KR101598360B1

KR101598360B1 - 기판 세척용 기판 위치 제어 장치

Info

Publication number: KR101598360B1
Application number: KR1020140118440A
Authority: KR
Inventors: 김용언
Original assignee: 지에스티 반도체장비(주)
Priority date: 2014-09-05
Filing date: 2014-09-05
Publication date: 2016-02-29

Abstract

본 발명은 기판 세척용 기판 위치 제어 장치에 관한 것으로, 본 발명은 선형의 링크부재가 서로 연결되어 세척 대상인 기판을 지지하고, 일방향으로 상기 기판을 이송하는 이송벨트와, 상기 이송벨트의 상방에서 서로 이격되게 위치하여 하방으로 분사되는 공기압으로 기판의 상면에 잔존하는 잔존물을 제거하는 상부에어나이프와, 상기 이송벨트의 하방에서 서로 이격되게 위치하여 상방으로 분사되는 공기압으로 기판의 하면에 잔존하는 잔존물을 제거하는 하부에어나이프와, 상기 상부에어나이프의 사이에서 이송벨트에 놓인 기판을 향해 상기 상부에어나이프 또는 하부에어나이프으로부터 분사되는 공기압보다 높은 압력으로 압축공기를 분사하여 상기 기판을 상기 이송벨트에 압박하는 압축공기분사부를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치는 기판을 고정시키기 위한 기판의 표면을 직접 가압하는 누름장치를 사용하지 않고 압축 공기 분사장치에서 분사되는 공기압에 의해 기판이 이송벨트 상면에서 고정되므로, 기판 손상이나 기판 오염을 방지하여공정의 신뢰도 및 수율을 크게 향상시킬 수 있고, 비용을 절감하는 효과가 있다.

Description

기판 세척용 기판 위치 제어 장치{SUBSTRATE POSITION CONTROLLER FOR CLEANING THEREOF}

본 발명은 세척 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 세척용 기판 위치 제어 장치에 관한 것이다.

일반적으로 최근에는 각종 전자기기들이 소형화되고 있으며, 전자기기에 구비되는 기판과, 기판 상에 실장되는 각종 소자들의 소형화가 빠르게 진행 중이다.

이러한 추세에 따라, 기판 상에 소자를 경박하게 실장하는 기술이 개발되고 있다. 구체적으로, 소자를 기판 상에 실장하는 방식에 따라 삽입 실장으로부터 면 실장, 하이브리드 실장 등이 개발되고 있으며, BGA(Ball Grid Array)를 이용한 SMT(Surface Mounting Technology) 방식, 와이어리스(Wireless) 접속 방식인 플립칩 접합 방식 등이 사용되고 있다.

여기서, 인쇄회로기판이나 에폭시 몰드 컴파운드(EMC, Epoxy Molding Compound)에 레이저 드릴 가공을 수행할 때나, 소자의 표면실장시 매개체로 플럭스(Flux)가 사용되고 있다. 또한 플립칩(Flip Chip), 다중 칩 패키지(Multi Chip Package) 또는 적층 패키지의 제조공정에서도 범프가 형성된 칩을 픽업하여 플럭스를 도포하고 기판을 패드와 정렬하여 리플로우(Reflow) 공정을 통하여 조립을 완료하고 있다.

이러한 기판 상의 실장시 사용되는 플럭스는 알콜, 계면활성제, 물, 용제 등과 같은 유기/무기 또는 수용성/지용성 등으로 형성되며, 솔더볼(Solder Ball) 페이스트의 유동성을 증가시키고, 쓸모없는 불순물을 슬래그 형태로 만들어 솔더볼 밖으로 배출되도록 하는 역할을 한다.

하지만 공정 이후 잔존하는 플럭스는 접합 신뢰성 향상에는 아무런 도움을 주지 못할 뿐만 아니라 부식성과 전도성이 강하기 때문에, 범프 및/또는 기판을 부식시키거나 전기적 신뢰성을 저하시키며, 언더필 공정과 에폭시 몰드 공정에서 기공(Void)을 발생시킬 수 있는 요인이 된다.

최근에는 무세척 플럭스가 개발되어 사용중이지만, 솔더볼(Solder Ball)의 크기가 300㎛ 이하에서는 신뢰성 확보를 위한 언더필 공정을 수행하여야하는데, 이 경우 플럭스가 범프 주위에 잔존한다면 언더필 재료가 범프를 충분히 감싸지 못하게 되어 신뢰성이 저하될 수 있다.

즉, 플럭스를 사용하는 기판 공정에서는 공정 후 잔존하는 플럭스를 완벽히 제거하는 것이 제품의 신뢰성 확보에 있어서 중요한 역할을 하게 된다. 이러한 잔존 플럭스를 제거하기 위해 현재에는 고온의 세척수에 장시간 침적하여 잔존 플럭스를 제거하거나, 세탁기와 같은 원심분리형의 세척기로 세척하였으나, 플럭스 제거에 장시간이 소요되거나, 제품 손상을 야기할 수 있는 문제가 있다.

도 1은 종래의 기판세척장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 기판세척장치는 표면실장 작업이 끝난 기판(1)을 이송벨트(10) 상에 탑재하고 상기 이송벨트(10)에 의해 이송되는 기판(1)에 약품이나 뜨거운 순수를 고압으로 분사하여 플럭스를 세척하고, 기판(1)의 표면에 묻은 물기를 공기 분사를 통해 물기를 제거한다.

이 과정에서 이송벨트(10) 상에 탑재된 기판(1)이 상부에어나이프(20)와 하부에어나이프(30)로부터 각각 상방 또는 하방에서 분사되는 공기압에 의해 이송벨트(10)위에서 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 이송벨트(10) 상부에 컨베이어벨트(40)를 설치하여 기판(1)을 이송벨트(10)에 압박시킨 채 이송시키는 방법을 주로 사용해 왔는데, 그중에서 스트립(Strip) 형태의 기판이나 가볍고 얇으면서 연질 재질인 필름 형태 같은 기판에서는 상하로 부터 다량의 공기 분사에 의해 누름장치와의 마찰로 인하여 쉽게 흠집이 발생하게 되어 불량이 발생하는 문제점이 있었다.

또한 누름장치(40)가 기판(1)에 직접 접촉하므로, 만약 누름장치(40)가 오염되었다면 기판의 2차적인 오염으로 이어질 수 있는 문제점이 있었다.

KR

10-0675064

B1

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 직접 가압하지 않고 기판이 이탈되는 것을 방지하며 기판의 손상 및 오염을 방지하기 위한 기판 세척용 기판 위치 제어 장치를 제공하는 것이다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치는 선형의 링크부재가 서로 연결되어 세척 대상인 기판을 지지하고, 일방향으로 상기 기판을 이송하는 이송벨트와, 상기 이송벨트의 상방에서 서로 이격되게 위치하여 하방으로 분사되는 공기압으로 기판의 상면에 잔존하는 잔존물을 제거하는 복수의 상부에어나이프와, 상기 이송벨트의 하방에서 서로 이격되게 위치하여 상방으로 분사되는 공기압으로 기판의 하면에 잔존하는 잔존물을 제거하는 복수의 하부에어나이프와, 상기 상부에어나이프의 사이에서 이송벨트에 놓인 기판을 향해 상기 상부에어나이프 또는 하부에어나이프으로부터 분사되는 공기압보다 높은 압력으로 압축공기를 분사하여 상기 기판을 상기 이송벨트에 압박하는 압축공기분사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치에 있어서, 상기 압축공기분사부는 공기를 압축하는 컴프레서와, 상기 상부에어나이프의 상방에 설치되어 상기 컴프레서에서 생성된 압축공기가 이송되는 압축공기이송관과, 상기 압축공기이송관과 연결되고, 상기 상부에어나이프와 인접하여 하방의 이송벨트를 향해 설치되며 압축공기를 분사하는 복수개의 압축공기분사관을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치에 있어서, 상기 압축공기분사관은 상단이 상기 압축공기이송관과 결합수단에 의해 결합되어, 길이가 다른 압축공기분사관으로 교체 가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치에 있어서, 상기 압축공기분사관은 상기 압축공기이송관과 연결되는 제1압축공기분사관과, 상기 제1압축공기분사관의 내부에 삽입되어 슬라이딩하는 제압축공기분사2관과, 상기 제1압축공기분사관의 외면에서 압박함으로써 제2압축공기분사관의 위치를 결정하는 클램프를 포함하고, 사용자의 선택에 따라 길이조절이 가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치에 있어서, 상기 압축공기분사관은 하단과 이송벨트의 거리가 상기 상부에어나이프 또는 상기 하부에어나이프와 이송벨트의 거리보다 가깝게 설치되는 것을 특징으로 한다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치는 기판을 고정시키기 위한 기판의 표면을 직접 가압하는 누름장치를 사용하지 않고 압축공기분사부에서 분사되는 공기압에 의해 기판이 이송벨트 상면에서 고정되므로, 기판에 스크래치와 같은 손상이 발생할 염려가 적고, 만약 누름장치가 오염된 경우 기판이 2차적으로 오염되는 현상을 방지할 수 있다.

그리고 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치는 기판 세척용 기판 위치 제어 장치의 구조가 종래에 비해 단순해지면서 기판이 이송벨트로부터 이탈되는 것과 충격을 방지할 수 있고, 기판의 손상 및 오염을 방지하는 안전한 세척으로 인한 공정의 신뢰도 및 수율을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은 컴프레서를 이용하여 압축공기를 별도로 생산하고 압축공기분사부를 통해 기판에 국부적으로 압축공기를 분사하게 되므로, 기판이 이송벨트 상에서 움직이는 것을 방지하는 것이 용이하며, 압축공기분사부보다 상대적으로 넓은 면적에 에어를 분사하는 에어나이프의 공기압을 높여서 기판을 이송벨트에 고정시키는 것보다 기판을 세척하는 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 기판 세척용 기판 위치 제어 장치를 나타낸 측면도.
도 2은 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치를 나타낸 사시도.
도 3은 도 2의 A부분의 확대도.
도 4는 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치를 나타낸 측면도.
도 5는 본 발명의 압축공기분사부의 일례를 나타낸 도면.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치는 이송벨트(100)와 상부에어나이프(200), 하부에어나이프(300) 및 압축공기분사부(400)를 포함하여 구성된다.

본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치는 이송벨트(100)를 구동시키기 위하여, 도면에 도시하지는 않았지만 구동장치(110)와 톱니바퀴 형상의 롤러(120)를 포함하는 것이 바람직하다.

구동장치(110)는 전원을 공급받아 본 발명의 양측부에 위치한 롤러(120)를 회전시킨다.

이송벨트(100)는 선형의 링크부재가 서로 절곡되어 연결되거나 꼬여서 관통공이 복수 형성된 벨트형상을 이루고, 관통공에는 롤러(120)의 톱니가 끼워지며, 구동장치(110)에 의해 회전하는 롤러(120)에 의해 무한궤도 방식으로 회전하게 된다.

또한 이송벨트(100)는 상부에 세척 대상인 기판(1)이 놓여서 기판(1)을 지지하고 일방향, 바람직하게는 기판(1)이 투입되는 방향으로 움직이므로, 기판(1)은 기판 세척용 기판 위치 제어 장치에 투입되어 이송된다.

상부에어나이프(200)는 이송벨트(100)의 상방에서 복수개가 정해진 간격을 유지하며 서로 평행하게 설치되는 것이 바람직하고, 또한 바닥 또는 이송벨트(100)와 평행하게 설치되는 것이 바람직하다.

그리고 상부에어나이프(200)는 하방으로 상부에어분사구(210)가 돌출되어 공기가 하방으로 분사되므로, 하방으로 분사되는 공기압(바람직하게는 0.04 내지 0.12 ㎏ｆ/㎠의 압력)에 의해 기판(1)의 상면에 잔존하는 잔존물(예컨대, 물, 플럭스, 납땜물질 등)이 제거된다.

하부에어나이프(300)는 상부에어나이프(200)와 대응되게 설치되는 것으로, 이송벨트(100)의 하방에서 복수개가 정해진 간격을 유지하며 서로 평행하게 설치되는 것이 바람직하고, 또한 바닥 또는 이송벨트(100)와 평행하게 설치되는 것이 바람직하다.

그리고 하부에어나이프(300)는 상방으로 하부에어분사구(310)가 돌출되어 공기가 상방으로 분사되므로, 상방으로 분사되는 공기압(바람직하게는 0.02 내지 0.12 ㎏ｆ/㎠의 압력)에 의해 기판(1)의 하면에 잔존하는 잔존물이 제거된다.

상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)가 공기압을 분사하기 위한 각도를 변경할 수 있고, 설치 위치가 변경될 수 있는 것은 별도로 설명하지 않아도 당연한 것이다. 예를 들면, 상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)가 꼭 마주보지 않아도 본 발명은 실시될 수 있는 것이다.

압축공기분사부(400)는 컴프레서(410)와 압축공기이송관(420), 압축공기분사관(430)으로 구성된다.

컴프레서(410)는 압축공기를 생성하고, 생성된 압축공기는 압축공기이송관(420)을 통해 이송되어 압축공기분사관(430)을 통해 분사된다.

압축공기이송관(420)은 컴프레서(410)와 연결되고, 복수개의 관이 서로 이어질 수 있으며, 상부에어나이프(200)의 상방에서 바닥과 평행하게 설치되는 것이 바람직하다.

그리고 압축공기분사관(430)은 복수개가 형성되어 압축공기이송관(420)과 연결되며, 상부에어나이프(200)와 인접하고, 서로 정해진 간격 이격되어 하방으로 설치된다.

따라서 압축공기분사부(400)는 이송벨트(100) 상부에 놓인 기판(1)을 향해 압축공기를 하방으로 분사하여, 기판(1)을 이송벨트(100)의 상부에 압박함으로써 기판(1)의 움직임을 방지한다. 아울러 압축공기분사관(430)은 기판(1)의 어느 일부 즉, 국소부위에 공기를 분사하고, 압축공기분사부(400)는 압축공기분사관(430)으로부터 분사되는 공기압으로 인해 기판(1) 상면의 잔존물을 제거하는 부수적인 효과도 있다.

한편 사용자는 압축공기분사관(430)의 상하길이에 변화를 주어 압축공기분사관(430)의 하단과 기판(1)과의 거리를 조절할 수 있다.

일례로, 압축공기분사관(430)은 상단이 압축공기이송관(420)과 결합수단에 의해 결합되어, 사용자의 선택에 따라 길이가 다른 압축공기분사관(430)으로 교체 가능하다.

다른 예로, 도 5를 참조하면, 압축공기분사관(430)은 압축공기이송관(420)과 연결되는 제1압축공기분사관(431)과 제1압축공기분사관(431)의 내부에 삽입되어 슬라이딩하는 제2압축공기분사관(432)으로 나뉘어 사용자의 선택에 따라 길이가 조절가능할 수도 있다. 달리 말하면 제1압축공기분사관(431)의 내경은 제2압축공기분사관(432)의 외경을 포함하는 크기로 형성되어 제2압축공기분사관(432)이 제1압축공기분사관(431)의 내부에서 슬라이딩이 가능하다.

이때, 압축공기분사관(430)의 길이를 결정한 후 제1압축공기분사관(431)과 제2압축공기분사관(432)은 압축공기누설방지와 슬라이딩방지를 위해 클램프(433)로 결합되는 것이 바람직하다. 다시 말하면, 클램프(433)는 제1압축공기분사관의 외면에서 압박함으로써 제2압축공기분사관의 위치를 결정한다.

도면에 도시하지는 않았지만, 압축공기분사관(430)은 제1압축공기분사관(431)이 압축공기이송관(420)과 연결되고, 제1압축공기분사관(431)의 외경을 제2압축공기분사관(432)의 내경이 포함하며, 제2압축공기분사관(432)이 제1압축공기분사관(431)의 외면을 따라 슬라이딩하는 것도 가능하다.

제1압축공기분사관(431)와 제2압축공기분사관(432)은 슬라이딩을 제어하기 위하여 스토퍼 또는 탄성부재 등을 추가로 포함할 수 있다.

압축공기분사부(400)에서 분사되는 공기압은 상부에어나이프(200) 또는 하부에어나이프(300)에서 분사되는 공기압보다 상대적으로 높은 압력인 것이 바람직하고, 예를 들면 상부에어나이프(200) 또는 하부에어나이프(300)에서 분사되는 공기압이 0.02 내지 0.12 ㎏ｆ/㎠의 압력일 때, 압축공기분사부(400)에서 분사되는 공기압은 1 내지 3 ㎏ｆ/㎠의 압력인 것이 바람직하다.

또한 압축공기분사관(430)은 하단과 이송벨트(100)의 거리가 상부에어분사구(210) 또는 하부에어분사구(310)와 이송벨트(100)의 거리보다 가깝게 설치되어 기판(1)의 움직임을 방해하는 것이 바람직하다. 하지만 압축공기분사관(430)의 하단과 이송벨트(100)의 거리를 조절하는 것은 사용자의 의도에 따라 충분히 가능한 것이다.

그런데 상부에어나이프(200)에서 분사되는 공기압을 압축공기분사부(400)의 압력만큼 높여서 상부에어나이프(200)가 기판(1)을 압박할 수도 있겠으나, 상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)에서 생성되는 공기압은 통상적으로 팬(pan)이 회전하여 생성되므로, 별도의 컴프레서(410)를 통해 생성된 압축공기를 압축공기분사관(430)을 통해 분사하여 기판(1)을 압박하는 본 발명보다 기판 세척 비용이 더 소모되기 마련이다.

더욱이 상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)는 그 길이방향을 따라 각각 상부에어분사구(210)와 하부에어분사구(310)가 상방 또는 하방으로 돌출되어야 되므로, 상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)에서 분사되는 공기는 기판(1)을 에둘러 흐르게 되고, 이로 인해 상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)에서 분사되는 공기압이 일정하지 않게 되므로, 기판(1)은 이송벨트(100) 상에서 움직이게 되어 이송벨트(100)로부터 이탈되거나 스크래치 등의 손상을 입을 염려가 있다.

상기와 같은 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치는 다음과 같이 사용된다.

먼저 사용자는 구동부(110)에 전원을 공급하고 작동시켜 롤러(120)가 회전하도록 한다.

이송벨트(100)는 선형의 링크부재가 절곡되어 서로 연결되거나 꼬여서 관통공(미부호)이 형성되어 있다.

롤러(120)는 톱니바퀴 형상으로 형성되었으므로, 관통공(미부호)에 롤러(120)의 톱니바퀴가 삽입되어 롤러(120)의 움직임에 따라 이송벨트(100)는 일방향으로 무한궤도 방식으로 움직이게 된다.

그리고 사용자는 상부에어나이프(200)의 하부와 하부에어나이프(300)의 상방에 각각 돌출 형성된 상부에어분사구(210)와 하부에어분사구(310)로부터 공기가 분사되도록 팬(미도시)을 가동시킨다.

이때, 상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)에서 분사되는 공기압은 0.02 내지 0.12 ㎏ｆ/㎠의 압력인 것이 바람직하고, 분사되는 공기압에 의해 기판(1) 상의 잔존물(예컨대, 물, 플럭스, 납땜물질 등)이 제거된다.

상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)는 서로 대응되는 위치에 설치되는 것이 바람직하지만, 꼭 마주보지 않아도 본 발명은 실시될 수 있다.

또한 사용자는 압축공기분사부(400)의 컴프레서(410)를 작동시켜 생성된 압축공기를 압축공기분사관(430)을 통해 하방으로 즉, 이송벨트(100)를 향하여 분사시킨다.

이때, 압축공기분사관(430)으로부터 분사되는 압축공기는 기판(1)의 일부분에만 분사되어 압박하고, 상부에어분사구(210) 또는 하부에어분사구(310)에서 분사되는 공기압보다 높은 압력(예컨대, 상부에어나이프(200)와 하부에어나이프(300)에서 분사되는 공기압이 0.02 내지 0.12 ㎏ｆ/㎠일 때, 1 내지 3 ㎏ｆ/㎠의 압력)이므로, 기판(1)은 이송벨트(100) 상에서 움직일 염려가 없으며 손상되지 않는다. 또한 압축공기분사관(430)으로부터 분사되는 압축공기는 기판(1)을 압박시킬 뿐만 아니라, 기판(1)에 남아있는 잔존물을 제거할 수도 있다.

다음으로 사용자가 이송벨트(100)에 상부에 기판(1)을 올려놓게 되면, 이송벨트(100)가 움직이임에 따라, 기판(1)은 압축공기분사관(430)의 하방에 위치하게 되어 압축공기분사관(430)으로부터 분사되는 압축공기에 의해 압박을 받고, 기판(1)은 이송벨트(100) 상에서 움직이지 않게 되므로, 손상을 입을 염려가 없다. 또한 압축공기분사부(400)는 기판(1)을 직접 가압하지 않고 압축공기를 분사하여 기판(1)을 압박하므로, 압축공기분사관(430)의 외부가 오염되었다 하더라도 기판(1)은 오염될 염려가 없다.

그런데 기판(1)은 두께가 다양하므로, 이송벨트(100)에 놓였을 때 기판(1)의 높이가 다를 수 있다.

따라서 사용자는 압축공기분사관(430)의 길이를 바꾸어 압축공기분사관(430)의 하단과 기판(1)의 상면과의 거리를 조절할 수 있다.

예컨대, 압축공기분사관(430)은 상단이 압축공기이송관(420)과 결합수단에 의해 결합되어, 사용자의 선택에 따라 길이가 다른 압축공기분사관(430)으로 교체 가능하다.

다른 예로, 압축공기분사관(430)은 압축공기이송관(420)과 연결되는 제1압축공기분사관(431)과 제1압축공기분사관(431)의 내부에 삽입되어 슬라이딩하는 제2압축공기분사관(432)으로 나뉘어 사용자의 선택에 따라 길이가 조절가능할 수도 있다. 달리 말하면 제1압축공기분사관(431)의 내경은 제2압축공기분사관(432)의 외경을 포함하는 크기로 형성되어 제2압축공기분사관(432)이 제1압축공기분사관(431)의 내부에서 슬라이딩이 가능하다.

이때, 압축공기분사관(430)의 길이를 결정한 후 제1압축공기분사관(431)과 제2압축공기분사관(432)은 압축공기누설방지와 슬라이딩방지를 위해 클램프(433)로 결합되는 것이 바람직하다. 클램프(433)는 제1압축공기분사관의 외면에서 압박함으로써 제2압축공기분사관의 위치를 결정한다.

또한 압축공기분사관(430)은 제1압축공기분사관(431)이 압축공기이송관(420)과 연결되고, 제1압축공기분사관(431)의 외경을 제2압축공기분사관(432)의 내경이 포함하며, 제2압축공기분사관(432)이 제1압축공기분사관(431)의 외면을 따라 슬라이딩하는 것도 가능하다.

그리고 제1압축공기분사관(431)와 제2압축공기분사관(432)은 슬라이딩을 제어하기 위하여 스토퍼 또는 탄성부재 등을 추가로 포함할 수 있다.

한편 본 발명에 압축공기분사부(400)가 포함되지 않고, 상부에어나이프(200)가 압축공기분사부(400)의 역할을 대신하여 기판(1)을 압박한다고 가정하면, 상부에어나이프(200)의 상부에어분사구(210)를 통해 분사되는 공기압이 하부에어나이프(300)의 하부에어분사구(310)을 통해 분사되는 공기압보다 높게 형성되어야 하므로 기판(1)은 이송벨트(100)의 상부에 압박을 받을 수 있다.

하지만 상부에어분사구(210)와 하부에어분사구(310)는 상대적으로 기판(1)의 국소 부위에 압축공기를 분사하는 압축공기분사관(430)보다 넓게 형성되어 기판(1)에 공기를 분사하므로, 상부에어분사구(210)와 하부에어분사구(310)에서 분사되는 공기는 기판(1)을 에둘러 흐르게 된다. 따라서 상부에어분사구(210)에서 분사되는 공기압이 하부에어분사구(310)에서 분사되는 공기압보다 높아 공기압의 불안정에 의해 기판(1)이 이송벨트(1) 상에서 움직이게 되며, 이로 인해 기판(1)은 이송벨트(100)로부터 이탈되거나 스크래치 등의 손상을 입게 된다.

다음으로 이송벨트(100)가 움직여서 상부에어분사구(200)의 하방 또는 하부에어분사구(300)의 상방에 위치하게 되면 상부에어분사구(200) 또는 하부에어분사구(300)로부터 분사되는 공기압에 의해 각각 기판(1)의 상·하면에 남아있는 잔존물(예컨대, 물, 플럭스, 납땜물질 등)이 씻겨나가게 된다.

마지막으로 기판(1)이 배출되면, 사용자는 배출되는 기판(1)을 수거한다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 기판 세척용 기판 위치 제어 장치를 실시하기 위한 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양하게 변경하여 실시가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

1 : 기판
100 : 이송벨트 110 : 구동부
120 : 롤러 200 : 상부에어나이프
210 : 상부에어분사구 300 : 하부에어나이프
310 : 하부에어분사구 400 : 압축공기분사부
410 : 컴프레서 420 : 압축공기이송관
430 : 압축공기분사관 431 : 제1관
432 : 제2관 433 : 클램프

Claims

선형의 링크부재가 서로 연결되어 세척 대상인 기판을 지지하고, 일방향으로 상기 기판을 이송하는 이송벨트;
상기 이송벨트를 지지하며, 구동부에 의해 회전함으로써 상기 이송벨트를 무한궤도 방식으로 회전시키는 복수 개의 롤러;
상기 이송벨트의 상방에서 서로 이격되게 위치하여 하방으로 분사되는 공기압으로 기판의 상면에 잔존하는 잔존물을 제거하는 복수의 상부에어나이프;
상기 이송벨트의 하방에서 서로 이격되게 위치하여 상방으로 분사되는 공기압으로 기판의 하면에 잔존하는 잔존물을 제거하는 복수의 하부에어나이프; 및
상기 상부에어나이프의 사이에서 이송벨트에 놓인 기판을 향해 상기 상부에어나이프 또는 하부에어나이프으로부터 분사되는 공기압보다 높은 압력으로 상기 기판의 상면의 국소부위에 압축공기를 분사하여 상기 기판을 상기 이송벨트에 압박하는 압축공기분사부를 포함하고,
상기 압축공기분사부는,
공기를 압축하는 컴프레서;
상기 상부에어나이프의 상방에 설치되어 상기 컴프레서에서 생성된 압축공기가 이송되는 압축공기이송관; 및
상기 압축공기이송관과 연결되고, 상기 상부에어나이프와 인접하여 하방의 이송벨트를 향해 설치되며 압축공기를 분사하는 복수개의 압축공기분사관을 포함하며,
상기 압축공기분사관은,
상기 압축공기이송관과 연결되는 제1압축공기분사관;
상기 제1압축공기분사관의 내부에 삽입되어 슬라이딩하는 제2압축공기분사관; 및
상기 제1압축공기분사관의 외면에서 압박함으로써 제2압축공기분사관의 위치를 결정하는 클램프를 포함하고, 사용자의 선택에 따라 길이조절이 가능한 기판 세척용 기판 위치 제어 장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 압축공기분사관은 상단이 상기 압축공기이송관과 결합수단에 의해 결합되어, 길이가 다른 압축공기분사관으로 교체 가능한 기판 세척용 기판 위치 제어 장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 압축공기분사관은 하단과 이송벨트의 거리가 상기 상부에어나이프와 이송벨트의 거리 또는 상기 하부에어나이프와 이송벨트의 거리보다 가깝게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 세척용 기판 위치 제어 장치.