CN101441988A - 用于供给处理流体的装置和具有该装置的处理衬底用装置 - Google Patents

Abstract

在一种用于将处理流体供给至衬底上的装置和一种具有该装置的用于处理衬底的装置中，处理流体刀在平行于该衬底的表面的方向延伸，并具有缝喷嘴以供给该处理流体。杆在该刀的延伸方向延伸穿过该刀，并且在该刀的延伸方向将张紧力施加刀该杆，从而防止该刀下垂。因此，可以减小或防止由于刀的下垂可能引起的对衬底的损伤，而且进一步处理流体可被均匀地供给至衬底上。

Description

用于供给处理流体的装置和具有该装置的处理衬底用装置

技术领域

示例性实施例大体涉及一种用于供给处理流体的装置和一种具有该装置的用于处理衬底的装置。更详而言之，示例性实施例涉及一种用于将处理流体供给至诸如玻璃衬底的平板型衬底上的装置和一种具有该装置的用于处理衬底的装置。

背景技术

在诸如液晶显示器装置的平板显示器装置的制造中，一般可以使用诸如玻璃衬底的平板型衬底，并且可以执行各种处理，以在玻璃衬底上形成电路图案。例如，可以执行用于在玻璃衬底上形成层的沉积处理、用于从该层形成想要图案的蚀刻处理、用于从玻璃衬底上移除杂质的清洁处理、用于干燥玻璃衬底的干燥处理等。

衬底处理装置可以包括：用于装载衬底的衬底装载器，用于在由衬底装载器装载的衬底上执行蚀刻、清洁、剥除或显影处理的衬底处理部分，用于利用漂洗溶液漂洗处理过的衬底的漂洗部分，用于干燥漂洗过的衬底的干燥部分，用于运出衬底的卸载器等。

进一步，衬底处理装置可以包括用于将处理流体供给至衬底上的处理流体刀。例如，处理流体刀可以是用于供给诸如蚀刻溶液、清洁溶液、漂洗溶液等处理流体的喷淋刀(shower knife)，或用于供给空气或干燥气体的气刀(airknife)。

处理流体刀可以在平行于衬底的表面的方向延伸，并在转移衬底时，可以将处理流体供给到衬底上。近来，随着衬底的尺寸增大，处理流体刀的长度也增大。然而，当处理流体刀的长度增大时，可能会发生处理流体刀的下垂。

发明内容

本发明的示例性实施例提供了一种用于供给处理流体的装置，该装置能够防止处理流体刀下垂。

进一步，本发明的示例性实施例提供了一种用于处理衬底的装置，该装置能够防止处理流体刀下落。

根据本发明的一个方面，用于将处理流体供给至衬底上的装置可以包括：刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及杆，该杆延伸穿过所述刀，以防止所述刀下落。张紧力可以在所述刀延伸的方向被施加至所述杆，以防止所述刀下垂。

根据本发明的一些示例性实施例，该装置可以进一步包括与所述刀的两端连接的侧壁以支撑所述刀。

根据本发明的一些示例性实施例，所述杆可以连接至所述侧壁。

根据本发明的一些示例性实施例，所述杆可以包括延伸穿过所述侧壁的螺纹端，且所述张紧力可以通过螺接至所述螺纹端的螺母，施加至所述杆。

根据本发明的一些示例性实施例，所述杆可以包括螺纹端和头，该螺纹端和头各自延伸穿过所述侧壁，且所述张紧力可以通过螺接至所述螺纹端的螺母，施加至所述杆。

根据本发明的一些示例性实施例，该装置可以进一步包括：设置在所述侧壁之间的基部；以及安装在所述基部上的支撑体，以防止所述刀下垂。

根据本发明的一些示例性实施例，各所述侧壁中可以包括用于支撑所述刀的支撑架。

根据本发明的一些示例性实施例，所述刀可以包括以允许所述杆通过的管或钩。

根据本发明的一些示例性实施例，所述刀可以包括以允许所述杆通过的多个管或多个钩。

根据本发明的一些示例性实施例，所述装置可以进一步包括平行于所述刀延伸的第二刀，且所述衬底可以被设置在所述刀和所述第二刀之间。

根据本发明的另一方面，用于将处理流体供给至衬底上的装置可以包括：刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，且在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及张紧力施加部分，该张紧力施加部分与所述刀的两端中的至少一端相连，以将张紧力施加至所述刀，从而防止所述刀下垂。

根据本发明的一些示例性实施例，所述装置可以进一步包括设置为邻接所述刀的两端以支撑所述刀的所述两端的侧壁。

根据本发明的一些示例性实施例，所述张紧力施加部分包括杆和螺母。该杆可以连接至所述刀的端部。进一步，该杆可以延伸穿过所述侧壁中的一个并可以包括螺纹端。该螺母可以螺接至所述杆的所述螺纹端，以施加所述张紧力。

根据本发明的一些示例性实施例，所述杆可以进一步包括螺接入所述刀的端部的第二螺纹端。

根据本发明的一些示例性实施例，所述杆可以进一步包括与所述螺纹端相对的头，且所述头可以被设置在所述刀的端部之中。

根据本发明的一些示例性实施例，各所述侧壁中可以包括用于支撑所述刀的支撑架。

根据本发明的一些示例性实施例，所述支撑架可以具有细长孔，该细长孔平行于所述刀的延伸方向延伸，以及所述刀可以通过螺栓安装在所述侧壁上，该螺栓穿过所述细长孔螺接入所述刀的端部。

根据本发明的一些示例性实施例，所述装置可以进一步包括平行于所述刀延伸的第二刀，并且所述衬底可以被设置在所述刀和所述第二刀之间。

根据本发明的又一方面，用于处理衬底的装置可以包括：多个支撑所述衬底的辊；向所述辊提供旋转力，以转移所述衬底的驱动部分；以及处理流体供给部分，用于将处理流体供给至所述衬底上。这里，所述处理流体供给部分可以包括：刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至所述衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及杆，该杆延伸穿过所述刀，以防止所述刀下垂，在所述刀的延伸方向，张紧力被施加至所述杆。

根据本发明的再一方面，用于处理衬底的装置可以包括：多个支撑所述衬底的辊；向所述辊提供旋转力以转移所述衬底的驱动部分；以及处理流体供给部分，用于将处理流体供给至所述衬底上。这里，所述处理流体供给部分可以包括：刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至所述衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及张紧力施加部分，该张紧力施加部分与所述刀的两端的至少一端相连，以向所述刀施加张紧力，从而防止所述刀下垂。

根据本发明的示例性实施例，通过将张紧力施加至延伸穿过所述刀的杆或者通过直接将张紧力施加至所述刀，可以减小或防止用于将处理流体供给至衬底的刀下垂。因此，可以减小或防止由于刀的下垂可能出现的对衬底的损伤，并且进一步处理流体可被均匀地供给至衬底上。

附图说明

通过下述结合附图的详细说明，本发明的示例性实施例将容易地变得清楚，其中：

图1是示出了根据本发明示例性实施例的用于处理衬底的装置的示意图；

图2是示出了图1所示的处理流体供给部分的示意正视图；

图3是示出了图2所示的处理流体供给部分的示意平面图；

图4是示出了图2所示的处理流体供给部分的示意剖视图；

图5是示出了图2所示的第一或第二杆的另一实施例的示意图；

图6是示出了根据本发明另一个示例性实施例的用于供给处理流体的装置的示意正视图；

图7是示出了图6所示的处理流体供给装置的示意剖视图；

图8是示出了根据本发明又一个示例性实施例的用于供给处理流体的装置的示意正视图；

图9是示出了根据本发明又一个示例性实施例的用于供给处理流体的装置的示意正视图；

图10是示出了图9所示的处理流体供给装置的示意后视图；

图11是示出了图9中显示的处理流体供给装置的示意平面图；和

图12至14是示出了第一或第二杆的另一个示例的示意剖视图。

具体实施方式

下面，参考附图，对本发明进行更全面地说明，附图中示出了本发明的示例性实施例。然而，本发明可以体现为多种不同形式，并不应理解为局限于这里叙述的示例性实施例。而是，提供这些实施例，从而使本发明全面和完整，并将本发明的范围完全地传达给本领域的普通技术人员。图中，为了清楚起见，可以放大层和区域的大小和相对大小。

应该理解的是，当元件或层被述及位于另一元件或层“上”或“连接至”另一元件或层时，该元件或层可以直接位于另一个元件或层之上或者直接与另一元件或层相连，或者可以存在着居间的元件或层。相比之下，当元件被述及“直接位于......上”或“直接连接至”另一个元件或层时，不存在着居间元件或层。通篇中，相同的引用标号表示相同的元件。如本文所用的，用语“和/或”包括一个或多个相关列出项的任意和所有组合。

尽管这里可以使用术语第一、第二、第三等用于说明不同的元件、部件、区域、层和/或部分，但是应该理解的是，这些元件、部件、区域、层和/或部分不应该受这些术语的限制。这些术语仅仅用于将一个元件、部件、区域、层和/或部分与另一个区域、层或部分区分开来。因此，在不背离本发明的教示的前提下，下面述及的第一元件、部件、区域、层或部分可以被称为第二元件、部件、区域、层或部分。

为了易于说明，在这里可以使用诸如“下”、“上”等空间相对术语，用于说明图中示出的一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。应该理解的是，除了图中示出的方位之外，空间术语意在于还包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被倒置，被叙述为位于其他元件或特征“下方”或“之下”的元件将定位在其他元件或特征“之上”。因此，示例性术语“下”可以包含上和下方位两者。装置可以以其他方式定位(旋转90度或位于其他方位)，这里所用的空间相对说明可相应地解释。

这里使用的措辞的目的仅仅用于说明具体实施例，而非用于限制本发明。如本文所用，单数形式的“一”(a，an，the)意在于也包括复数形式，除非上下文另有清楚表示。进一步应该理解的是，当说明书中使用术语“包括”(comprise，comprising)时，指明存在述及的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件，但是不排除存在或增加一个或多个其他的特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其群组。

除非相反地限定，本文使用的所有的术语(包括技术和科学术语)具有与本发明所属的本领域普通技术人员所普遍理解的意义相同的意义。进一步应该理解的是，诸如在普遍使用的词典中定义的那些术语，应该被解释为具有与在相关领域的上下文中它们的意义一致的意义，而不应该以理想化或者过分形式化地去解释，除非本文清楚地限定。

本文参考示意示出的本发明的理想实施例(和中间结构)的剖面视图，说明本发明的示例性实施例。为此，应该想到例如由于制造技术和/或误差所引起的图示形状的变化。因此，本发明的示例性实施例不应该理解为局限于本文示出的区域的特定形状，而是包括例如由于制造所导致的形状的偏差。图中示出的区域本质上是示意性的，并且其形状本意不是用于示出装置的区域的真实形状，且本意并非限制本发明的范围。

图1是示出了根据本发明示例性实施例的用于处理衬底的装置的示意图。

参考图1，根据本发明的示例性实施例，可以使用用于处理衬底的装置10，来处理诸如玻璃衬底的平板型衬底20。例如，衬底处理装置10可以被用于执行诸如蚀刻处理、清洁处理、剥除处理、显影处理、漂洗处理等的处理。

衬底处理装置10可以包括衬底转移部分30和处理流体供给部分100，该衬底转移部分被设置为用于转移衬底20，该处理流体供给部分被设置为用于将处理流体供给至衬底10上。

衬底转移部分30可以包括：多个旋转轴，该多个旋转轴被布置在衬底20转移的方向，且在垂直于该转移方向的方向延伸；多个辊32，所述辊安装在旋转轴上，以支撑衬底20，且由旋转轴驱动旋转，以转移衬底20；和驱动部分，该驱动部分与旋转轴连接，以提供旋转力，从而使旋转轴旋转。

尽管在图1中未示出，驱动部分可以包括用于产生旋转力的电机，并且旋转轴可以通过动力传动装置连接至驱动部分，该动力传动装置包括带和多个带轮或多个齿轮。

当通过衬底转移部分30转移衬底20时，可以使用处理流体供给部分100，将处理流体供给至衬底20的上表面和/或下表面上。

例如，处理流体供给部分100可以包括喷淋刀，用于供给诸如蚀刻溶液、清洁溶液、漂洗溶液等处理流体。可替换地，处理流体供给部分100可以包括用于供给空气或干燥气体的气刀。

图2是示出图1所示的处理流体供给部分的示意正视图，图3是示出图2所示的处理流体供给部分的示意平面图，且图4是示出图2所示的处理流体供给部分的示意剖视图。

参考图2至4，处理流体供给部分100可以包括第一刀110和延伸穿过第一刀110的第一杆112。

侧壁102可以设置为邻接第一刀110的两端以支撑第一刀110，并且第一刀110的两端可以连接至侧壁102。

第一刀110可以具有第一缝喷嘴114以供给至衬底20的上表面上，并且可以在平行于衬底20的表面的方向延伸。例如，第一刀110可以在与衬底20的转移方向不同的水平方向延伸。

可以在第一刀110的延伸方向穿过第一刀110设置第一杆112，可以在第一刀110的延伸方向向第一杆112施加张紧力，从而减少或防止第一刀110下垂。第一杆112可以通过张紧力水平地保持，因此可以减小或防止第一刀110下垂。

进一步，处理流体供给部分100可以包括第二刀120，该第二刀在第一刀110的下方平行于第一刀110延伸。第二刀120的两端可以被侧壁102支撑，并可以具有用于将处理流体供给至衬底20的下表面上的第二缝喷嘴124。

为了减小或防止第二刀120下垂，第二杆122可以延伸穿过第二刀120，并且，可以在第二刀120的延伸方向，将张紧力施加至第二杆122。

同时，第一刀110和第二刀120可以相对于衬底20的表面具有倾斜角，如图4中示出的。例如，第一刀110和第二刀120各自可以在与衬底20的转移方向相反的方向具有倾斜角。

侧壁102可以包括用于支撑第一刀110和第二刀120的支撑架104。第一刀110和第二刀120可以通过多个螺栓116连接至支撑架104。然而，第一刀110和第二刀120可以通过各种方法连接至侧壁102。因此，本发明的范围不受将第一刀110和第二刀120连接至侧壁102的方法的限制。

根据本发明的另一个示例性实施例，第一和第二刀110和120可以包括用于连接至支撑架104的安装支架。尽管图中未示出，安装支架可以分别设置在第一和第二刀110和120的端部上，螺栓116可以通过安装支架螺接入支撑架104。

进一步，侧壁102可以具有多个孔。第一和第二杆112和122可以分别延伸穿过第一和第二刀110和120，并且第一和第二杆112和122的端部可以延伸穿过侧壁102的孔。特别地，第一和第二杆112和122可以包括分别延伸穿过侧壁102的孔的螺纹端112a和122a。

螺母126可被螺接到第一和第二杆112和122的螺纹端112a和122a，并且，因此可以通过螺母126将张紧力施加到第一和第二杆112和122。

同时，可以在侧壁102的上部之间设置第一基部106，且可以在侧壁102的下部之间设置第二基部108。可以在第一基部106上安装第一支撑体130，以防止第一刀110下垂，且可以在第二基部108上安装第二支撑体132，以防止第二刀120下垂。第一和第二支撑体130和130各自可以具有弯曲板形状，并可以包括支撑部和安装部，该支撑部用于支撑第一或第二刀110或120，该安装部用于安装在第一或第二基部106或108上。可替换地，处理流体供给部分100可以包括多个第一支撑体和多个第二支撑体。

尽管图中未示出，第一和第二刀110和120可以连接有用于供给处理流体的管道。例如，管道可以连接至第一刀110的上部和第二刀120的下部，并且管道可以与第一缝喷嘴114和第二缝喷嘴124连通以供给处理流体。

如上面所述，尽管第一杆112和第二杆122被连接至侧壁102，但是第一杆112和第二杆122也可以连接至用于处理衬底20的处理腔的侧壁。

图5是示出了图2所示的第一或第二杆的另一个示例的示意图。

如图5中示出的杆可以包括螺纹端和与螺纹端相对的头。该杆可以设置为穿过第一刀或第二刀以及侧壁，并且可以通过螺接到螺纹端的螺母将张紧力施加到杆。

图6是示出了根据本发明另一个示例性实施例的用于供给处理流体的装置的示意正视图，图7是示出了图6所示的处理流体供给装置的示意剖视图，且图8是示出了根据本发明又一实施例的用于供给处理流体的装置的示意正视图。

参考图6和7，用于供给处理流体的装置200可被用于将处理流体供给至诸如玻璃衬底的平板型衬底20上。

处理流体供给装置200可以包括第一刀210和第一杆212。

第一刀210可以具有用于将处理流体供给至衬底20的上表面上的第一缝喷嘴214。可以将第一管216布置在第一刀210的上表面上，且第一杆212可以延伸穿过第一管216。第一管216可以平行于第一刀210延伸。

可替换地，可以将第一管216布置在第一刀210的下表面上。

侧壁202可设置为邻接第一刀210的两端，以支撑第一刀210，并且第一刀210的两端可以分别连接到侧壁202上。

第一杆212可以包括螺纹端212a，该螺纹端可以向外延伸穿过侧壁202。进一步，螺母218可以螺接到螺纹端212a，且因此通过螺母218，将张紧力施加至第一杆212。也就是，通过张紧力可以水平地保持第一杆212，并且，因此可以通过第一杆212减小或阻止第一刀210下垂。

根据本发明的又一个示例性实施例，第一杆212可以包括螺纹端和与螺纹端相对的头，如图5中示出的。

进一步，处理流体供给装置200可以进一步包括第二刀220，该第二刀在第一刀210的下方平行于第一刀210延伸。可以通过侧壁202支撑第二刀220的两端，并且第二刀220可以具有用于将处理流体供给至衬底20的下表面上的第二缝喷嘴224。

在第二刀220的上表面上可以布置第二管226，且第二杆222可以延伸穿过第二管226。第二杆222可以包括螺纹端222a，该螺纹端可以向外延伸穿过侧壁202。进一步，可以将螺母218螺接到螺纹端222a，并且，因此可以通过螺母218将张紧力施加到第二杆212。

可替换地，可以将第二刀220布置在第二管226的下表面上。

根据本发明的又一示例性实施例，在第一刀210和第二刀220的上表面上可以分别设置多个第一管216a和多个第二管226a，如图8中示出的。

根据本发明的又一示例性实施例，可以在第一刀210和第二刀220的上表面上设置钩(未示出)，第一杆212和第二杆222可延伸穿过该钩。

再参考图6和7，侧壁202可以包括支撑架204以支撑第一刀210和第二刀220。可以通过螺栓216，将第一刀210和第二刀220连接至支撑架204。

可以将第一基部206设置在侧壁202的上部之间，且可以将第二基部208设置在侧壁202的下部之间。可以将第一支撑体230安装在第一基部206上，以防止第一刀210下垂，并且可以将第二支撑体232安装在第二基部208上，以防止第二刀120下垂。

由于与已参考图2至4说明的内容相似，因此将省略对于处理流体供给装置200的更详细的说明。

图9是示出了根据本发明又一个实施例的用于供给处理流体的装置的示意正视图，图10是示出了图9所示的处理流体供给装置的示意后视图，且图11是示出了图9所示的处理流体供给装置的示意平面图。

参考图9至11，用于供给处理流体的装置300可被用以将处理流体供给至诸如玻璃衬底的平板型衬底20的表面上。

处理流体供给装置300可以包括第一刀310和第二刀320。

第一刀310可以在平行于衬底20的上表面的方向延伸，并可以具有第一缝喷嘴314以将处理流体供给至衬底20的上表面上。可以将侧壁202设置为邻接第一刀310的两端，以支撑第一刀310，并且第一刀310的两端可以连接至侧壁302。

特别地，第一杆312可以连接至第一刀310的两端，以将张紧力施加至第一刀310。第一杆312可以直接地连接至刀310的两端，并可以延伸穿过侧壁302。每个第一杆312可以包括螺纹端，并且可以将螺母316螺接至螺纹端，以将张紧力施加至第一刀310。

第二刀320可以平行于第一刀310延伸，并可以具有用于将处理流体供给至衬底20的下表面上的第二缝喷嘴324。

第二杆322可以连接至第二刀320的两端，并可以向外延伸穿过侧壁302。每个第二杆322可以包括螺纹端，并且可以将螺母316螺接至螺纹端，以将张紧力施加至第二刀320。

如上所述，第一和第二杆312和322可以分别直接地连接至第一和第二刀310和320，并且可以通过螺接至第一和第二杆312和322的螺纹端的螺母316，将张紧力施加至第一和第二刀310和320。因此，可以减小或防止第一和第二刀310和320的下垂。

根据本发明的又一个示例性实施例，第一刀的第一端可以直接地连接至第一侧壁，以及第一刀的第二端可以通过第一杆和第一螺母连接至第二侧壁。进一步，第二刀的第一端可以直接地连接至第一侧壁，且第二刀的第二端可以通过第二杆和第二螺母连接至第二侧壁。

图12至14是示出了第一或第二杆的另一个示例的示意剖视图。

参考图12，杆412可以包括螺纹端412a和412b。杆412的一端412a可以螺接入第一或第二刀310或320的一端，且杆412的另一端412b可以延伸穿过侧壁302中的一个。

参考图13，杆512可以包括螺纹端512a。杆512的螺纹端512a可以延伸穿过侧壁302中的一个，且杆512的另一端可以通过焊接工艺连接至第一或第二刀310或320。

参考图14，杆612可以包括螺纹端612a和与螺纹端612a相对的头612b。可以将杆612的头612b设置在第一或第二刀310或320之中。

如上所述，用于将张紧力施加至第一和第二刀310和320的杆可以具有各种构造，并且可以直接连接至第一和第二刀310和320。然而，本发明的范围不受将杆连接至第一刀和第二刀310和320的方法的限制。

再参考图9至11，侧壁302可以包括用于支撑第一刀310和第二到320的支撑架304。第一刀310和第二刀320可以通过螺栓318连接至支撑架304。

每个支撑架304可以具有细长孔304a，该细长孔可以在第一和第二刀310和320延伸的方向延伸。在通过第一杆312、第二杆322和螺母316将张紧力施加至第一和第二刀310和320之后，螺栓318可以穿过细长孔304a螺接入第一和第二刀310和320的端部。

同时，可以将第一基部306设置在侧壁302的上部之间，且将第二基部308设置在侧壁302的下部之间。可以将第一支撑体330安装在第一基部306上，以防止第一刀310下垂，以及可以将第二支撑体332安装在第二基部308上，以防止第二刀320下垂。

由于与已参考图2至4所说明的内容相似，因此将省略对处理流体供给装置300的更详细的说明。

根据本发明的示例性实施例，通过将张紧力施加至延伸穿过刀的杆或者直接将张紧力施加至刀，可以减小或防止用于将处理流体供给至平板型衬底的表面上的刀的下垂。

因此，可以减小或防止由于刀的下垂而对衬底造成的损伤，并且进一步，处理流体可被均匀地供给至衬底上。

尽管已经说明了本发明的示例性实施例，但是应该理解的是，本发明不局限于这些示例性实施例，在不背离本文所要求的本发明的精神和范围的前提下，本领域的普通技术人员可以对其进行各种修改和变更。

Claims (20)

1、一种用于将处理流体供给至衬底上的装置，所述装置包括：

刀，所述刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及

杆，所述杆延伸穿过所述刀以防止所述刀下垂，在所述刀延伸的方向，张紧力被施加至所述杆。

2、如权利要求1所述的装置，进一步包括与所述刀的两端连接的侧壁以支撑所述刀。

3、如权利要求2所述的装置，其中所述杆连接至所述侧壁。

4、如权利要求2所述的装置，其中所述杆包括延伸穿过所述侧壁的螺纹端，且所述张紧力通过螺接至所述螺纹端的螺母施加至所述杆。

5、如权利要求2所述的装置，其中所述杆包括螺纹端和头，所述螺纹端和头各自延伸穿过所述侧壁，且所述张紧力通过螺接至所述螺纹端的螺母施加至所述杆。

6、如权利要求2所述的装置，进一步包括：设置在所述侧壁之间的基部；以及安装在所述基部上以防止所述刀下垂的支撑体。

7、如权利要求2所述的装置，其中各所述侧壁包括用于支撑所述刀的支撑架。

8、如权利要求1所述的装置，其中所述刀包括允许所述杆通过的管或钩。

9、如权利要求1所述的装置，其中所述刀包括允许所述杆通过的多根管或多个钩。

10、如权利要求1所述的装置，进一步包括平行于所述刀延伸的第二刀，且所述衬底被设置在所述刀和所述第二刀之间。

11、一种用于将处理流体供给至衬底上的装置，所述装置包括：

刀，所述刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，且在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及

张紧力施加部分，所述张紧力施加部分与所述刀的两端中的至少一端相连，以将张紧力施加至所述刀，从而防止所述刀下垂。

12、如权利要求11所述的装置，进一步包括设置为邻接所述刀的两端以支撑所述刀的所述两端的侧壁。

13、如权利要求12所述的装置，其中所述张紧力施加部分包括：

连接至所述刀的所述端的杆，所述杆延伸穿过所述侧壁中的一个并包括螺纹端；和

螺接至所述杆的所述螺纹端以施加所述张紧力的螺母。

14、如权利要求13所述的装置，其中所述杆进一步包括螺接入所述刀的所述端的第二螺纹端。

15、如权利要求13所述的装置，其中所述杆进一步包括与所述螺纹端相对的头，且所述头被设置在所述刀的所述端之中。

16、如权利要求11所述的装置，其中各所述侧壁包括用于支撑所述刀的支撑架。

17、如权利要求16所述的装置，其中所述支撑架具有细长孔，所述细长孔平行于所述刀的延伸方向延伸，以及所述刀通过穿过所述细长孔螺接入所述刀的所述端中的螺栓安装在所述侧壁上。

18、如权利要求11所述的装置，进一步包括平行于所述刀延伸的第二刀，并且所述衬底被设置在所述刀和所述第二刀之间。

19、一种用于处理衬底的装置，所述装置包括：

多个支撑所述衬底的辊；

向所述辊提供旋转力以转移所述衬底的驱动部分；以及

处理流体供给部分，用于将处理流体供给至所述衬底上，所述处理流体供给部分包括：

刀，所述刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至所述衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及

杆，所述杆延伸穿过所述刀以防止所述刀下垂，在所述刀的延伸方向，张紧力被施加至所述杆。

20、一种用于处理衬底的装置，该装置包括：

多个支撑所述衬底的辊；

向所述辊提供旋转力以转移所述衬底的驱动部分；以及

处理流体供给部分，用于将处理流体供给至所述衬底上，所述处理流体供给部分包括：

刀，所述刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至所述衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及

张紧力施加部分，所述张紧力施加部分与所述刀的两端的至少一端相连，以向所述刀施加张紧力，从而防止所述刀下垂。

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