JP2007301427A - パネル洗浄機及び洗浄方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】パネルを搬送する無端ベルトに滞留した異物を洗浄除去し、洗浄機外部へ排出する機構を備えたパネル洗浄機及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】無端ベルト６によりパネル２を定盤１２上に搬送し、洗浄ノズル１から洗浄液を噴出すると共に、洗浄ヘッド３によりパネル２の表面から異物を洗浄除去するパネル洗浄装置において、パネル表面から除去された異物のうち、無端ベルト６の内面に滞留した異物を洗浄除去するために、パネル２の搬送方向における定盤１２の後端部側に洗浄ノズル１３及び排水路１４を設置した。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネル等に使用されるガラス基板等の表面に付着した埃又はゴミ等の異物を洗浄除去するパネル表面の洗浄機に関し、特に、洗浄後の異物がパネルを搬送する無端ベルトへ転移され再びパネルを汚すことを防止するのに好適のパネル洗浄機及び洗浄方法に関する。
液晶パネルは、１対のガラス基板間に液晶を封止して構成される。液晶パネルのガラス基板の表面には、液晶パネルの製造工程で異物が付着する場合があり、これにより付着箇所に表示不良を起こす原因となる。このため、液晶パネルの製造工程においては、基板上の異物を除去する工程を組み込む必要がある。
図３は、従来のパネル洗浄機の構成を示す断面図である。図３に示すように、従来のパネル洗浄機は、パネル１０２を保持するための定盤１１２と、パネル１０２を搬送するためのエンドレス走行装置１０９及び搬送ローラ１０８と、パネル１０２に洗浄液を吐出する洗浄ノズル１０１と、ヘッドをパネル表面に押し付け、回転しながらパネル表面を走査して洗浄する洗浄ヘッド１０３と、外部に排水させるためのパネル用洗浄液排出路１１０とを備える。
エンドレス走行装置１０９は、所定の間隔で配置された１対の回転支持ローラ１０７ａ及び１０７ｂに無端ベルト１０６を架け渡して構成されている。無端ベルト１０６上には保持板１０５を介して被洗浄体であるパネル１０２が載置されており、回転支持ローラ１０７ａ及び１０７ｂを回転駆動させることで、無端ベルト１０６及び無端ベルト上に載置されたパネル１０２は図中の搬送方向に従って搬送される。また、エンドレス走行装置１０９の両側には複数の搬送ローラ１０８が設けられており、この搬送ローラ１０８は、パネル１０２を上流工程からエンドレス走行装置１０９へ移動させ、更に、エンドレス走行装置１０９から下流工程へ移動させる。無端ベルト１０６には複数の吸着孔１２０が設けられており、洗浄時に定盤１１２は吸着孔１２０を介してパネル１０２を吸着・保持する。
このような構成の従来のパネル洗浄機においては、洗浄ノズル１０１からパネル１０２に向けて洗浄液が噴出され、洗浄ヘッド１０３をパネル表面に押し付け、回転しながら走査することによりパネル１０２表面を洗浄し、パネル１０２表面上に付着した異物１０４を洗浄液と共に洗い流す。洗浄液と共に洗浄除去された異物１０４は、排水１１１として吸着孔１２０を通過し、無端ベルト１０６の下方に設けられたパネル用洗浄液排出路１１０へ排出される。
パネル洗浄機とは異なるが、特許文献１はパネル搬送装置の例を示し、無端ベルトを用いた基板搬送装置であって、基板に対する異物の付着発生が抑制された基板搬送装置が開示されている。特許文献１はパネル搬送装置の例を示し、平行配置した１対の無端ベルト間に、無端ベルトの回動方向に対して長さ方向が直角の配置となる多数本の載置部材固定軸を架設し、各載置部材固定軸に複数個の基板載置部材を設けている。そして、基板は基板載置部材上に水平に支持され、載置部材固定軸が無端ベルトの回動と連動して水平移動することで、基板が搬送される。
また、特許文献２においては、基板を洗浄する洗浄ラインに設けられた基板搬送装置の発塵防止装置に関する従来技術が開示されている。同従来技術においては、基板を洗浄する処理層内に、基板を搬送する搬送装置の駆動部の駆動ギアを洗浄液で洗浄する洗浄機構と、基板へ向けて基板洗浄液を噴出するシャワーノズルとを設ける。駆動ギアの洗浄機構としては、受け皿に洗浄液を供給し、駆動ギアを多少侵漬させるように保持し、駆動部の回転により受け皿から洗浄液を巻き上げて摩耗粉を洗い流す。更に、搬送装置に設けられた回転軸の近傍に、シャワーノズルより噴出された洗浄液の一部で軸受けの発塵を洗い流し、軸受けを固定しているフレーム外に排出する処理液誘導部を設けている。これにより、駆動ギアにより発生する摩耗粉を洗い流し、また、軸受けより発生する摩耗粉を洗い流している。
特開２００５−１９４０６０号公報 特公平８−１９８１号公報
しかしながら、上述の従来技術には以下に示すような問題点がある。
図３に示す従来のパネル洗浄機においては、エンドレス走行装置内に進入した異物の排出は、無端ベルト内に設けられた吸着孔から行われるが、吸着孔は小さく（直径約２ｍｍ）排出され難い為、内部に滞留・蓄積することで、異物は徐々に大きくなる。そして、蓄積した異物が無端ベルト内面に付着し、定盤と無端ベルトとの間に残った場合には、突起となる。このため、パネル洗浄時に洗浄ヘッドをパネル表面に押し付けた際、定盤上の突起がパネルへの局所的な圧力負荷となり、液晶パネル等に対しては、パネル内スペーサを移動させ、パネルの表示異常を発生させる。
また、吸着孔を大きくすると吸着力が強くなり、洗浄時のパネルへの集中荷重で突起と同様、局所的な圧力負荷となり、液晶パネル等に対しては、パネル内のスペーサを移動させ、パネルの表示異常を発生させる。
このように、従来のエンドレス走行装置を備えたパネル洗浄機においては、エンドレス走行装置内に進入した異物を排出する機構が不十分で、また、エンドレス走行装置内面の洗浄機構は設けられておらず、異物がエンドレス走行装置内に滞留し、パネルの表示異常を発生させるという問題点があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、パネルを搬送する無端ベルトに滞留した異物を洗浄除去し、洗浄機外部へ排出する機構を備えたパネル洗浄機及び洗浄方法を提供することを目的とする。
本発明に係るパネル洗浄機は、パネルを搬送する無端ベルトと、前記無端ベルトの内側下方から前記搬送されるパネルを支持する定盤と、前記パネルを上方から洗浄する洗浄装置と、前記無端ベルトの内面を洗浄する洗浄ノズルと、を有することを特徴とする。
前記洗浄ノズルは、前記定盤における前記パネルの搬送方向後端部側にて前記無端ベルトの内面に洗浄液を噴出することができる。
前記無端ベルトは、回転軸が水平の１対の回転支持ローラ間に架け渡され、その上方移動域にて、前記パネルを搬送するものとすることができる。
前記洗浄ノズルは、前記パネルの搬送方向の後部側の回転支持ローラにおける前記無端ベルトが離れる位置の前記無端ベルトの内面に、前記パネル搬送方向の前方から後方斜め上方に向けて洗浄液を噴射することが好ましい。
前記無端ベルトは、複数個の貫通孔を有し、前記定盤はその上面に空気吸引口を有し、前記貫通孔を介して前記パネルを吸引することにより前記パネルを前記定盤に固定するものであってよい。また、前記無端ベルトは、複数対のベルトが相互に平行に配置されて構成され、前記定盤はその上面に空気吸引口を有し、前記ベルト間の隙間を介して前記パネルを吸引することにより前記パネルを前記定盤に固定するものであってもよい。
前記洗浄装置は、前記パネルの表面に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、前記パネルの表面に接触して走査することにより前記パネルの表面を洗浄する洗浄ヘッドとを有するものであってよい。
前記洗浄液を回収し、排出する排出部材を有することが好ましい。
本発明に係るパネル洗浄方法は、パネルを無端ベルト上で搬送させ、前記パネルを定盤により前記無端ベルトの下方から支持すると共に、前記定盤に支持された前記無端ベルト上の前記パネルをその上方から洗浄装置により洗浄するパネルの洗浄方法において、前記定盤における前記パネルの搬送方向後端部側にて前記無端ベルトの内面に向けて洗浄ノズルから洗浄液を噴射することにより、前記無端ベルトの内面に滞留した異物を洗浄することを特徴とする。
前記無端ベルトは、回転軸が水平の１対の回転支持ローラ間に架け渡され、その上方移動域にて、前記パネルを搬送するものであると共に、前記洗浄ノズルは、前記パネルの搬送方向の後部側の回転支持ローラにおける前記無端ベルトが離れる位置の前記無端ベルトの内面に、前記パネル搬送方向の前方から後方斜め上方に向けて洗浄液を噴射することが好ましい。
本発明によれば、定盤におけるパネルの搬送方向後端部側にて洗浄ノズルを設け、無端ベルトの内面に向けて洗浄ノズルから洗浄液を噴出することにより、無端ベルト内面に滞留した異物を除去する。これにより、パネルに圧力負荷が加わって、パネル内のスペーサが破損したり、移動したりすることで表示異常が発生することを防止する。
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。先ず、本発明の第１の実施形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るパネル洗浄機を示す断面図である。
図１に示すように、本実施形態のパネル洗浄機においては、無端ベルト６を備えたエンドレス走行装置９が設けられており、このエンドレス走行装置９においては、回転軸が水平且つ相互に平行になるように所定の間隔で配置された１対の回転支持ローラ７ａ及び７ｂに無端ベルト６が架け渡されている。これらの回転支持ローラ７ａ及び７ｂの少なくとも一方は適宜の駆動装置により回転駆動され、これにより無端ベルト６は一方向に回動する。エンドレス走行装置９における無端ベルト６の入り口側及び出口側には、パネル２をエンドレス走行装置９へ搬入及び搬出する複数の搬送ローラ８が設けられている。搬送ローラ８は、その回転軸がパネルの搬送方向と垂直になるようにして回転自在に配置されており、この搬送ローラ８によりパネル２を支持し、ローラを回転させることで、パネル２を一方向に移動させる。また、無端ベルト６には、基板吸着用の複数個の貫通孔である吸着孔２０が設けられている。後述するように、洗浄時には、パネル２はこれらの吸着孔２０を介して定盤１２上に吸着保持される。
上方移動域の無端ベルト６の下方近傍には、洗浄時にパネル２を吸引保持する定盤１２が設けられている。定盤１２の上面には複数個の空気吸引口２１が設けられている。無端ベルト６上に搬送されてきた被洗浄体であるパネル２は、無端ベルト６の吸着孔２０を介して吸引され、定盤１２にパネル２が吸引固定される。
上方移動域の無端ベルト６の上方には、パネル２上に洗浄液を噴出して供給する洗浄ノズル１が設けられている。図示例では、洗浄ノズル１の個数は２であり、洗浄ノズル１は搬送方向前方及び後方の２方向からパネル２へ洗浄液を噴出する。また、上方移動域の無端ベルト６の上方には、洗浄ヘッド３が設けられており、この洗浄ヘッド３は、パネル２の表面にヘッドを押し付け回転しながらパネル２上を走査し、パネル２の表面を研磨洗浄する。一方、下方移動域の無端ベルト６の下方には、パネル２の表面から除去された異物４を洗浄液と共に排出するパネル用洗浄液排出路１０が設けられている。
定盤１２におけるパネル２の搬送方向後端部の近傍には、洗浄ノズル１３が設けられている。また、洗浄ノズル１３の付近には、洗浄ノズル１３から洗浄液を噴出することにより洗浄除去された異物４及び洗浄液を、洗浄機の外部へ排出するための排水路１４が設けられている。洗浄ノズル１３からの洗浄液噴出方向は、パネル搬送方向の前方から後方斜め上方に向かうものであり（図中、右斜め上方向）、パネル２の搬送方向の後部側の回転支持ローラ７ａにおける無端ベルト６が離れる位置の無端ベルト６の内面に向けられている。また、洗浄ノズル１３は洗浄液の噴出口が多穴で、無端ベルト６の幅方向に長い横長のスリット状の洗浄液を噴出するものが好ましい。これにより、１個の洗浄ノズル１３により、無端ベルト６の幅方向の全域を洗浄することができる。又は、複数個の洗浄ノズルを無端ベルト６の幅方向に配置して、複数個の洗浄ノズルにより無端ベルト６の幅方向の全域を洗浄することとしてもよい。
次に、上述の如く構成された本実施形態の動作について説明する。先ず、保持板５上に設置されたパネル２は、図１の搬送方向に従い、エンドレス走行装置９における無端ベルト６の入り口に設けられた搬送ローラ８を経て上方移動域の無端ベルト６上に載置され、無端ベルト６により定盤１２上に搬送される。無端ベルト６には複数個の貫通孔である吸着孔２０が設けられており、また、定盤１２の上面には複数個の空気吸引口２１が設けられているため、この定盤１２の空気吸引口２１から吸着孔２０を介してパネル２を吸引することにより、パネル２は定盤１２に吸引固定される。次に、洗浄ノズル１からパネル２の表面に洗浄液として水を吐出し、水をパネル２の表面に供給しながら、洗浄ヘッド３をパネル２の表面に押し付けて回転させ、パネル表面を走査してパネル表面の異物４を洗浄除去する。
パネル２の表面より洗浄除去された異物４及び洗浄液は、上方移動域にある無端ベルト６に設けられた吸着孔２０を通過して下方移動域にある無端ベルト６上に落下する。これらの異物４及び洗浄液は再び下方移動域の無端ベルト６の吸着孔２０から無端ベルト６の下方に落下し、排水１１としてパネル用洗浄液排出路１０に回収され排出される。しかしながら、吸着孔２０の大きさは小さいため（例えば、直径２ｍｍ）、異物４は排出され難く、異物４の一部は吸着孔２０から外部へ排出されることなく、無端ベルト６の内面に付着する。
一方、洗浄が終わったパネル２は、無端ベルト６により搬送され、エンドレス走行体９における無端ベルト６の出口側に設けられた搬送ローラ８に搬出され、次工程に搬送される。そして、次パネルの洗浄処理前にパネルを定盤上に搬送する際、無端ベルト６の回転と同時に洗浄ノズル１３より洗浄液を回転支持ローラ７ａにおける無端ベルト６が離れる位置の無端ベルト６の内面に向けて射出し、無端ベルト６の内面に付着した異物を洗浄する。より詳細には、洗浄ノズル１３からの洗浄液噴出方向を、パネル搬送方向の前方から後方斜め上方とし、回転支持ローラ７ａにおける無端ベルト６が離れる位置の無端ベルト６の内面に向けて洗浄液を噴出することで、無端ベルト６の内面に付着した異物４を除去する。なお、洗浄ノズル１３からの洗浄液の噴射の形状は、例えば、無端ベルト６の幅方向については広角のスリット状とすることができる。このように、洗浄液射出方向は搬送方向の若干後方であるため、無端ベルト６と共に搬送される異物４の移動方向とは反対の方向となっている。そして、洗浄によって除去された異物４は、洗浄液と共に排水路１４より洗浄機の外部へ排出される。
次に、本実施形態の効果について説明する。洗浄ノズル１３及び排出路１４を定盤１２におけるパネルの搬送方向後端部側に配置し、洗浄ノズル１３から無端ベルト６の内面へ洗浄液を射出して洗浄することにより、パネル表面の洗浄により除去された異物のうち、無端ベルト６に付着して再び、定盤１２とパネル２との間に侵入しようとする異物４を除去し、排水と共に排水路１４を経て洗浄機外部に排出することができる。これにより、無端ベルト６の回転により、定盤１２上に異物４が停滞し、異物４による突起部が、洗浄するパネルに局所的な負荷をかけ、液晶表示パネル等へ適用した場合には、局所的な表示異常が発生することを防止する。
また、洗浄により除去された異物４及び排水を洗浄機外に排出する為の排水路１４を設けることで、洗浄により除去した異物を効率よく排出し、無端ベルト６の内面に付着した異物が大きくなることを防止することができる。
また、洗浄ノズル１３の配置位置を、パネルの搬送方向における定盤１２の後端部側とすることで、無端ベルト６が定盤１２の配設位置に入る前に、無端ベルト６の内面に付着した異物４を除去することができ、異物４が定盤１２に到達して突起が発生し、パネルへ局所的な負荷が加わり、局所的な表示異常が発生することを防止できる。また、洗浄ノズル１３からの洗浄液噴出方向をパネル搬送方向の前方から後方斜め上方とすることで、洗浄液噴出方向と異物４の移動方向とが互いに反対となるため、無端ベルト６の内面に付着した異物４を効果的に除去することができる。
なお、無端ベルト６としては、複数対のベルトを相互に平行に配置して構成するものであってもよい。この場合は、無端ベルト６には貫通する吸着孔２０は不要であり、パネル２は、各ベルト間の隙間を介して吸引されることにより定盤１２により吸引固定される。
また、無端ベルトの内面を洗浄する洗浄ノズル１３の設置箇所は、パネルの搬送方向における定盤１２の後端部側が好ましいが、その他の箇所に設置し、無端ベルト６の内面を洗浄することもできる。
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図２は、本発明の第２の実施形態に係るパネル洗浄機を示す断面図である。
本実施形態と第１の実施形態との相違点は、本実施形態においては、無端ベルト６の内面を洗浄する洗浄ノズル１３を高圧水洗化した点である。図２に示すように、洗浄ノズル１３は、供給管１６を介して高圧ポンプ１７及び貯水槽１８に接続されている。これにより、洗浄ノズル１３から高圧水１５を射出することが可能となり、無端ベルト６の内面の洗浄力を強化し、無端ベルト６の内面の異物除去能力を強化することができる。なお、本実施形態におけるその他の構成は第１の実施形態と同様であり、そのため、図２においては、図１と同一の構成物に同一の符号を付して詳細な説明を省略する。また、本実施形態のその他の動作及び効果は、第１の実施形態の動作及び効果と同様である。
本発明は、液晶パネルのガラス基板等の洗浄に好適に利用することができる。
本発明の第１の実施形態に係るパネル洗浄機を示す断面図である。 本発明の第２の実施形態に係るパネル洗浄機を示す断面図である。 従来のパネル洗浄機の構成を示す断面図である
符号の説明
１、１３；洗浄ノズル
２；パネル
３；洗浄ヘッド
４；異物
５；保持板
６；無端ベルト
７ａ、７ｂ；回転支持ローラ
８；搬送ローラ
９；エンドレス走行装置
１０；パネル用洗浄液排出路
１１；排水
１２；定盤
１４；排水路
１５；高水圧
１６；供給管
１７；高圧ポンプ
１８；貯水槽
２０；吸着孔
２１；空気吸引口
１０１；洗浄ノズル
１０２；パネル
１０３；洗浄ヘッド
１０４；異物
１０５；保持板
１０６；無端ベルト
１０７ａ、１０７ｂ；回転支持ローラ
１０８；搬送ローラ
１０９；エンドレス走行装置
１１０；パネル用洗浄液排出路
１１１；排水
１１２；定盤
１２０；吸着孔

Claims (10)

  1. パネルを搬送する無端ベルトと、前記無端ベルトの内側下方から前記搬送されるパネルを支持する定盤と、前記パネルを上方から洗浄する洗浄装置と、前記無端ベルトの内面を洗浄する洗浄ノズルと、を有することを特徴とするパネル洗浄機。
  2. 前記洗浄ノズルは、前記定盤における前記パネルの搬送方向後端部側にて前記無端ベルトの内面に洗浄液を噴出することを特徴とする請求項１に記載のパネル洗浄機。
  3. 前記無端ベルトは、回転軸が水平の１対の回転支持ローラ間に架け渡され、その上方移動域にて、前記パネルを搬送することを特徴とする請求項１又は２に記載のパネル洗浄機。
  4. 前記洗浄ノズルは、前記パネルの搬送方向の後部側の回転支持ローラにおける前記無端ベルトが離れる位置の前記無端ベルトの内面に、前記パネル搬送方向の前方から後方斜め上方に向けて洗浄液を噴射することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載パネル洗浄機。
  5. 前記無端ベルトは、複数個の貫通孔を有し、前記定盤はその上面に空気吸引口を有し、前記貫通孔を介して前記パネルを吸引することにより前記パネルを前記定盤に固定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のパネル洗浄機。
  6. 前記無端ベルトは、複数対のベルトが相互に平行に配置されて構成され、前記定盤はその上面に空気吸引口を有し、前記ベルト間の隙間を介して前記パネルを吸引することにより前記パネルを前記定盤に固定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のパネル洗浄機。
  7. 前記洗浄装置は、前記パネルの表面に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、前記パネルの表面に接触して走査することにより前記パネルの表面を洗浄する洗浄ヘッドとを有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のパネル洗浄機。
  8. 前記洗浄液を回収し、排出する排出部材を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のパネル洗浄機。
  9. パネルを無端ベルト上で搬送させ、前記パネルを定盤により前記無端ベルトの下方から支持すると共に、前記定盤に支持された前記無端ベルト上の前記パネルをその上方から洗浄装置により洗浄するパネルの洗浄方法において、前記定盤における前記パネルの搬送方向後端部側にて前記無端ベルトの内面に向けて洗浄ノズルから洗浄液を噴射することにより、前記無端ベルトの内面に滞留した異物を洗浄することを特徴とするパネル洗浄方法。
  10. 前記無端ベルトは、回転軸が水平の１対の回転支持ローラ間に架け渡され、その上方移動域にて、前記パネルを搬送するものであると共に、前記洗浄ノズルは、前記パネルの搬送方向の後部側の回転支持ローラにおける前記無端ベルトが離れる位置の前記無端ベルトの内面に、前記パネル搬送方向の前方から後方斜め上方に向けて洗浄液を噴射することを特徴とする請求項９に記載のパネル洗浄方法。

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102641874A (zh) * 2012-05-09 2012-08-22 河北工业大学 一种平面清洗装置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103157628B (zh) * 2011-12-16 2015-09-30 宸鸿科技(厦门)有限公司 无机元件的清洗装置及其清洗方法
KR102000430B1 (ko) * 2012-04-03 2019-07-15 가부시키가이샤 니콘 패턴 형성 장치
CN103586235A (zh) * 2013-11-19 2014-02-19 张家港市超声电气有限公司 吸盘传输带式薄片清洗装置
JP6544539B2 (ja) * 2015-06-29 2019-07-17 株式会社村田製作所 噴射加工装置および被加工物の表面加工方法
CN105081930B (zh) * 2015-08-12 2017-05-17 京东方科技集团股份有限公司 面板抛光装置和面板清洁设备
CN105193237A (zh) * 2015-10-21 2015-12-30 苏州市灵通玻璃制品有限公司 一种电饭煲控制面板玻璃清洁装置
FR3049943B1 (fr) * 2016-04-06 2020-08-28 Saint Gobain Dispositif de convoyage et de maintien de feuilles de verre notamment dans une installation de lavage, et procede de mise en oeuvre
WO2018090303A1 (zh) * 2016-11-17 2018-05-24 深圳市柔宇科技有限公司 传送装置和玻璃清洗装置
CN106829309A (zh) * 2017-01-17 2017-06-13 优居优住家居装饰（北京）有限公司 饰面板输送的设备
CN107170667B (zh) * 2017-05-25 2020-07-28 昆山国显光电有限公司 基板湿制程工艺方法及基板湿制程工艺装置
CN107385389B (zh) * 2017-08-23 2019-06-18 苏州鑫河镜业有限公司 一种用于光学镜片的镀膜前清洗设备
CN112044867B (zh) * 2020-09-05 2021-07-27 张家港市盛港绿色防火建材有限公司 一种用于缺陷板材的双向除尘设备及双向除尘方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4919976B1 (ja) * 1970-10-27 1974-05-21
JPS61216789A (ja) * 1985-03-20 1986-09-26 株式会社　白興商会 マツト洗滌装置
JPH0593583U (ja) * 1992-05-12 1993-12-21 北川精機株式会社 板状物のクリーニング装置
JPH07230973A (ja) * 1994-02-18 1995-08-29 Toshiba Corp 半導体処理装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3868272A (en) * 1973-03-05 1975-02-25 Electrovert Mfg Co Ltd Cleaning of printed circuit boards by solid and coherent jets of cleaning liquid
US4989346A (en) * 1989-06-05 1991-02-05 Frank Hamachek Machine Company Dryer for pieces of food
US5103846A (en) * 1989-08-30 1992-04-14 Vitronics Corporation Apparatus for cleaning mechanical devices using terpene compounds
AU742229B2 (en) * 1997-04-01 2001-12-20 Anglo American Research Laboratories (Proprietary) Limited Particle separator including continuous train of separating pans
US6402401B1 (en) * 1999-10-19 2002-06-11 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and substrate processing method
US6383303B1 (en) * 1999-12-20 2002-05-07 St Assembly Test Services Pte Ltd High volume fluid head
JP2005194060A (ja) * 2004-01-08 2005-07-21 Takatori Corp 基板搬送装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4919976B1 (ja) * 1970-10-27 1974-05-21
JPS61216789A (ja) * 1985-03-20 1986-09-26 株式会社　白興商会 マツト洗滌装置
JPH0593583U (ja) * 1992-05-12 1993-12-21 北川精機株式会社 板状物のクリーニング装置
JPH07230973A (ja) * 1994-02-18 1995-08-29 Toshiba Corp 半導体処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102641874A (zh) * 2012-05-09 2012-08-22 河北工业大学 一种平面清洗装置
CN102641874B (zh) * 2012-05-09 2014-04-16 河北工业大学 一种平面清洗装置

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