KR101323658B1 - 대면적 기판 건조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 기판의 건조장치에 관한 것으로, 대면적 기판을 이송하는 장축의 이송축과, 상기 이송되는 기판의 상부에 위치함과 아울러 건조공기를 분사하여 그 대면적 기판의 상면을 건조시키는 상부 에어나이프와, 상기 장축의 이송축의 사이에서 그 이송축과 평행하게 위치하며, 건조공기를 분사하여 상기 대면적 기판의 저면을 건조시키는 다수의 하부 에어나이프를 포함한다. 이와 같이 구성된 본 발명은 대면적 기판을 건조하는 에어나이프를 그 기판을 이송하는 이송축에 대하여 평행하게 위치시킴으로써, 단축의 이송축을 사용하지 않기 때문에 이물의 발생을 방지하여, 건조과정에서 대면적 기판이 재오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

대면적 기판 건조장치{Dryer for large area substrate}

도 1은 종래 대면적 기판 건조장치의 사시도이다.

도 2는 도 1의 저면 구성도이다.

도 3은 본 발명 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 일부투영 사시도이다.

도 4는 도 3의 저면 구성도이다.

도 5는 본 발명 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 측면 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100:이송축 110:프레임

111:베어링 200:상부 에어나이프

310:제1하부 에어나이프 320:제2하부 에어나이프

본 발명은 대면적 기판 건조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이송되는 기판에 건조공기를 분사하여 기판 표면의 수분을 제거하는 대면적 기판 건조장치에 관한 것이다.

일반적으로, 대면적 기판 건조장치는 대면적 기판이 이송되는 과정에서 그 기판의 상하면에 정화된 건조공기를 분사하여 세정공정 등의 처리 공정 후 기판에 잔존하는 습기를 제거하는 장치이다.

종래에는 그 정화된 건조공기를 분사하기 위한 에어나이프를 소정의 각도로 경사지게 이송되는 기판의 이송방향에 대해 경사지게 배치하였다. 따라서 그 기판의 이송을 위해서는 장축의 이송축과 함께 에어나이프의 위치에서 단축의 이송축을 사용해야 하였으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 건조장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판 건조장치의 사시도이고, 도 2는 그 저면의 개략구성도이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 종래 대면적 기판 건조장치는 대면적 기판의 이송방향을 따라 상호 소정 간격 이격되어 위치하며, 상호 대응하는 베어링 삽입구를 구비하는 두 프레임(11,12)과, 상기 두 프레임(11,12)의 사이에 사선 방향으로 위치하여 이송되는 대면적 기판의 상면과 하면 각각에 건조공기를 분사하는 두 에어나이프(13,14)와, 상기 프레임(11,12)의 베어링 삽입구에 삽입되는 다수의 외측 베어링(15)과, 상기 두 에어나이프(13,14)의 경사면을 따라 상기 두 프레임(11,12)의 베어링 삽입구에 대응하는 위치에 위치하는 내측 베어링 지지부(16)와, 상기 내측 베어링 지지부(16)에 의해 지지되는 내측 베어링(17)과, 상기 내측 베어링(17)과 그에 대응하는 위치의 외측 베어링(15)에 의해 회전 가능한 상태로 지지되며, 결합된 이송롤러(18)에 접촉되는 대면적 기판을 이송하는 이송 단축(19)으로 구성된다.

미설명 부호 20은 이송 장축이다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 대면적 기판의 건조장치의 구조 및 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 종래 대면적 기판의 건조장치는 대면적 기판의 이송경로를 따라 대면적 기판의 폭 이상의 간격으로 두 프레임(11,12)이 구비된다.

상기 두 프레임(11,12)은 상호 동일 높이 또는 다른 높이로 설치할 수 있으며, 이송되는 대면적 기판을 평행하게 이송하거나, 이송방향의 좌측 또는 우측으로 경사지게 이송되도록 할 수 있다.

상기 경사이송은 이송되는 대면적 기판을 세정 하는 등의 공정에서 경사면을 따라 파티클이 제거되도록 하는 등의 작용을 한다.

상기 두 프레임(11,12)는 상호 대응하는 위치에 베어링 삽입구가 마련되어 있으며, 그 베어링 삽입구에는 외측 베어링(15)이 삽입된다.

상기 이송 장축(20)은 양측단이 두 프레임(11,12)의 대응 위치에 마련된 두 외측 베어링(15)에 의해 회전 가능한 상태로 고정된다.

이와 같은 구조에서 세정된 대면적 기판이 이송되는 과정에서 건조할 필요가 있으며, 상기 두 프레임(11,12)의 사이에서 상호 상하로 마주보며, 그 두 프레임(11,12)에 대하여 사선 방향을 따라 위치하는 에어나이프(13,14)를 사용한다.

상기 에어나이프(13,14)가 사선방향으로 배치되는 것은 대면적 기판에 잔류하는 세정수를 모서리방향으로 밀어내어 효과적으로 제거하기 위한 것이다.

이와 같은 두 에어나이프(13,14)의 배치에 의하여 상기 에어나이프(13,14)가설치되는 위치에서는 이송 장축(20)을 사용할 수 없다.

즉, 이송 장축(20)을 사용하면, 두 에어나이프(13,14)의 사이로 그 이송 장축(20)이 통과해야 하나, 이와 같은 구조는 건조효율을 저하시키며 이송되는 대면적 기판과의 거리 등을 고려할 때 바람직하지 않다.

상기의 이유로 두 에어나이프(13,14)의 배치 영역에서는 이송 단축(19)을 사용한다.

상기 이송 단축(19)의 일측은 상기 두 프레임(11,12) 중 일측의 외측 베어링(15)에 결합되며, 타측은 내측 베어링 지지부(16)에 삽입된 내측 베어링(17)에 삽입된다.

상기 내측 베어링 지지부(16)는 상측에 내측 베어링 삽입구를 가지는 것으로서, 상기 두 에어나이프(13,14)의 전면부와 후면부에 각각 인접하여 상호 사선방향으로 배치된다.

상기 이송 단축(19)과 이송 장축(20)에는 이송롤러(18)가 마련되어, 그 이송롤러(18)에 배면이 접촉되는 대면적 기판을 이송한다.

그러나, 이와 같은 이송 단축(19)을 사용하기 위해서는 내측 베어링 지지부(16)에 의해 지지되는 다수의 내측 베어링(17)을 사용해야 하며, 그 다수의 내측 베어링(17)을 사용함으로써 이물이 발생되어 세정된 기판을 재오염 시킬 수 있는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 대면적 기판의 건조과정에서 이물의 발생을 방지할 수 있는 대면적 기판 건조장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 대면적 기판 건조장치는, 대면적 기판을 이송하는 장축의 이송축과, 상기 이송되는 기판의 상부에 위치함과 아울러 건조공기를 분사하여 그 대면적 기판의 상면을 건조시키는 상부 에어나이프와, 상기 장축의 이송축의 사이에서 그 이송축과 평행하게 위치하며, 건조공기를 분사하여 상기 대면적 기판의 저면을 건조시키는 다수의 하부 에어나이프를 포함한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 3은 본 발명 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 일부 투영 사시도이고, 도 4는 도 3의 저면도이다.

도 3과 도 4를 각각 참조하면, 본 발명 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예는, 대면적 기판을 일측방향으로 이송하는 장축의 이송축(100)과, 상기 이송축(100)에 의해 이송되는 기판의 상부측에 위치하되, 그 기판의 이송방향에 대하여 경사지게 배치된 상부 에어나이프(200)와, 상기 이송되는 기판의 저면측의 상기 이송축(100)의 사이에 그 이송축(100)과 평행하게 위치하는 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)로 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 대면적 기판 건조장치 바람직한 실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 이송되는 기판의 폭보다 더 넓은 간격을 유지하는 두 프레임(110)에 마련된 베어링(111)에 의해 회전 가능하도록 고정되며, 외부의 동력에 의해 등속으 로 회전하는 장축의 이송축(100)에 의해 세정 처리된 기판이 상기 상부 에어나이프(200)와 제1하부 나이프(310)의 사이측으로 이송된다.

세정된 대면적 기판의 특징은 그 이송상태에서 상면에 평판 디스플레이 패널의 제조를 위한 패턴들이 형성되며, 그 상면은 저면에 비해 상대적으로 세정율과 건조율이 높아야 한다.

이에 비하여 상대적으로 그 저면의 세정 및 건조도의 중요성이 낮으며, 따라서 이송축(100)과 평행하게 배치된 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)를 사용하여도 원하는 건조도를 얻을 수 있게 된다.

상기 상부 에어나이프(200)는 기판의 이송방향에 대하여 경사지게 마련되어 있으며, 기판 이송방향의 사선 방향으로 기판 상부의 수분을 밀어내어 기판을 건조시키며, 상기 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)는 기판의 이송방향 역방향 측으로 기판 저면의 수분을 밀어 내어 기판 하부를 건조시킨다.

상기 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)는 건조공기의 분사압력이 상기 상부 에어나이프(200)의 분사압력에 비해 동일 또는 낮은 것으로 하여 기판의 들림 현상이 발생하지 않도록 한다.

종래 상부 에어나이프와 하부 에어나이프는 기판을 사이에 두고 상호 대응하는 위치에 위치하기 때문에 건조공기의 분사에 따른 기판 들림 또는 눌림 현상을 방지할 수 있었다.

도 5는 본 발명 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 측면 구성도이다.

도 5를 참조하면, 본 발명 대면적 기판 건조장치의 바람직한 실시예는 상기 상부 에어나이프(200)의 기판 이송방향(a)에 대한 선단부의 하부에 제1하부 에어나이프(310)가 상기 이송축(100)에 평행하게 위치하며, 상부 에어나이프(200)의 기판 이송방향(b)에 대한 후단부의 하부에 제2하부 에어나이프(320)가 그 이송축(100)에 평행하게 위치한다.

이와 같은 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)의 배치에 의하여 본 발명에서는 상기 상부 에어나이프(200)와 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)의 설치위치에 차이가 있고, 그 방향도 서로 상이하게 마련됨에도 불구하고, 기판의 들림 또는 눌림 현상 발생을 방지할 수 있게 된다.

그리고, 상기 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)가 상기 장축의 이송축(100)에 대하여 평행하게 배치됨에 따라, 상기 이송축(100)의 경사각도 등에 무관하게 설치할 수 있으며, 종래와 같은 단축의 이송축을 사용하지 않고도 에어나이프의 사이로 기판을 이송할 수 있게 된다.

따라서 내측 베어링을 사용할 필요가 없어 이물의 발생을 방지하여 기판이 건조 중에 재오염되는 것을 방지할 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

예를 들어 상기 상부 에어나이프(200)도 상기 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320)와 같이 상기 이송축(100)과 평행하게 위치시킬 수 있으며, 이때 상부 에어나이프(200)의 위치는 상기 제1 및 제2하부 에어나이프(310,320) 사이의 간격 중앙에 위치하도록 한다.

상기한 바와 같이 본 발명은, 대면적 기판을 건조하는 에어나이프를 그 기판을 이송하는 이송축에 대하여 평행하게 위치시킴으로써, 단축의 이송축을 사용하지 않기 때문에 이물의 발생을 방지하여, 건조과정에서 대면적 기판이 재오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 기판을 이송하는 장축의 이송축;

   상기 이송되는 기판의 상부에 위치함과 아울러 건조공기를 분사하여 그 기판의 상면을 건조시키는 상부 에어나이프; 및

   상기 장축의 이송축의 사이에서 그 이송축과 평행하게 위치하며, 기판의 이송방향에 대하여 경사지게 설치된 상기 상부에어나이프의 선단부 하측에 설치되는 제1하부 에어나이프와, 후단부 하측에 설치되는 제2하부 에어나이프를 구비하여 상기 기판의 저면을 건조시키는 다수의 하부 에어나이프를 포함하는 대면적 기판의 건조장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 기판을 이송하는 장축의 이송축;

   상기 장축의 이송축의 사이에서 그 이송축과 평행하게 위치하며, 건조공기를 분사하여 상기 기판의 저면을 건조시키는 다수의 하부 에어나이프; 및

   상기 이송되는 기판의 상부에서 상기 이송축과 평행하게 위치하되 상기 다수의 하부 에어나이프 중 가장 앞쪽에 위치하는 하부 에어나이프와 가장 뒤쪽에 위치하는 하부 에어나이프의 중앙 상부측에 위치하여 상기 기판의 상면을 건조시키는 상부 에어나이프를 포함하는 대면적 기판의 건조장치.
5. 제1항 또는 제4항에 있어서,

   상기 다수의 하부 에어나이프 각각의 건조공기 분사압력은 상기 상부 에어나이프의 건조공기 분사압력과 동일하거나 더 낮은 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 건조장치.

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