搬送するようになっている。

上記チャンバ１の長手方向中途部には、前工程で洗浄された上記基板Ｗの上下面に付着残留する洗浄液を除去するエアーナイフユニット５が設けられている。すなわち、上記チャンバ１の長手方向中途部には、このチャンバ１の上面及び両側面に開放した取付け部６が形成されていて、この取り付け部６に上記エアーナイフユニット５が装着されている。取付け部６に装着されたエアーナイフユニット５は両端部をチャンバ１の両側外方へ突出させている。

図２、図４及び図５に示すように、上記エアーナイフユニット５はユニット基体８を有する。このユニット基体８は上記チャンバの幅寸法よりも長尺で、上記取付け部６よりも幅広に形成されたベース板９を有する。ベース板９の上面の幅方向両端には側板１１が立設され、一対の側板１１間には複数の補強板１２が所定間隔で設けられている。

上記ベース板９の上面には回転自在に支持された第１の同期機構を構成する第１の駆動軸１３と、第２の同期機構を構成する第２の駆動軸１４とが軸線を平行にして上記ベース板９の長手方向にほぼ全長に沿って設けられている。各駆動軸１３，１４の一端部はベース板９の一端に位置する補強板１２から突出している。第１の駆動軸１３の一端には第１の上下操作部としての第１の上下用ノブ１５が設けられ、第２の駆動軸１４の一端には第２の上下操作部としての第２の上下用ノブ１６が設けられている。

図２と図３に示すように、各駆動軸１３，１４の一端部と他端部とにはそれぞれウオーム歯車１７が設けられている。各ウオーム歯車１７には平歯車１８が噛合している。各平歯車１８には伝達軸１９の一端が取り付け固定されている。各伝達軸１９は中途部が上記ベース板９に回転可能に支持され、他端部は上記ベース板９の下面側に突出している。

したがって、第１の駆動軸１３を第１の上下用ノブ１５によって回転させれば、この第１の駆動軸１３に設けられた一対のウオーム歯車１７が回転するから、これら一対のウオーム歯車１７に噛合した一対の平歯車１８が連動し、この平歯車１８に一端が連結された伝達軸１９が回転する。

同様に、第２の駆動軸１４を第２の上下用ノブ１６によって回転させれば、この第１の駆動軸１４に設けられた一対のウオーム歯車１７が回転するから、これらウオーム歯車１７に噛合した一対の平歯車１８が連動し、この平歯車１８に一端が連結された伝達軸１９が回転する。

各伝達軸１９の他端部にはおねじ（図示せず）が形成されていて、各おねじはブロック２１に形成されためねじ（図示せず）に螺合している。各ブロック２１の一側面の後端部にはそれぞれ保持板２２の後端部が固定されている。各保持板２２は、図６と図７に示すように上記ベース板９の下面から垂設されたガイド板２３に沿って上下方向に移動可能かつ所定の位置で固定可能に設けられている。

すなわち、ガイド板２３には上下方向に沿う長孔（図示せず）が形成され、この長孔には上記保持板２２の一端部に螺合したねじ２５が挿通されている。したがって、伝達軸１９が回転すれば、この伝達軸１９に対してブロック２１に螺合されたねじ２５がガイド板２３に形成された長孔に沿って上下動するから、ブロック２１は保持板２２とともに回転することなく上下動する。また、上記ねじ２５を締め込めば、このねじ２５によってブロック２１が上記ガイド板２３に固定されることになる。

上記保持板２２の後端部上面と、上記ベース板９とには引張りばね２９が張設されている。したがって、上記ブロック２１は上記引張りばね２９の復元力に抗して下降し、上昇時には復元力が作用するから、ブロック２１と伝達軸１９とのねじ結合によるがた付きが除去されるようになっている。

図３に示すように、第１の駆動軸１３の回転によって上下方向に駆動される一対のブロック２１に設けられた一対の保持板２２の先端部には上部エアーナイフ２６の一端部と他端部とに設けられた端板２７がそれぞれ支軸２８によって回転可能に支持されている。

ベース板９の長手方向一端側に位置する一方の支軸２８の一端部は保持板２２の外面側に突出し、その突出部には扇状歯車３１が取付けられている。この扇状歯車３１にはピニオン歯車３２が噛合している。このピニオン歯車３２は上部操作軸３３に取付けられている。この上部操作軸３３は上記保持板２２の先端部外面に設けられた支持片３４と、上記保持板２２の後端部外面に取付けられた上記ブロック２１とに先端部と後端部とが回転可能に支持されている。

上部操作軸３３の上記支持片３４から突出した先端には第１の角度調整用ノブ３５が取り付けられている。第１の角度調整用ノブ３５によって上部操作軸３３を回転すれば、その回転がピニオン歯車３２と扇状歯車３１を介して上部エアーナイフ２６を一方の保持板２に回転可能に支持した支軸２８に伝達されるから、上記上部エアーナイフ２６が一対の支軸２８を支点として回転し、その角度を調整することができる。

すなわち、ベース板９の長手方向一端部に設けられた第１の上下用ノブ１５を回転操作して第１の駆動軸１３を回転すれば、その回転によって上下動する一対のブロック２１及び各ブロック２１が取付けられた保持板２２を介して上部エアーナイフ２６の一端部と他端部とを同期させて上下動させることができる。しかも、ベース板９の長手方向一端部に設けられた第１の角度調整用ノブ３５を操作することで、上部エアーナイフ２６の回転角度を調整することができる。

図３に示すように、上記第２の駆動軸１４を回転させることで上下動する一対のブロック２１に後端部外面を取付けた一対の保持板２２の先端部内面には、Ｕ字形状の連結部材３７の一辺が支軸３８によって回動可能に連結されている。一対の連結部材３７の他辺にはそれぞれ下部エアーナイフ３９の長手方向の一端と他端とが連結固定されている。

上記ベース板９の長手方向一端側に位置する一方の支軸３８の一端部は保持板２２の外面側に突出し、その突出部には扇状歯車４１が嵌着固定されている。この扇状歯車４１にはピニオン歯車４２が噛合している。このピニオン歯車４２は下部操作軸４３に取付けられている。この下部操作軸４３は上記保持板２２の先端部外面に設けられた支持片４４と、この保持板２２の後端部外面に取付けられた上記ブロック２１とに先端部と後端部とが回転可能に支持されている。

下部操作軸４３の上記支持片４４から突出した先端には第２の角度調整用ノブ４５が取り付けられている。第２の角度調整用ノブ４５によって下部操作軸４３を回転させれば、その回転がピニオン歯車４２と扇状歯車４１を介して下部エアーナイフ３９を保持板２に回転可能に支持した一方の支軸３８に伝達される。したがって、上記下部エアーナイフ３９の角度を調整することができる。

すなわち、ベース板９の長手方向一端部に設けられた第２の上下用ノブ１６を回転操作して第２の駆動軸１４を回転すれば、その回転によって上下動する一対のブロック２１及び各ブロック２１が取付けられた保持板２２を介して下部エアーナイフ３９の一端部と他端部とを同期させて上下動させることができ、さらにベース板９の長手方向一端部に設けられた第２の角度調整用ノブ４５を操作することで、下部エアーナイフ３９の回転角度を調整することができるようになっている。

図６と図７に示すように、第１の駆動軸１３を回転させることで上下動する一対のブロック２１にはそれぞれ第１の上下用インジケータ４７が設けられ、第２の駆動軸１４を回転させることで上下動する一対のブロック２１の上面にはそれぞれ第２の上下用インジケータ４８が設けられている。

各インジケータ４７，４８の先端部はベース板９の両端部下面から垂設された上下目盛り板４９に書き込まれた目盛りにそれぞれ対向位置している。それによって、上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９との上下方向の位置を、上記上下目盛り板４９の目盛りを見ながら設定することができる。

上部エアーナイフ２６の両端の支軸２８を回転可能に支持した一対の保持板２２には第１の回転用インジケータ５１が設けられ、下部エアーナイフ３９の両端の支軸３８を回転可能に支持した一対の保持板２２には第２の回転用インジケータ５２が設けられている。

各支軸２８，３８の保持板２２の外面側に突出した端部にはそれぞれ円盤状の回転目盛り板５４が取付けられている。この回転目盛り板５４の外周面には目盛りが書き込まれていて、この目盛りの各回転用インジケータ５１，５２の先端が対向位置している。それによって、上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９との回転角度を、上記回転目盛り板５４の目盛りを見ながら設定することができる。

なお、上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９は、上下方向と同様、回転角度を設定した後、その角度で回転不能に固定できるようになっている。すなわち、回転目盛り板４９の周辺部には長孔（図示せず）が形成されていて、この長孔にはねじ（図示せず）が挿通されている。このねじは保持板２２の先端部の外面に螺合されている。

したがって、ねじを緩めれば、第１、第２の角度調整ノブ３５，４５の回転操作によって回転目盛り板４９が取付けられた支軸２８，３８を回転させることができ、ねじを締め込めば支軸２８，３８の回転が回転目盛り板４９によって阻止されるようになっている。

上記構成のエアーナイフユニット５は、図１（ａ），（ｂ）に示すようにチャンバ１に形成された取付け部６に挿入される。その状態で、ベース板９の幅方向両端部がチャンバ１の上面に係合して上記チャンバ１に保持される。

上記ベース部材９は長手方向両端部をチャンバ１の幅方向両側外方に突出させている。つまり、上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９との長手方向両端部を上下動及び回転可能に支持した機構や上下用と回転用のインジケータ及び目盛り板が設けられた部分及びその機構を操作する第１、第２の上下用ノブ１５，１６と第１、第２の角度調整用ノブ３５，４５が設けられた部分をチャンバ１の幅方向両側外方に突出させている。

図４乃至図７に示すように、上記ベース板９の両端部下面にはブラケット５５が取付けられている。各ブラケット５５はエアーナイフユニット５をチャンバ１の取付け部６に装着した後、設置部５６に着脱可能に取付け固定される。この設置部５６は、たとえばチャンバ１の側壁外面やチャンバ１が設置される図示しない架台などに所定の高さで設けられる。

上記設置部５６の高さが設定されてことで、エアーナイフユニット５をチャンバ１の取付け部６に装着し、ブラケット５５を上記設置部５６に取付け固定すれば、上部エアーナイフ２６の下端と下部エアーナイフ３９の上端との隙間の位置がチャンバ１内を搬送ローラ２によって搬送される基板Ｗと同じ高さになるよう位置決めできる。つまり、上下一対のエアーナイフ２６，３９間に基板Ｗが通過可能となる。

図５に示すように、上記ベース板９の上面に設けられた一対の側板１１の長手方向中央部には長手方向と交差する幅方向に沿って吊り下げ軸５７が設けられている。エアーナイフユニット５は上記吊り下げ軸５７介して図示しない天井クレーンやチェーンブロックなどで上記チャンバ１の取付け部６に対して着脱される。

このように構成されたエアーナイフユニット５によれば、上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９とがユニット基体８のベース板９に上下方向及び回転角度の調整可能に設けられて一体化されている。そのため、上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９との上下方向の位置と回転角度とを予め調整してからエアーナイフユニット５をチャンバ１の取り付け部６に組み込むことができる。

上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９とを予め位置決め調整してからエアーナイフユニット５をチャンバ１に組み込めるため、一対のエアーナイフ２６，３９をチャンバ１内で組み立ててから、これらエアーナイフ２６，３９の高さ及び回転角度の調整をする従来に比べ、組立作業や調整作業を容易に、しかも精度よく行うことが可能となる。

上記ベース板９の一端部に設けられた第１、第２の上下用ノブ１５，１６や第１、第２の角度調整用ノブ３５，４５はチャンバ１の外部に露出している。そのため、エアーナイフユニット５をチャンバ１に組み込んだ後に、上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９との高さや回転角度を調整したい場合には、チャンバ１の外部から上記各ノブ１５，１６及び３５，４５を操作することができるため、その調整作業を容易かつ確実に行うことができる。

エアーナイフユニット５の一対のエアーナイフ２６，３９の高さ及び回転角度の調整をした後で、高さ固定ねじ２５によって上下方向の動きを固定し、図示しない角度固定にねじによって回転方向の動きを固定することができる。

そのため、高さ及び回転角度が位置決めされた一対のエアーナイフ２６，３９がずれ動くのを防止できるから、一対のエアーナイフ２６，３９を位置決め調整してからチャンバ１に組み込むようにしても、組み込み時に位置ずれが生じるのを防止することができる。

しかも、エアーナイフユニット５のチャンバ１の外部に突出した両端部には上下用インジケータ４７，４８と、回転用インジケータ５１，５２及びこれらインジケータが対応する上下目盛り板４９と回転目盛り板５４が設けられている。

そのため、エアーナイフユニット５をチャンバ１に組み込んだ後で、一対のエアーナイフ２６，３９の位置決め調整を行いたい場合であっても、これらのインジケータと目盛り板とによって一対のエアーナイフ２６，３９の位置決め調整をチャンバ１の外部から容易に、しかも確実に行うことができる。

一対のエアーナイフ２６，３９は、ユニット基体８のベース板９の一端部に設けられた第１、第２の上下用ノブ１５，１６を操作すれば、これらエアーナイフ２６，３９の一端部と他端部とを、第１の駆動軸１３及び第２の駆動軸１４によって同期させて調整することができる。そのため、上下一対のエアーナイフ２６，３９の一端部と他端部との高さ調整を別々に行う場合に比べて能率よく、しかも精度よく行うことが可能となる。

図８はこの発明の他の実施の形態を示す。この実施の形態は搬送ローラ２によって矢印で示す方向に搬送される基板Ｗの上面と下面とに対向して配置される上部エアーナイフ２６と下部エアーナイフ３９が長尺化した場合に、長手方向中途に撓みが生じないようにしている。

すなわち、各エアーナイフ２６，３９の長手方向中途部に少なくとも１つの支持具６１を装着する。この支持具６１には連結部材６２の一端を連結する。この連結部材６２の他端は各エアーナイフ２６，３９と平行に配置された給気管６３に連結する。この給気管６３とエアーナイフ２６，３９とはチューブ６４によって接続され、各エアーナイフ２６，３９に気体を供給するようになっている。

このような構成によれば、各エアーナイフ２６，３９は支持具６１及び連結部材６２を介して供給管６３により補強されることになるから、長手方向中途部が他の部分よりも大きく撓むのを防止することがきる。

この発明は上記各実施の形態に限定されず、種々変形可能である。たとえば、上記実施の形態では基板を水平に搬送する場合について説明したが、基板を幅方向に対して傾斜させて搬送する場合であってもこの発明を適用することができる。

この発明の一実施の形態を示し（ａ）はチャンバを断面した側面図、（ｂ）は平面図。 エアーナイフユニットの一部省略した斜視図。 エアーナイフユニットの上下一対のエアーナイフ及びこれらエアーナイフの両端部に設けられた、エアーナイフを上下及び回転駆動する一部の部品の斜視図。 エアーナイフユニットの一部省略した正面図。 エアーナイフユニットの一部省略した平面図。 エアーナイフユニットの長手方向一端部を拡大した正面図。 エアーナイフユニットの長手方向他端部を拡大した正面図。 この発明の他の実施の形態を示す処理装置の概略的構成図。

符号の説明

１…チャンバ、２…搬送ローラ、５…エアーナイフユニット、８…ユニット基体、１３…第１の駆動軸、１４…第２の駆動軸、１５…第１の上下用ノブ、１６…第２の上下用ノブ、２６…上部エアーナイフ、３５…第１の角度調整用ノブ、３９…下部エアーナイフ、４５…第２の角度調整用ノブ、４７…第１の上下用インジケータ、４８…第２の上下用インジケータ、４９…上下目盛り板、５１…第１の回転用インジケータ、５２…第２の回転用インジケータ、５５…ブラケット、５６…設置部。

Claims (5)

1. チャンバ内を搬送される基板の上面と下面に上部エアーナイフと下部エアーナイフから気体を噴射してこの基板を乾燥処理する処理装置であって、
   ユニット基体と、
   このユニット基体の長手方向両端部に設けられ上記上部エアーナイフの両端部をそれぞれ上下方向及び回転方向の位置決め調整可能に支持した一対の第１の支持手段と、
   上記ユニット基体の長手方向両端部に設けられ上記下部エアーナイフの両端部をそれぞれ上下方向及び回転方向の位置決め調整可能に支持した一対の第２の支持手段と、
   上記ユニット基体の長手方向の一端部に設けられ上記一対の第１の支持手段及び第２の支持手段をそれぞれ作動させて上記上部エアーナイフと下部エアーナイフとの上下方向及び回転方向の位置決めをする操作手段と
   を具備したことを特徴とする基板の処理装置。
2. 上記操作手段は、第１の支持手段と第２の支持手段を介して上部エアーナイフと下部エアーナイフをそれぞれ上下方向に駆動する第１、第２の上下操作部及び回転方向に駆動する第１、第２の角度調整部を有することを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
3. 上記第１の上下操作部を操作して上部エアーナイフの一端部を上下方向に駆動したときに上記上部エアーナイフの他端部を上下方向に連動させる第１の同期機構と、上記第２の上下操作部を操作して下部エアーナイフの一端部を上下方向に駆動したときに上記下部エアーナイフの他端部を上下方向に連動させる第２の同期機構とが設けられていることを特徴とする請求項２記載の基板の処理装置。
4. 上記チャンバには、上記基板の搬送方向と交差する方向に沿って開放した取付け部が形成され、上記ユニット基体は少なくとも上記操作手段が設けられた長手方向の一端部をチャンバの外部に突出させて上記取り付け部に設けられることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
5. 上記ユニット基体は長手方向の両端部をチャンバの幅方向両側から外部に突出させていて、これら両端部は上記チャンバの外部に設けられた設置部に着脱可能に取付け固定されることを特徴とする請求項４記載の基板の処理装置。

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