JP2009125745A - 処理流体供給装置及びこれを含む基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】処理流体ナイフの垂れを防止しうる処理流体供給装置を提供する。
【解決手段】処理流体ナイフは、前記基板の表面に対して平行する方向に延長し、前記処理流体を供給するためのスリットノズルを有する。ロッドは、前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフを通じて延長して前記ナイフの延長方向に張力が印加される。よって、前記ナイフの垂れによって発生しうる基板の損傷を防止することができ、前記基板上に前記処理流体を均一に供給することができる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、処理流体供給装置とこれを含む基板処理装置に係り、より詳細にはガラス基板のような平板型基板上に処理流体を供給する装置とこれを含む基板処理装置に関する。

一般的に、液晶表示装置のような平板型表示装置の製造には、ガラス基板のような平板型基板が用いられ、前記ガラス基板上に回路パターンを形成するための多様な単位工程を行うことができる。例えば、前記ガラス基板上に膜を形成する蒸着工程、前記膜を目的とするパターンに形成するためのエッチング工程、前記ガラス基板上の不純物を除去するための洗浄工程、前記ガラス基板を乾燥させるための乾燥工程などを行うことができる。

基板処理装置は、基板のローディングのための基板ローダーと、前記ローダーによって搬入された基板に対するエッチング、洗浄、ストリップまたは現像などの処理工程を行うための基板処理部と、前記処理された基板をリンス液を用いてリンス処理するためのリンス処理部と、リンス処理された基板を乾燥させるための乾燥処理部と、前記基板を搬出するためのアンローダーなどを含むことができる。

また、前記基板処理装置は、処理流体を前記基板に提供するための処理流体ナイフ（ｋｎｉｆｅ）を含むことができる。前記処理流体ナイフは、エッチング液、リンス液などの処理液を供給するためのシャワーナイフまたはエアーまたは乾燥ガスを供給するためのエアーナイフであってもよい。

前記処理流体ナイフは、基板の表面と平行する方向に延長することができ、基板が移送される期間、前記基板上に処理流体を提供することができる。最近、基板の面積が増加することに応じて、前記処理流体ナイフの長さも増加しつつある。しかし、前記処理流体ナイフの長さが増加する場合、前記処理流体ナイフの垂れが発生するおそれがある。

本発明の第１目的は、処理流体ナイフの垂れを防止しうる処理流体供給装置を提供することにある。
本発明の第２目的は、処理流体ナイフの垂れを防止しうる基板処理装置を提供することにある。

前記第１目的を達成するための本発明の一側面によると、処理流体供給装置は、基板上に処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、前記ナイフの垂れを防止するために、前記ナイフを通じて延長し、前記ナイフの延長方向に張力の印加されたロッド（ｒｏｄ）と、を含むことができる。

本発明の一実施例によると、前記処理流体供給装置は、前記ナイフの両側端部と連結され、前記ナイフを支持する側壁を更に含むこちができる。
本発明の一実施例によると、前記ロッドは、前記側壁に連結される。
本発明の一実施例によると、前記ロッドは、前記側壁を通じて延長するねじ加工された端部を含み、前記ロッドには前記ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることが可能である。

本発明の一実施例によると、前記ロッドは、前記側壁を通じて延長し、ねじ加工された端部と前記ねじ加工された端部に対向するヘッド部を含むことができ、前記ロッドには前記ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることが可能である。

本発明の一実施例によると、前記処理流体装置は、前記側壁の間に配置されるベース及び前記ベースに装着され、前記ナイフの垂れを防止するためのサポートを更に含むことができる。

本発明の一実施例によると、それぞれの側壁は、前記ナイフを支持するサポートブラケットを含むことができる。
本発明の一実施例によると、前記ナイフは、前記ロッドが貫通するチューブまたはフックを含むことができる。
本発明の一実施例によると、前記ナイフは、前記ロッドが貫通する複数のチューブまたは複数のフックを含むことができる。

本発明の一実施例によると、前記処理流体供給装置は、前記ナイフと平行に延長する第２ナイフを更に含み、前記基板は、前記ナイフと前記第２ナイフとの間に配置されることが可能である。

前記第１目的を達成するための本発明の他の側面によると、処理流体供給装置は、基板上に処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、前記ナイフの両側端部のうち、少なくとも一つと連結され、前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフの延長方向に前記ナイフに張力を印加する張力印加部と、を含むことができる。

本発明の一実施例によると、前記処理流体供給装置は、前記ナイフの両側端部に隣接するように配置され、前記ナイフの両側端部を支持する側壁を更に含むことができる。

本発明の一実施例によると、前記張力印加部は、前記ナイフの端部と連結され、前記側壁のうち、一つを通じて延長され、ねじ加工された端部を含むロッドと、前記張力を印加するために前記ロッドのねじ加工された端部に締結されるナットと、を含むことができる。

本発明の一実施例によると、前記ロッドは、前記ナイフの端部に締結される第２ねじ加工された端部を更に含むことができる。

本発明の一実施例によると、前記ロッドは、前記ねじ加工された端部に対向するヘッドを更に含み、前記ヘッドは前記ナイフの端部内に配置されることが可能である。

本発明の一実施例によると、それぞれ側壁は、前記ナイフを支持するためのサポートブラケットを含むことができる。
本発明の一実施例によると、前記サポートブラケットには、前記ナイフの延長方向と平行に延長する長孔が形成され、前記ナイフは前記長孔を通じて前記ナイフの端部に締結されるボルトによって前記側壁に装着されることが可能である。

本発明の一実施例によると、前記処理流体供給装置は、前記ナイフと平行に延長する第２ナイフを更に含み、前記基板は前記ナイフと前記第２ナイフとの間に配置されることが可能である。

前記第２目的を達成するための本発明の更に他の側面によると、基板処理装置は、基板を支持する複数のローラーと、前記基板を移送するために前記ローラーに回転力を提供する駆動部と、前記基板上に処理流体を供給するための処理流体供給部を含むことができる。前記処理流体供給部は、前記基板上に前記処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフを通じて延長して前記ナイフの延長方向に張力の印加されたロッドと、を含むことができる。

前記第２目的を達成するための本発明の更に他の側面によると、基板処理装置は、基板を支持する複数のローラーと、前記基板を移送するために前記ローラーに回転力を提供する駆動部と、前記基板上に処理流体を供給するための処理流体供給部を含むことができる。前記処理流体供給部は、前記基板上に前記処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、前記ナイフの両側端部のうち、少なくとも一つと連結され、前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフの延長方向に前記ナイフに張力を印加する張力印加部と、を含むことができる。

前述したのような本発明によると、基板上に処理流体を供給するためのナイフの垂れは、前記ナイフを通じて延長されるロッドに張力を印加することでまたは前記ナイフに直接張力を印加することで防止することができる。よって、前記ナイフの垂れによって発生する基板の損傷を防止することができ、前記基板上に前記処理流体を均一に供給することができる。

以下、本発明による実施例を添付する図面を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施例による基板処理装置を説明するための概略的な構成図である。
図１を参照すると、本発明の一実施例による基板処理装置１０は、ガラス基板のような平板型基板２０に対する処理を行うために用いることができる。例えば、エッチング、洗浄、ストリップ、現像、リンスなどのような工程を行うために望ましく用いることができる。

前記基板処理装置１０は、前記基板２０を移送するために具備された基板移送部３０と前記基板２０が移送される期間、前記基板２０上に処理流体を供給するための処理流体供給部１００を含むことができる。

前記基板移送部３０は、前記基板２０の移送方向に配列され、前記移送方向に対して垂直する方向に延長する複数の回転軸と、それぞれの回転軸に結合され、前記回転軸によって回転され、前記基板２０を支持する複数のルーラー３２、及び前記回転軸と連結され、前記回転軸を回転させるために回転力を提供する駆動部、を含むことができる。

図示していないが、前記駆動部は、回転力を発生させるためにモーターを含むことができ、前記過移転軸はベルトと複数のプーリーまたは複数のギアーを含む動力伝達部によって前記駆動部と連結することができる。

前記処理流体供給部１００は、前記基板２０が移送される期間、前記基板２０の上部面及び／または下部面上に処理流体を供給するために用いることができる。

例えば、前記処理流体供給部１００は、エッチング液、洗浄液、リンス液などのような
処理液を供給するシャワーナイフを含むことができる。これとは違って、前記処理流体供給部１００は、エアーまたは乾燥ガスを供給するためのエアーナイフを含んでもよい。

図２は、図１に示した処理流体供給部を説明するための概略的な正面図であり、図３は、図２に示した処理流体供給部を説明するための概略的な平面図であり、図４は、図２に示した処理流体供給部を説明するための概略的な断面図である。

図２乃至図４を参照すると、示した処理流体供給部１００は、第１ナイフ１１０と前記第１ナイフ１１０を通じて延長する第１ロッド１１２を含むことができる。

前記第１ナイフ１１０を支持するための側壁１０２は、前記第１ナイフ１１０の両側端部と隣接して配置することができ、前記第１ナイフ１１０の両側端部は、前記側壁１０２に連結することができる。

前記第１ナイフ１１０は、前記基板２０の上部面上に処理流体を供給するための第１スリットノズル１１４を有することができ、前記基板２０の表面に対して平行する方向に延長することができる。例えば、前記基板２０の移送方向と異なる方向に延長することができる。

前記第１ロッド１１２は、前記第１ナイフ１１０の垂れを防止するために前記第１ナイフ１１０の延長方向に前記第１ナイフ１１０を貫通して配置することができ、前記第１ロッド１１２には前記第１ナイフの延長方向に張力（ｔｅｎｓｉｌｅ ｆｏｒｃｅ）を印加することができる。よって、前記第１ロッド１１２は、前記張力によって水平方向に維持することができ、これによって前記第１ナイフ１１０の垂れを防止することができる。

また、前記処理流体供給部１００は、前記第１ナイフ１１０の下部で前記第１ナイフ１１０と平行に延長する第２ナイフ１２０を更に含むことができる。前記第２ナイフ１２０の両側端部は前記側壁１０２によって支持することができ、前記基板２０の下部面上に前記処理流体を供給するための第２スリットノズル１２４を有することができる。

前記第２ナイフ１２０の垂れを防止するために第２ロッド１２２が前記第２ナイフ１２０を通じて延長することができ、前記第２ロッド１２２には前記第２ナイフ１２０の延長方向に張力を印加することができる。

一方、前記第１ナイフ１１０及び第２ナイフは、前記基板２０の表面に対して傾斜角を有することができる。例えば、前記第１ナイフ１１０及び第２ナイフ１２０は基板２０の移送方向に対して反対方向に傾斜角を有することができる。

前記側壁１０２は、前記第１ナイフ１１０及び第２ナイフ１２０を支持するためのサポートブラケット１０４を含むことができる。前記第１ナイフ１１０及び第２ナイフ１２０は、複数のボルト１１６によって前記サポートブラケット１０４に連結されることが可能である。しかし、前記第１ナイフ１１０及び第２ナイフ１２０は、前記側壁１０２に多様な方法を通じて連結されることができるので、前記第１ナイフ１１０及び第２ナイフ１２０を前記側壁１０２に装着する方法によって本発明の範囲が限定されることはない。

本発明の他の実施例によると、前記第１及び第２ナイフ（１１０、１２０）は前記サポートブラケット１０４との結合のためのマウンティングブラケットを含むことができる。図示していないが、前記マウンティングブラケットは、第１及び第２ナイフ（１１０、１２０）の両側端部それぞれに具備されることが可能であり、前記ボルト１１６は、前記サポートブラケット１０４及び前記マウンティングブラケットを通じて締結することができ
る。

また、前記側壁１０２は、複数のホールを有することができる。前記第１及び第２ロッド（１１２、１２２）は、前記第１ナイフ１１０及び第２ナイフ１２０を通じてそれぞれ延長し、前記第１及び第２ロッド（１１２、１２２）の端部は、前記側壁１０２に形成されたホールを通じて延長することができる。特に、それぞれの前記第１及び第２ロッド（１１２、１２２）は、前記側壁１０２のホールを通じて延長するねじ加工された端部（１１２ａ、１２２ａ）を含むことができる。

前記第１及び第２ロッド（１１２、１２２）のねじ加工された端部（１１２ａ、１２２ａ）には、それぞれナット１２６が結合され、これによって前記第１及び第２ロッド（１１２、１２２）に張力を印加することができる。

一方、前記側壁１０２の上部の間には第１ベース１０６を配置することができ、前記側壁１０２の下部の間には第２ベース１０８を配置することができる。前記第１ベース１０６には前記第１ナイフ１１０の垂れを防止するための第１サポート１３０を装着することができ、前記第２ベース１０８には前記第２ナイフ１２０の垂れを防止するための第２サポート１３２を装着することができる。それぞれの第１及び第２サポート（１３０、１３２）は、折り曲げられたプレートの形状を有し、前記第１及び第２ナイフ（１１０、１２０）を支持するための支持部と前記第１及び第２ベース（１０６、１０８）に装着される装着部を含むことができる。本発明の他の実施例によると、前記処理流体供給部１００は、複数の第１サポートと複数の第２サポートを含むこともできる。

また、図示していないが、前記第１及び第２ナイフ（１１０、１２０）は、前記処理流体を供給するための配管と連結することができる。例えば、前記第１ナイフ１１０の上部面と第２ナイフ１２０の下部面には前記処理流体を供給するための配管をそれぞれ連結することができ、前記配管は前記第１スリットノズル１１４及び第２スリットノズル１２４とそれぞれ連結することができる。

前記によると、前記第１ロッド１１２及び第２ロッド１２２が前記側壁１０２に連結されているが、前記第１ロッド１１２及び第２ロッド１２２は、前記基板２０を処理するための処理チャンバ（図示せず）の側壁に連結することもできる。

図５、図２に示した第１または第２ロッドの他の例を説明するための概略図である。
図５を参照すると、図示したロッドはねじ加工された端部及び前記ねじ加工された端部に対向するヘッドを有することができる。前記ロッドは第１ナイフまたは第２ナイフ及び側璧を通じて配置することができ、前記ねじ加工された端部にナットを締結することによって前記ロッドに張力を印加することができる。

図６は、本発明の他の実施例による処理流体供給装置を説明するための概略的な正面図であり、図７は、図６に示した処理流体供給装置を説明するための概略的な断面図である。図８は、本発明の更に他の実施例による処理流体供給装置を説明するための概略的な正面図である。

図６及び図７を参照すると、示した処理流体供給装置２００は、ガラス基板のような平板型基板２０の表面に処理流体を供給するために用いることができる。
前記処理流体供給装置２００は、第１ナイフ２１０と前記第１ナイフ２１０を通じて延長する第１ロッド２１２を含むことができる。

前記第１ナイフ２１０は、前記基板２０の上部面上に処理流体を供給するための第１ス
リットノズル２１４を有することができる。前記第１ナイフ２１０の上部面上には前記第１ロッド２１２が通過する第１チューブ２１６を配置することができ、前記第１チューブ２１６は、前記第１ナイフ２１０と平行に延長することができる。

本発明の更に他の実施例によると、前記第１チューブ２１６は、前記第１ナイフ２１０の下部面上に配置することもできる。

前記第１ナイフ２１０を支持するための側壁２０２は、前記第１ナイフ２１０の両側端部と隣接して配置することができ、前記第１ナイフ２１０の両側端部は、前記側壁２０２に装着することができる。

前記第１ロッド２１２は、ねじ加工された端部２１２ａを有することができ、前記ねじ加工された端部２１２ａは、前記側壁２０２を通じて外側に延長することができる。また、前記ねじ加工された端部２１２ａにはナット２１８を締結することができ、前記ナット２１８によって前記第１ロッド２１２に張力を印加することができる。即ち、前記第１ロッド２１２は、前記張力によって水平方向に維持することができ、これによって前記第１ナイフ２１０の垂れを防止することができる。

本発明の更に他の実施例によると、前記第１ロッド２１２は図５に示したようにねじ加工された端部と前記ねじ加工された端部に対向するヘッドを含むこともできる。

また、前記処理流体供給装置２００は、前記第１ナイフ２１０の下部で前記第１ナイフ２１０と平行に延長する第２ナイフ２２０を更に含むことができる。前記第２ナイフ２２０の両側端部は、前記側壁２０２によって支持することができ、前記基板２０の下部面上に前記処理流体を供給するための第２スリットノズル２２４を有することができる。

前記第２ナイフ２２０の上部面上には、第２ロッド２２２が通過する第２チューブ２２６を配置することができ、前記第２チューブ２２６には、前記第２ナイフ２２０と平行に延長することができる。前記第２ロッド２２２は、ねじ加工された端部２２２ａを有することができ、前記ねじ加工された端部２２２ａは前記側壁２０２を通じて延長することができる。前記ねじ加工された端部２２２ａにはナット２１８を締結することができ、これによって前記第２ロッド２２２には張力を印加することができる。

本発明の更に他の実施例によると、前記第チューブ２２６は、前記第２ナイフ２２０の下部面上に配置することができる。

本発明の更に他の実施例によると、図８に示したように第１ナイフ２１０及び第２ナイフ２２０の上部面上には複数の第１チューブ２１６ａと複数の第２チューブ２２６ａをそれぞれ配置することができる。

本発明の更に他の実施例によると、前記第１ナイフ２１０及び第２ナイフ２２０の上部面には前記第１ロッド２１２及び第２ロッド２２２が通過する複数のフック（ｈｏｏｋｓ：図示せず）を配置することもできる。

再び図６及び図７を参照すると、前記側壁２０２は、前記第１ナイフ２１０及び第２ナイフ２２０を支持するためのサポートブラケット２０４を含むことができる。前記第１ナイフ２１０及び第２ナイフ２２０は複数のボルト２２８によって前記サポートブラケット２０４に連結することができる。

一方、前記側壁２０２の上部の間には第１ベース２０６を配置することができ、前記側
壁２０２の下部の間には第２ベース２０８を配置することができる。前記第１ベース２０６には前記第１ナイフ２１０の垂れを防止するための第１サポート２３０を装着することができ、前記第２ベース２０８には前記第２ナイフ２２０の垂れを防止するための第２サポート２３２を装着することができる。

前記処理流体供給装置２００に対する追加的な詳細説明は図２乃至図４を参照して既に説明したことと類似であるので省略する。

図９は、本発明の更に他の実施例による処理流体供給装置を説明するための概略的な正面図であり、図１０は、図９に示した処理流体供給装置を説明するための概略的な背面図であり、図１１は、図９に示した処理流体供給装置を説明するための平面図である。

図９乃至図１１を参照すると、示した処理流体供給装置３００は、ガラス基板のような平板型基板２０の表面に処理流体を供給するために用いることができる。

前記処理流体供給装置３００は第１ナイフ３１０と第２ナイフ３２０を含むことができる。

前記第１ナイフ３１０は、前記基板２０の表面に対して平行する方向に延長することができ、前記基板２０の上部面上に処理流体を供給するための第１スリットノズル３１４を有することができる。前記第１ナイフ３１０を支持するための側壁３０２は、前記第１ナイフ３１０の両側端部と隣接して配置することができ、前記第１ナイフ３１０の両側端部は前記側壁３０２に連結することができる。

特に、前記第１ナイフ３１０の両側端部には、前記第１ナイフ３１０に張力を印加するための第１ロッド３１２をそれぞれ連結することができる。前記第１ロッド３１２は、前記第１ナイフ３１０の両側端部に直接的に連結することができる。前記第１ロッド３１２は、前記側壁３０２を通じて延長することができ、前記第１ロッド３１２の端部には前記第１ナイフ３１０に張力を印加するためにナット３１６を締結することができる。

前記第２ナイフ３２０は、前記第１ナイフ３１０と平行に延長することができ、前記基板２０の下部面上に前記処理流体を供給するための第２スリットノズル３２４を有することができる。

前記第２ナイフ３２０の両側端部には第２ロッド３２２をそれぞれ連結することができ、前記第２ロッド３２２は、前記側壁３０２を通じて延長することができる。また、前記第２ロッド３２２の端部には前記第２ナイフ３２０に張力を印加するナット３１６を締結することができる。

前述したように、前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０にはそれぞれ第１ロッド３１２及び第２ロッド３２２を直接連結することができ、前記ナット３１６の締結によって前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０には張力を印加することができる。これによって、前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０の垂れを防止することができる。

本発明の更に他の実施例によると、前記第１ナイフの一端部は、前記側壁のいずれかに装着することができ、他の端部には張力を印加するために第１ロッドを連結することができる。また、前記第２ナイフの一端部は、前記側壁のいずれかに装着することができ、他の端部には張力を印加するために第２ロッドを連結することができる。

図１２乃至図１４は、第１または第２ロッドの例を説明するための断面図である。
図１２を参照すると、示したロッド４１２は、ねじ加工された端部（４１２ａ、４１２ｂ）を含むことができる。前記ロッド４１２の一端部４１２ａは前記第１ナイフ３１０または第２ナイフ３２０に締結することができ、残りの端部４１２ｂは、前記側壁３０２を通じて延長することができる。

図１３を参照すると、示したロッド５１２は、ねじ加工された端部５１２ａを含むことができ、前記ねじ加工された端部５１２ａは、前記側壁３０２を通じて延長することができる。また、前記ロッド５１２の残りの端部は、前記第１ナイフ３１０または第２ナイフ３２０に溶接によって結合することができる。

図１４を参照すると、示したロッド６１２は、ねじ加工された端部６１２ａと前記ねじ加工された端部６１２ａに対向するヘッド部６１２ｂを有することができる。前記ヘッド部６１２ｂは前記第１ナイフ３１０または第２ナイフ３２０の内部に配置することができる。

前述したように、前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０に張力を印加するためのロッドの構成は多様に変更することができる。即ち、前記ロッドは、前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０に直接連結することができ、前記ロッドと前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０の連結方法は本発明の範囲を限定することはない。

再び図９乃至図１１を参照すると、前記側壁３０２は、前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０を支持するためのサポートブラケット３０４を含むことができる。前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０は複数のボルト３１８によって前記サポートブラケット３０４に連結するこができる。

それぞれのサポートブラケット３０４は、前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０の延長方向に延長する長孔３０４ａを有することができる。前記ボルト３１８は、前記第１ロッド３１２、第２ロッド３２２、及びナット３１６によって前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０に張力が印加された後、前記長孔３０４ａを通じて前記第１ナイフ３１０及び第２ナイフ３２０に締結することができる。

一方、前記側壁３０２の上部の間には、第１ベース３０６を配置することができ、前記側壁３０２の下部の間には、第２ベース３０８を配置することができる。前記第１ベース３０６には前記第１ナイフ３１０の垂れを防止するための第１サポート３３０を装着することができ、前記第２ベース３０８には前記第２ナイフ３２０の垂れを防止するための第２サポート３３２を装着することができる。

前記処理流体供給装置３００に対する追加的な詳細説明は図２乃至図４を参照して既に説明されたことと類似であるので、省略する。

前述したのような本発明の実施例によると、平板型基板の表面に処理流体を供給するための第１ナイフ及び第２ナイフの垂れは張力の印加されたロッドによってまたは前記第１ナイフ及び第２ナイフに直接張力を印加することで防止することができる。

よって、前記第１ナイフ及び第２ナイフの垂れによって発生しうる基板の損傷を防止することができ、前記基板上に前記処理流体を均一に供給することができる。

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離脱す
ることなく、本発明を修正または変更できる。

本発明の一実施例による基板処理装置を説明するための概略的な構成図である。 図１に示した処理流体供給部を説明するための概略的な正面図である。 図２に示した処理流体供給部を説明するための概略的な平面図である。 図２に示した処理流体供給部を説明するための概略的な断面図である。 図２に示した第１または第２ロッドの他の例を説明するための概略図である。 本発明の他の実施例による処理供給装置を説明するための概略的な正面図である。 図６に示した処理流体供給装置を説明するための概略的な断面図である。 本発明の更に他の実施例による処理流体供給装置を説明するための概略的な正面図である。 本発明の更に他の実施例による処理流体供給装置を説明するための概略的な正面図である。 図９に示した処理流体供給装置を説明するための概略的な背面図である。 図９に示した処理流体供給装置を説明するための平面図である。 第１または第２ロッドの例を説明するための断面図である。 第１または第２ロッドの例を説明するための断面図である。 第１または第２ロッドの例を説明するための断面図である。

符号の説明

１０ 基板処理装置
２０ 基板
３０ 基板移送部
３２ ローラー
１００ 処理流体供給部
１０２ 側壁
１０４ サポートブラケット
１０６ 第１ベース
１０８ 第２ベース
１１０ 第１ナイフ
１１２ 第１ロッド
１１４ 第１スリットノズル
１１６ ボルト
１２０ 第２ナイフ
１２２ 第２ロッド
１２４ 第２スリットノズル
１２６ ナット
１３０ 第１サポート
１３２ 第２サポート

Claims (20)

1. 基板上に処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、
   前記ナイフの垂れを防止するために、前記ナイフを通じて延長し、前記ナイフの延長方向に張力の印加されたロッドと、を含むことを特徴とする処理流体供給装置。
2. 前記ナイフの両側端部と連結され、前記ナイフを支持する側壁を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の処理流体供給装置。
3. 前記ロッドは、前記側壁に連結されることを特徴とする請求項２に記載の処理流体供給装置。
4. 前記ロッドは、前記側壁を通じて延長するねじ加工された端部を含み、前記ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることを特徴とする請求項２に記載の処理流体供給装置。
5. 前記ロッドは、前記側壁を通じて延長し、ねじ加工された端部と前記ねじ加工された端部に対向するヘッド部を含み、前記ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることを特徴とする請求項２に記載の処理流体供給装置。
6. 前記側壁の間に配置されるベースと、
   前記ベースに装着され、前記ナイフの垂れを防止するためのサポートと、を更に含むことを特徴とする請求項２に記載の処理流体供給装置。
7. それぞれの側壁は、前記ナイフを支持するサポートブラケットを含むことを特徴とする請求項２に記載の処理流体供給装置。
8. 前記ナイフは、前記ロッドが貫通するチューブまたはフックを含むことを特徴とする請求項１に記載の処理流体供給装置。
9. 前記ナイフは、前記ロッドが貫通する複数のチューブまたは複数のフックを含むことを特徴とする請求項１に記載の処理流体供給装置。
10. 前記ナイフと平行に延長する第２ナイフを更に含み、前記基板は、前記ナイフと前記第２ナイフとの間に配置されることを特徴とする請求項１に記載の処理流体供給装置。
11. 基板上に処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、
    前記ナイフの両側端部のうち、少なくとも一つと連結され、前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフの延長方向に前記ナイフに張力を印加する張力印加部と、を含むことを特徴とする処理流体供給装置。
12. 前記ナイフの両側端部に隣接するように配置され、前記ナイフの両側端部を支持する側壁を更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の処理流体供給装置。
13. 前記張力印加部は、
    前記ナイフの端部と連結され、前記側壁のうち、一つを通じて延長し、ねじ加工された端部を含むロッドと、
    前記張力を印加するために前記ロッドのねじ加工された端部に締結されるナットと、を
    含むことを特徴とする請求項１２に記載の処理流体供給装置。
14. 前記ロッドは、前記ナイフの端部に締結される第２ねじ加工された端部を更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の処理流体供給装置。
15. 前記ロッドは、前記ねじ加工された端部に対向するヘッドを更に含み、前記ヘッドは前記ナイフの端部内に配置されることを特徴とする請求項１３に記載の処理流体供給装置。
16. それぞれの側壁は、前記ナイフを支持するためのサポートブラケットを含むことを特徴とする請求項１１に記載の処理流体供給装置。
17. 前記サポートブラケットには、前記ナイフの延長方向と平行に延長する長孔が形成され、前記ナイフは前記長孔を通じて前記ナイフの端部に締結されるボルトによって前記側壁に装着されることを特徴とする請求項１６に記載の処理流体供給装置。
18. 前記ナイフと平行に延長する第２ナイフを更に含み、前記基板は前記ナイフと前記第２ナイフとの間に配置されることを特徴とする請求項１１に記載の処理流体供給装置。
19. 基板を支持する複数のローラーと、
    前記基板を移送するために前記ローラーに回転力を提供する駆動部と、
    前記基板上に処理流体を供給するための処理流体供給部を含み、
    前記処理流体供給部は、
    前記基板上に前記処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、
    前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフを通じて延長して前記ナイフの延長方向に張力の印加されたロッドと、を含むことを特徴とする基板処理装置。
20. 基板を支持する複数のローラーと、
    前記基板を移送するために前記ローラーに回転力を提供する駆動部と、
    前記基板上に処理流体を供給するための処理流体供給部を含み、
    前記処理流体供給部は、
    前記基板上に前記処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、
    前記ナイフの両側端部のうち、少なくとも一つと連結され、前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフの延長方向に前記ナイフに張力を印加する張力印加部と、を含むことを特徴とする基板処理装置。

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