JP5848812B1 - 吸着装置、及び、吸着装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】シート状媒体のしわや反りの大きさ等の特性に影響されることなく、かつ、シート状媒体及びシート状媒体上に集積される電子デバイス等の加工品にダメージを与えることなく、シート状媒体を吸着ステージの上面に均一に吸着させる。【解決手段】吸着装置４は、平坦面状に形成された上面でシート状媒体を吸着する吸着ステージ６１と、吸着ステージの上方に設けられ、吸着ステージ上を移動することで、シート状媒体を吸着ステージの上面に密着させるスキージ機構４１とを有する。【選択図】図３

Description

本発明は、フィルム材等のシート状媒体に加工を施す時に、シート状媒体を吸着ステージの上面に吸着する吸着装置、及び、吸着装置の制御方法に関する。

従来、シート状媒体（薄膜材）に印字する装置がある（例えば、特許文献１参照）。また、例えば、定尺にカットされたフィルム材をシート状媒体（薄膜材）として用い、シート状媒体上に加工品として集積された多数の電子デバイスの表面に各種の情報を印字する装置がある。

このような装置では、シート状媒体やシート状媒体上に集積された加工品等に加工（印字等）を施す場合に、シート状媒体を安定して所定の位置に配置するために、シート状媒体を吸着ステージの上面にエアで吸着する吸着装置が用いられている。

その吸着装置の中には、多孔質なポーラス材によって吸着ステージを構成したものがある。このような吸着装置（以下、「従来の吸着装置」と称する）は、シート状媒体が比較的柔らかい素材によって形成されていても、吸着によるダメージをシート状媒体に殆ど与えないようにすることができる。

特開２０１１−１６１６６１号公報

しかしながら、従来の吸着装置は、以下に説明するように、シート状媒体のしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体を吸着ステージの上面に好適に吸着することが望まれている、という課題があった。

例えば、従来の吸着装置は、シート状媒体が比較的柔らかい素材によって形成されている場合に、吸着時に、シート状媒体の表面にしわが発生してしまう。

また、従来の吸着装置は、多数の電子デバイスが加工品としてシート状媒体上に集積されることにより、シート状媒体にしわや反り等が発生してしまう。特に、定尺にカットされたフィルム材がシート状媒体として用いられている場合に、従来の吸着装置は、シート状媒体の端部が反りで浮き上がったり、しわ等でシート状媒体の表面に凹凸が生じたりして、シート状媒体が加工に適さない状態となり、エアによる吸引力ではシート状媒体を吸着し難かった。

そのため、従来の吸着装置は、以降の工程でシート状媒体や加工品（電子デバイス）等に加工（印刷等）を施すときに、シート状媒体に傷を与えることなく、また、加工品（電子デバイス）の回路等にダメージを与えることなく、高い加工（印刷）精度を確保することが困難であった。

したがって、従来の吸着装置は、シート状媒体のしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体を吸着ステージの上面に好適に吸着することが望まれていた。

本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、シート状媒体のしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体を吸着ステージの上面に好適に吸着する吸着装置、及び、吸着装置の制御方法を提供することを主な目的とする。

前記目的を達成するため、第１発明は、吸着装置であって、平坦面状に形成された上面でシート状媒体を吸着する吸着ステージと、前記吸着ステージの上方に設けられ、前記吸着ステージ上を移動することで、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるスキージ機構とを有し、前記スキージ機構は、前記吸着ステージの上方に前記シート状媒体と非接触な所定の高さで配置され、前記吸着ステージの上面に向けてエア供給管を介してエア供給装置から供給されたエアを複数のエア吐出口から分散して吐出することによって、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるエアスキージ部材を備えている構成とする。

この吸着装置は、スキージ機構でシート状媒体を吸着ステージの上面に密着させるため、シート状媒体のしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体を吸着ステージの上面に好適に吸着することができる。

また、第２発明は、吸着装置であって、平坦面状に形成された上面でシート状媒体を吸着する吸着ステージで、かつ、複数の領域に分割されているとともに、分割された領域毎に、外部との間でエアを流動させるエア流動口を備える前記吸着ステージと、前記吸着ステージの上方に設けられ、前記吸着ステージ上を移動することで、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるスキージ機構と、前記エア流動口を介して前記吸着ステージと外部との間で流動させるエアの流動量を調整するステージ側エア調整手段とを有し、前記スキージ機構は、前記吸着ステージの上方に所定の高さで配置され、前記吸着ステージの上面に向けてエアを吐出することによって、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるエアスキージ部材を備えており、前記ステージ側エア調整手段は、少なくとも前記エアスキージ部材が通過する各領域で吐出動作を予め実行しておき、前記エアスキージ部材の移動と同期して、前記エアスキージ部材が通過する各領域の動作を前記吐出動作から前記吸引動作に変更する構成とする。

また、第３発明は、吸着装置の制御方法であって、平坦面状に形成された上面でシート状媒体を吸着する吸着ステージと、前記吸着ステージの上方に設けられ、前記吸着ステージ上を移動することで、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるスキージ機構とを有する吸着装置に対し、前記吸着ステージを複数の領域に予め分割しておき、前記吸着ステージの内部に供給されたエアを前記吸着ステージの上面側から外部に吐出する動作を吐出動作とし、前記吸着ステージの上面側から前記吸着ステージの内部にエアを吸引する動作を吸引動作とし、前記吸着装置を制御する制御装置によって、前記吐出動作を各領域で独立して予め実行させておき、前記シート状媒体と前記吸着ステージの上面とが密着している密着部分が前記スキージ機構によって移動させられる際に、その移動に同期して、前記密着部分が通過する各領域の動作を前記吐出動作から前記吸引動作に変更させる構成とする。
その他の手段は、後記する。

本発明によれば、シート状媒体のしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体を吸着ステージの上面に好適に吸着する吸着装置を提供することができる。

実施形態１に係る吸着装置を含む印字システムの全体の概略構成を示す図である。 実施形態１で用いる印字システムの各部の概略構成を示す図（１）である。 実施形態１で用いる印字システムの各部の概略構成を示す図（２）である。 実施形態１で用いるシート状媒体の概略構成を示す図である。 実施形態１に係る吸着装置の概略構成を示す図である。 実施形態１に係る吸着装置とその周囲の部材との配置関係を示す模式図である。 実施形態１で用いるスキージ部材の配置位置及び移動方向を示す模式図である。 実施形態１で用いるスキージ部材の概略構成を示す図である。 実施形態１で用いるスキージ部材の変形例の概略構成を示す図である。 実施形態１で用いるスキージ部材のエア吐出口のパターン例を示す概略構成を示す図である。 実施形態１で用いるスキージ部材の変形例の概略構成を示す図である。 実施形態１に係る吸着装置の吸着ステージ周りの概略構成を示す図である。 実施形態１に係る吸着装置の制御例を示す図である。 実施形態２に係る吸着装置の吸着ステージ周りの概略構成を示す図である。 実施形態２に係る吸着装置の制御例を示す図である。 実施形態３で用いるノズルの概略構成を示す図（１）である。 実施形態３で用いるノズルの概略構成を示す図（２）である。 実施形態３で用いるノズルの概略構成を示す図（３）である。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」と称する）につき詳細に説明する。なお、各図は、本発明を十分に理解できる程度に、概略的に示してあるに過ぎない。よって、本発明は、図示例のみに限定されるものではない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。

［実施形態１］
＜吸着装置を含む印字システムの構成＞
以下、図１〜図３を参照して、本実施形態１に係る吸着装置を含む印字システムの全体の構成につき説明する。図１は、本実施形態１に係る吸着装置４を含む印字システム１の全体の概略構成を示す図である。図２及び図３は、それぞれ、印字システム１の各部の概略構成を示す図であり、図２は印字システム１を構成する印字装置８周りの概略構成を示しており、また、図３は吸着装置４周りの概略構成を示している。

図１に示すように、印字システム１は、制御装置２、位置決め装置３、吸着装置４、及び、印字装置８を有している。ここでは、本実施形態１に係る吸着装置４が電子デバイスの製造ライン上に設けられた印字システム１に用いられている場合を想定して説明する。ただし、吸着装置４は、このような用途に限らず、様々な用途に用いることができる。

制御装置２は、各装置の動作を制御する装置である。
位置決め装置３は、吸着装置４の吸着ステージ６１や印字装置８の印字ヘッド８１を任意の位置に位置決めをする装置である。
吸着装置４は、吸着ステージ６１の上面でシート状媒体（薄膜材）を吸着して、シート状媒体を任意の位置に固定する装置である。

印字装置８は、シート状媒体やシート状媒体上に集積された加工品（電子デバイス）の表面に各種の情報（例えば、個体識別ＩＤ情報等）を印字する装置である。印字装置８（図２参照）は、吸着ステージ６１の上方に設けられている。ここでは、印字装置８は、インクジェットプリンタとして構成されており、インクジェットプリンタ本体９と印字ヘッド８１とに分離された構成になっているものとして説明する。なお、インクジェットプリンタ本体９及び印字ヘッド８１の個数は、運用に応じて、１乃至複数個の好適な個数に設定することができる。

（位置決め装置の概略構成）
位置決め装置３（図２及び図３参照）は、撮像機構３１（図２参照）、ステージ移動機構３５（図３参照）、及び、ヘッド移動機構８２（図２参照）を有している。

撮像機構３１（図２参照）は、複数台のカメラ３２（図１に示す例では、カメラ３２ａ，３２ｂ，３２ｉｄ）で、シート状媒体Ｓｔ（図４参照）に形成された位置補正のためのアライメントマーク１０１（図４参照）及びシートＩＤ１０２（図４参照）を撮像する機構である。ここでは、カメラ３２ａ，３２ｂがアライメントマーク１０１（図４参照）を撮像するアライメントカメラであり、また、カメラ３２ｉｄがシートを識別するためのシートＩＤ１０２（図４参照）を撮像するシートＩＤカメラであるものとして説明する。シート状媒体Ｓｔ（図４参照）の構成については後記する。

ステージ移動機構３５（図３参照）は、吸着装置４の吸着ステージ６１を移動させる機構である。ステージ移動機構３５（図３参照）は、ステージ支持部材３６、及び、サーボモータ３８（３８ｘ，３８ｙ，３８θ）を有している。ステージ支持部材３６は、吸着ステージ６１をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動自在に支持する部材である。サーボモータ３８ｘは、ステージ支持部材３６を介して、吸着ステージ６１をＸ軸方向に移動させて、吸着ステージ６１のＸ軸方向の位置決めをする移動手段である。サーボモータ３８ｙは、ステージ支持部材３６を介して、吸着ステージ６１をＹ軸方向に移動させて、吸着ステージ６１のＹ軸方向の位置決めをする移動手段である。サーボモータ３８θは、ステージ支持部材３６を介して、吸着ステージ６１を上面に沿って回転させて、吸着ステージ６１の配置方向の角度を定める移動手段である。

ヘッド移動機構８２（図２参照）は、印字装置８の印字ヘッド８１を移動させる機構である。ヘッド移動機構８２（図２参照）は、Ｘ軸ロボット８３ｘ、Ｙ軸ロボット８３ｙ、及び、Ｚ軸ロボット８３ｚを有している。Ｘ軸ロボット８３ｘは、印字ヘッド８１をＸ軸方向に移動させる移動手段である。Ｙ軸ロボット８３ｙは、印字ヘッド８１をＹ軸方向に移動させる移動手段である。Ｚ軸ロボット８３ｚは、印字ヘッド８１をＺ軸方向（上下方向）に移動させる移動手段である。ここでは、ヘッド移動機構８２は、１乃至複数個の印字ヘッド８１に対応して、Ｘ軸ロボット８３ｘとＺ軸ロボット８３ｚとを印字ヘッド８１と同数個ずつ備えているものとして説明する。

（吸着装置の概略構成）
吸着装置４（図３参照）は、スキージ機構４１、エア供給装置４２、真空ポンプ４３、エア調整弁４４，４５、及び、吸着ステージ６１を有している。

スキージ機構４１は、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去しながら、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に密着させる機構である。スキージ機構４１は、吸着ステージ６１の上方に設けられている。

スキージ機構４１は、スキージ部材５１、アクチュエータ５３、及び、レール５４を有している。

スキージ部材５１は、吸着ステージ６１上をなめるように移動することで、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面（後記する吸着板６２の上面）に密着させる部材である。ここで、「なめるように」とは、吸着ステージ６１の上面に近接した空間内で、上面に対して略平行な方向に摺動する態様を意味している。本実施形態１では、スキージ部材５１は、吸着ステージ６１の上方に所定の高さで配置され、シート状媒体Ｓｔとは非接触な状態で、吸着ステージ６１の上面に向けてエアを吐出することによって、エアの吐出圧をシート状媒体Ｓｔに与えて、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に密着させるエアスキージ部材として構成されている。ただし、スキージ部材５１は、シート状媒体Ｓｔと直接接触する構成の部材にすることができる。

以下、スキージ部材５１を「エアスキージ部材５１」と称する。エアスキージ部材５１は、エアの吐出圧でシート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）に押し付けるため、シート状媒体Ｓｔやシート状媒体Ｓｔ上に集積された加工品（電子デバイス）１０４（図４参照）にダメージを与えることがない。

アクチュエータ５３及びレール５４は、エアスキージ部材５１を吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）に対して略平行な方向に移動させる移動機構である。本実施形態１では、２本のレール５４が、吸着ステージ６１の直上から外れた領域で、互いに並行で、かつ、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）に対して略平行に配置されている。２つのアクチュエータ５３は、２本のレール５４に取り付けられており、エアスキージ部材５１を保持した状態で各レール５４に沿って移動する。なお、エアスキージ部材５１は、例えば、移動機構を構成するアクチュエータ５３に交換可能に装着されている。

エア供給装置４２は、エアをエアスキージ部材５１に供給する（送る）装置である。エアは、エア供給管５５を介して、エア供給装置４２からエアスキージ部材５１に供給される。

真空ポンプ４３は、吸着ステージ６１（主に、後記する吸着板６２）の内部のエアを吸引する装置である。エアは、エア流動管６５を介して、吸着ステージ６１（主に、後記する吸着板６２）から外部に排出される。

エア調整弁４４は、エアスキージ部材５１に供給するエアの供給量を調整する調整手段である。エア調整弁４４は、エア供給管５５の経路上に設けられている。

エア調整弁４５は、エア流動管６５内を流動させるエアの流動量を調整する調整手段である。エア調整弁４５は、複数のエア流動管６５の経路上のそれぞれに設けられている。なお、「エア流動管６５内を流動させるエアの流動量」とは、後記するエア流動口６４（図１２（ｂ）及び（ｃ）参照）を介して吸着ステージ６１と外部との間で流動させるエアの流動量を意味している。

吸着ステージ６１は、平坦面状に形成された上面でシート状媒体Ｓｔを吸着する構成要素である。ここでは、吸着ステージ６１が吸着機構（エアチャック）を備えたステージであるものとして説明する。

吸着ステージ６１は、上面でシート状媒体Ｓｔを吸着する吸着板６２と、吸着板６２を下から支持する台座６３とを有する構成になっている。

吸着板６２は、多数の孔が形成されたポーラス材（例えば、セラミックポーラス材）によって構成されている。各孔は、エアが通過できる程度の微細な大きさに形成されている。そのため、エアが吸着板６２の内部を通過することができる。吸着板６２の上面は、シート状媒体Ｓｔが密着するように、平坦面状に形成されている。また、吸着板６２の下面は、台座６３の上に安定して設置することができるように、平坦面状に形成されている。

台座６３は、吸着板６２を支持する部材である。台座６３は、位置決め装置３のステージ支持部材３６によって支持されている。また、台座６３は、複数本のエア流動管６５を介して真空ポンプ４３と接続されている。

（印字装置の概略構成）
印字装置８（図２参照）は、１乃至複数個のインクジェットプリンタ本体９、及び、１乃至複数個の印字ヘッド８１を有している。インクジェットプリンタ本体９は、内部にインクを収納しており、インクを印字ヘッド８１に供給して印字させる構成要素である。

（印字システムの制御系の構成）
図２及び図３に示すように、印字システム１の制御装置２は、位置決めコントローラ２ａと吸着コントローラ２ｂと印字コントローラ２ｃとに接続されている。

位置決めコントローラ２ａは、位置決め装置３及び印字装置８のヘッド移動機構８２の動作を制御するコントローラである。
吸着コントローラ２ｂは、吸着装置４の動作を制御するコントローラである。
印字コントローラ２ｃは、印字装置８のインクジェットプリンタ本体９及び印字ヘッド８１の動作を制御するコントローラである。

（位置決めコントローラ周りの概略構成）
図２に示すように、位置決めコントローラ２ａは、有線で撮像機構３１と接続されている。撮像機構３１は、複数台のカメラ３２（ここでは、３台のカメラ３２ａ，３２ｂ，３１ｉｄ）を備えている。各カメラ３２は、照明３３とともに、撮像ロボット３４によって支持されている。撮像ロボット３４は、カメラ３２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて、カメラ３２を所定の位置に位置決めをするロボットである。位置決めコントローラ２ａは、カメラ３２の移動方向及び移動量を決定して、撮像ロボット３４の動作を制御する。

また、図２に示すように、位置決めコントローラ２ａは、印字装置８のヘッド移動機構８２と接続されている。位置決めコントローラ２ａは、印字ヘッド８１の移動方向及び移動量を決定して、ヘッド移動機構８２に印字ヘッド８１を移動させる。

また、図３に示すように、位置決めコントローラ２ａは、位置決め装置３のステージ移動機構３５のサーボモータ３８（３８ｘ，３８ｙ，３８θ）と接続されている。位置決めコントローラ２ａは、吸着ステージ６１の移動方向及び移動量を決定して、サーボモータ３８（３８ｘ，３８ｙ，３８θ）に吸着ステージ６１を移動させる。

（吸着コントローラ周りの概略構成）
図３に示すように、吸着コントローラ２ｂは、吸着装置４のエア供給装置４２とエア調整弁４４とに接続されている。吸着コントローラ２ｂは、エア供給装置４２の起動及び停止、並びに、エア調整弁４４の開閉動作及び開閉量を制御する。なお、図３には、４本のエア供給管５５が示されている。エア調整弁４４は、４本のエア供給管５５のそれぞれに１つずつ設けられている。

係る構成において、エア供給装置４２及びエア調整弁４４は、エアスキージ部材５１に供給するエアの供給量を調整するスキージ側エア調整手段を構成している。エアスキージ部材５１から吐出されるエアの吐出圧は、スキージ側エア調整手段によって供給されるエアの供給量に相関する。

なお、吸着装置４は、運用に応じて、エア供給管５５の本数を増減させることができ、これに合わせてエア調整弁４４の個数を増減させることができる。

また、吸着装置４は、例えば、エア供給管５５の本数分のエア供給装置４２を用意し、１本のエア供給管５５に対して１台のエア供給装置４２を接続することによって、エア調整弁４４を排除した構成にすることができる。この場合に、スキージ側エア調整手段は、各エア供給装置４２によって構成される。

また、図３に示すように、吸着コントローラ２ｂは、吸着装置４の真空ポンプ４３とエア調整弁４５とに接続されている。吸着コントローラ２ｂは、真空ポンプ４３の起動及び停止、並びに、エア調整弁４５の開閉動作及び開閉量を制御する。なお、図３には、３本のエア流動管６５しか示されていない。しかしながら、ここでは、吸着装置４は、さらに図示せぬ６本のエア流動管６５を有しており、実際には、合計９本のエア流動管６５（図１２（ｂ）参照）を有しているものとして説明する。エア調整弁４５は、９本のエア流動管６５のそれぞれに１つずつ設けられている。

係る構成において、真空ポンプ４３及びエア調整弁４５は、後記するエア流動口６４（図１２（ｂ）及び（ｃ）参照）を介して吸着ステージ６１と外部との間で流動させるエアの流動量を調整するステージ側エア調整手段を構成している。吸着ステージ６１の吸着圧は、ステージ側エア調整手段によって流動されるエアの流動量に相関する。

なお、吸着装置４は、運用に応じて、エア流動管６５の本数を増減させることができ、これに合わせてエア調整弁４５の個数を増減させることができる。

また、吸着装置４は、エア流動管６５の本数分の真空ポンプ４３を用意し、１本のエア流動管６５に対して１台の真空ポンプ４３を接続することによって、エア調整弁４５を排除した構成にすることができる。この場合に、ステージ側エア調整手段は、各真空ポンプ４３によって構成される。

また、図３に示すように、吸着コントローラ２ｂは、吸着装置４のスキージ機構４１のアクチュエータ５３と接続されている。吸着コントローラ２ｂは、エアスキージ部材５１の移動方向及び移動量を決定して、アクチュエータ５３にエアスキージ部材５１を移動させる。

（印字コントローラ周りの概略構成）
図２に示すように、印字コントローラ２ｃは、印字装置８の１乃至複数個のインクジェットプリンタ本体９と接続されている。印字コントローラ２ｃは、各インクジェットプリンタ本体９の印字動作を制御する。

係る構成において、印字装置８で各種の情報を印字する場合に、シート状媒体Ｓｔが吸着ステージ６１の上面に載置される。すると、吸着コントローラ２ｂが、吸着装置４を駆動して、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に吸着させる。このとき、スキージ機構４１が、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去しながら、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に密着させて、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に好適に吸着させる。なお、このときの動作については、後記する＜吸着装置の吸着ステージ周りの構成及び動作＞の章で説明する。

次に、位置決めコントローラ２ａが、位置決め装置３を駆動して、吸着ステージ６１を所定の位置に配置させる。このとき、位置決めコントローラ２ａは、カメラ３２ａ，３２ｂによって撮像されたシート状媒体Ｓｔの撮像画像を取得し、アライメントマーク１０１（図４参照）が所定の位置に配置されるように、位置決め装置３のサーボモータ３８（３８ｘ，３８ｙ，３８θ）を駆動する。

この後、印字コントローラ２ｃが、印字装置８を駆動して、各種の情報（例えば、個体識別ＩＤ情報１０５（図４（ｂ）参照）等）をシート状媒体Ｓｔやシート状媒体Ｓｔ上に集積された加工品（電子デバイス）１０４の表面に印字させる。

＜シート状媒体の構成＞
以下、図４を参照して、シート状媒体Ｓｔの概略構成につき説明する。図４は、シート状媒体Ｓｔの概略構成を示す図である。図４（ａ）は、シート状媒体Ｓｔの全体の概略構成を示している。図４（ｂ）は、シート状媒体Ｓｔの上に集積された加工品（電子デバイス）に印字される情報を示している。

ここでは、シート状媒体Ｓｔが定尺にカットされたフィルム材によって構成されている場合を想定して説明する。

図４（ａ）に示すように、本実施形態１で用いるシート状媒体Ｓｔは、矩形に形成されている。シート状媒体Ｓｔの表面には、アライメントマーク１０１とシートＩＤ１０２とが形成（印字）されており、また、加工品（電子デバイス）１０４が集積される加工領域１０３が設けられている。ここでは、１つの加工領域１０３がシート状媒体Ｓｔの表面に設けられているものとして説明する。また、シート状媒体Ｓｔには、加工品（電子デバイス）１０４がすでに集積されているものとして説明する。ただし、加工領域１０３は、１枚のシート状媒体Ｓｔに対して複数設けることができる。例えば、図７に示す例では、１枚のシート状媒体Ｓｔに対して９つの加工領域１０３が設けられている。また、加工領域１０３は、各領域で形状や大きさを変えることもできる。

アライメントマーク１０１は、シート状媒体Ｓｔの位置及び向きを検出するためのマークである。アライメントマーク１０１は、シート状媒体Ｓｔの矩形の角部分付近に形成されている。

シートＩＤ１０２は、各シート状媒体Ｓｔの識別番号を表している。シートＩＤ１０２は、シート状媒体Ｓｔの矩形の短辺付近に形成されている。加工品（電子デバイス）１０４に関する各種の情報は、シートＩＤ１０２と対応付けられて、図示せぬデータベースで管理されている。

印刷システム１は、シートＩＤ１０２に基づいて、個体識別ＩＤ等の情報を特定して、特定された情報に基づいて個体識別ＩＤ情報１０５（図４（ｂ）参照）を各加工品（電子デバイス）１０４の表面に印字する。なお、印刷システム１は、図示せぬ各種の情報をシート状媒体Ｓｔに印字することもできる。

シート状媒体Ｓｔは、多数の小さな加工品（電子デバイス）１０４が比較的広い表面上に集積されているため、しわや反り等の発生によって吸着ステージ６１の上面に好適に吸着されない場合に、良好な加工（印字等）が困難になる。この点について、以下に補足説明する。例えば、シート状媒体Ｓｔは、加工品（電子デバイス）１０４と比較して大きな部材であって、かつ、柔らかい部材であるため、しわや反り等が発生し易い。仮に、しわや反り等が発生すると、シート状媒体Ｓｔは、吸着ステージ６１の上面に好適に吸着されないため、個々の加工品（電子デバイス）１０４の予め定められた印字位置に正しく印字できないことや、所定の位置からずれた位置に配置されること等が生じる。特に、シート状媒体Ｓｔは、例えば、数百ｍｍ程度の比較的大きな構成になっており、これに対して、加工品（電子デバイス）１０４は、例えば、十数ｍｍ程度の比較的小さな構成になっている。仮に、シート状媒体Ｓｔが所定の位置からずれた位置に配置されると、個体識別ＩＤ情報１０５が大きくずれた位置に印字されるため、好ましくない。そこで、本実施形態１では、吸着装置４は、スキージ機構４１によって、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去しながら、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に密着させているため、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に好適に吸着させることができる。

＜吸着装置の細部の構成＞
以下、図５及び図６を参照して、吸着装置４の細部の構成につき説明する。図５は、吸着装置４の概略構成を示す図である。図６は、吸着装置４とその周囲の部材との配置関係を示す模式図である。

図５に示すように、吸着装置４において、エアスキージ部材５１が吸着ステージ６１の上方に配置されている。また、吸着装置４において、シート状媒体Ｓｔが吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）に載置されている。シート状媒体Ｓｔには、しわや反り等が発生している。

エアスキージ部材５１は、エア供給管５５が接続されるエア供給口５６と、エアが吐出される複数のエア吐出口５７とを有している。各エア吐出口５７は、エアスキージ部材５１の、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）と対向する側に形成されている。

吸着装置４は、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去するために、エアスキージ部材５１から吸着ステージ６１の上面に向けてエアを吐出する。これによって、吸着装置４は、エアの吐出圧をシート状媒体Ｓｔに与えて、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去するとともに、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に密着させる。

また、このとき、吸着装置４は、エアスキージ部材５１の動きと連動するように、真空ポンプ４３で吸着ステージ６１（主に、吸着板６２）の内部のエアを吸引する。これによって、吸着装置４は、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に好適に吸着する。

係る構成において、吸着装置４と周囲の部材との配置関係は、図６に示す通りとなっている。
すなわち、印字ヘッド８１は、上下方向（図６に示す矢印Ａ８１の方向）に移動する。その印字ヘッド８１は、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）から上方側に高さＨｈｄ１の位置から高さＨｈｄ２の位置までの間で下端が移動するように、配置されている。高さＨｈｄ１の位置は、印字ヘッド８１の印字時の位置である。一方、高さＨｈｄ２の位置は、印字ヘッド８１の退避時の位置である。

また、エアスキージ部材５１は、その中心軸が吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）から上方側に高さＨａｓの位置に配置されている。エアスキージ部材５１は、高さＨａｓの位置で水平な方向（すなわち、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）に対して略平行な方向）に移動する。この例では、高さＨａｓの値は、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等の高さＨｓｔよりも十分に大きな値で、かつ、高さＨｈｄ２よりも小さな値に設定されている。ただし、高さＨａｓの値は、想定される高さＨｓｔの値以下になることもあり得る。なお、吸着装置４は、一定の高さＨａｓでエアスキージ部材５１を水平な方向に移動させることにより、エア吐出口５７（図５参照）から吐出されるエアの吐出圧を調整し易くしている。

また、カメラ３２は、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）から上方側に配置されている。カメラ３２の下端の高さＨｃｍの値は、カメラ３２の焦点距離に応じて、任意の値に設定することができる。そのカメラ３２の焦点距離は、シート状媒体Ｓｔのアライメントマーク１０１（図４（ａ）参照）や加工品（電子デバイス）１０４の個体識別ＩＤ情報１０５（図４（ｂ）参照）を好適に撮影することができる値に設定されている。このようなカメラ３２は、例えば、ヘッド移動機構８２を構成する各構成要素よりも高い位置に配置することもできる。なお、カメラ３２と周囲の構成要素とが接触する可能性がある場合は、カメラ３２の撮像位置Ｐ１と退避位置Ｐ２とを予め設定しておき、撮像位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間でカメラ３２を移動させればよい（例えば、図６に示す矢印Ａ３２の方向参照）。

＜エアスキージ部材の構成＞
以下、図７〜図１１を参照して、エアスキージ部材５１の構成につき説明する。図７は、エアスキージ部材５１の配置位置及び移動方向を示す模式図である。図８は、エアスキージ部材５１の概略構成を示す図である。図９は、エアスキージ部材５１の変形例の概略構成を示す図である。図１０は、エアスキージ部材５１のエア吐出口５７のパターン例を示す概略構成を示す図である。図１１は、エアスキージ部材５１の変形例の概略構成を示す図である。

図７（ａ）に示すように、吸着装置４は、エアスキージ部材５１をＸ軸方向に沿って配置することができる。この場合に、吸着装置４は、エアスキージ部材５１をＹ軸方向（図７（ａ）に示す矢印Ａ５１ａの方向）に移動させる。

又は、図７（ｂ）に示す例では、吸着装置４は、エアスキージ部材５１をＹ軸方向に沿って配置することもできる。この場合に、吸着装置４は、エアスキージ部材５１をＸ軸方向（図７（ｂ）に示す矢印Ａ５１ｂの方向）に移動させる。

なお、図７（ａ）及び（ｂ）に示す例では、１枚のシート状媒体Ｓｔに対して９つの加工領域１０３が設けられている。係る構成において、加工領域１０３は、各領域で形状や大きさを変えることができる。

エアスキージ部材５１は、例えば、図８に示すように構成することができる。
図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す例では、エアスキージ部材５１は、円筒状に形成されている。エアスキージ部材５１の円筒の中腹には、エア供給口５６が形成されており、エア供給管５５が接続されている。エアスキージ部材５１の円筒の下側部分は、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）と対向する部分である。その下側部分には、複数のエア吐出口５７が形成されている。エアスキージ部材５１は、図８（ｃ）に示すように、エア供給管５５を介してエア供給装置４２（図３参照）から供給されるエアを内部に取り込み、取り込まれたエアを各エア吐出口５７から外部に吐出する。

エアスキージ部材５１は、例えば、図９に示すように変形することができる。
図９（ａ）及び図９（ｂ）に示す例では、エアスキージ部材５１は、円筒状に形成されている。エアスキージ部材５１の円筒の端部には、エア供給口５６が形成されており、エア供給管５５が接続されている。エアスキージ部材５１の円筒の下側部分は、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）と対向する部分である。その下側部分には、複数のエア吐出口５７が形成されている。エアスキージ部材５１は、図９（ｃ）に示すように、エア供給管５５を介してエア供給装置４２（図３参照）から供給されるエアを内部に取り込み、取り込まれたエアを各エア吐出口５７から外部に吐出する。

エアスキージ部材５１の各エア吐出口５７は、例えば、図１０に示すパターンに形成することができる。
図１０（ａ）に示すパターン１の例では、各エア吐出口５７は、同径の形成されており、一列に配置されている。
図１０（ｂ）に示すパターン２の例では、各エア吐出口５７は、同径の形成されており、二列に分かれて千鳥状に配置されている。
図１０（ｃ）に示すパターン３の例では、各エア吐出口５７は、小径のものと大径のものとの２種類に形成されており、小径のものと大径のものとが交互に一列に配置されている。

エアスキージ部材５１は、例えば、図１１に示すように変形することができる。図１１（ａ）はエアスキージ部材５１の上面図であり、図１１（ｂ）はエアスキージ部材５１の下面図である。
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示す例では、吸着装置４のスキージ機構４１（図３参照）は、１台の吸着ステージ６１に対して、複数個のエアスキージ部材５１を備える構成になっている。各エアスキージ部材５１は、一列に配置されており、移動機構に装着されている。なお、移動機構は、各エアスキージ部材５１が装着することができるように、アクチュエータ５３（図３参照）及びレール５４（図３参照）の構成が適宜変更されている。また、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示す例では、各エアスキージ部材５１のエア吐出口５７が図１０（ｂ）に示すパターン２（千鳥状のパターン）の構成になっている。しかしながら、各エアスキージ部材５１のエア吐出口５７は、他のパターンに適宜変更することができる。また、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示す例では、各エアスキージ部材５１の長さがほぼ均等になっている。しかしながら、各エアスキージ部材５１の長さは、運用に応じて、異ならせることができる。

吸着装置４のスキージ機構４１は、いずれの構成のエアスキージ部材５１においても、複数のエア吐出口５７を有しており、また、各エア吐出口５７から吐出されるエアの吐出圧がシート状媒体Ｓｔを全域に亘って平坦化させるような圧力に調整されている。

吸着装置４のスキージ機構４１は、好ましくは、複数種類のエアスキージ部材５１を予め用意するとともに、シート状媒体Ｓｔのしわや反りの大きさ等の特性としわや反り等を高効率に除去できるエアスキージ部材５１の種類との対応関係を予め解析しておき、シート状媒体Ｓｔの特性に応じて複数種類のエアスキージ部材５１の中から任意の種類のものが選択され、選択されたエアスキージ部材５１が移動機構に装着される構成にするとよい。これにより、吸着装置４は、シート状媒体Ｓｔのしわや反りの大きさ等の特性に合わせて、エア吐出口５７の形状や配置を変更することができる。ここでは、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すパターンのスキージ機構４１が選択され、移動機構に装着されている場合を想定して説明する。

＜吸着装置の吸着ステージ周りの構成及び動作＞
以下、図１２及び図１３を参照して、吸着装置４の吸着ステージ６１周りの構成及び動作につき説明する。図１２は、吸着装置４の吸着ステージ６１周りの概略構成を示す図である。図１２（ａ）は、吸着装置４の吸着ステージ６１の上面の構成を示しており、図１２（ｂ）は、吸着装置４の吸着ステージ６１の下面周りの構成を示しており、図１２（ｃ）は、側面方向から見た吸着装置４の吸着ステージ６１周りのエアの動きを示している。図１３は、吸着装置４の制御例を示す図である。

図１２（ａ）に示すように、本実施形態１では、吸着装置４の吸着ステージ６１は、分割領域Ｄ１〜Ｄ９の９つの領域に分割されている。各分割領域Ｄ１〜Ｄ９では、９枚の吸着板６２が台座６３に独立して貼り合わせられている。ここでは、例えば、吸着板６２が多孔質な部材であるセラミックポーラス材によって形成されているものとして説明する。なお、ポーラス材の気孔径は、シート状媒体Ｓｔに変形や凹凸が生じない程度の大きさが好ましく、ここでは、例えば数十（μｍ）であるものとして説明する。

図１２（ｂ）に示すように、吸着ステージ６１は、分割領域Ｄ１〜Ｄ９毎に、外部との間でエアを流動させるエア流動口６４を台座６３の下面に備えている。各エア流動口６４には、エア流動管６５が接続されている。各エア流動管６５の他端には、真空ポンプ４３（図３参照）が他端に接続されている。また、各エア流動管６５の経路上には、エア制御弁４５が配置されている。

エア制御弁４５は、吸着コントローラ２ｂ（図３参照）によって開閉制御されている。エア制御弁４５が開放されると、吸着ステージ６１（主に、吸着板６２）の内部のエアが真空ポンプ４３に吸引される。

このとき、図１２（ｃ）に示すように、吸着ステージ６１の周囲のエアが吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）側から吸着ステージ６１の内部に吸引される。これにより、吸着装置４は、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）に載置されたシート状媒体Ｓｔを吸着する。この動作は、吸着コントローラ２ｂ（図３参照）の制御下において、各分割領域Ｄ１〜Ｄ９で独立して実行される。

本実施形態１では、吸着コントローラ２ｂ（図３参照）は、例えば、図１３に示すように、吸着装置４の動作を制御する。すなわち、吸着コントローラ２ｂは、まず、分割領域Ｄ１〜Ｄ９に対応する全てのエア制御弁４５を閉鎖させておく。これにより、吸着装置４は、全ての分割領域Ｄ１〜Ｄ９の動作を未吸引動作にする。「未吸引動作」では、吸着ステージ６１の周囲のエアが吸着ステージ６１の内部に吸引されないため、吸着ステージ６１の上面に載置されたシート状媒体Ｓｔが吸着ステージ６１の上面に吸着されない。

次に、吸着コントローラ２ｂは、エアスキージ部材５１の移動（吐出動作）と同期して、エアスキージ部材５１が通過する各分割領域Ｄ１〜Ｄ９の動作を未吸引動作から吸引動作に変更する。

つまり、本実施形態１の吸着装置４の制御方法は、吸着ステージ６１を複数の領域（ここでは、分割領域Ｄ１〜Ｄ９）に予め分割しておき、吸引動作を各分割領域Ｄ１〜Ｄ９で独立して任意の方向に向けて順番に開始させる構成になっている。

これにより、吸着装置４は、エアスキージ部材５１から吐出されるエアの吐出圧で、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去しながら、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に密着させるとともに、吸着ステージ６１の吸着圧でシート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に吸着させることができる。

なお、シート状媒体Ｓｔと吸着ステージ６１の上面とが密着している密着部分が、エアスキージ部材５１の移動に伴って移動する。このとき、吸着装置４は、密着部分を吸着ステージ６１の上面に確実に吸着させることができる。吸着コントローラ２ｂは、シート状媒体Ｓｔの全面が吸着ステージ６１の上面に吸着された場合に、吸着装置４に、各分割領域Ｄ１〜Ｄ９での吸引動作を維持させる。

係る構成において、吸着装置４は、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に吸着することができる。このような吸着装置４は、例えば、加工品１０４として数ミリ程度の大きさの電子デバイスを高密度に集積する電子デバイスの製造ラインに好適に用いることができる。

特に、スキージ部材５１としてエアスキージ部材を用いる場合は、エアが、シート状媒体Ｓｔの形状に応じてシート状媒体Ｓｔに与える吐出圧（押圧）を分散させることができる非接触な手段である。そのため、この場合に、吸着装置４は、エアでシート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に押圧することによって、シート状媒体Ｓｔのしわや反りの大きさ等の特性に影響されることなく、かつ、シート状媒体Ｓｔやシート状媒体Ｓｔに集積される電子デバイス等の加工品１０４にダメージを与えることなく、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に吸着することができる。

以上の通り、本実施形態１に係る吸着装置４によれば、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に吸着することができる。特に、スキージ部材５１としてエアスキージ部材を用いる場合は、シート状媒体Ｓｔの特性に影響されることなく、かつ、シート状媒体Ｓｔやシート状媒体Ｓｔに集積される電子デバイス等の加工品１０４にダメージを与えることなく、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に吸着することができる。

［実施形態２］
実施形態１に係る吸着装置４の制御方法は、例えば厚さが数μｍオーダーのシート状媒体Ｓｔ等のように、シート状媒体Ｓｔが特に薄くて柔らかい場合に、シート状媒体Ｓｔと吸着ステージ６１の上面との間にエアが滞留して、シート状媒体Ｓｔにしわが発生する可能性がある。そのため、実施形態１に係る吸着装置４の制御方法よりもさらに均一にシート状媒体Ｓｔの吸着を行えるようにすることが望まれる。

そこで、本実施形態２では、例えば厚さが数μｍオーダーのシート状媒体Ｓｔ等のように、シート状媒体Ｓｔが特に薄くて柔らかい場合であっても、シート状媒体Ｓｔのしわを確実に除去して、シート状媒体Ｓｔを好適に吸着することができる制御方法及びその制御方法に用いる吸着装置４Ａを提供する。

以下、図１４及び図１５を参照して、本実施形態２に係る吸着装置４Ａの吸着ステージ６１周りの構成及び動作につき説明する。図１４は、吸着装置４Ａの吸着ステージ６１周りの概略構成を示す図である。図１４（ａ）は、吸着装置４Ａの吸着ステージ６１の下面周りの構成を示しており、図１４（ｂ）は、側面方向から見た吸着装置４Ａの吸着ステージ６１周りのエアの動きを示している。図１５は、吸着装置４Ａの制御例を示す図である。

図１４（ａ）に示すように、本実施形態２に係る吸着装置４Ａは、実施形態１に係る吸着装置４（図１２（ｂ）参照）と比較すると、エア制御弁４５の代わりに、三方弁によって構成されたエア制御弁４６が各エア流動管６５の経路上に配置されている点で相違している。

エア制御弁４６は、３つの弁のうち、１つ目の弁がエア流動管６５を介して吸着ステージ６１と接続されており、２つ目の弁がエア供給管６６を介して図示せぬエア供給装置と接続されており、３つ目の弁がエア吸引管６７を介して真空ポンプ４３（図３参照）と接続されている。

エア制御弁４６は、吸着コントローラ２ｂ（図３参照）によって、開放方向、開閉動作、及び、開閉量が制御されている。
図１４（ｃ）に示すように、エア制御弁４５がエア供給管６６側の弁（２つ目の弁）を開放すると、エアが図示せぬエア供給装置から吸着ステージ６１側に供給される。その結果、吸着装置４Ａは、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）からのエアの吐出動作を実行する。
また、エア制御弁４５がエア吸引管６７側の弁（３つ目の弁）を開放すると、エアが吸着ステージ６１から真空ポンプ４３側に吸引される。その結果、吸着装置４Ａは、吸着ステージ６１の上面（吸着板６２の上面）からエアを吸引する吸引動作を実行する。

本実施形態２では、吸着コントローラ２ｂ（図３参照）は、例えば、図１５に示すように、吸着装置４Ａの動作を制御する。すなわち、吸着コントローラ２ｂは、まず、分割領域Ｄ１〜Ｄ９に対応する全てのエア制御弁４６に対し、エア供給管６６側の弁（２つ目の弁）を開放させる。これにより、吸着装置４は、全ての分割領域Ｄ１〜Ｄ９の動作を吐出動作にする。「吐出動作」では、エアが吸着ステージ６１の上面から外部に吐出されるため、吸着ステージ６１の上面に載置されたシート状媒体Ｓｔがごく僅かに浮き上がる。

次に、吸着コントローラ２ｂは、エアスキージ部材５１の移動（吐出動作）と同期して、エアスキージ部材５１が通過する各分割領域Ｄ１〜Ｄ９の動作を吐出動作から吸引動作に変更する。

つまり、本実施形態２に係る吸着装置４Ａの制御方法は、実施形態１の吸着装置４の制御方法において未吸引であった領域（少なくともエアスキージ部材５１が通過する各領域）に対して、まず、エアを供給して、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ５１の上面から浮き上がらせ、次に、シート状媒体Ｓｔと吸着ステージ６１の上面との間のエアが外部に排出されるように、エアスキージ部材５１の移動（吐出動作）と同期して、エアスキージ部材５１が通過する領域の動作を吐出動作から吸引動作に変更する。

これにより、本実施形態２に係る吸着装置４Ａの制御方法は、シート状媒体Ｓｔと吸着ステージ６１の上面との間のエアが外部に排出されるように、エアスキージ部材５１でエアの吐出圧（押圧）をシート状媒体Ｓｔに与えながら、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に吸着することができる。その結果、本実施形態２に係る吸着装置４Ａの制御方法は、シート状媒体Ｓｔと吸着ステージ６１の上面との間のエアを外部に排出させながら、また、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去しながら、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に密着させることができる。

なお、シート状媒体Ｓｔと吸着ステージ６１の上面とが密着している密着部分が、エアスキージ部材５１の移動に伴って移動する。このとき、吸着装置４Ａは、密着部分を吸着ステージ６１の上面に確実に吸着させることができる。吸着コントローラ２ｂは、シート状媒体Ｓｔの全面が吸着ステージ６１の上面に吸着された場合に、吸着装置４Ａに、各分割領域Ｄ１〜Ｄ９での吸引動作を維持させる。

このような吸着装置４Ａは、例えば厚さが数μｍオーダーのシート状媒体Ｓｔ等のように、シート状媒体Ｓｔが特に薄くて柔らかい場合であっても、シート状媒体Ｓｔのしわを確実に除去して、シート状媒体Ｓｔの吸着の均一化を図ることができる。

以上の通り、本実施形態２に係る吸着装置４Ａによれば、実施形態１に係る吸着装置４と同様に、シート状媒体Ｓｔのしわや反り等を除去した状態で、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に均一に吸着することができる。
しかも、本実施形態２に係る吸着装置４Ａによれば、実施形態１に係る吸着装置４に比べて、シート状媒体Ｓｔが特に薄くて柔らかい場合であっても、シート状媒体Ｓｔのしわを確実に除去して、シート状媒体Ｓｔの吸着の均一化を図ることができる。

［実施形態３］
実施形態１及び実施形態２に係るエアスキージ部材５１は、好ましくは、エア吐出口５７（図５参照）から吐出されるエアの吐出圧や吐出方向を容易に変更できるようにするとよい。

そこで、本実施形態３では、吐出されるエアの吐出圧や吐出方向を容易に変更することができるように、エア吐出口５７にノズルを取り付けた構成を提供する。

以下、図１６〜図１８を参照して、本実施形態３で用いるノズル７１，７１ａ，７１ｂの構成につき説明する。図１６〜図１８は、それぞれ、本実施形態３で用いるノズル７１，７１ａ，７１ｂの概略構成を示す図である。

図１６に示すように、ノズル７１は、取付ネジ７２と、吐出圧調整つまみ７３と、及び、ノズル吐出口７４を備えている。ノズル７１は、取付ネジ７２によってエアスキージ部材５１のエア吐出口５７（図５参照）に取り付けられる。また、ノズル７１は、吐出圧調整つまみ７３によってノズル吐出口７４から吐出されるエアの吐出圧を調整することができる。なお、ノズル吐出口７４は、吐出されるエアを真っ直ぐに吐出する構成になっている。

図１７に示すように、ノズル７１ａは、図１６に示すノズル７１と比較すると、ノズル吐出口７４がノズル吐出口７４ａに変更されている点で相違している。ノズル吐出口７４ａは、吐出されるエアを多方向に拡散させる構成になっている。

図１８に示すように、ノズル７１ｂは、図１６に示すノズル７１と比較すると、ノズル吐出口７４がノズル吐出口７４ｂに変更されている点で相違している。ノズル吐出口７４ｂは、先端（下端）側が任意の方向に向けて湾曲されており、また、図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すように、先端（下端）を任意の方向に向けることが可能な構成になっている。ノズル７１ｂは、先端（下端）を任意の方向に向けることによって、吐出されるエアを任意の方向に誘導させることができる。

エアスキージ部材５１は、このようなノズル７１，７１ａ，７１ｂをエア吐出口５７に選択的に取り付けることによって、吐出されるエアの吐出圧や吐出方向を容易に変更することができる。そのため、例えば、エアスキージ部材５１は、シート状媒体Ｓｔのしわや反りの大きさ等の特性に応じて、吐出されるエアの吐出圧や吐出方向を容易に変更することができる。

以上の通り、本実施形態３によれば、ノズル７１，７１ａ，７１ｂをエアスキージ部材５１のエア吐出口５７に選択的に取り付けることによって、吐出されるエアの吐出圧や吐出方向を容易に変更することができる。

本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は、本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。

例えば、吸着装置４，４Ａは、フィルム材に限らず、シート状の様々な物品（例えば、紙や布等）をシート状媒体Ｓｔとして用いることができる。

また、例えば、スキージ部材５１は、例えば、吸着ステージ６１に対向して設けられた刷毛（はけ）でシート状媒体Ｓｔに接触する棒状部材や、外周面でシート状媒体Ｓｔに接触するローラ等のような、シート状媒体Ｓｔと直接接触する構成の部材にすることができる。この場合に、スキージ機構４１は、スキージ部材５１をシート状媒体Ｓｔに直接接触させて、シート状媒体Ｓｔを吸着ステージ６１の上面に密着させる構成となる。

１ 印字システム
２ 制御装置
２ａ 位置決めコントローラ
２ｂ 吸着コントローラ
２ｃ 印字コントローラ
３ 位置決め装置
４，４Ａ 吸着装置
８ 印字装置
９ インクジェットプリンタ本体
３１ 撮像機構
３２（３２ａ，３２ｂ，３２ｉｄ） カメラ
３３ 照明
３４ 撮像ロボット
３５ ステージ移動機構
３６ ステージ支持部材
３８（３８ｘ，３８ｙ，３８θ） サーボモータ
４１ スキージ機構
４２ エア供給装置
４３ 真空ポンプ
４４，４５ エア調整弁
４６ エア調整弁（三方弁）
５１ スキージ部材（エアスキージ部材）
５２ スキージ移動機構
５３ アクチュエータ
５４ レール
５５ エア供給管
５６ エア供給口
５７ エア吐出口
６１ 吸着ステージ
６２ 吸着板
６３ 台座
６４ エア流動口
６５ エア流動管
６６ エア供給管
６７ エア吸引管
７１ ノズル
７２ 取付ネジ
７３ 吐出圧調整つまみ
７４，７４ａ，７４ｂ ノズル吐出口
８１ 印字ヘッド
８２ ヘッド移動機構
８３ｘ Ｘ軸ロボット
８３ｙ Ｙ軸ロボット
８３ｚ Ｚ軸ロボット
８４（８４ｘ，８４ｙ，８４ｚ） サーボモータ
１０１ アライメントマーク
１０２ シートＩＤ
１０３ 加工領域
１０４ 加工品（電子デバイス）
１０５ 個体識別ＩＤ情報
Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８，Ｄ９ 分割領域
Ｓｔ シート状媒体

Claims (14)

1. 平坦面状に形成された上面でシート状媒体を吸着する吸着ステージと、
   前記吸着ステージの上方に設けられ、前記吸着ステージ上を移動することで、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるスキージ機構とを有し、
   前記スキージ機構は、前記吸着ステージの上方に前記シート状媒体と非接触な所定の高さで配置され、前記吸着ステージの上面に向けてエア供給管を介してエア供給装置から供給されたエアを複数のエア吐出口から分散して吐出することによって、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるエアスキージ部材を備えている
   ことを特徴とする吸着装置。
2. 請求項１に記載の吸着装置において、
   前記スキージ機構は、
   さらに、前記エアスキージ部材を前記吸着ステージの上面に対して略平行な方向に移動させる移動機構を備えている
   ことを特徴とする吸着装置。
3. 請求項２に記載の吸着装置において、
   １台の前記吸着ステージに対して、複数個の前記エアスキージ部材が、前記移動機構に装着されている
   ことを特徴とする吸着装置。
4. 請求項２又は請求項３に記載の吸着装置において、
   前記移動機構は、エア吐出口のパターンが異なっている複数種類の前記エアスキージ部材の中から選択された任意の種類のものが装着されている
   ことを特徴とする吸着装置。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の吸着装置において、
   前記スキージ機構は、前記エアスキージ部材に供給するエアの供給量を調整するスキージ側エア調整手段を備えている
   ことを特徴とする吸着装置。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の吸着装置において、
   前記エアスキージ部材は、複数のエア吐出口を有しており、
   各エア吐出口から吐出されるエアの吐出圧が前記シート状媒体を全域に亘って平坦化させるような圧力に調整されている
   ことを特徴とする吸着装置。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の吸着装置において、
   前記吸着ステージは、複数の領域に分割されており、
   分割された各領域では、前記吸着ステージの上面側から前記吸着ステージの内部にエアを吸引する吸引動作が各領域で独立して実行される
   ことを特徴とする吸着装置。
8. 請求項７に記載の吸着装置において、
   前記吸着ステージは、分割された領域毎に、外部との間でエアを流動させるエア流動口を備えており、
   分割された各領域では、前記エア流動口を介して前記吸着ステージの内部に供給されたエアを前記吸着ステージの上面側から外部に吐出する吐出動作、及び、前記吸着ステージの上面側から前記吸着ステージの内部に吸引されたエアを前記エア流動口を介して外部に排出する前記吸引動作のいずれか一方又は双方が、各領域で独立して実行される
   ことを特徴とする吸着装置。
9. 請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の吸着装置において、
   前記吸着ステージは、複数の領域に分割されているとともに、分割された領域毎に、外部との間でエアを流動させるエア流動口を備えており、
   さらに、前記エア流動口を介して前記吸着ステージと外部との間で流動させるエアの流動量を調整するステージ側エア調整手段を有している
   ことを特徴とする吸着装置。
10. 請求項７又は請求項８に記載の吸着装置において、
    前記吸着ステージは、複数の領域に分割されているとともに、分割された領域毎に、外部との間でエアを流動させるエア流動口を備えており、
    さらに、前記エア流動口を介して前記吸着ステージと外部との間で流動させるエアの流動量を調整するステージ側エア調整手段を有し、
    前記ステージ側エア調整手段は、前記エアスキージ部材の移動と同期して、前記エアスキージ部材が通過する各領域で前記吸引動作を開始する
    ことを特徴とする吸着装置。
11. 平坦面状に形成された上面でシート状媒体を吸着する吸着ステージで、かつ、複数の領域に分割されているとともに、分割された領域毎に、外部との間でエアを流動させるエア流動口を備える前記吸着ステージと、
    前記吸着ステージの上方に設けられ、前記吸着ステージ上を移動することで、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるスキージ機構と、
    前記エア流動口を介して前記吸着ステージと外部との間で流動させるエアの流動量を調整するステージ側エア調整手段とを有し、
    前記スキージ機構は、前記吸着ステージの上方に所定の高さで配置され、前記吸着ステージの上面に向けてエアを吐出することによって、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるエアスキージ部材を備えており、
    前記ステージ側エア調整手段は、少なくとも前記エアスキージ部材が通過する各領域で前記吸着ステージの上面側から前記吸着ステージの外部にエアを吐出する吐出動作を予め実行しておき、前記エアスキージ部材の移動と同期して、前記エアスキージ部材が通過する各領域の動作を前記吐出動作から前記吸着ステージの上面側から前記吸着ステージの内部にエアを吸引する吸引動作に変更する
    ことを特徴とする吸着装置。
12. 請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の吸着装置において、
    前記エアスキージ部材は、エア吐出口にノズルを備えており、
    前記ノズルは、エアの吐出方向及び吐出圧のいずれか一方又は双方を変更する機構を備えている
    ことを特徴とする吸着装置。
13. 平坦面状に形成された上面でシート状媒体を吸着する吸着ステージと、前記吸着ステージの上方に設けられ、前記吸着ステージ上を移動することで、前記シート状媒体を前記吸着ステージの上面に密着させるスキージ機構とを有する吸着装置に対し、前記吸着ステージを複数の領域に予め分割しておき、
    前記吸着ステージの内部に供給されたエアを前記吸着ステージの上面側から外部に吐出する動作を吐出動作とし、前記吸着ステージの上面側から前記吸着ステージの内部にエアを吸引する動作を吸引動作とし、
    前記吸着装置を制御する制御装置によって、前記吐出動作を各領域で独立して予め実行させておき、前記シート状媒体と前記吸着ステージの上面とが密着している密着部分が前記スキージ機構によって移動させられる際に、その移動に同期して、前記密着部分が通過する各領域の動作を前記吐出動作から前記吸引動作に変更させる
    ことを特徴とする吸着装置の制御方法。
14. 請求項１３に記載の吸着装置の制御方法において、
    前記制御装置は、前記シート状媒体の全面が前記吸着ステージの上面に吸着された場合に、各領域での前記吸引動作を維持させる
    ことを特徴とする吸着装置の制御方法。

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