KR100675064B1

KR100675064B1 - 기판 건조장치

Info

Publication number: KR100675064B1
Application number: KR1020060009378A
Authority: KR
Inventors: 김영준; 김현성
Original assignee: (주)에스엠텍
Priority date: 2006-01-31
Filing date: 2006-01-31
Publication date: 2007-01-30

Abstract

기판 건조장치가 개시된다. 본 발명의 기판 건조장치는, 상부에 적재된 기판을 이송하는 그물형상의 제1 메쉬벨트를 구비하는 하부 컨베이어; 제1 메쉬벨트의 일측에 마련되어 기판에 공기를 분사하는 복수 개의 에어나이프; 및 하부 컨베이어와 에어나이프를 지지하는 건조장치본체를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 별도의 전용 기판 건조장치를 구비하여, 기판을 종래의 자연건조에 의존한 방식보다 신속하고 효율적으로 건조시킬 수 있다.

기판, 건조, 건조장치, 기판 건조장치, 에어나이프, 컨베이어

Description

기판 건조장치{Substrate Desiccator}

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 건조장치의 정면도이다.

도 2는 도 1의 측면도이다.

도 3은 도 1의 'A' 영역의 확대 사시도이다.

도 4는 도 1의 'A1' 영역의 확대 사시도이다.

도 5는 도 1의 'A2' 영역의 확대 사시도이다.

도 6은 도 1의 링 블로어와 에어나이프의 결합구조를 도시한 도면이다.

도 7은 도 1의 링 블로어와 히터 에어나이프의 결합구조를 도시한 도면이다.

도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 건조장치의 정면도이다.

도 9는 도 8의 'B' 영역의 확대 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 기판 건조장치 5 : 기판(substrate)

10 : 에어나이프 10a : 분사슬릿

11 : 히터 에어나이프 11a : 분사슬릿

20 : 상부 컨베이어 22 : 제2 메쉬벨트

30 : 하부 컨베이어 32 : 제1 메쉬벨트

40 : 건조장치본체 42 : 링 블로어

본 발명은, 기판 건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 세정수 등 처리액으로 처리된 기판을 종래보다 신속하고 효율적으로 건조시키는 기판 건조장치에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.

평판 디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평판 디스플레이(FPD)에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel) 등이 있다.

근래에 들어와서 이러한 평판 디스플레이(FPD) 중 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) 액정표시장치(TFT-LCD)가 개발됨에 따라 빠른 속도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있다.

평판 디스플레이(FPD)의 대표적인 액정표시장치(LCD)는, 액정표시장치 패널(LCD panel)이 제조단계에서 많은 처리공정을 거치는데, 파티클을 제거하기 위한 세정작업과 건조작업이 필수적으로 수행된다. 즉, 액정표시장치 패널(LCD panel)인 기판(Substrate)을 제조하는 일련의 공정에는 기판의 표면에 기계적, 화학적 처리 를 가하는 공정이 수반되며, 이에 따라 기판의 표면을 세정하는 공정이 필요하다.

세정공정은 기판 상에 붙어있는 파티클 및 유기물 등을 제거하는 공정으로, 박막(Thin Film)을 입히기 전 기판의 세정은 박막의 밀착성(Adgesion)을 높이는 역할을 하며, 박막을 입힌 후에 기판의 세정은 파티클 제거를 주목적으로 한다. 이때 파티클 및 유기물을 제거하기 위해서 탈이온수(DeIonized Water, DI Water) 또는 계면활성제가 첨가된 세정액 등의 세정수을 이용하여 약 20분간 기판을 세정하게 된다.

세정과정 후에는 잔류하는 세정액을 건조하도록 하는 건조공정이 진행되는데 이와 같은 기판의 건조공정에 있어서, 종래에는 별도의 전용 기판 건조장치가 구비되어있지 않았기 때문에, 기판을 공기중에 자연 건조시키거나 기판표면의 수분을 거즈 등으로 제거하는 방법을 주로 사용하여 왔다.

그러나 이러한 종래기술에 있어서는, 기판을 건조하는 데 오랜 시간이 소요되어 건조 효율이 떨어짐은 물론, 기판을 오랜 시간 동안 자연 건조시킬 경우 건조작업이 진행되는 동안 공기 중에 포함된 이물질에 의해 기판이 다시 오염될 우려가 높다.

특히 기판 표면에 불규칙적으로 분포된 세정액 등이 자연 건조될 때, 건조속도 차이로 인하여 생기는 얼룩인 소위 워터마크(Water Mark)가 발생할 소지가 높아 기판 불량을 야기할 수 있는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 기판을 건조시키는 전용장치를 마련하여 기판을 종래보다 신속하고 효율적으로 건조시킬 수 있는 기판 건조장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 기판의 건조 작업시 기판의 이탈을 종래보다 확실히 방지할 수 있는 기판 건조장치를 제공하는 것이다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 상부에 적재된 기판을 이송하는 그물형상의 제1 메쉬벨트를 구비하는 하부 컨베이어; 상기 제1 메쉬벨트의 일측에 마련되어 상기 기판에 공기를 분사하는 복수 개의 에어나이프; 및 상기 하부 컨베이어와 상기 에어나이프를 지지하는 건조장치본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 하부 컨베이어의 상부에 마련되어 상기 기판을 사이에 두고 상기 제1 메쉬벨트와 상호 대향되게 배치되어 상기 기판의 이탈을 방지하는 제2 메쉬벨트를 구비하는 상부 컨베이어를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제1 메쉬벨트와 상기 제2 메쉬벨트는 상기 기판을 사이에 두고 실질적으로 동일방향 및 동일속도로 이동할 수 있다.

상기 제1 메쉬벨트와 상기 제2 메쉬벨트에 형성된 구멍은 상기 기판의 표면적보다 작은 것이 바람직하다.

상기 복수 개의 에어나이프는 상기 제1 메쉬벨트의 하부와 상기 제2 메쉬벨트의 상부에 각각 마련되되 상호 대향되게 한 쌍씩 배치되는 것일 수 있다.

상기 에어나이프는 상기 기판의 진행방향에 대하여 소정 각도 경사지게 배치 되는 것이 바람직하다.

상기 복수 개의 에어나이프가 정렬된 정렬선 상에 배치되어 상기 기판을 건조하는 적어도 하나의 히터기를 더 포함할 수 있다.

상기 히터기는 상기 복수 개의 에어나이프 중 하나의 에어나이프로서 히터가 설치된 히터 에어나이프일 수 있다.

상기 히터 에어나이프는, 상기 복수 개의 에어나이프 중 상기 기판의 진행방향을 기준으로 가장 하류에 배치되는 상기 에어나이프인 것이 바람직하다.

상기 기판의 이송방향을 기준으로 가장 상류에 배치되는 상기 에어나이프로부터 상류 측으로 소정 거리 이격되어 배치되며, 상기 기판을 세정하기 위한 세정수를 분사하는 세정노즐을 더 포함하도록 구성할 수 있다.

상기 에어나이프의 상기 기판을 향한 단부에는 공기를 분사하는 분사슬릿이 마련되며, 상기 에어나이프는 상기 분사슬릿 측으로 갈수록 단면적이 작도록 단부가 경사진 형상을 가질 수 있다.

상기 분사슬릿은 실질적으로 상기 기판의 폭 전체에 공기를 분사할 수 있도록 상기 기판의 폭보다 큰 폭을 갖는 것이 바람직하다.

상기 건조장치본체에는 상기 에어나이프에 공기를 공급하는 적어도 하나의 링 블로어(ring blower)가 설치되어 있다.

상기 건조장치본체에는 상기 제1 메쉬벨트 및 상기 제2 메쉬벨트의 텐션을 보상하는 복수 개의 텐셔너가 설치되는 것이 바람직하다.

상기 하부 컨베이어와 상기 상부 컨베이어는, 상기 제1 메쉬벨트 및 상기 제 2 메쉬벨트를 각각 독립적으로 구동시키는 제1 구동모터 및 제2 구동모터를 각각 구비할 수 있다.

상기 건조장치본체에는, 상기 건조장치본체의 하단부에 결합되어 상기 건조장치본체를 이동시키는 바퀴(Wheel)가 구비됨으로써 이동이 원활히 이루어질 수 있다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

이하에서 기판(Substrate)이라 함은 액정표시장치(LCD), 포토마스크(Photo Mask), 인쇄회로기판(PCB), 반도체 웨이퍼(Wafer) 등을 말한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 건조장치의 정면도이고, 도 2는 도 1의 측면도이며, 도 3은 도 1의 'A' 영역의 확대 사시도이며, 도 4는 도 1의 'A1' 영역의 확대 사시도이며, 도 5는 도 1의 'A2' 영역의 확대 사시도이다.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 건조장치(1)는, 상부에 적재된 기판(5)을 이송하는 그물형상의 제1 메쉬벨트(32, mesh belt)를 구비하는 하부 컨베이어(30)와, 제1 메쉬벨트(32) 일측에 마련되어 기판(5)에 공기를 분사하는 복수 개의 에어나이프(10, air knife)와, 하부 컨베이어 (30)와 에어나이프(10)를 지지하는 건조장치본체(40)와, 하부 컨베이어(30)의 상부에 마련되어 기판(5)을 사이에 두고 제1 메쉬벨트(32)와 상호 대향되게 배치되어 기판(5)의 이탈을 방지하는 제2 메쉬벨트(22)를 갖는 상부 컨베이어(20)를 구비한다.

하부 컨베이어(30)는 후술할 건조장치본체(40)에 마련되어, 세정수 등 처리액이 묻은 기판(5)을 이송하며 건조시키는 일련의 작업이 행해지는 곳으로 적재된 기판(5)을 빠르고 안전하게 이송하는데 유리하다. 하부 컨베이어(30)는, 적재된 기판(5)을 이송하는 그물형상의 제1 메쉬벨트(32)와, 제1 메쉬벨트(32)를 독립적으로 구동시키는 제1 구동모터(35)와, 제1 메쉬벨트(32)의 텐션을 보상하는 복수 개의 텐셔너(36)를 구비한다.

본 실시 예에서 제1 메쉬벨트(32)는 하부 컨베이어(30)에 마련되며 그물형상으로 구멍이 다수 형성되어 있다. 제1 메쉬벨트(32)는, 제1 메쉬벨트(32)에 형성된 구멍이 기판(5)의 표면적보다 작도록 하여, 적재된 기판(5)이 제1 메쉬벨트(32) 아래로 빠지거나 이송 중 균형이 어긋나게 되는 것을 방지할 수 있다. 또한 제1 메쉬벨트(32)의 구멍외의 표면적을 최소화하여 적재된 기판(5)과의 접촉면적을 줄임으로써, 기판(5)에 묻은 처리액이 제1 메쉬벨트(32) 아래로 잘 빠지도록 하고 에어나이프(10)로부터 분사된 공기와 기판(5)과의 접촉면적을 넓혀 기판(5)의 건조가 효율적으로 진행될 수 있도록 한다.

한편, 제1 메쉬벨트(32)를 구동시키기 위해서는 일반적으로 모터 구동을 하게 되는데, 본 실시 예에서 제1 구동모터(35)는 하부 컨베이어(30) 하단부에 마련 되어 독립적으로 제1 메쉬벨트(32)를 구동시킨다. 즉, 제1 구동모터(35)는, 제1 구동모터(35)의 구동축에 연결된 제1 구동풀리(35a)와, 제1 메쉬벨트(32)에 결합된 제1 종동풀리(35c)와, 제1 구동풀리(35a)와 제1 종동풀리(35c)를 연결하는 제1 구동벨트(35b)를 통해 제1 메쉬벨트(32)를 구동시킨다. 독립적으로 마련된 제1 구동모터(35)는 후술할 상부 컨베이어(20)와 구동수단을 달리함으로써, 하부 컨베이어(30)의 제1 메쉬벨트(32)가 적절한 구동속도와 방향을 갖도록 조정할 수 있다.

제1 메쉬벨트(32)가 적절한 구동속도와 방향을 갖도록 구동하기 위해서는 제1 메쉬벨트(32)의 적당한 텐션(인장력)이 요구된다. 따라서 본 실시 예에서는, 제1 메쉬벨트(32)의 텐션을 보상하는 텐셔너(36)가 제1 메쉬벨트(32) 상면과 하면에 소정 간격으로 복수 개 설치된다. 따라서 하부 컨베이어(30)가 구동되면, 제1 메쉬벨트(32)는 적당한 텐션을 유지하며 적재된 기판(5)을 에어나이프(10)가 설치된 영역으로 이송시키게 된다.

에어나이프(10)는, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 메쉬벨트(32) 일측에 마련되어 제1 메쉬벨트(32)에 적재된 기판(5)에 공기를 분사하는 장치로서, 본 발명에서는 제1 메쉬벨트(32) 하부와 제2 메쉬벨트(22) 상부에 각각 마련되되 상호 대향되게 한 쌍씩 배치된다. 이것은 제1 메쉬벨트(32) 하부에 마련된 에어나이프(10)는 적재된 기판(5)의 하면에 공기를 분사하고, 제2 메쉬벨트(22) 상부에 마련된 에어나이프(10)는 적재된 기판(5)의 상면에 공기를 분사하도록 하여 기판(5)의 전면을 빠른시간 내에 건조시키도록 한다.

그리고 에어나이프(10)는 기판(5)의 진행방향에 대하여 소정 각도 경사지게 배치되는데, 본 실시 예에서는 대략 45도에 가깝게 배치하였다. 이것은 에어나이프(10)의 공기 분사 방향을 기판(5)에 묻은 처리액으로 조준시켜 분사된 공기가 처리액을 충격하여 처리액이 제1 메쉬벨트(32) 아래로 떨어질 수 있게 할 수 있다. 따라서 주로 기판에 묻은 처리액을 공기중에 증발시키는 종래의 방식에만 의존하지 않고, 보다 적극적으로 처리액을 기판으로부터 분리시켜 건조시키는 효과를 제공한다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 에어나이프(10)가 정렬된 정렬선 상에 배치되어 기판(5)을 건조하는 적어도 하나의 히터기가 마련되는데, 본 실시 예에서 히터기는 복수 개의 에어나이프(10) 중 하나의 에어나이프(10)로서 히터(44)가 설치된 히터 에어나이프(11)이다. 또한, 본 실시 예에서 히터 에어나이프(11)는 복수 개의 에어나이프(10) 중 기판(5)의 진행방향을 기준으로 가장 하류에 배치된다. 전술한 바와 같이 상류에 배치된 에어나이프(10)가 공기를 분사하여 기판(5)에 묻은 처리액을 충격하고 건조시킨 후, 하류에 배치된 히터 에어나이프(11)가 건조시키지 못한 나머지 처리액을 뜨거운 열로 최종적으로 건조시키게 된다.

이러한 에어나이프(10)에는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(5)을 향한 에어나이프(10)의 단부에 공기를 분사하는 분사슬릿(10a)이 마련되며, 에어나이프(10)는 분사슬릿(10a) 측으로 갈수록 단면적이 작도록 단부가 경사진 형상을 가진다. 에어나이프(10)의 이러한 형상은 유체역학의 코안다 효과(Coanda Effect)를 이용한 것으로, 분사하는 공기의 흐름을 최적화하여 빠른 유속의 분사 공기를 얻을 수 있다. 또한 분사슬릿(10a)은 실질적으로 기판(5)의 폭 전체에 공기를 분사 할 수 있도록 기판(5)의 폭보다 큰 폭을 갖게 된다. 따라서 처리액이 묻은 기판(5)의 전 영역에 공기를 분사하여 기판(5)을 효율적으로 건조시킬 수 있다.

기판(5)을 건조시키는 에어나이프(10)와 전술한 하부 컨베이어(30)를 지지하는 건조장치본체(40)는, 에어나이프(10)에 공기를 공급하는 링 블로어(42)와 건조장치본체(40)의 하단부에 결합되어 건조장치본체(40)를 이동시키는 바퀴(47, Wheel)를 구비한다.

링 블로어(42, ring blower)는, 에어나이프(10)에 공기를 공급하는 송풍기 역할을 하는 장치로서, 본 실시 예에서는 한 쌍의 에어나이프(10)에 대응하는 각 각의 링 블로어(42)들이 건조장치본체(40) 하단부에 설치된다.

도 6은 도 1의 링 블로어와 에어나이프의 결합구조를 도시한 도면이며, 도 7은 도 1의 링 블로어와 히터 에어나이프의 결합구조를 도시한 도면이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 링 블로어(42)는 송풍관(43)을 통해 각 각의 에어나이프(10)에 연결되어 에어나이프(10)로 공기를 공급한다. 송풍관(43)에는 공기의 유량과 유속을 조절할 수 있는 송풍벨브(43a)가 설치된다. 그런데 도 7에 도시된 바와 같이, 링 블로어(42)와 에어나이프(10)를 연결하는 송풍관(43) 중간에 히터(44)를 설치하면 뜨거운 공기를 공급하는 히터 에어나이프(11)가 된다.

이러한 구성으로 링 블로어(42)에서 공급되는 공기를 송풍벨브(43a)로 조절하게 되면 에어나이프(10)로 분사되는 분사 공기량과 유속을 달리할 수 있어, 처리액이 묻은 기판(5)의 건조환경을 다르게 할 수 있다.

즉, 상류에 위치한 에어나이프(10)에 연결된 링 블로어(42)는, 빠른 유속의 공기를 에어나이프(10)에 공급하여 분사된 공기가 기판(5)의 처리액을 충격하는 것을 위주로 하며, 하류에 위치한 에어나이프(10)에 연결된 링 블로어(42)는 상대적으로 공기분사량을 늘려 에어나이프(10)가 처리액을 증발시키는 것을 위주로 할 수 있다. 이러한 건조환경을 적절하게 조절함으로써, 기판(5) 및 처리액에 따라 기판(5) 건조 후에 생길 수 있는 워터마크 또는 기판(5) 손상 등을 방지할 수 있다.

바퀴(47, Wheel)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 건조장치본체(40) 하단에 소정 개수 설치되는데, 건조장치본체(40)의 하중과 이동의 편리성을 고려하여 적당한 간격으로 배치시킨다. 바퀴(47, Wheel)가 설치된 기판 건조장치(1)를 이동시킴으로써 제한된 작업 장소를 보다 넓은 영역으로 확대시킬 수 있다. 즉, 기판 건조장치(1)의 작업대상인 기판(5)들을 기판 건조장치(1)로 이동시키는 것보다 기판 건조장치(1)를 기판(5)들이 있는 장소로 이동시키는 것이 보다 경제적이고 효율적이다.

한편, 상부 컨베이어(20)는, 하부 컨베이어(30)의 상부에 마련되어 기판(5)을 사이에 두고 제1 메쉬벨트(32)와 상호 대향되게 배치되어 기판(5)의 이탈을 방지하는 제2 메쉬벨트(22)와, 제2 메쉬벨트(22)를 독립적으로 구동시키는 제2 구동모터(25)와, 제2 메쉬벨트(22)의 텐션을 보상하는 텐셔너(36)를 구비한다.

본 실시 예에서 제2 메쉬벨트(22)는, 전술한 제1 메쉬벨트(32)의 형상과 실질적으로 동일하게 마련되되 고무와 같은 탄성재질로서 제작되어, 제1 메쉬벨트(32)에 적재된 기판(5) 상면을 덮게 된다. 한 쌍의 에어나이프(10)가 기판(5)의 상면과 하면에서 각각 공기를 분사하게 되면, 기판(5)에 충격된 공기의 압력으로 인 해 기판(5)은 작업위치에서 이탈되거나 물리적 손상을 입을 우려가 생기게 된다. 따라서 제2 메쉬벨트(22)는 작업시 기판(5)의 이탈과 물리적 손상을 방지할 수 있도록 탄성재질로 되어 제1 메쉬벨트(32)에 적재된 기판(5)을 덮어 기판(5)의 이송을 돕게 된다.

제2 구동모터(25)는 제2 메쉬벨트(22)의 인접영역에 독립적으로 마련되어, 제2 메쉬벨트(22)를 구동시킨다. 또한, 제2 구동모터(25) 역시, 제2 구동모터(25)의 구동축에 연결된 제2 구동풀리(25a)와, 제2 메쉬벨트(22)에 결합된 제2 종동풀리(25c)와, 제2 구동풀리(25a)와 제2 종동풀리(25c)를 연결하는 제2 구동벨트(25b)를 통해 제2 메쉬벨트(22)를 구동시킨다. 독립적으로 마련된 제2 구동모터(25)는 하부 컨베이어(30)와 구동수단을 달리함으로써, 제1 메쉬벨트(32)와 제2 메쉬벨트(22)가 실질적으로 동일 방향 및 속도로 이동할 수도 있고 그와 달리 동작되도록 할 수도 있다.

제2 메쉬벨트(22)가 적절한 구동속도와 방향을 갖도록 구동하기 위해서 제2 메쉬벨트(22)의 적당한 텐션(인장력)을 보상하는 텐셔너(26)가 제2 메쉬벨트(22)에도 설치된다. 따라서 상부 컨베이어(20)가 구동되면, 제2 메쉬벨트(22)는 제1 메쉬벨트(32)와 마찬가지로 적당한 텐션을 유지하며 동작하게 된다.

그리고 제1 메쉬벨트(32)와 제2 메쉬벨트(22)는 기판(5)을 사이에 두고 실질적으로 동일방향 및 동일속도로 이동하게 된다. 이것은 전술한 바와 같은 기판(5)의 이탈 및 손상을 방지하는 효과를 제공한다.

이러한 구성에 의하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 건조장치(1)의 동 작과정에 대하여 설명하면 다음과 같다.

기판(5)은 건조작업이 개시되기 전에 세정수 등 처리액으로 표면이 처리되게 되는데 기판(5)의 상면과 하면에 처리액이 묻게 됨으로써, 기판(5)의 전면을 건조시킬 필요가 있다. 이러한 기판(5)들은 하부 컨베이어(30)의 제1 메쉬벨트(32) 투입구에 차례로 적재되며 에어나이프(10)가 설치된 건조작업 영역으로의 이송을 대기하게 된다.

다음으로, 기판 건조장치(1)의 하부 컨베이어(30)와 상부 컨베이어(20)에 각 각 설치된 제1 구동모터(35)와 제2 구동모터(25)가 구동되기 시작하면, 기판 건조장치(1)는 동작을 개시하게 된다.

즉, 제1 구동모터(35)는 제1 구동모터(35)의 구동축에 연결된 제1 구동풀리(35a)를 구동시키고, 제1 구동풀리(35a)의 동력은 제1 구동벨트(35b)를 통해 제1 메쉬벨트(32)에 결합된 제1 종동풀리(35c)를 회전시킨다. 제1 종동풀리(35c)에 연결된 제1 메쉬벨트(32)는 이로써 구동하게 되며 제1 메쉬벨트(32)에 적재된 기판(5)을 에어나이프(10)가 설치된 건조작업 영역으로 이송시킨다.

마찬가지 방법으로 제2 구동모터(25)는 제2 구동풀리(25a), 제2 구동벨트(25b), 제2 종동풀리(35c)를 통하여 제2 메쉬벨트(22)를 구동시킨다. 제1 메쉬벨트(32)와 제2 메쉬벨트(22)가 구동하게 되면, 제1 메쉬벨트(32)는 적재된 기판(5)을 에어나이프(10)가 설치된 건조 작업영역으로 이송시키게 된다.

에어나이프(10)가 설치된 건조 건조작업 영역이 시작되는 곳에 이송된 기판(5)은, 제1 메쉬벨트(32)와 제2 메쉬벨트(22)의 사이에 놓이게 됨으로써 건조작업 진행시 기판(5)이 이탈 및 손상되지 않도록 이송된다.

도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 복수 개의 에어나이프(10)가 설치된 건조작업 영역으로 이송된 기판(5)은, 최초에 기판(5)의 진행방향과 45도 경사진 한 쌍의 에어나이프(10)가 설치된 곳에 다다르게 된다. 이때 최초 한쌍의 에어나이프(10)는 링 블로어(42)에서 공기를 공급받아 분사슬릿(10a)을 통해 기판(5)의 상면과 하면에 각각 공기를 분사하게 된다.

본 실시 예에서 최초 한 쌍의 에어나이프(10)는, 공기의 유속을 빠르게 하여 기판(5)의 처리액을 충격하여 기판(5)으로부터 처리액이 이격되도록 하여 처리액을 적극적인 방법으로 제거함을 위주로 한다. 이어서 나머지 두 쌍의 에어나이프(10)는 분사 공기의 유량을 많게 하여 처리액을 기판(5)의 진행 방향에 대한 수직 방향으로 증발 건조시킨다.

이에 의하여 기판(5)에 묻은 처리액은 대부분 건조되며, 건조되지 못한 기판(5)에 남은 처리액은 가장 하류에 배치된 한 쌍의 히터 에어나이프(11)에서 따뜻한 공기에 의해 최종적으로 건조된다.

이와 같이 별도로 마련된 전용의 기판 건조장치(1)를 통하여 세정수 등 처리액으로 처리된 기판(5)을 종래의 자연건조에 의존한 방식보다 신속하고 효율적으로 건조시킬 수 있다.

도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 건조장치의 정면도이고, 도 9는 도 8의 'B' 영역의 확대 사시도이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 건조장치(1a)를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

다만, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판건조장치(1)에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 건조장치(1a)는, 기판(5)의 이송방향을 기준으로 가장 상류에 배치되는 에어나이프(10)로부터 상류 측으로 소정 거리 이격되어 배치되며 기판(5)을 세정하기 위한 세정수를 분사하는 세정노즐(50)을 더 구비한다. 이 때 세정노즐(50)은 기판(5)이 적재되어 건조작업 영역으로 진입하는 제1 메쉬벨트(32)의 상면에 별도로 마련하여 제2 메쉬벨트(22)가 기판(5)을 덮지 않는 영역에 설치되도록 한다.

이와 같이 세정노즐(50)이 부착된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 건조장치(1a)는, 기판(5)의 세정과 건조를 함께 수행할 수 있으므로 보다 효율적으로 세정 및 건조의 작업을 연속적으로 수행할 수 있다.

전술한 실시 예들에서는 기판(5)의 진행방향에 대하여 45도 경사지게 배치되는 에어나이프(10)에 대하여 상술하였으나, 필요에 따라 각각 15도, 25도, 30도 등으로 다양하게 배치되는 에어나이프(10)일 수 있다.

또한, 전술한 실시 예들에서는 히터 에어나이프(11)가 복수 개의 에어나이프(10) 중 기판(5)의 진행방향으로 가장 하류에 배치되는 것에 대하여 상술하였으나, 기판(5) 및 처리액의 종류에 따라 기판(5)의 진행방향으로 상류에 배치될 수도 있을 것이며, 하나가 아닌 복수 개가 배치될 수도 있을 것이다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에 서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서, 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 별도의 전용 기판 건조장치를 구비하여, 기판을 종래의 자연건조에 의존한 방식보다 신속하고 효율적으로 건조시킬 수 있다. 이에 의하여 기판 제조공정 중에 발생할 수 있는 기판의 오염 및 기판의 불량을 종래보다 감소시키고 품질을 향상시킬 수 있다.

또한, 기판을 사이에 두고 제1 메쉬벨트와 상호 대향되게 배치되는 제2 메쉬벨트를 구비함으로써 기판의 건조 작업시 기판의 이탈을 종래보다 확실히 방지할 수 있다.

Claims

상부에 적재된 기판을 이송하는 그물형상의 제1 메쉬벨트를 구비하는 하부 컨베이어;

상기 제1 메쉬벨트의 일측에 마련되어 상기 기판에 공기를 분사하는 복수 개의 에어나이프; 및

상기 하부 컨베이어와 상기 에어나이프를 지지하는 건조장치본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제1항에 있어서,

상기 하부 컨베이어의 상부에 마련되어 상기 기판을 사이에 두고 상기 제1 메쉬벨트와 상호 대향되게 배치되어 상기 기판의 이탈을 방지하는 제2 메쉬벨트를 구비하는 상부 컨베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제2항에 있어서,

상기 제1 메쉬벨트와 상기 제2 메쉬벨트는 상기 기판을 사이에 두고 실질적으로 동일방향 및 동일속도로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제2항에 있어서,

상기 제1 메쉬벨트와 상기 제2 메쉬벨트에 형성된 구멍은 상기 기판의 표면 적보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제2항에 있어서,

상기 복수 개의 에어나이프는 상기 제1 메쉬벨트의 하부와 상기 제2 메쉬벨트의 상부에 각각 마련되되 상호 대향되게 한 쌍씩 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제5항에 있어서,

상기 에어나이프는 상기 기판의 진행방향에 대하여 소정 각도 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제1항에 있어서,

상기 복수 개의 에어나이프가 정렬된 정렬선 상에 배치되어 상기 기판을 건조하는 적어도 하나의 히터기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제7항에 있어서,

상기 히터기는 상기 복수 개의 에어나이프 중 하나의 에어나이프로서 히터가 설치된 히터 에어나이프인 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제8항에 있어서,

상기 히터 에어나이프는, 상기 복수 개의 에어나이프 중 상기 기판의 진행방향을 기준으로 가장 하류에 배치되는 상기 에어나이프인 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제1항에 있어서,

상기 기판의 이송방향을 기준으로 가장 상류에 배치되는 상기 에어나이프로부터 상류 측으로 소정 거리 이격되어 배치되며, 상기 기판을 세정하기 위한 세정수를 분사하는 세정노즐을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제1항에 있어서,

상기 에어나이프의 상기 기판을 향한 단부에는 공기를 분사하는 분사슬릿이 마련되며, 상기 에어나이프는 상기 분사슬릿 측으로 갈수록 단면적이 작도록 단부가 경사진 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제11항에 있어서,

상기 분사슬릿은 실질적으로 상기 기판의 폭 전체에 공기를 분사할 수 있도록 상기 기판의 폭보다 큰 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제1항에 있어서,

상기 건조장치본체에는 상기 에어나이프에 공기를 공급하는 적어도 하나의 링 블로어(ring blower)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제2항에 있어서,

상기 건조장치본체에는 상기 제1 메쉬벨트 및 상기 제2 메쉬벨트의 텐션을 보상하는 복수 개의 텐셔너가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제2항에 있어서,

상기 하부 컨베이어와 상기 상부 컨베이어는, 상기 제1 메쉬벨트 및 상기 제2 메쉬벨트를 각각 독립적으로 구동시키는 제1 구동모터 및 제2 구동모터를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
제1항에 있어서,

상기 건조장치본체에는, 상기 건조장치본체의 하단부에 결합되어 상기 건조장치본체를 이동시키는 바퀴(Wheel)가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.