JP6544539B2 - 噴射加工装置および被加工物の表面加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、噴射加工装置に関し、さらに詳しくは、被加工物の破損が抑制された噴射加工装置に関する。

また、本発明は、上記噴射加工装置を使用した被加工物の加工方法に関する。

被加工物を搬送しながら、被加工物の表面に粒体、紛体、気体、液体などの加工媒体を強い勢いで噴射し、被加工物の表面に対して研磨、粗化、洗浄などの加工をおこなう噴射加工装置が、様々な種類の工業製品の製造工程において使用されている。

特許文献１（実開平６−３５６２公報）には、被加工物を上下からローラーで挟み、ローラーを回転させることにより被加工物を搬送し、加工領域において被加工物の表面を加工する噴射加工装置（ホーニング装置）が開示されている。

また、特許文献２（特開２００３−８０４５８公報）には、被加工物をベルトコンベアのベルト上に載せ、上方向からローラーで押さえたうえで、ベルトを回転させることにより被加工物を搬送し、加工領域において被加工物の表面を加工する噴射加工装置（表面処理装置）が開示されている。特許文献２には、ベルトは、加工媒体（スラリー）を通過させることができる網状のものであっても良いと記載されている（特許文献２の（００２３）段落参照）。

また、特許文献３（特開平９−７７２５０公報）には、噴射加工装置ではなく搬送装置ではあるが、複数の細いベルトを平行に間隔を開けて配置し、それらのベルト上に物品を載せ、それらのベルトを回転させることにより、物品を搬送する搬送装置（コンベア）が開示されている。なお、特許文献３には、ベルトとベルトの間に間隔を設けた理由は、明確には記載されていない。

実開平６−３５６２公報 特開２００３−８０４５８公報 特開平９−７７２５０公報

噴射加工装置は、被加工物の表面に加工媒体を噴射して被加工物の表面を加工するものであるため、加工時に被加工物の表面に非常に大きな圧力が加わる。

一方、工業品の分野によっては軽薄短小化が進み、極めて薄層化された被加工物に対して、噴射加工装置により加工することが必要になってきている。

電子部品の一種であるセラミック多層基板の技術分野では、厚さ数百μｍのセラミック多層基板に対して、噴射加工装置により表面加工をおこなう場合がある。

具体的には、たとえば、噴射加工装置により加工媒体を噴射して、セラミック多層基板の表面に形成された電極に付着した不要なガラス成分を除去（洗浄）する場合がある。

あるいは、セラミック多層基板の焼成工程においては、生のセラミック多層基板を収縮防止のために上下から拘束層と呼ばれる層で挟み込んで焼成する場合があるが、焼成後に噴射加工装置により加工媒体を噴射して、セラミック多層基板の表面から不要な拘束層を除去する場合がある。

しかしながら、このような薄層化された被加工物（セラミック多層基板など）に対して、上述した特許文献１〜３に記載された噴射加工装置や搬送装置を使用した場合、加工媒体を噴射する圧力により、被加工物が破損してしまう場合があった。

このような問題点を解決するために、本発明者が検討した結果を、図面を用いて説明する。

図７（Ａ）、（Ｂ）に、参考例１として、被加工物を上下からローラーで挟み、ローラーを回転させることにより被加工物を搬送し、加工領域において被加工物の表面を加工する場合を示す。なお、図７（Ａ）は斜視図、図７（Ｂ）は断面図である。

被加工物１０１は、上下のローラー１０２が回転することにより搬送される。

被加工物１０１は、ノズル１０３の直下において、ノズル１０３から噴射された加工媒体１０４により加工される。

被加工物１０１の表面に対する圧力は、ノズル１０３の直下が最大になるが、その部分には、一応、ローラー１０２Ａが配置され、ノズル１０３と反対側から被加工物１０１を支えるようになっている。

しかしながら、搬送される被加工物１０１の先端がローラー１０２Ａに到達する前、あるいは、搬送される被加工物１０１の後端がローラー１０２Ａを離れた後に、ノズル１０３から噴射された加工媒体１０４の圧力により、被加工物１０１が破損してしまう場合があった。図７（Ｂ）は、被加工物１０１の後端がローラー１０２Ａを離れた直後に、ノズル１０３から噴射された加工媒体１０４の圧力により、被加工物１０１が破損した状態を示している。

次に、図８（Ａ）、（Ｂ）に、参考例２として、被加工物をベルトコンベアのベルト上に載せ、上方向からローラーで押さえたうえで、ベルトを回転させることにより被加工物を搬送し、加工領域において被加工物の表面を加工する場合を示す。なお、図８（Ａ）は斜視図、図８（Ｂ）は断面図である。

被加工物２０１は、上下のローラー２０２とベルト２０３が回転することにより搬送される。なお、ベルト２０３は、ローラー２０２Ａにより駆動される。

被加工物２０１は、ノズル２０４の直下において、ノズル２０４から噴射された加工媒体２０５により加工される。

ノズル２０４の直下領域には、ベルト２０３が配置され、ノズル２０４と反対側から被加工物２０１を支えるようになっている。

しかしながら、この噴射加工装置においては、加工に使われた加工媒体２０５が、ベルト２０３上で面方向に勢い良く広がり、被加工物２０１が破損してしまう場合があった。図８（Ｂ）は、ベルト２０３上で面方向に勢い良く広がった加工媒体２０５により、被加工物２０１が破損した状態を示している。

上述したとおり、特許文献２には、ベルトは、加工媒体（スラリー）を通過させることができる網状のものであっても良いと記載されている。

図９（断面図）に示すように、網状のベルト２１３を使用すると、ベルト２１３の網部分２１３ａを加工媒体２０５が通過するため、上述した、ベルト２０３上で加工媒体２０５が面方向に勢い良く広がって被加工物２０１が破損する問題は回避できる。しなしながら、この場合には、図９に示すように、ノズル２０４の直下のベルト２１３の網部分２１３ａで被加工物２０１が破損するため、何ら問題の解決にはならない。

次に、図１０（Ａ）、（Ｂ）に、参考例３として、複数の細いベルトを平行に間隔を開けて配置し、それらのベルト上に被加工物を載せ、搬送するようにした噴射加工装置を示す。なお、図１０（Ａ）は斜視図、図１０（Ｂ）は概念図である。

被加工物３０１は、上下のローラー３０２と、複数の細いベルト３０３が回転することにより搬送される。なお、ベルト３０３は、ローラー３０２Ａにより駆動される。

被加工物３０１は、ノズル３０４の直下において、ノズル３０４から噴射された加工媒体３０５により加工される。

ノズル３０４の直下領域には、複数の細いベルト３０３が配置され、ノズル３０４と反対側から被加工物３０１を支えるようになっている。加工媒体３０５は、複数の細いベルト３０３どうしの隙間を通過するため、加工媒体３０５がベルト３０３上で面方向に勢い良く広がって被加工物３０１を破損してしまうことはない。

しかしながら、図１０（Ｂ）に示すように、複数の細いベルト３０３どうしの隙間を通過する加工媒体３０５が、被加工物３０１を破損してしまう。

以上のように、参考例１〜３の装置を使用すると、薄層化された被加工物が破損してしまうという問題があった。

この問題を解決する方法として、噴射加工装置において、ノズルから加工媒体が間欠的に噴射されるように制御し、被加工媒体が破損しやすいタイミングでの加工媒体の噴射を中止する方法が考えられる。しかしながら、この方法では、ノズルから加工媒体の噴射を再開した直後に、加工媒体の噴射状態が安定せず、被加工物の表面の加工品質が低下してしまうという別の大きな問題が発生してしまう虞があった。

本発明は、上述した従来の問題を解決するためになされたものであり、その手段として本発明の噴射加工装置は、被加工物を搬送する被加工物搬送機構と、粒体、紛体、気体、液体から選ばれるいずれかの単体、または、これらの混合物からなる加工媒体を噴射する少なくとも１つのノズルと、を備え、被加工物を搬送しながら、被加工物の表面に加工媒体を噴射して、被加工物の表面を加工するものであって、被加工物搬送機構は、被加工物の表面に加工媒体を噴射する際に、被加工物の搬送方向に回転しながら被加工物を支持する回転式支持材を備え、回転式支持材は、少なくとも、第１回転式支持材と第２回転式支持材とが組み合わされて構成され、第１回転式支持材は少なくとも１つの第１回転体を、第２回転式支持材は少なくとも１つの第２回転体を備え、ノズルの噴射口から回転式支持材に向かう方向から平面視して、ノズルの噴射口が対向する領域に、第１回転体と第２回転体とが、実質的に隙間なく並べて配置されている領域が存在し、ノズルの噴射口から回転式支持材に向かう方向から平面視して、回転式支持材において第１回転体および第２回転体に少なくとも一部が囲まれる領域に、第１回転式支持材および第２回転式支持材のいずれもが存在しない、加工媒体を排出可能な排出口が形成されているようにした。

第１回転体と第２回転体との合計数は、３個以上であることが好ましい。この場合には、第１回転体と第２回転体による被加工物の支持と、作用後の加工媒体の排出口からの排出を効果的に両立させることができる。

たとえば、第１回転体および第２回転体の、一方をローラーとし、他方をベルトとすることができる。

あるいは、第１回転体および第２回転体が、それぞれベルトであり、第１回回転体のベルトと、第２回転体のベルトとが、被加工部材の搬送方向にずらして配置されたものとすることができる。

第１回転体と、第２回転体とは、交互に配置されていることが好ましい。この場合には、第１回転体および第２回転体により、被加工物を確実に支持することができる。

さらに、ノズル側に配置され、被加工物の跳ね上がりを防止する跳ね上がり防止材を備えていても良い。この場合には、跳ね上がりによる被加工物の破損を抑制することができる。

また、本発明の被加工物の加工方法は、上述した従来の問題を解決するために、上述した本発明の噴射加工装置を使用し、粒体、紛体、気体、液体から選ばれるいずれかの単体、または、これらの２つ以上を混合させた混合物からなる加工媒体を被加工物の表面に噴射し、被加工物の表面に対し、研磨、粗化、洗浄、膜形成から選ばれるいずれかの加工を施すようにした。

本発明の噴射加工装置は、被加工物の搬送方向に回転しながら支持する回転式支持材により、被加工物をノズルと反対側から支持するため、加工時の被加工物の破損が抑制されている。

また、本発明の噴射加工装置は、作用後の加工媒体を排出口から排出することができるため、作用後の加工媒体が面方向に勢い良く広がることによる、被加工物の破損が抑制されている。

また、本発明の被加工物の加工方法は、本発明の噴射加工装置を使って被加工物の表面に研磨、粗化、洗浄、膜形を施すものであるため、被加工物の破損が抑制されている。

図１（Ａ）は、第１実施形態にかかる噴射加工装置１００の斜視図である。図１（Ｂ）は、噴射加工装置１００の回転式支持材５を示す要部斜視図である。 図２（Ａ）は、噴射加工装置１００の回転式支持材５を示す要部平面である。図２（Ｂ）は、噴射加工装置１００の断面図である。 図３（Ａ）は、第２実施形態にかかる噴射加工装置２００の斜視図である。図３（Ｂ）は、噴射加工装置２００の回転式支持材１５を示す要部斜視図である。 図４（Ａ）は、噴射加工装置２００の回転式支持材１５を示す要部平面図である。図４（Ｂ）は、噴射加工装置２００の断面図である。 図５（Ａ）は、第３実施形態にかかる噴射加工装置３００の回転式支持材２５を示す要部斜視図である。図５（Ｂ）は、噴射加工装置３００の回転式支持材２５を示す要部平面図である。 図６（Ａ）は、第４実施形態にかかる噴射加工装置４００の斜視図である。図６（Ｂ）は、噴射加工装置４００の断面図である。 参考例１の噴射加工装置の問題点を説明するための図であり、図７（Ａ）は斜視図、図７（Ｂ）は断面図である。 参考例２の噴射加工装置の問題点を説明するための図であり、図８（Ａ）は斜視図、図８（Ｂ）は断面図である。 参考例２の噴射加工装置の問題点を説明するための図であり、図９は断面図である。 参考例３の噴射加工装置の問題点を説明するための図であり、図１０（Ａ）は斜視図、図１０（Ｂ）は概念図である。

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。

なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、実施形態の理解を助けるためのものであり、必ずしも厳密に描画されていない場合がある。たとえば、描画された構成要素ないし構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。

［第１実施形態］
図１（Ａ）、（Ｂ）、図２（Ａ）、（Ｂ）に、第１実施形態にかかる噴射加工装置１００を示す。ただし、図１（Ａ）は、噴射加工装置１００の斜視図である。図１（Ｂ）は、噴射加工装置１００の回転式支持材５を示す要部斜視図である。図２（Ａ）は、噴射加工装置１００の回転式支持材５を示す要部平面である。図２（Ｂ）は、噴射加工装置１００の断面図である。

噴射加工装置１００は、被加工物１を搬送する被加工物搬送機構として、上ローラー２ａ、下ローラー２ｂを備える。上ローラー２ａ、下ローラー２ｂは、駆動機構（図示せず）により回転駆動されて、被加工物１を搬送する。なお、図１（Ａ）〜図２（Ｂ）においては、４本の上ローラー２ａ、２本の下ローラー２ｂを図示しているが、上ローラー２ａ、下ローラー２ｂの本数は任意であり、これより少なくても良く、これらより多くても良い。

噴射加工装置１００は、加工媒体３を噴射するノズル４を備える。本実施形態においては、ノズル４は、直線状の溝（図示せず）を備え、帯状に加工媒体３を噴射する。ただし、ノズル４に代えて、たとえば、円状や角状に加工媒体３を噴射する複数のノズルを、単体で、あるいは複数を並べて配置しても良い。

噴射加工装置１００は、ノズル４の対向する領域に、被加工物１を、ノズル４と反対側から、被加工物１の搬送方向に回転しながら支持する回転式支持材５を備える。本実施形態においては、回転式支持材５は、第１回転式支持材６と第２回転式支持材７とが組み合わされて構成されている。ただし、回転式支持材５は、第１回転式支持材６と第２回転式支持材７だけには限られず、たとえば、第３回転式支持材などを、さらに備えていても良い。

噴射加工装置１００は、第１回転式支持材６が、第１回転体として、３個のローラー６ａを備える。３個のローラー６ａは、軸５６に固定されていて、軸５６により回転駆動される。なお、軸５６は、駆動機構（図示せず）に固定されていて、駆動機構により回転駆動される。ローラー６ａの材質は任意であるが、たとえば、金属の外周にゴムをコートしたものを使用することができる。 また、噴射加工装置１００は、第２回転式支持材７が、第２回転体として、４個のベルト７ａを備える。４個のベルト７ａは、１対の軸５７により回転駆動される。なお、軸５７は、駆動機構（図示せず）に固定されていて、駆動機構により回転駆動される。ベルト７ａの材質は任意であるが、たとえば、ゴムを使用することができる。

図１（Ｂ）の要部斜視図に示すように、噴射加工装置１００は、第１回転式支持材６の３個のローラー６ａと、第２回転式支持材７の４個のベルト７ａが、相互に干渉しない範囲で、できる限り間隔を小さくして、交互に組み合わせ並べて配置されている。

噴射加工装置１００は、ノズル４の直下近傍に、第１回転式支持材６および第２回転式支持材７のいずれもが存在しない、作用後の加工媒体３を排出するための複数の排出口８が形成されている。

以上のような構造からなる噴射加工装置１００を使用して、被加工物１に、たとえば次のような加工が施される。

まず、セラミック多層基板などの複数の被加工物１が用意される。

複数の被加工物１は、下ローラー２ｂ、上ローラー２ａ、ローラー６ａ、ベルト７ａが回転することにより、順番に、図１（Ａ）に破線で示す搬送経路を搬送される。被加工物１と被加工物１との間隔は、たとえば、１０ｍｍ〜２０ｍｍとされる。

ノズル４からは、常時、加工媒体３が噴射されている。加工媒体３は、たとえば、粒体、紛体、気体、液体から選ばれるいずれかの単体、または、これらの混合物からなる。

ノズル４の下に到達した被加工物１の表面が、噴射された加工媒体３により加工される。加工の種類は、たとえば、研磨、粗化、洗浄、膜形成などである。

表面が加工された被加工物は、さらに、下ローラー２ｂ、上ローラー２ａ、ローラー６ａ、ベルト７ａにより搬送され、噴射加工装置１００の外に取り出される。

以上のような噴射加工装置１００を使用した、被加工物１の加工において、被加工物１が破損することはない。理由は以下のとおりである。

噴射加工装置１００において、被加工物１の表面に対する圧力はノズル４の直下が最大になるが、その部分には、第１回転式支持材６の３個のローラー６ａと、第２回転式支持材７の４個のベルト７ａとが配置されており、被加工物１を、ノズル４と反対側から、被加工物１の搬送方向に回転しながら支持するからである。

また、噴射加工装置１００は、回転式支持材５の近傍に、第１回転式支持材６および第２回転式支持材７のいずれもが存在しない、加工媒体３を排出可能な複数の排出口８が形成されており、作用後の加工媒体３が排出口８から排出されるため、作用後の加工媒体３が面方向に勢い良く広がり、被加工物１を破損することがないからである。

さらに、噴射加工装置１００は、被加工物１がノズル４の直下に到達する前、および、被加工物１がノズル４の直下を離れた後においても、被加工物１が第２回転式支持材７の４個のベルト７ａにより支持されるため、被加工物１の先端や後端が、加工媒体３により破損されてしまうことがないからである。

［第２実施形態］
図３（Ａ）、（Ｂ）、図４（Ａ）、（Ｂ）に、第２実施形態にかかる噴射加工装置２００を示す。ただし、図３（Ａ）は、噴射加工装置２００の斜視図である。図３（Ｂ）は、噴射加工装置２００の回転式支持材１５を示す要部斜視図である。図４（Ａ）は、噴射加工装置２００の回転式支持材１５を示す要部平面図である。図４（Ｂ）は、噴射加工装置２００の断面図である。

図１（Ａ）〜図２（Ｂ）に示した、第１実施形態にかかる噴射加工装置１００では、回転式支持材５が、３個のローラー６ａを備えた第１回転式支持材６と、４個のベルト７ａを備えた第２回転式支持材７とを、組み合わせることにより構成されていた。

噴射加工装置２００は、これに代えて、回転式支持材１５を、３個のベルト１６ａを備えた第１回転式支持材１６と、４個のベルト１７ａを備えた第２回転式支持材１７とを、組み合わせることにより構成した。

なお、３個のベルト１６ａと４個のベルト１７ａとは、被加工物１の搬送方向にずらして配置されている。

第１回転式支持材１６の３個のベルト１６ａは、専用の軸６６と、共通の軸６９により回転駆動される。

第２回転式支持材１７の３個のベルト１７ａは、専用の軸６７と、共通の軸６９により回転駆動される。すなわち、軸６９は、第１回転式支持材１６と第２回転式支持材１７とにおいて、共用されている。

なお、軸６６、６７、６９は、駆動機構（図示せず）に固定されていて、駆動機構により回転駆動される。

噴射加工装置２００においても、回転式支持材１５の近傍に、第１回転式支持材１６および第２回転式支持材１７のいずれもが存在しない、加工媒体３を排出可能な複数の排出口１８が形成されている。

噴射加工装置２００の他の構成は、噴射加工装置１００と同じにした。

噴射加工装置２００においても、以下の理由により、加工時に被加工物１が破損することがない。

図４（Ｂ）に示すように、噴射加工装置２００において、被加工物１の表面に対する圧力はノズル４の直下が最大になるが、その部分には、第１回転式支持材１６の３個のベルト１６ａと、第２回転式支持材１７の４個のベルト１７ａとが配置されており、被加工物１を、ノズル４と反対側から、被加工物１の搬送方向に回転しながら支持するからである。

また、噴射加工装置２００は、回転式支持材５の近傍に、第１回転式支持材１６および第２回転式支持材１７のいずれもが存在しない、加工媒体３を排出可能な複数の排出口１８が形成されており、作用後の加工媒体３が排出口１８から排出されるため、作用後の加工媒体３が面方向に勢い良く広がり、被加工物１を破損することがないからである。

さらに、噴射加工装置２００は、被加工物１が、ノズル４の直下に到達する前は、第２回転式支持材１７の４個のベルト１７ａにより支持され、被加工物１がノズル４の直下を離れた後は、第１回転式支持材１６の３個のベルト１６ａにより支持されるため、被加工物１の先端や後端が、加工媒体３により破損されてしまうことがないからである。

［第３実施形態］
図５（Ａ）、（Ｂ）に、第３実施形態にかかる噴射加工装置３００を示す。ただし、図５（Ａ）は、噴射加工装置３００の回転式支持材２５を示す要部斜視図である。図５（Ｂ）は、噴射加工装置３００の回転式支持材２５を示す要部平面図である。

図１（Ａ）〜図２（Ｂ）に示した、第１実施形態にかかる噴射加工装置１００では、回転式支持材５が、３個のローラー６ａを備えた第１回転式支持材６と、４個のベルト７ａを備えた第２回転式支持材７とで構成されていた。

噴射加工装置３００は、これに代えて、回転式支持材２５を、幅広の１個のローラー２６ａを備えた第１回転式支持材２６と、幅広の２個のベルト２７ａを備えた第２回転式支持材２７とにより構成した。

ローラー２６ａは軸７６に固定されていて、軸７６により回転駆動される。なお、軸７６は、駆動機構（図示せず）に固定されていて、駆動機構により回転駆動される。また、２個のベルト２７ａは、１対の軸７７により回転駆動される。なお、軸７７は、駆動機構（図示せず）に固定されていて、駆動機構により回転駆動される。

噴射加工装置３００は、ノズル４の直下近傍に、第１回転式支持材２６および第２回転式支持材２７のいずれもが存在しない、作用後の加工媒体３を排出するための２個の排出口２８が形成されている。

噴射加工装置３００の他の構成は、噴射加工装置１００と同じにした。

このように、回転式支持材２５を構成する、第１回転式支持材２６の回転体（ローラー２６ａ）と、第２回転式支持材２７の回転体（ベルト２７ａ）の合計数が３個以上であれば、回転式支持材２５でバランスよく被加工物１を支持しながら、作用後の加工媒体３を効果的に排出口２８から排出させることができる。

［第４実施形態］
図６（Ａ）、（Ｂ）に、第４実施形態にかかる噴射加工装置４００を示す。 ただし、図６（Ａ）は、噴射加工装置４００の斜視図である。図６（Ｂ）は、噴射加工装置４００の断面図である。

噴射加工装置４００は、図１（Ａ）〜図２（Ｂ）に示した、第１実施形態にかかる噴射加工装置１００に、跳ね上がり防止材として、１対のローラー１０ａ、１０ｂを追加した。

ローラー１０ａ、１０ｂは、いずれも、ノズル４の直下近傍の、被加工物１の搬送経路の上側に配置されている。

ローラー１０ａは、主に、ノズル４の直下に到達する前の被加工物１の先端が跳ね上がるのを防止する。ローラー１０ｂは、主に、ノズル４の直下から離れた後の被加工物１の後端が跳ね上がるのを防止する。

噴射加工装置３００の他の構成は、噴射加工装置１００と同じにした。

噴射加工装置４００においては、ローラー１０ａ、１０ｂにより、被加工物１の跳ね上が防止されるため、被加工物１の破損がより抑制されている。

以上、第１実施形態〜第４実施形態にかかる噴射加工装置１００〜４００について説明した。しかしながら、本願発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更を加えることができる。

たとえば、噴射加工装置１００〜４００では、回転式支持材５〜２５が、第１回転式支持材６〜２６と、第２回転式支持材７〜２７との２種類で構成されているが、これらの個数は任意であり、さらに第３回転式支持材などを追加するようにしても良い。

また、第１回転式支持材６〜２６や第２回転式支持材７〜２７が、回転体として備える、ローラー６ａ、２６ａや、ベルト７ａ、１６ａ、１７ａ、２７ａの個数は任意であり、上述した個数には限定されない。

１・・・被加工物
２ａ、２ｂ・・・ローラー
３・・・加工媒体
４・・・ノズル
５、１５、２５・・・回転式支持材
６、１６、２６・・・第１回転式支持材
６ａ、２６ａ・・・ローラー（第１回転体）
１６ａ・・・ベルト（第１回転体）
７、１７、２７・・・第２回転式支持材
７ａ、１７ａ、２７ａ・・・ベルト（第２回転体）
８、１８、２８・・・（加工媒体の）排出口
１０ａ、１０ｂ・・・ローラー（跳ね上がり防止材）
５６、５７、６６、６７、６９、７６、７７・・・軸
１００、２００、３００、４００・・・噴射加工装置

Claims (7)

1. 被加工物を搬送する被加工物搬送機構と、
   粒体、紛体、気体、液体から選ばれるいずれかの単体、または、これらの混合物からなる加工媒体を噴射する少なくとも１つのノズルと、を備え、
   前記被加工物を搬送しながら、前記被加工物の表面に前記加工媒体を噴射して、前記被加工物の表面を加工する噴射加工装置であって、
   前記被加工物搬送機構は、前記被加工物の表面に前記加工媒体を噴射する際に、前記被加工物の搬送方向に回転しながら前記被加工物を支持する回転式支持材を備え、
   前記回転式支持材は、少なくとも、第１回転式支持材と第２回転式支持材とが組み合わされて構成され、
   前記第１回転式支持材は少なくとも１つの第１回転体を、前記第２回転式支持材は少なくとも１つの第２回転体を備え、
   前記ノズルの噴射口から前記回転式支持材に向かう方向から平面視して、前記ノズルの噴射口が対向する領域に、前記第１回転体と前記第２回転体とが、実質的に隙間なく並べて配置されている領域が存在し、
   前記ノズルの噴射口から前記回転式支持材に向かう方向から平面視して、前記回転式支持材において前記第１回転体および前記第２回転体に少なくとも一部が囲まれる領域に、前記第１回転式支持材および前記第２回転式支持材のいずれもが存在しない、前記加工媒体を排出可能な排出口が形成されている噴射加工装置。
2. 前記第１回転体と前記第２回転体との合計数が３個以上である、請求項１に記載された噴射加工装置。
3. 前記第１回転体および前記第２回転体の一方がローラーであり、他方がベルトである、請求項１または２に記載された噴射加工装置。
4. 前記第１回転体および前記第２回転体が、それぞれベルトであり、前記第１回体の前記ベルトと、前記第２回転体の前記ベルトとが、前記被加工部材の搬送方向にずらして配置されている、請求項１または２に記載された噴射加工装置。
5. 前記第１回転体と、前記第２回転体とが、交互に配置されている、請求項１ないし４のいずれか１項に記載された噴射加工装置。
6. さらに、前記ノズル側に配置され、前記被加工物の跳ね上がりを防止する跳ね上がり防止材を備えた、請求項１ないし５のいずれか１項に記載された噴射加工装置。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載された噴射加工装置を使用し、
   粒体、紛体、気体、液体から選ばれるいずれかの単体、または、これらの２つ以上を混合させた混合物からなる加工媒体を被加工物の表面に噴射し、
   前記被加工物の表面に対し、研磨、粗化、洗浄、膜形成から選ばれるいずれかの加工を施す被加工物の表面加工方法。

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