JP6975953B2

JP6975953B2 - 異物除去装置及び異物除去方法

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Publication number: JP6975953B2
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Inventors: 康司蒲原
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Description

本発明は、一枚一枚個別のフィルム、シートあるいは板等の１枚である枚葉体の表面にエア等の流体を吹つけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去装置及び異物除去方法に関する。

従来、特許文献１に記載の除塵装置（異物除去装置）が知られている。この除塵装置は、図１Ａに示すような構造のクリーニングヘッド１０（除塵ヘッド）を有している。このクリーニングヘッド１０には、第１エア吸引室１２、エア噴出室１１及び第２エア吸引室１３が、第１エア吸引室１２と第２エア吸引室１３とがエア噴出室１１を挟むように一列に形成されている。第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３のそれぞれは、連通孔１２１、１３１を介して図示外の吸気ポンプに接続されている。この吸気ポンプの第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３に対する吸気作用によって、第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３内が減圧される。また、エア噴出室１１は連通孔１１１を介して図示外のエアポンプ（正圧ポンプ）に接続されている。このエアポンプのエア噴出室１１へのエア送り込み作用によって、エア噴出室１１内が加圧される。

図１Ａとともに図１Ｂを参照するに、クリーニングヘッド１０において、エア噴出室１１の部分には所定長の噴出スリット１１２が形成され、第１エア吸引室１２１及び第２エア吸引室１３のそれぞれの部分には所定長の吸引スリット１２２、１３２が噴出スリット１１２に平行となるように形成されている。前述したエアポンプによるエア噴出室１１内の加圧によって噴出スリット１１２からエアが噴出し、前記吸気ポンプによる第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３内の減圧によって吸引スリット１２２、１３２を通してエアが第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３に引き込まれる。第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３のそれぞれの部分に形成された吸引スリット１２２、１３２の流路は、外方に向かって噴出スリット１１２側に傾斜するように形成されている。これにより、噴出スリット１１２から噴出される気流が両脇の吸引スリット１２２、１３２に引き込まれ易くなる。なお、吸引スリット１２２、１３２の流路は、上述したように傾斜せずに、噴出スリット１１２の流路と同様に、垂直に形成されるものであってもよい。

この異物除去装置では、異物除去の対象となる、一枚一枚個別のガラス基板Ｗの１枚（枚葉体）が搬送テーブル１５に載置され、搬送テーブル１５の所定の方向Ｄへの移動によって１枚のガラス基板Ｗがその方向Ｄに移動するようになっている。上述したような構造のクリーニングヘッド１０は、搬送テーブル１５の上方に、ガラス基板Ｗとの間に所定の隙間が形成されるように、かつ、噴出スリット１１２及び２つの吸引スリット１２２、１３２が搬送テーブル１５に対向するように配置されている（図１Ａ参照）。また、クリーニングヘッド１０は、噴出スリット１１２及び２つの吸引スリット１２２、１３２が搬送テーブル１５の移動方向Ｄ（ガラス基板Ｗの搬送方向）に直交するように、かつ、第１エア吸引室１２が第２エア吸引室１３より搬送方向Ｄの上流側に位置するように配置されている（図１Ｂ参照）。

クリーニングヘッド１０において、前記エアポンプ及び前記吸気ポンプの動作により、エア噴出室１１の噴出スリット１１２からエアが噴出しつつ２つの吸気スリット１２２及び１３２を通してエア吸引室１２、１３にエアが引き込まれる状態で、搬送テーブル１５が方向Ｄに移動する。移動する搬送テーブル１５に載置されたガラス基板Ｗ（枚葉体）がクリーニングヘッド１０の下方を通過する際に、噴出スリット１１２から噴出するエアによってガラス基板Ｗの表面の異物（埃、塵等）がまきあげられ、そのまきあげられた異物が吸気スリット１２２、１３２を通したエアの引き込みによってエア吸引室１２、１３に引き込まれる（図１Ａ参照）。これにより、ガラス基板Ｗの表面の異物が除去されその表面がクリーニングされる。

特開２００５−２９６８０９号公報

ところで、近年、精細化するフレキシブルディスプレイのフィルム状（シート状）の基材、異物混入対策が求められる電池のフィルム状（シート状）の電極やフィルム状（シート状）の絶縁体等の枚葉フィルム（枚葉シート）に対する異物除去に前述したクリーニングヘッド１０を用いることが望まれている。この場合、異物除去の対象となる枚葉フィルム（枚葉シート）が比較的軽くて薄いので、例えば、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、クリーニングヘッド１０のエア噴出室１１に設けられた噴出スリット１１２の下方を枚葉フィルムＷの下流側縁辺部分が通過する直前に、噴出スリット１１２から噴出するエアによって、その下流側縁辺部分がめくれ上がってしまうおそれがある。また、表面に噴出エアが吹きつけられて移動してきた枚葉フィルムＷの上流側縁辺部分が、例えば、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２の下方を通過した直後に、噴出スリット１１２から噴出するエアによってその上流側縁辺部分がめくれ上がってしまうおそれがある。このように移動する枚葉フィルムＷの下流側縁辺部分や上流側縁辺部分がめくり上がってしまうと、枚葉フィルムの適正な搬送ができなくなるおそれがあり、しいては適正な異物除去ができないおそれがある。

そこで、搬送テーブル１５に多くの吸気孔を形成して、搬送テーブル１５に載置された枚葉フィルムＷを搬送テーブル１５上に吸着させておくことが考えられる。しかし、この場合、枚葉フィルムＷを確実に搬送テーブル１５に吸着させるために、各吸気孔を通した吸引量を増大させると、枚葉フィルムＷに吸気孔に対応した吸着痕が発生したり、傷がついたりするという新たな問題が生じ得る。

また、エア噴出室１１の内圧を低下させて噴出スリット１１２から噴出するエアの流速を低下させることや、クリーニングヘッド１０と枚葉フィルムＷとの隙間を大きくして枚葉フィルムＷの表面に吹きつけられるエアの圧力を低下させることが考えられる。しかし、これらの場合も、異物除去の効果が低下してしまうという新たな問題が生じ得る。

本発明は、これらの事情に鑑みてなされたもので、異物除去の対象となる枚葉体がフィルム状やシート状のものであっても、異物除去の効果を低下させることなく、強い吸着固定の仕組みを要せずに安定させた状態で異物を除去することが可能となる異物除去装置及び異物除去方法を提供するものである。

本発明に係る異物除去装置は、気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドを備え、該クリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去装置であって、前記噴出スリットから噴出する気体の流速が前記動作流速より小さい状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセット機構と、前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体を前記動作流速にて噴出させるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向させた状態を維持させつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転機構とを有する構成となる。

このような構成により、まず、噴出スリットから噴出する気体の流速が所定の動作流速より小さい状態で、クリーニングヘッドがフィルム状またはシート状の枚葉体の表面に対向する動作位置にセットされる。これにより、クリーニングヘッドを動作位置にセットする際に、噴出スリットから噴出する気体の枚葉体に作用する力を比較的小さくすることができる。その後、噴出スリットから所定の動作流速にて気体が噴出するとともに吸引スリットを通した気体が吸引される状態で、クリーニングヘッドが枚葉体の表面に対向した状態に維持されつつ、クリーニングヘッドと枚葉体とが相対的に回転される。そのクリーニングヘッドと枚葉体とが相対的に回転される状態で、クリーニングヘッドの噴出スリットから前記作動流速にて噴出する気体が枚葉体の表面に吹きつけられる。これにより、枚葉体は、その吹つけられる気体によって、押さえ付けられる力を受けながら、その表面から異物が除去され得る。

本発明に係る異物除去装置において、前記ヘッドセット機構が前記クリーニングヘッドを前記動作位置にセットする際に、前記噴出スリットから噴出される気体の流速がゼロに設定される構成とすることができる。

このような構成により、噴出スリットからの気体の流速がゼロ、即ち、噴出スリットから気体が噴出していない状態で、クリーニングヘッドが枚葉体の表面に対向する動作位置にセットされる。このため、クリーニングヘッドが動作位置にセットされる際に、噴出スリットから噴出する気体の枚葉体に作用する力をなくすことができる。

本発明に係る異物除去装置において、前記ヘッドセット機構は、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを前記枚葉体に対して移動させて前記動作位置にセットする構成とすることができる。

このような構成により、クリーニングヘッドが動作位置にセットされる際に、線状の噴出スリットがその一端から順次枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向にクリーニングヘッドが前記枚葉体に対して移動するので、噴出スリットから噴出する流体が枚葉体の縁線部分に与える影響を極力小さくすることができる。これにより、枚葉体の縁線部分を噴き上げる力を極力小さくすることができる。

本発明に係る異物除去装置は、気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドを備え、該クリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去装置であって、前記噴出スリットから前記動作流速にて気体が噴出している状態で、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを前記枚葉体に対して移動させて当該枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセット機構と、前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体が前記動作流速にて噴出されるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態を維持しつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転機構とを有する構成となる。

このような構成により、まず、噴出スリットから所定の動作流速にて気体が噴出している状態で、クリーニングヘッドがフィルム状またはシート状の枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットされる際に、線状の噴出スリットがその一端から順次枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向にクリーニングヘッドが前記枚葉体に対して移動する。これにより、噴出スリットから噴出する気体が枚葉体の縁線部分に与える影響を極力小さくすることができ、その結果、枚葉体を噴き上げる力を極力小さくすることができる。その後、噴出スリットから前記動作流速にて気体が噴出するとともに記吸引スリットを通して気体が吸引される状態が維持されつつ、枚葉体の表面に対向する動作位置にセットされたクリーニングヘッドと枚葉体とが相対的に回転される。そのクリーニングヘッドと枚葉体とが相対的に回転される状態で、クリーニングヘッドの噴出スリットから前記動作流速にて噴出する気体が枚葉体の表面に吹きつけられる。これにより、枚葉体は、その吹つけられる気体によって、押さえ付けられる力を受けながら、その表面から異物が除去され得る。

本発明に係る異物除去装置において、前記ヘッドセット機構は、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を直角に横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを移動させる構成とすることができる。

このような構成により、線状の噴出スリットから噴出する流体が枚葉体の縁線部分に与える影響を更に小さくすることができる。

なお、前述した各異物除去装置において、前記ヘッドセット機構は、クリーニングヘッドを枚葉体の表面に対向する動作位置にセットする際に、クリーニングヘッドを移動させるものでも、枚葉体を移動させるものでも、また、クリーニングヘッド及び枚葉体の双方を移動させるものであってもよい。

また、前記回転機構も、クリーニングヘッドを枚葉体に対向させた状態を維持させつつ、クリーニングヘッドを回転させるものでも、枚葉体を回転させるものでも、また、クリーニングヘッド及び枚葉体の双方を回転させるものであってもよい。

本発明に係る異物除去方法は、気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去方法であって、前記噴出スリットから噴出する気体の流速が前記動作流速より小さい状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセットステップと、前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体を前記動作流速にて噴出させるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向させた状態を維持させつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転ステップとを有する構成となる。

また、本発明に係る異物除去方法は、気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去方法であって、前記噴出スリットから前記動作流速にて気体が噴出している状態で、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを移動させ、当該クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセットステップと、前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体が前記動作流速にて噴出されるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態を維持しつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転ステップとを有する構成となる。

本発明に係る異物除去装置及び異物除去方法によれば、異物除去の対象となる枚葉体がフィルム状やシート状のものであっても、異物除去の効果を低下させることなく、強い吸着固定の仕組みを要せずに安定させた状態で異物を除去することができる。

図１Ａは、クリーニングヘッドの基本的な構造を示すと共に、従来の異物除去装置におけるそのクリーニングヘッドと搬送テーブルで搬送される枚葉体との相対的な位置関係を示す断面図である。図１Ｂは、従来の異物除去装置におけるクリーニングヘッドと搬送テーブルで搬送される枚葉体との相対的な位置関係を示す平面図である。図２Ａは、枚葉体の下流側縁辺部分がクリーニングヘッドの噴出スリットの下方を通過する際の状態例を示す断面図である。図２Ｂは、クリーニングヘッドの噴出スリットから噴出するエアにより影響を受ける枚葉体の下流側縁辺部分の状態例を示す平面図である。図３Ａは、枚葉体の上流側縁辺部分がクリーニングヘッドの噴出スリットの下方を通過する際の状態例を示す断面図である。図３Ｂは、クリーニングヘッドの噴出スリットから噴出するエアにより影響を受ける枚葉体の上流側縁絵部分の状態例を示す平面図である。図４Ａは、本発明の第１の実施の形態にかかる異物除去装置の構成を示す側面図である。図４Ｂは、本発明の第１の実施の形態に係る異物除去装置の構成を示す平面図である。図５Ａは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、搬送テーブルにて枚葉フィルムが搬送されている状態を示す側面図である。図５Ｂは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、搬送テーブルにて枚葉フィルムが搬送されている状態を示す平面図である。図６Ａは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、移動する枚葉フィルムとクリーニングヘッドとの相対的な位置関係（その１）を示す平面図である。図６Ｂは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、移動する枚葉フィルムとクリーニングヘッドとの相対的な位置関係（その２）を示す平面図である。図６Ｃは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、移動する枚葉フィルムとクリーニングヘッドとの相対的な位置関係（その３：クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態）を示す平面図である。図７Ａは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態を示す側面図である。図７Ｂは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態を示す平面図である。図８Ａは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態におけるクリーニングヘッドと枚葉フィルムとの相対的な位置関係を拡大して示す平面図である。図８Ｂは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態で、枚葉フィルムが載置されたターンテーブルが回転している状態を示す平面図である。図９Ａは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態における噴出スリット及び２つの吸引スリットと枚葉フィルムとの相対的な位置関係を拡大して示す平面図である。図９Ｂは、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、動作位置にセットされたクリーニングヘッドと、回転するターンテーブルに載置された枚葉フィルムとの相対的な位置関係を示す平面図である。図１０は、図４Ａ及び図４Ｂに示す異物除去装置において、異物除去後の枚葉フィルムがターンテーブルから排出される状態を示す平面図である。図１１Ａは、本発明の第２の実施の形態に係る異物除去装置の構成を示す側面図である。図１１Ｂは、本発明の第２の実施の形態に係る異物除去装置の構成を示す平面図である。図１２は、図１２は、図１１Ａ及び図１１Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態を示す平面図である。図１３Ａは、図１１Ａ及び図１１Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態におけるクリーニングヘッドと枚葉フィルムとの相対的な位置関係を拡大して示す平面図である。図１３Ｂは、図１１Ａ及び図１１Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが動作位置にセットされた状態で、枚葉フィルムが載置されたターンテーブルが回転している状態を示す平面図である。図１４は、図１１Ａ及び図１１Ｂに示す異物除去装置において、異物除去後の枚葉フィルムがターンテーブルから排出される状態を示す平面図である。図１５Ａは、本発明の第３の実施の形態に係る異物除去装置の構成を示す側面図である。図１５Ｂは、本発明の第３の実施の形態に係る異物除去装置の構成を示す平面図である。図１６Ａは、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが第１動作位置にセットされた状態を示す側面図である。図１６Ｂは、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが第１動作位置にセットされた状態を示す平面図である。図１７は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが第１動作位置にセットされた状態で枚葉フィルムが載置された第１ターンテーブルが回転している状態を示す平面図である。図１８は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す異物除去装置において、異物除去後の枚葉フィルムが第１ターンテーブルから排出される状態を示す平面図である。図１９は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが第２動作位置にセットされた状態で枚葉フィルムが載置された第２ターンテーブルが回転している状態、及び第２ターンテーブルに新たな枚葉フィルムが投入される状態を示す平面図である。図２０は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す異物除去装置において、クリーニングヘッドが第１動作位置にセットされた状態、及び異物除去後の枚葉フィルムが第２ターンテーブルから排出される状態を示す平面図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

本発明の第１の実施の形態に係る異物除去装置は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように構成されている。なお、図４Ａは、異物除去装置の構成を示す側面図であり、図４Ｂは、異物除去装置の構成を示す平面図である。この異物除去装置は、例えば、フレキシブルディスプレイのフィルム状の基材、異物混入対策が求められる電池のフィルム状の電極やフィルム状の絶縁体等の枚葉フィルムを異物除去の対象としている。

図４Ａ及び図４Ｂにおいて、この異物搬送装置は、クリーニングヘッド１０、搬送キャリア２０、回転機構２１及び２本のレール３０ａ、３０ｂを備えている。平行に配置された２本のレール３０ａ、３０ｂ上に往復動可能に搬送キャリア２０が設置されている。搬送キャリア２０は、図示外の搬送駆動機構によって２本のレール３０ａ、３０ｂ上を投入・排出位置（図４Ａ及び図４Ｂに示す位置）とヘッドセット位置（後述する図７Ａ及び図７Ｂに示す位置）との間を往復動する。搬送キャリア２０内には回転機構２１が設けられている。回転機構２１は、表面が搬送キャリア２０の表面から露出する円盤状のターンテーブル２１１と、ターンテーブル２１１をその軸を中心にして回転させる駆動部２１２（モータ等を含む）とを有している。ターンテーブル２１１の表面には多数の吸気孔が形成されており、ターンテーブル２１１に載置された異物除去の対象となる枚葉フィルムＷが吸着固定されるようになっている。

クリーニングヘッド１０は、前述した図１Ａに示すものと同様の構成を有し、第１エア吸引室１２、エア噴出室１１及び第２エア吸引室１３が、第１エア吸引室１２と第２エア吸引室１３とがエア噴出室１１を挟むように一列に形成されている。エア噴出室１１に対して所定長の噴出スリット１１２が形成され、第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３のそれぞれに対して吸引スリット１２２、１３２が噴出スリット１１２に平行に形成されている。そして、エアポンプによるエア噴出室１１内の加圧によって噴出スリット１１２からエアが噴出し、吸気ポンプによる第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３内の減圧によって吸引スリット１２２、１３２を通してエアが第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３に引き込まれる。

搬送キャリア２０の移動方向におけるターンテーブル２１１とクリーニングヘッド１０との位置関係は、搬送キャリア２０が投入・排出位置にあるときに、ターンテーブル２１１とクリーニングヘッド１０とがその移動方向において所定の間隔をもって配置され、搬送キャリア２０がヘッドセット位置（図７Ａ及び図７Ｂ参照）にあるときに、クリーニングヘッド１０がターンテーブル２１１の真上に位置する関係となっている。ターンテーブル２１１及びクリーニングヘッド１０のそれぞれは、搬送キャリア２０の幅方向（移動方向に直交する方向）の中心に位置している。クリーニングヘッド１０は、噴出スリット１１２及び２つの吸気スリット１２２、１３２を搬送キャリア２０の表面に向けるとともに、それら噴出スリット１１２及び２つの吸気スリット１２２、１３２が搬送キャリア２０の移動方向に平行となるように配置されている。また、クリーニングヘッド１０は、搬送キャリア２０がヘッドセット位置（図７Ａ及び図７Ｂ参照）にあるときに、ターンテーブル２１１に載置された枚葉フィルムＷとの間に所定の隙間（例えば、１ｍｍ〜５ｍｍ程度）が形成されるように搬送キャリア２０に対向している。また、図示は省略されるが、搬送キャリア２０が投入・排出位置にある状態で、異物除去の対象となる枚葉フィルムＷをターンテーブル２１１に投入し（図４Ｂ参照）、異物除去済みの枚葉フィルムＷをターンテーブル２１１から排出する（後述する図１０参照）投入・排出機構が設けられている。

なお、搬送キャリア２０の前記搬送駆動機構、回転機構２１の駆動部２１２及び投入・排出機構、更に、クリーニングヘッド１０のエア噴出室１１を加圧するためのエアポンプ及び第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室１３を減圧するための吸気ポンプのそれぞれの動作は、図示外の制御装置によって制御される。

上述したような構成の異物除去装置は、次のようにして動作する。

図４Ａ及び図４Ｂに示すように、搬送キャリア２０が投入・排出位置にあるときに、投入・排出機構（図示略）によってターンテーブル２１１上に所定の姿勢にて枚葉フィルムＷが投入される。枚葉フィルムＷは、ターンテーブル２１１の中央部に載置され吸引固定される。このとき、ターンテーブル２１１から離れているクリーニングヘッド１０は、既に、異物除去の際と同様に、噴出スリット１１２から所定の動作流速にてエアが噴出している状態にある。また、このとき、クリーニングヘッド１０は、２つの吸引スリット１２２、１３２を通してエアが吸引されている状態でもある。なお、クリーニングヘッド１０におけるエア噴出室１１内の圧力（加圧状態）を制御することにより、噴出スリット１１２から噴出するエアの流速が制御され、第１エア吸引室１２及び第２エア吸引室内１３の圧力（減圧状態）を制御することにより、２つの吸引スリット１２２、１３２を通したエアの吸引力が制御される。

上述した状態において、搬送キャリア２０が２つのレール３０ａ、３０ｂ上をヘッドセット位置（図７Ａ及び図７Ｂ参照）に向かって移動する。

図５Ａ及び図５Ｂに示すように、枚葉フィルムＷが搬送キャリア２０とともにヘッドセット位置に向けて方向Ｄに移動する際に、クリーニングヘッド１０は、枚葉フィルムＷの上方において、枚葉フィルムＷ内に進入する方向に相対移動する。その過程で、動作流速にてエアを噴出する線状の噴出スリット１１２は、図５Ｂとともに図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃに拡大して示すように、その一端から順次枚葉フィルムＷの縁線を直角に横切って枚葉フィルムＷに進入する方向に移動する。そして、搬送キャリア２０がヘッドセット位置まで移動して停止すると、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、クリーニングヘッド１０は、ターンテーブル２１１（枚葉フィルムＷ）の真上に位置し、動作位置にセットされる（ヘッドセットステップ）。なお、レール３０ａ、３０ｂ上を投入・排出位置からヘッドセット位置まで移動する搬送キャリア２０が、噴出スリット１１２から動作流速にてエアが噴出する状態のクリーニングヘッド１０を動作位置にセットするヘッドセット機構に対応する。

この異物除去装置では、上述したようにクリーニングヘッド１０が動作位置（図７Ａ及び図７Ｂ参照）にセットされる際に、線状の噴出スリット１１２がその一端から順次枚葉フィルムＷの縁線を直角に横切って枚葉フィルムＷに進入する方向にクリーニングヘッド１０が枚葉フィルムＷに対して相対的に移動する（図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃ参照）。このとき、線状の噴出スリット１１２は、枚葉フィルムＷの縁線に対して、図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃで示すように、１点Ｐｅで交差するように移動する。このため、噴出スリット１１２から異物除去の場合と同じ動作流速にてエアが噴出していても、噴出スリット１１２から噴出するエアが枚葉フィルムＷの縁線部分の前記１点Ｐｅに対応した限られた範囲にしか吹きかけられず、噴出スリット１１２から噴出するエアによる枚葉フィルムＷの縁線部分に与える影響は小さい。その結果、クリーニングヘッド１０が動作位置にセットされる際において、噴出スリット１１２から噴出するエアによる枚葉フィルムＷの縁線部分を噴き上げる力が小さなものとなり、ターンテーブル２１１に載置される枚葉フィルムＷの吸着固定の力が小さいものであっても、枚葉フィルムＷが縁線部分からめくり上がることはなく、枚葉フィルムＷはターンテーブル２１１上で安定した姿勢に維持される。

次に、図７Ａ及び図７Ｂとともに図８Ａに拡大して示すように、クリーニングヘッド１０がターンテーブル２１１の真上の動作位置にセットされると、回転機構２１の駆動部２１２の動作によりターンテーブル２１１が、図８Ｂに示すように、所定の方向Ａに回転させられる（回転ステップ）。このとき、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から動作流速にてエアが噴出するとともに２つの吸引スリット１２２、１３２を通してエアが吸引される状態が維持されている。このようにしてクリーニングヘッド１０とターンテーブル２１１に吸着固定された枚葉フィルムＷとが相対的に回転される過程で、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から前記動作流速にて噴出するエアが枚葉フィルムＷの表面に吹きつけられる。そして、その吹付けられるエアによって枚葉フィルムＷの表面の異物（埃、塵等）がまきあげられ、そのまきあげられた異物が２つの吸引スリット１２２、１３２を通したエアの引き込みによってエア吸引室１２、１３に引き込まれる（図１Ａの状態参照）。これにより、枚葉フィルムＷの表面の異物が除去されてその表面がクリーニングされる。

この異物除去装置では、動作位置にセットされたクリーニングヘッド１０は、図９Ａに示すように、線状の噴出スリット１１２が、ターンテーブル２１１に吸着固定された枚葉フィルムＷの１つの縁線に１点Ｐｅ１で交差するとともに、枚葉フィルムＷのその縁線に対向する縁線に１点Ｐｅ２で交差する状態にある。そして、ターンテーブル２１１の回転により、クリーニングヘッド１０と枚葉フィルムＷとが相対的に回転している状態においても、クリーニングヘッド１０は、線状の噴出スリット１１２が枚葉フィルムＷの１つの縁線に１点Ｐｅ１で交差するとともに、枚葉フィルムＷのその縁線に対向する縁線に１点Ｐｅ２で交差する状態に維持され続ける。このため、クリーニングヘッド１０と枚葉フィルムＷとが相対的に回転する過程では、枚葉フィルムＷは噴出スリット１１２から噴出するエアによって押さえ付けられる力を受けながら、その表面から異物が除去される。そして、枚葉フィルムＷの各縁線部分は、１点Ｐｅ１、Ｐｅ２に対応した限られた範囲にしかエアが吹きつけられないので、噴出スリット１１２から噴出するエアが枚葉フィルムＷの縁線部分に与える影響は極めて小さく、枚葉フィルムＷが縁線部分からめくり上がることはなく、枚葉フィルムＷはターンテーブル２１１上で安定した姿勢に維持される。

動作位置にあるクリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から動作流速にてエアが噴出するとともに２つの吸引スリット１２２、１３２を通してエアが吸引される状態で、ターンテーブル２１１が所定回数（半回転以上）回転して、枚葉フィルムＷの表面の全体にエアが吹きつけられると、ターンテーブル２１１の回転が停止される。そして、搬送キャリア２０がヘッドセット位置（図７Ａ及び図７Ｂ参照）から元の投入・排出位置に移動する。搬送キャリア２０が、図１０に示すように、投入・排除位置まで移動して停止すると、ターンテーブル２１１における枚葉フィルムＷの吸着固定が解除され、異物除去済みの枚葉フィルムＷが投入・排出機構によりターンテーブル２１１から排出されて所定のケース等に収容される。以後、同様の手順（図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、図５Ｂ、図７Ａ、図７Ｂ、図８Ａ、図８Ｂ、図１０参照）に従って、１枚ずつ枚葉フィルムＷの表面からの異物除去の処理が行われる。

上述したような本発明の第１の実施の形態に係る異物除去装置によれば、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から所定の動作流速にてエアを噴出させた状態であっても、クリーニングヘッド１０を動作位置（図７Ａ及び図７Ｂ参照）にセットする際、及びクリーニングヘッド１０と枚葉フィルムＷとを相対的に回転させる（図８Ｂ参照）際のいずれにおいても、噴出スリット１１２から噴出するエアの枚葉フィルムＷの縁線部分に対する影響は小さい。このため、異物除去の効果を低下させることなく、枚葉フィルムＷのターンテーブル２１１に対する吸引固定の力を大きく設定しなくても、枚葉フィルムＷをターンテーブル２１１上で安定させた状態でその表面から異物を除去することができる。

また、上述したような異物除去装置では、クリーニングヘッド１１２を動作位置にセットする際に、噴出スリット１１２から噴出するエアの流速が異物除去で用いる動作流速に維持されるので、噴出スリット１１２の流速を切り換える必要がなく、枚葉フィルムＷの表面から異物を除去する処理を効率よく行うことができる。

なお、クリーニングヘッド１１２を動作位置にセットする際に、噴出スリット１１２から噴出するエアの流速を異物除去で用いる動作流速より小さくする、あるいは、噴出スリット１１２からエアを噴出させない（流速をゼロに設定する）ことができる。この場合、ターンテーブル２１１での枚葉フィルムＷに対する吸引固定の力を更に小さくすることができ、薄く軟らかい枚葉フィルムＷに対する異物除去により適したものとなる。

本発明の第２の実施の形態に係る異物除去装置は、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように構成される。なお、図１１Ａは、異物除去装置の構成を示す側面図であり、図１１Ｂは、異物除去装置の構成を示す平面図である。

この異物除去装置は、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、噴出スリット１１２及び２つの吸引スリット１２２、１３２が搬送キャリア２０の移動方向に直交する方向に延びるように、クリーニングヘッド１０が配置される点で、前述した第１の実施の形態に係る異物除去装置（図４Ａ及び図４Ｂ参照）と異なる。２つのレール３０ａ、３０ｂ上を投入・排出位置とヘッドセット位置との間を往復動する搬送キャリア２０及び搬送キャリア２０に設けられた回転機構２１（ターンテーブル２１１、駆動部２１２）については、前述した第１の実施の形態に係る異物除去装置と同じである。

この異物除去装置では、投入・排出位置にある搬送キャリア２０のターンテーブル２１１に異物除去の枚葉フィルムＷが投入されて、枚葉フィルムＷがターンテーブル２１１に吸着固定されると（図１１Ａ、図１１Ｂ参照）、搬送キャリア２０は、投入・排出位置からヘッドセット位置に向けて移動する。その際、クリーニングヘッド１０は、噴出スリット１１２からエアが噴出しておらず（噴出エアの流速がゼロ）、吸引スリット１２２、１３２を通した吸引も行われていない。このようにクリーニングヘッド１０が動作していない状態で、移動する搬送キャリア２０がヘッドセット位置に達すると、図１２に示すように、クリーニングヘッド１０がターンテーブル２１１の真上の動作位置にセットされる（ヘッドセットステップ）。

この異物除去装置では、クリーニングヘッド１０は、動作位置にセットされる際に、噴出スリット１１２からエアが噴出していないので、ターンテーブル２１１に吸着固定された枚葉フィルムＷは、噴出エアの影響を受けることがない。従って、枚葉フィルムＷに対する吸引固定の力が小さいものであっても、縁辺部分でのめくり上がりもなく、ターンテーブル２１１上で安定した姿勢に維持される。

次に、図１２とともに図１３Ａに拡大して示すように、クリーニングヘッド１０がターンテーブル２１１の真上の動作位置にセットされると、回転機構２１の駆動部２１２の動作によりターンテーブル２１１が、図１３Ｂに示すように、所定の方向Ａに回転させられる（回転ステップ）。このとき、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から所定の動作流速にてエアが噴出するとともに２つの吸引スリット１２２、１３２を通してエアが吸引される。これにより、前述した第１の実施の形態に係る異物除去装置（図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａ、図９Ｂ参照）と同様に、ターンテーブル２１１と共に回転する枚葉フィルムＷの表面にクリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から前記動作流速にて噴出するエアが吹きつけられる。そして、その吹付けられるエアによって枚葉フィルムＷの表面の異物（埃、塵等）がまきあげられ、そのまきあげられた異物が２つの吸引スリット１２２、１３２を通したエアの引き込みによってエア吸引室１２、１３に引き込まれる（図１Ａの状態参照）。これにより、枚葉フィルムＷの表面の異物が除去されてその表面がクリーニングされる。

このように、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から動作流速にて噴出するエアが回転する枚葉フィルムＷに吹きかけられる過程では、前述した第１の実施の形態に係る異物除去装置と同様に、枚葉フィルムＷの各縁線部分は、１点に対応した限られた範囲にしかエアが吹きつけられないので、噴出スリット１１２から噴出するエアが枚葉フィルムＷの縁線部分に与える影響は極めて小さく、枚葉フィルムＷが縁線部分からめくり上がることはなく、枚葉フィルムＷはターンテーブル２１１上で安定した姿勢に維持される。

ターンテーブル２１１が所定回数回転して、枚葉フィルムＷの表面の異物除去の処理が終了すると、ヘッドセット位置にあった搬送キャリア２０は、投入・排出位置に戻る。そして、ターンテーブル２１１における枚葉フィルムＷの吸着固定が解除され、図１４に示すように、異物除去済みの枚葉フィルムＷが投入・排出機構によりターンテーブル２１１から排出されて所定のケース等に収容される。以後、同様の手順（図１１Ａ、図１１Ｂ、図１２、図１３Ａ、図１３Ｂ、図１４参照）に従って、１枚ずつ枚葉フィルムＷの表面からの異物除去の処理が行われる。

上述した本発明の第２の実施の形態に係る異物除去装置によれば、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２からエアを噴出させることなくクリーニングヘッド１０を動作位置にセットするようにしているので、ターンテーブル１０に吸着固定された枚葉フィルムＷの縁線部分がクリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２の下方を通過する際に、その縁線部分が噴出エアによって影響を受けることがない。また、クリーニングヘッド１０と枚葉フィルムＷとを相対的に回転させる（図１３Ｂ参照）際においても、前述した第１の実施の形態に係る異物除去装置の場合と同様に、噴出スリット１１２から噴出するエアの枚葉フィルムＷの縁線部分に対する影響は小さい。このため、異物除去の効果を低下させることなく、枚葉フィルムＷのターンテーブル２１１に対する吸引固定の力を大きく設定しなくても、枚葉フィルムＷをターンテーブル２１１上で安定させた状態でその表面から異物を除去することができる。

なお、第２の実施の形態に係る異物除去装置では、クリーニングヘッド１０を動作位置（図１２、図１３Ａ参照）にセットする際に、噴出スリット１１２からエアを噴出させていなかった（流速ゼロ）が、これに限定されない。噴出スリット１１２から動作流速より小さい所定の流速にてエアを噴出するようにしてもよい。この場合であっても、クリーニングヘッド１０を動作位置にセットする際に、噴出スリット１１２から噴出するエアの枚葉フィルムＷに作用する力を比較的小さくすることができるので、ターンテーブル２１１上における吸着固定の強さを枚葉フィルムＷに吸着痕が発生しない範囲で適当に調整することにより、枚葉フィルムＷの姿勢を安定的に維持させることができる。

本発明の第３の実施の形態に係る異物除去装置は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように構成される。なお、図１５Ａは、異物除去装置の構成を示す側面図であり、図１５Ｂは、異物除去装置の構成を示す平面図である。

この異物除去装置は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、搬送キャリア２０に第１回転機構２１及び第２回転機構２２の２つの回転機構が設けられている点で、前述した第１の実施の形態に係る異物除去装置（図４Ａ及び図４Ｂ参照）及び第２の実施の形態に係る異物除去装置（図１１Ａ及び図１１Ｂ参照）と異なる。搬送キャリア２０が２つのレール３０ａ、３０ｂ上を往復動する構成については、第１の実施の形態及び第２の実施の形態のそれぞれに係る異物除去装置と同じである。

この異物除去装置では、第１回転機構２１の第１ターンテーブル２１１と第２回転機構２２の第２ターンテーブル２２１とが、搬送キャリア２０においてその移動方向に沿って所定の間隔をもって配置されている。第１ターンテーブル２１１は第１駆動部２１２によって回転させられ、第２ターンテーブル２２１は第２駆動部２２２によって回転させられる。これら第１駆動部２１２及び第２駆動部２２２は前述した制御装置により制御される。第１ターンテーブル２１１の表面及び第２ターンテーブル２２１の表面は搬送キャリア２０の表面から露出している。

搬送キャリア２０は、２つのレール３０ａ、３０ｂ上を第１の位置（図１５Ａ及び図１５Ｂに示す位置）と第２の位置（後述する図１６Ａ及び図１６に示す位置）との間で往復動する。クリーニングヘッド１０は、搬送キャリア２０が第１の位置にあるとき（図１５Ａ及び図１５Ｂ参照）、第２ターンテーブル２２１の真上に位置し、搬送キャリア２０が第２の位置にあるとき（図１６Ａ及び図１６Ｂ）、第１ターンテーブル２１１の真上に位置するように配置されている。また、クリーニングヘッド１０は、第１の実施の形態に係る異物除去装置（図４Ａ及び図４Ｂ参照）と同様に、それぞれ線状の噴出スリット１１２及び２つの吸引スリット１２２、１３２が搬送キャリア２０の搬送方向と平行に延びるように配置されている。また、搬送キャリア２０の上方に設けられるクリーニングヘッド１０と各ターンテーブル２１１、２２１に吸着固定された枚葉フィルムＷとの間には所定の隙間（例えば、１ｍｍ〜５ｍｍ程度）が形成されている。

クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から異物除去で使用される動作流速にてエアが噴出するとともに２つの吸引スリット１２２、１３２を通してエアが吸引される状態が維持されつつ、上記異物除去装置は、次のように動作する。

図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、搬送キャリア２０が第１の位置にあるとき、投入・排出機構により異物除去の対象となる枚葉フィルムＷ１が第１ターンテーブル２１１に投入され、枚葉フィルムＷ１は第１ターンテーブル２１１に載置されて吸着固定される。このように第１ターンテーブル２１１に枚葉フィルムＷ１が吸着固定された状態で、搬送キャリア２０は移動して、図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、第２の位置に達すると停止する。搬送キャリア２０が第２の位置になると、クリーニングヘッド１０は、第１ターンテーブル２１１の真上に位置し、第１動作位置にセットされる。このとき、他の投入排出機構により異物除去の対象となる他の枚葉フィルムＷ２が第２ターンテーブル２２１に投入され、個の枚葉フィルムＷ２は第２ターンテーブル２２１に載置されて吸着固定される。

この状態で、図１７に示すように、第１ターンテーブル２１１が回転する。この第１ターンテーブル２１１の回転により、第１動作位置にセットされたクリーニングヘッド１０と第１ターンテーブル２１１に吸着固定された枚葉フィルムＷ１とが相対的に回転し、その過程で、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から動作流速にて噴出するエアが枚葉フィルムＷ１の表面に吹きつけられ、枚葉フィルムＷ１の表面の異物が除去される。

第１ターンテーブル２１１が所定数回転して枚葉フィルムＷ１に対する異物除去に係る処理が終了すると、搬送キャリア２０は第１の位置に戻される。搬送キャリア２０が第１の位置になると、図１８に示すように、第１ターンテーブル２１１から異物除去済みの枚葉フィルムＷ１が投入・排出機構によって排出され、所定のケース等に収容される。一方、搬送キャリア２０が第１の位置に戻ると、クリーニングヘッド１０は、第２ターンテーブル２２１の真上に位置し、第２動作位置にセットされる。

クリーニングヘッド１０が第２動作位置にセットされると、図１９に示すように、第２ターンテーブル２２１が回転する。この第２ターンテーブル２２１の回転により、第２動作位置にセットされたクリーニングヘッド１０と第２ターンテーブル２２１に吸着固定された枚葉フィルムＷ２とが相対的に回転し、その過程で、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から動作流速にて噴出するエアが枚葉フィルムＷ２の表面に吹きつけられ、枚葉フィルムＷ２の表面の異物が除去される。

上述したように第１ターンテーブル２１１から異物除去済みの枚葉フィルムＷ１が排出された（図１８参照）後、第２の動作位置にセットされたクリーンヘッド１０により回転する第２ターンテーブル２２１に吸着固定された枚葉フィルムＷ２の異物除去に係る処理が終了するまでの間の適当なタイミングで、図１９に示すように、第１ターンテーブル２１１に新たな枚葉フィルムＷ３が投入され、その新たな枚葉フィルムＷ３が第１ターンテーブル２１１に吸着固定される。

その後、搬送キャリア２０は、図１９に示す第１の位置から、図２０に示す第２の位置に移動する。このように、搬送キャリア２０が第２の位置になると、図２０に示すように、第２ターンテーブル２２１から異物除去済みの枚葉フィルムＷ２が投入・排出機構によって排出され、所定のケース等に収容される。そして、クリーニングヘッド１０は、第１ターンテーブル２１１の真上に位置し、第１動作位置にセットされる。そして、前述したのと同様に、クリーニングヘッド１０によって回転する第１ターンテーブル２１１に吸着固定された枚葉フィルムＷ３の表面の異物が除去される。

以後、同様の手順（図１６Ａ、図１６Ｂ、図１７、図１８、図１９、図２０参照）に従って、搬送キャリア２０が第１の位置と第２の位置とを往復動する過程で、第１ターンテーブル２１１と第２ターンテーブル２２１とに交互に投入される枚葉フィルムＷに対する異物除去が単一のクリーニングヘッド１０によって行われるとともに、第１ターンテーブル２１１と第２ターンテーブル２２１とから交互にその異物除去済みの枚葉フィルムＷが排出される。

本発明の第３の実施の形態に係る異物除去装置によれば、第１ターンテーブル２１１と第２ターンテーブル２２１とに交互に投入される枚葉フィルムＷに対する異物除去の処理が単一のクリーニングヘッド１０により行われるとともに、第１ターンテーブル２１１と第２ターンテーブル２２１とから交互に異物除去済みの枚葉フィルムＷが排出されるので、枚葉フィルムＷに対する異物除去に係る処理を更に効率的に行うことができる。

そして、第１の実施の形態に係る異物除去装置と同様に、クリーニングヘッド１０の噴出スリット１１２から所定の動作流速にてエアを噴出させた状態であっても、クリーニングヘッド１０を第１動作位置（図１６Ａ及び図１６Ｂ参照）及び第２動作位置（図１８参照）にセットする際、及びクリーニングヘッド１０と枚葉フィルムＷとを相対的に回転させる（図１７及び図１９参照）際のいずれにおいても、噴出スリット１１２から噴出するエアの枚葉フィルムＷの縁線部分に対する影響は小さい。このため、異物除去の効果を低下させることなく、枚葉フィルムＷの各ターンテーブル２１１、２２１に対する吸引固定の力を大きく設定しなくても、枚葉フィルムＷを各ターンテーブル２１１、２２１上で安定させた状態でその表面から異物を除去することができる。

なお、この第３の実施の形態における２つの回転機構を設ける構成は、第１の実施の形態に係る異物除去装置に適用したものであったが、第２の実施の形態に係る異物除去装置も適用することができる。

上述した各実施の形態に係る異物除去装置において、枚葉フィルムＷを固定してクリーニングヘッド１０を往復動させても、あるいは、枚葉フィルムＷ及びクリーニングヘッド１０の双方を往復動させるようにしてもよい。また、同様に、枚葉フィルムＷを固定してクリーニングヘッド１０を回転させても、あるいは、枚葉フィルムＷ及びクリーニングヘッド１０の双方を回転させるようにしてもよい。

異物対象の枚葉体は、フィルム状のもの（枚葉フィルム）に限定されず、フィルム状のものより厚いシート状のもの（枚葉シート）であっても、シート状のものよりも更に厚い板状のもの（枚葉プレート）であってもよい。

クリーニングヘッド１０には少なくとも噴出スリット１１２が形成されていればよく、複数の噴出スリットが形成されていても、噴出スリットに加えて、１本の吸引スリットだけが形成されていても、更に、吸引スリットが形成されていなくてもよい。また、クリーニングヘッド１０において一又複数の噴出スリットと一又は複数の吸引スリットとが形成される場合、それらの配置についても特に限定されない。例えば、上述したクリーニングヘッド１０において、２つの噴出スリットにて１つの吸引スリットを挟むように各スリットを形成するようにしてもよい。

噴出スリット１１２から噴出する流体は、エアに限定されず、他の気体であっても、ガラス基板等の枚葉基板を洗浄する異物除去装置としての洗浄装置等では、水や洗浄液等の液体であってもよい。

以上、本発明のいくつかの実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

以上、本発明に係る異物除去装置及び異物除去方法は、異物除去の対象となる枚葉体がフィルム状やシート状のものであっても、異物除去の効果を低下させることなく、強い吸着固定の仕組みを要せずに安定させた状態で異物を除去することが可能となるという効果を有し、一枚一枚個別のフィルム、シートあるいは板等の１枚である枚葉体の表面にエア等の流体を吹つけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去装置及び異物除去方法として有用である。

１０クリーニングヘッド
１１エア噴出室
１２第１エア吸引室
１３第２エア吸引室
１１１、１２１、１３１貫通孔
１１２噴出スリット
１２２、１３２吸引スリット
２０搬送キャリア
２１回転機構
２１１ターンテーブル
２１２駆動部
３０ａ、３０ｂレール

Claims

気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドを備え、該クリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去装置であって、
前記噴出スリットから噴出する気体の流速が前記動作流速より小さい状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセット機構と、
前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体を前記動作流速にて噴出させるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向させた状態を維持させつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転機構とを有する異物除去装置。
前記ヘッドセット機構が前記クリーニングヘッドを前記動作位置にセットする際に、前記噴出スリットから噴出される気体の流速がゼロに設定される請求項１記載の異物除去装置。
前記ヘッドセット機構は、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを前記枚葉体に対して移動させて前記動作位置にセットする請求項１記載の異物除去装置。
気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドを備え、該クリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去装置であって、
前記噴出スリットから前記動作流速にて気体が噴出している状態で、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを前記枚葉体に対して移動させて当該枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセット機構と、
前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体が前記動作流速にて噴出されるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態を維持しつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転機構とを有する異物除去装置。
前記ヘッドセット機構は、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を直角に横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを移動させる請求項４記載の異物除去装置。
前記回転機構は、静止している前記クリーニングヘッドに対して前記枚葉体を回転させる枚葉体回転機構を有する請求項１乃至５のいずれかに記載の異物除去装置。
気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去方法であって、
前記噴出スリットから噴出する気体の流速が前記動作流速より小さい状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセットステップと、
前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体を前記動作流速にて噴出させるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で、前記クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向させた状態を維持させつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転ステップとを有する異物除去方法。
前記ヘッドセットステップにおいて、前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされる際に、前記噴出スリットから噴出される気体の流速がゼロに設定される請求項７記載の異物除去方法。
気体を噴出する所定長の噴出スリット及び所定長の吸引スリットを有するクリーニングヘッドとフィルム状またはシート状の枚葉体とを相対的に移動させながら、前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態で前記噴出スリットから所定の動作流速にて噴出される気体を前記枚葉体の表面に吹きつけて当該枚葉体の表面から異物を除去する異物除去方法であって、
前記噴出スリットから前記動作流速にて気体が噴出している状態で、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを移動させ、当該クリーニングヘッドを前記枚葉体の表面に対向する所定の動作位置にセットするヘッドセットステップと、
前記クリーニングヘッドが前記動作位置にセットされた後、前記噴出スリットから気体が前記動作流速にて噴出されるとともに前記吸引スリットを通して気体が吸引される状態を維持しつつ、前記クリーニングヘッドと前記枚葉体とを相対的に回転させる回転ステップとを有する異物除去方法。
前記ヘッドセットステップは、前記噴出スリットがその一端から順次前記枚葉体の縁線を直角に横切って当該枚葉体に進入する方向に前記クリーニングヘッドを移動させる請求項９記載の異物除去方法。