TWI329558B - - Google Patents

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1329558 » (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於將液晶用的玻璃基板或半導體晶圓等薄 片狀的工件搬進搬出儲存櫃之多關節機器人。 【先前技術】 過去提案的多關節機器人係將肩關節部的旋轉中心及 台座的旋轉中心予以偏位來令台座旋轉時，縮小多關節機 器人的迴旋半徑（例如，參考日本專利文獻1 )。 習知的多關節機器人1係如第5圖所示，具備有利用 關節部3、4、5來可迴轉地連結，傳達迴轉驅動源的迴轉 力，致使進行所要的動作之兩組臂2所組成，以被設置在 兩組臂2的基端之關節部3的迴轉中心軸，以向上下（或 是軸方向）配置的方式構成。 多關節機器人1係具備有兩組臂2，其中一方的臂驅 動型裝置2爲供應用，另一方則爲取出用，能夠同時進行 工件9的供應動作及其他工件9的取出動作。 另外，習知的多關節機器人1係以利用臂2來保持工 件9之手部8能夠在圖中箭頭X所示之工件9的取出/供 應方向上進行直線移動的方式構成。 另外，習知的多關節機器人1係具備有令裝設著臂2 的支撐構件10向上下移動之移動構件11 (以下，稱爲上 下移動機構11)，能夠調整臂2的上下位置。另外，上下 移動機構11的台座13係可轉動地設置，形成爲將多關節 -5- (2) 1329558 _ 機器人1迴旋來改變方向。 進而，本實施形態的多關節機器人1，在圖中箭頭γ 所示的方向上，即是在手部8的移動方向與支撐構件10 的上下移動方向的各別所垂直的方向上，在基台14上可 移動地裝設台座13，而可調整上下移動機構11的位置。 另外，習知的多關節機器人1所裝備的兩組臂2，例 如具有複數個關節部，即是多關節機器人1由水平多關節 φ 型機器人所構成。本實施形態中的臂2則具備有第1臂6 (以下，稱爲上腕6)、及與上腕6相連結之第2臂7( 以下，稱爲前腕7)、及與前腕7相連結並保持工件9之 手部8。 上腕6的基端係介於驅動軸來連結在支撐構件1〇，構 成可轉動的關節部3(以下，稱爲肩關節部3)。該肩關 節部3成爲臂2的基端之關節部3。另外，上腕6的前端 與前腕7的基端介於驅動軸來予以相連結，構成可轉動的 φ 關節部4(以下，稱爲肘關節部4)。另外，前腕7的前 端與手部8介於驅動軸來予以相連結，構成可轉動的關節 部5(以下，稱爲手部關節部5)。肩關節部3的迴轉中 心軸爲相同軸上，以上下方向相對面的方式配置。 臂2係利用迴轉驅動源（未圖示）來令肩關節部3及 肘關節部4及手關節部5轉動，致使手部8在工件取出/ 供應方向上移動。此時，臂2則在該機構上，以手部8朝 向一個方向，在上腕6及前腕7完全伸展的伸展位置、與 上腕6及前腕7成爲折疊的狀態之收縮位置之間直線移動 -6 - (3) 1329558 的方式，進行伸縮動作。 專利文獻1 :日本專利特開2001 — 2742 1 8號公報（第 4~5頁，第1圖） 【發明內容】 <發明所欲解決之課題> 將液晶用的玻璃基板或半導體晶圓等薄片狀的工件搬 φ 進搬出儲存櫃之多關節機器人，已進展爲大型化，處理基 板的片數也增加並且要求在短時間內處理。因而，機器人 儘管配置基板的儲存櫃變成到達頂棚程度的高度導致設備 本身大型化，儲存櫃仍最好是配置更多的基板並進行處理 。另外，液晶基板或半導體晶圓的生產片處逐年增加中， 爲了要提高生產速度，機器人則被要求搬送的流量。然而 ，機器人包含有機械零件，因而必須要維修，維修時間也 成爲關係到流量的因數，最好是很容易就可以進行維修。 φ 然而，習知的多關節機器人係在臂基端收納電動機或 皮帶輪，將電纜線拉線到已配置在手部的感測器。考慮到 電纜線的曲折半徑，而形成爲上下方向較厚的構造。因而 ，由於無法縮窄臂的間隔，故會發生儲存櫃內配置液晶基 板或半導體基板的間隔不得不加寬的問題。也就是儲存櫃 內可以配置的面板或基板的片數變少，因而會發生產速度 降低的問題。爲了要避免這點，考慮到在經由上下移動機 構搬進搬出時改變臂的高度，不過此情況，會發生令臂上 下移動的順序反覆進行而耗費時間，且作業時間變長等的 (4) 1329558 問題。 本發明係鑑於上述的問題點而提案，其目的是提供將 讓生產性提高之液晶用的玻璃基板或半導體晶圓等之薄片 狀的工件搬進搬出儲存櫃之多關節機器人。 <用以解決課題之手段> 爲了要解決上述問題，本發明的構成如以下所述。 φ 本發明的申請專利範圍第1項所述之多關節機器人， 是一種由載置搬送物之手部、及與前述手部相連結，具備 至少2個以上的迴轉關節，以朝向〗個方向移動前述手部 的方式進行伸縮，以在軸方向上相對向的方式配置之多關 節臂、及將前述多關節臂與向上下移動的移動機構予以相 連結之支撐構件、及被裝備在前述移動機構之具有迴旋功 能之台座所組成之多關節機器人，該多關節機器人係在至 少1個前述迴轉關節，具備有中空連結孔。 • 本發明的申請專利範圍第2項所述之多關節機器人， 係在前述中空連結孔配置成供電纜線通過。 本發明的申請專利範圍第3項所述之多關節機器人， 係以多芯電纜線除去了包覆的單芯電纜線，穿過至少1個 前述迴轉關節的方式配線。 本發明的申請專利範圍第4項所述之多關節機器人， 係以多芯電纜線除去了包覆的單芯電纜線，穿過被裝備在 前述迴轉關節之中空連結孔，來通過至少1個前述迴轉關 節的方式配線。 -8 - (5) 1329558 本發明的申請專利範圍第5項所述之多關節機器人， 係以多芯電纜線除去了包覆的單芯電纜線，穿過被裝備在 前述迴轉關節之中空連結孔，而在前述中空連結孔的任一 方的端面，前述單芯電纜線伸出時，在圓周上單芯電纜線 通過至少1個前述迴轉關節的方式呈噴水狀配線。 本發明的申請專利範圍第6項所述之多關節機器人， 係具備有：以多芯電纜線除去了包覆的單芯電纜線，穿過 φ 至少1個前述迴轉關節的方式配線，從多芯電纜線變成單 芯電纜線時，固定單芯電纜線之結紮手段。 本發明的申請專利範圍第7項所述之多關節機器人， 係前述結紮手段裝備在中空連結孔的中空部。 本發明的申請專利範圍第8項所述之多關節機器人， 係具有：以大致C形狀來形成前述結紮手段的剖面，C形 開口部用螺栓等緊固之緊固部。 本發明的申請專利範圍第9項所述之多關節機器人， φ 係在被裝備在前述支撐構件之前述迴轉關節具備有中空連 結孔，通過前述迴轉關節的電纜線由單芯電纜線所組成， 穿過前述中空連結孔來予以配線。 本發明的申請專利範圍第1〇項所述之多關節機器人 ，是一種由載置搬送物之手部、及與前述手部相連結’具 備至少2個以上的迴轉關節’以朝向1個方向移動前述手 部的方式進行伸縮，以在軸方向上相對向的方式配置之多 關節臂、及將前述多關節臂與向上下移動的移動機構予以 相連結之支撐構件、及被裝備在前述移動機構之具有迴旋 -9- (6) 1329558 功能之台座所組成之多關節機器人，該多關節機器人係形 成爲：迴轉自如地被連結在前述支撐構件的上腕之軸方向 的厚度，與前述支撐構件的厚度相同或是更薄。 本發明的申請專利範圍第11項所述之多關節機器人 的配線方法，是一種由載置搬送物之手部、及與前述手部 相連結，具備至少2個以上的迴轉關節，以朝向1個方向 移動前述手部的方式進行伸縮，以在軸方向上相對向的方 φ 式配置之多關節臂、及將前述多關節臂與向上下移動的移 動機構予以相連結之支撐構件、及被裝備在前述移動機構 之具有迴旋功能之台座所組成之多關節機器人的配線方法 ，該多關節機器人的配線方法係穿過被設置在前述迴轉關 節之中空連結孔來將電纜線予以配線。 本發明的申請專利範圍第12項所述之多關節機器人 的配線方法，是一種通過前述迴轉關節之前述電纜線由單 芯電纜線所配線之多關節機器人的配線方法。 〔發明效果〕 依據申請專利範圍第1至9項以及第11和12項，在 迴轉關節內備有中空連結孔，藉此來解決迴轉被連結且因 構件而使電纜線扭曲。進而，將電纜線配線在該中空連結 孔內，藉由此方式，不必配置配線用的路徑就可以將電纜 線予以配線，因而可以小型化。另外，將通過中空連結孔 內的電纜線由多芯電纜線改成單芯電纜線，可以縮小電纜 線的曲率半徑，又可以消除不必要的空間，藉此可以減少 -10- (7) 1329558 迴轉關節的上下方向厚度。 另外，依據申請專利範圍第10項，形成爲迴轉自如 地連結在支撐構件之上腕的軸方向厚度，與支撐構件的厚 度相同厚度、或是更薄，因而可以減少迴轉關節的上下方 向厚度，故可以縮窄臂的間隔，又儲存櫃內可以配置更多 的液晶基板或半導體基板，因而能夠提升生產速度。

【實施方式】 以下，參考圖面來說明本發明的實施形態。 實施例1 : 第1圖爲表示本發明的多關節機器人之立體圖。 本發明的多關節機器人1，具備有利用關節部3、4、 5來可迴轉地連結，傳達迴轉驅動源的迴轉力，致使進行 所要的動作之兩組臂2。另外，利用臂2來保持工件9之 手部8，以在圖中箭頭X所示之工件9在取出/供應方向 上可直線移動的方式構成。另外，被設置在兩組臂2的基 端之關節部3的迴轉中心軸的關係係如第2圖所示，以對 於上臂的基端之關節部3來朝向手部8的移動方向偏離的 方式，配置下臂的基端之關節部3所構成。 另外，爲了要對應於儲存櫃（未圖示）的高層化，多 關節機器人1爲被分割成複數個柱塊之柱體相連結的構造 。如此，依序連結各柱塊16，藉此來形成具有對應於高層 的高度之多關節機器人1。本實施例則爲4個柱塊16相連 -11 - (8) 1329558 結的構造。 另外，具備有令設有臂2的支撐構件1〇向上下移動 之上下移動構件11，可調整臂2的上下位置。另外，上下 移動構件11的台座13係可轉動地設置，以多關節機器人 1旋迴來改變方向的方式構成。此處，上下移動構件11係 朝向與手部的移動方向與相同方向進行配置，支撐構件10 則是從上下移動構件Π朝向對於手部的移動方向成垂直 φ 的方向突出，連結到臂的基端之關節部3。 其次，針對臂的詳細構造進行說明。在臂2的基端之 關節部3，如第3圖和第4圖所示，設有將臂2予以迴旋 之電動機17、及與該電動機17連結之皮帶輪18和皮帶 19等’並且被裝備在手部8之感測器（未圖示）的電纜線 20穿過中空連結孔23來進行配線。爲了要減少基端之關 節部3的厚度，感測器的電纜線20從上腕6進入中空連 結孔2 3時必須彎折電纜線2 0，不過複數條單芯電纜線包 # 紮在一起之多芯電纜線201彎折則曲率半徑會變大，故本 發明則是以成爲縮小彎率半徑的構造的方式，形成從中空 連結孔23內部至上腕6的區間除去了多芯電續線201的 包覆之單芯電纜線202，再以多芯電纜線201從中空連結 孔23伸出到上腕6時在圓周上通過單芯電纜線202的方 式呈噴水狀配線’配線到上腕6。此時，形成爲由單芯電 纜線202集結成多芯電纜線201時，分別利用結紮手段 來集結單芯電纜線201。本實施例中，結紮手段2 5/係被設 置在連結孔23內部及上腕6，形成爲呈剖面大致c型形 -12- (9) 1329558 狀具有C形開口部用螺栓緊固之緊固部的形狀。利 構造，可以縮小感測器之電纜線20的曲率半徑， 可以將基端的關節部3厚度變薄到比支撐構件10 還要更薄，能夠縮窄2個臂的間隔。另外，本實施 已針對支撐構件和上腕間的配線構造描述過，但並 於此，當然，上腕和前腕間或前腕和手部間，也可 樣的方法來進行。 本發明與日本專利文獻1不同的部分爲以穿過 的電纜線由單芯電纜線所構成，電纜線的曲率半徑 臂的軸方向厚度變薄，使2個臂的間隔縮窄配置的 成的部分。 其次，針對動作進行說明。裝備在本發明的多 器人1之兩組臂2，例如具有複數個關節部，即是 機器人1是由水平多關節型機器人所構成。本實施 的臂2，具備有與習知臂2的構造同樣的構造。 上腕6的基端係介於驅動軸來連結到支撐構件 構成可轉動的肩關節部3»該肩關節部3成爲臂的 關節部3。另外，上腕6的前端和前腕7的基端介 軸來予以連結，而構成可轉動的肘關節部4。另外 7的前端和手部8介於驅動軸來予以連結，而構成 的手部關節部5。 臂2係利用迴轉驅動源（未圖示）來令肩關節 肘關節部4及手部關節部5迴轉，令手部8在工件 供應方向上移動。此時’臂2則在該機構上，以手 用這種 形成爲 的厚度 例中， 不侷限 以以同 各關節 變小， 方式形 關節機 多關節 形態中 10，而 基端之 於驅動 ，前腕 可轉動 部3及 取出/ 部8朝 -13- (10) 1329558 向一個方向，在上腕6及前腕7完全伸展的伸展位置、與 上腕6及前腕7成爲折疊的狀態之縮收位置之間直線移動 的方式，進行伸縮動作。 〔產業上的可利用性〕 因可以藉由將物品載置在這種手部來進行搬送，進行 物品的換裝作業，所以用途上也可以適用於厚板或箱狀物 φ 品的搬送作業。 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示本發明的實施例的多關節機器人之立體 圖。 第2圖爲表示本發明的實施例的多關節機器人之上面 I ca,> 圖。 第3圖爲表示本發明的實施例的多關節機器人的迴轉 φ 關節之側剖面圖。 第4圖爲表示本發明的實施例的多關節機器人的迴轉 關節之上面圖。 第5圖爲習知的多關節機器人之立體圖。 【主要元件符號說明】 1 :多關節機器人 2 :臂 3 :肩關節部 -14- (11) 1329558 4 :肘關節部 5 :手關節部 6 :上腕 7 :前腕 8 :手部 9 :工件

1 〇 :支撐構件 1 1 :上下移動機構 1 2 :柱體 13 :台座 14 :基台 1 6 :柱塊 1 7 :電動機 18 :皮帶輪 19 :皮帶

20 =電纜線 21 :上臂 22 :下臂 23 :中空連結孔 24 :結紮手段 20 1 :多芯電纜線 202 :單芯電纜線

Claims (1)

1329558 十、申請專利範圍 第96 1 245〇0號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國99年3月22日修正 1· 一種多關節機器人，是由載置搬送物之手部、及 與前述手部相連結，具備至少2個以上的迴轉關節，以朝 向1個方向移動前述手部的方式進行伸縮，以在軸方向上 相對向的方式配置之多關節臂、及將前述多關節臂與向上 下移動的移動機構予以相連結之支撐構件、及被裝備在前 述移動機構之具有迴旋功能之台座所組成之多關節機器人 ，其特徵爲： — 在至少1個前述迴轉關節，具備有中空連結孔， 該多關節機器人具備有：以多芯電纜線除去了包覆的 單芯電纜線’穿過至少1個前述迴轉關節的方式配線，從 多芯電纜線變成單芯電纜線時，固定單芯電纜線之結紮手 段， 前述結紮手段裝備在中空連結孔的中空部。 2. 如申請專利範圍第1項所述之多關節機器人，其 中，在前述中空連結孔配置成供電纜線通過。 3. 如申請專利範圍第〗項所述之多關節機器人，其 中，以多心電績線除去了包覆的單芯電纜線，穿過至少1 個前述迺轉關節的方式配線。 4. 如申請專利範圍第1項所述之多關節機器人，其 1329558 中’以多芯電纜線除去了包覆的單芯電纜線 在前述迴轉關節之中空連結孔，來通過至少 關節的方式配線。 5. 如申請專利範圍第1項所述之多關 中’以多芯電纜線除去了包覆的單芯電纜線 在前述迴轉關節之中空連結孔，而在前述中 一方的端面，前述單芯電纜線伸出時，在圓 線通過至少1個前述迴轉關節的方式呈噴水j 6. 如申請專利範圍第1項所述之多關 中，具有：以大致C形狀來形成前述結紮弓 形開口部用螺栓等緊固之緊固部。 7 _如申請專利範圍第1項所述之多關 中，在被裝備在前述支撐構件之前述迴轉關 連結孔，通過前述迴轉關節的電纜線由單芯 ，穿過前述中空連結孔來予以配線。 8. —種多關節機器人，是由載置搬送 與前述手部相連結，具備至少2個以上的迴 向1個方向移動前述手部的方式進行伸縮， 相對向的方式配置之多關節臂、及將前述多 下移動的移動機構予以相連結之支撐構件、 述移動機構之具有迴旋功能之台座所組成之 ，其特徵爲： 以多芯電纜線除去了包覆的單芯電纜線 在前述迴轉關節之中空連結孔，而在前述中 ，穿過被裝備 1個前述迴轉 節機器人，其 ，穿過被裝備 空連結孔的任 周上單芯電纜 伏配線。 節機器人，其 Ξ段的剖面，C 節機器人，其 節具備有中空 電纜線所組成 物之手部、及 轉關節，以朝 以在軸方向上 關節臂與向上 及被裝備在前 多關節機器人 ，穿過被裝備 空連結孔的上 -2- 1329558 腕側的端面，前述單芯電纜線伸出時，在圓周上單芯電纜 線通過至少1個前述迴轉關節的方式呈噴水狀配線， 形成爲：迴轉自如地被連結在前述支撐構件的上腕之 軸方向的厚度，與前述支撐構件的厚度相同或是更薄。 9. 一種多關節機器人的配線方法，是由載置搬送物 之手部、及與前述手部相連結，具備至少2個以上的迴轉 關節，以朝向1個方向移動前述手部的方式進行伸縮，以 在軸方向上相對向的方式配置之多關節臂、及將前述多關 節臂與向上下移動的移動機構予以相連結之支撐構件、及 被裝備在前述移動機構之具有迴旋功能之台座所組成之多 關節機器人的配線方法，其特徵爲： 穿過被設置在前述迴轉關節之中空連結孔來將電纜線 予以配線， 上述多關節機器人具備有··以多芯電纜線除去了包覆 的單芯電纜線，穿過至少1個前述迴轉關節的方式配線， 從多芯電纜線變成單芯電纜線時’固定單芯電纜線之結紮 手段， 藉由裝備在中空連結孔的前述結紮手段予以結紮。 10. 如申請專利範圍第9項之多關節機器人的配線方 法，，其中’ 通過前述迴轉關節之前述電纜線係由單芯電纜線所配 線。 -3-