KR101254699B1 - 대면적 기판의 건조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 기판의 건조장치에 관한 것으로, 이송되는 대면적 기판의 상면과 저면에 건조공기를 분사하는 한 쌍의 에어나이프와, 상기 한 쌍의 에어나이프의 사이에 위치하는 대면적 기판을 부상시키는 에어부상부와, 상기 에어부상부에 의해 부상된 대면적 기판의 저면 가장자리를 지지하여 대면적 기판이 이송될 수 있도록 하는 이송롤러와, 상기 에어부상부에 의해 부상된 대면적 기판을 이송하는 이송용 장축을 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 대면적 기판의 건조장치는 에어나이프의 사이로 대면적 기판을 이송시키기 위하여 단축의 이송축을 사용하지 않음으로써, 이물 발생을 방지할 수 있어 수율의 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다. 또한, 대면적 기판을 건조공기로 부상시켜 이송함으로써, 대면적 기판의 건조효율을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

대면적 기판의 건조장치{Dry apparatus for large area substrate}

도 1은 종래 대면적 기판의 건조장치의 사시도이다.

도 2는 도 1의 평면 개략구성도이다.

도 3은 본 발명 대면적 기판의 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

도 4는 도 3에서 에어부상부와 이송롤러를 보인 단면구성도이다.

도 5는 도 3에서 에어부상부의 상세 단면 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1:에어나이프 2:이송용 장축

3:에어부상부 4:이송롤러

5:대면적 기판 6:공기유입구

7:본체 8:버퍼공간부

9:미세분사홀 10:지지부

본 발명은 대면적 기판의 건조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 건조장치의 이송부 측에서 이물이 발생하지 않는 대면적 기판의 건조장치에 관한 것이다.

일반적으로, 대면적의 평판 디스플레이 제조를 위해 대면적 기판을 세정수 등으로 세정한 후, 그 세정수의 사용에 의한 물 얼룩이 기판에 생기는 것을 방지하기 위하여 그 세정수를 건조하는 건조장치가 개발되었다.

이와 같은 종래 대면적 기판의 건조장치는 이송부에 의해 이송되는 대면적 기판의 상면과 저면에 각각 건조공기를 분사하는 건조공기 분사용 에어나이프를 구비하고 있다. 상기 이송부는 에어나이프의 사이를 지나는 장축의 이송롤러를 사용할 수 없기 때문에 단축의 이송롤러를 사용하게 된다.

이때, 단축의 이송롤러의 내측을 회전가능하게 지지하는 지지부에서 이물이 발생할 수 있으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 건조장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판의 건조장치의 사시도이고, 도 2는 그 평면의 개략구성도이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 종래 대면적 기판의 건조장치는 대면적 기판의 이송방향을 따라 상호 소정 간격 이격되어 위치하며, 상호 대응하는 베어링 삽입구를 구비하는 두 프레임(11,12)과, 상기 두 프레임(11,12)의 사이에 사선 방향으로 위치하여 이송되는 대면적 기판의 상면과 하면 각각에 건조공기를 분사하는 두 에어나이프(13,14)와, 상기 프레임(11,12)의 베어링 삽입구에 삽입되는 다수의 외측 베어링(15)과, 상기 두 에어나이프(13,14)의 경사면을 따라 상기 두 프레임(11,12)의 베어링 삽입구에 대응하는 위치에 위치하는 내측 베어링 지지부(16)와, 상기 내측 베어링 지지부(16)에 의해 지지되는 내측 베어링(17)과, 상기 내측 베어링(17)과 그에 대응하는 위치의 외측 베어링(15)에 의해 회전 가능한 상태로 지지되며, 결합된 이송롤러(18)에 접촉되는 대면적 기판을 이송하는 이송 단축(19)으로 구성된다.

미설명 부호 20은 이송 장축이다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 대면적 기판의 건조장치의 구조 및 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 종래 대면적 기판의 건조장치는 대면적 기판의 이송경로를 따라 대면적 기판의 폭 이상의 간격으로 두 프레임(11,12)이 구비된다.

상기 두 프레임(11,12)은 상호 동일 높이 또는 다른 높이로 설치할 수 있으며, 이송되는 대면적 기판을 평행하게 이송하거나, 이송방향의 좌측 또는 우측으로 경사지게 이송되도록 할 수 있다.

상기 경사이송은 이송되는 대면적 기판을 세정 하는 등의 공정에서 경사면을 따라 파티클이 제거되도록 하는 등의 작용을 한다.

상기 두 프레임(11,12)는 상호 대응하는 위치에 베어링 삽입구가 마련되어 있으며, 그 베어링 삽입구에는 외측 베어링(15)이 삽입된다.

상기 이송 장축(20)은 양측단이 두 프레임(11,12)의 대응 위치에 마련된 두 외측 베어링(15)에 의해 회전 가능한 상태로 고정된다.

이와 같은 구조에서 세정된 대면적 기판이 이송되는 과정에서 건조할 필요가 있으며, 상기 두 프레임(11,12)의 사이에서 상호 상하로 마주보며, 그 두 프레임(11,12)에 대하여 사선 방향을 따라 위치하는 에어나이프(13,14)를 사용한다.

상기 에어나이프(13,14)가 사선방향으로 배치되는 것은 대면적 기판에 잔류하는 세정수를 이송방향의 측면측으로 밀어내어 건조시키기 위한 것이다.

이와 같은 두 에어나이프(13,14)의 배치에 의하여 상기 에어나이프(13,14)가설치되는 위치에서는 이송 장축(20)을 사용할 수 없다.

즉, 이송 장축(20)을 사용하면, 두 에어나이프(13,14)의 사이로 그 이송 장축(20)이 통과해야 하나, 이와 같은 구조는 건조효율을 저하시키며 이송되는 대면적 기판과의 거리 등을 고려할 때 바람직하지 않다.

상기의 이유로 두 에어나이프(13,14)의 배치 영역에서는 이송 단축(19)을 사용한다.

상기 이송 단축(19)의 일측은 상기 두 프레임(11,12) 중 일측의 외측 베어링(15)에 결합되며, 타측은 내측 베어링 지지부(16)에 삽입된 내측 베어링(17)에 삽입된다.

상기 내측 베어링 지지부(16)는 상측에 내측 베어링 삽입구를 가지는 것으로서, 상기 두 에어나이프(13,14)의 전면부와 후면부에 각각 인접하여 상호 사선방향으로 배치된다.

상기 이송 단축(19)과 이송 장축(20)에는 이송롤러(18)가 마련되어, 그 이송롤러(18)에 배면이 접촉되는 대면적 기판을 이송한다.

그러나, 상기와 같은 이송 단축을 사용하는 종래 대면적 기판의 건조장치는 이송 단축(19)의 일측에 결합되는 내측 베어링(17)에 윤활제를 공급하기가 용이하지 않으며, 이에 따라 내측 베어링(17)의 마모에 의한 파티클이 발생되어 공정의 신뢰성이 저하되며, 대면적 기판을 오염시켜 수율을 저하시는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 대면적 기판의 건조를 위한 에어나이프로 대면적 기판을 이송하는 과정에서 이물의 발생을 최소화할 수 있는 대면적 기판의 건조장치를 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 대면적 기판의 건조효율을 보다 높일 수 있는 대면적 기판의 건조장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 이송되는 대면적 기판의 상면과 저면에 건조공기를 분사하는 한 쌍의 에어나이프와, 상기 한 쌍의 에어나이프의 사이에 위치하는 대면적 기판을 부상시키는 에어부상부와, 상기 에어부상부에 의해 부상된 대면적 기판의 저면 가장자리를 지지하여 대면적 기판이 이송될 수 있도록 하는 이송롤러와, 상기 에어부상부에 의해 부상된 대면적 기판을 이송하는 이송용 장축을 포함한다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명 대면적 기판의 건조장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이고, 도 4는 도 3에서 에어부상부와 이송롤러의 단면 구성도이며, 도 5는 상기 에어부상부의 상세 단면구성도이다.

도 3, 도 4 및 도 5를 각각 참조하면, 대면적 기판(5)에 대하여 경사지게 위치며, 건조공기를 분사하는 에어나이프(1)와, 상기 대면적 기판(5)을 이송하는 이송용 장축(2)과, 상기 이송용 장축(2)에 의해 이송되는 대면적 기판(5)을 부상시켜 그 에어나이프(1)의 사이로 이송될 수 있도록 하는 에어부상부(3)와, 상기 에어부 상부(3)에 의해 중앙부가 부상된 대면적 기판(5)의 저면 가장자리를 지지하여, 대면적 기판(5)을 이송시키는 이송롤러(4)를 포함하여 구성된다.

상기 에어부상부(3)는 일부에 정화된 공기가 유입되는 공기유입구(6)가 마련되는 본체(7)와, 상기 본체(7)의 중앙에 마련되어 상기 정화된 공기가 확산되는 버퍼공간부(8)와, 상기 본체(7)의 상면에 형성된 다수의 미세분사홀(9)과, 상기 본체(7)를 지지하는 지지부(10)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명 대면적 기판의 건조장치의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 에어나이프(1)는 대면적 기판(5)이 이송되는 방향과는 경사진 방향으로 그 대면적 기판(5)의 상부와 하부측에 한 쌍으로 마련되어 있다.

그 에어나이프(1)의 대면적 기판(5)의 이송방향에 대한 좌우측에는 에어부상부(3)가 마련될 수 있으며, 그 에어부상부(3)가 위치하는 부분의 가장자리에는 대면적 기판(5)의 하부 측면부에 접촉되어, 자체가 회전하면서 그 대면적 기판(5)을 이송시키는 이송롤러(4)가 위치한다.

이와 같은 구성에서 이송용 장축(2)에 의해 건조가 필요한 대면적 기판(5)이 이송되어 한 쌍의 에어나이프(1)의 사이로 대면적 기판(5)이 유입되기 전에, 그 대면적 기판(5)은 에어부상부(3)의 작용에 의해 그 중앙부가 부상된다.

이때의 부상 정도는 에어부상부(3)에서 분사되는 공기의 양 및 분사압력에 의해 결정되며, 그 대면적 기판(5)이 부상하였을 때 상기 에어나이프(1)와 충돌하지 않는 범위에서 그 공기 분사량 및 압력이 결정되어야 한다.

상기 에어부상부(3)는 대면적 기판(5)의 중앙부를 상기 이송용 장축(2)에 의해 지지 이송되는 정도의 높이로 대면적 기판(5)을 부상시키는 것이 바람직하며, 에어부상부(3)는 실질적으로 대면적 기판(5)을 부상시키는 작용만을 수행하고, 상기 이송용 장축(2)에 의해 이송되는 힘을 이용하여 대면적 기판(5)이 이송된다.

즉, 에어부상부(3)의 설치면적은 대면적 기판(5)의 면적에 비하여 작은 것이고, 에어부상부(3)에 의해서는 상기 에어나이프(1)의 사이에 있는 대면적 기판(5)의 일부만이 부상되는 것이기 때문에, 대면적 기판(5)을 이송하는 힘은 이송용 장축(2)에 의해 발생하게 된다.

또한, 그 이송이 보다 원활하고, 틀어짐 없이 이루어지도록 하기 위하여 상기 에어부상부(3)의 양 측면부에는 이송롤러(4)가 위치한다.

상기 이송롤러(4)는 상기 이송용 장축(2)과 동일한 속도로 자체 회전하는 것일 수 있으며, 단순히 대면적 기판(5)의 이송위치를 잡는 종동 롤러일 수 있다.

상기 에어부상부(3)는 다수로 평면상에 배치된 것으로 할 수 있으며, 그 에어부상부(3) 각각은 저면으로부터 공기가 유입되는 공기유입구(6)를 구비하는 본 체(7)의 상부에 다수의 미세분사홀(9)가 마련된 것일 수 있다.

상기 본체(7)의 내부에는 균일한 압력 및 분사량을 유지하기 위한 버퍼공간부(8)가 마련되는 것이 바람직하다.

이와 같은 구조에서 상기 본체(7)의 공기유입구(6)를 통해 유입되는 공기는 상기 버퍼공간부(8)에 먼저 공급되며, 그 버퍼공간부(8)에 모인 공기는 다시 상기 미세분사홀(9)을 통해 대면적 기판(5)의 하부측으로 분사된다.

상기 에어부상부(3)에 의해 부상된 대면적 기판(5)은 상기 이송용 장축(2)과 이송롤러(4)에 의해 건조공정의 진행방향을 따라 이송된다.

상기 에어부상부(3)에 공급되는 공기는 정화된 공기이며, 건조공정의 효율을 높이기 위해 정화된 건조공기를 사용할 수 있다.

이처럼 본 발명은 에어나이프(1)의 사이로 대면적 기판(5)을 이송시키기 위하여 단축의 이송축을 사용하지 않음으로써, 이물 발생을 방지할 수 있게 된다.

또한, 대면적 기판(5)을 공기압을 이용하여 부상시켜 에어나이프(1)로 이송함으로써, 그 대면적 기판(5)의 부상에 사용하는 공기로 건조공기를 사용하여 건조효율을 높일 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였 으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명 대면적 기판의 건조장치는 에어나이프의 사이로 대면적 기판을 이송시키기 위하여 단축의 이송축을 사용하지 않음으로써, 이물 발생을 방지할 수 있어 수율의 저하를 방지할 수 있게 된다.

또한, 대면적 기판을 건조공기로 부상시켜 이송함으로써, 대면적 기판의 건조효율을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 이송되는 대면적 기판의 상면과 저면에 건조공기를 분사하는 한 쌍의 에어나이프;

   공기유입구가 마련된 본체와, 상기 본체의 내에 마련되어 상기 공기유입구를 통해 유입된 공기가 균일한 압력 및 분사량을 가지도록 조절하는 버퍼공간부와, 상기 본체의 상면에 마련되어 상기 버퍼공간부의 공기가 상기 대면적 기판의 저면으로 고르게 분사되도록 하는 다수의 미세홀을 포함하여, 상기 한쌍의 에어나이프의 사이에 위치하는 대면적 기판을 부상시키는 에어부상부;

   상기 에어부상부에 의해 부상된 대면적 기판의 저면 가장자리를 지지하여 대면적 기판이 이송될 수 있도록 하는 이송롤러; 및

   상기 에어부상부에 의해 부상된 대면적 기판을 이송하는 이송용 장축을 포함하는 대면적 기판의 건조장치.
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