JPS62119781A - 表面清掃装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は平面等の曲率の一定な表面に付着した塵埃を除
去する装置に係り、特に清掃装置がらの再付着塵埃を防
止するのに好適な表面清掃装置に関するものである。

〔発明の背景〕

磁気ディスク、半導体基板等は表面に塵埃が付着すると
事故、不良等の発生が増すため従来からその除塵が必要
とされている。

その方法として、例えば長繊維の不織布を用いて表面を
拭く方法が行われているが、不織布からの脱落繊維が有
り開運となる。また、特開昭５９−２０１２２９号に記
載のように、表面に気体をノズルにより高速で吹き付け
る方法も提案されている。しかしこの方法では一旦吹き
飛ばされた付着塵埃が表面に再付着することがあり、清
掃効率が上らない欠点を持つ。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した欠点を除き、表面に非接触で
、塵埃の再付着のない、清掃効率の高い表面清掃装置を
提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明では、清掃装置を真空吸引形のものとし、吸引部
分を表面から気体軸受により一定距離を保って保持する
ことにより上記目的を達成する。

〔発明の実施例〕

以下本発明の一実施例を第１図により説明する。

本実施例は本発明を磁気ディスク表面の清掃に用いた例
である。

磁気ディスク１０をディスク固定装置１５によリディス
ク回転軸１６に固定する。ディスク回転軸１６は駆動モ
ータ（図示せず）により毎分２００回転で回転させる。

表面清掃ヘッド３ｏはジンバル保持機構４０により保持
アーム２０に固定され、加圧バネ２１によりディスク表
面に対し一定圧力で加圧される。

加圧バネ２１は移動台５０に固定されており、移動モー
タ６０によりガイドレール５１に沿ってディスク１０の
半径方向に表面清掃ヘッド３０を移動させる。

空気供給パイプ７０により表面清掃ヘッド３０に圧縮空
気を送り１表面清掃ヘッド３０と磁気ディスク１０の間
に静圧軸受を形成し、表面清掃ヘッド３０と磁気ディス
ク１０の間隔を微小かつ一定に保つ。

更に真空吸引パイプ８０により表面清掃ヘッド３０の中
央部から空気を吸引し、これにより磁気ディスク表面に
付着している塵埃を吸引除去する。

表面清掃ヘッド３０は、第２図に断面図を示す様に、磁
気ディスク１ｏの磁性面１２に対向して静圧浮上ポケッ
ト１１０および、真空吸引室１２０を持つ。保持アーム
２０からの加圧力および、真空吸引による吸引力と、静
圧浮上ポケット１１０に空気供給パイプ７０により供給
される空気圧による浮上刃との平衡位置で表面清掃ヘッ
ド３０は磁気ディスク１０上に保持され、上面に固定さ
れたジンバル保持バネ４０により水平方向の移動を固定
されている。

ディスク磁性面１２上の付着塵埃１３は、真空吸引室に
吸い寄せられ、真空吸引パイプ８０を通って外部に排出
され、真空吸引ポンプの排出部に設置した除塵フィルタ
に補足される。

表面清掃ヘッド３０は一辺１０ＩＩＩｍの正方形の同一
形状をした静圧浮上ポケット１１０を４ヶ持ちそれぞれ
の静圧浮上ポケット１１０は対応したオリフィス１１１
を介して空気供給パイプ７０と接続され、圧縮空気源か
ら減圧バルブによりゲージ圧１　ｋｇ／ａｍ２の圧力に
制御された空気を供給されている。

真空吸引室１２０は、表面清掃ヘッド３０の中央部に位
置し、幅５ｎ＋＋＋長さ２３ｍｍあり、２本の真空吸引
パイプ８０が接続され、真空ポンプにより０．９　気圧
になる様に吸引されている。

この状態で表面清掃ヘッド３０は磁気ディスク１０の磁
性膜１２の表面上に平均５μｍの高さで浮上し、磁気デ
ィスク１０の回転と移動台５０の半径方向移動により磁
気ディスク１０の全面を走査し、表面に付着している塵
埃を除去する。

表面付着ｆＩＩ埃量の測定はフレオン溶液を入ｊした超
音波洗浄槽中に回転軸に固定されたディスクの磁性膜を
付着させた記録部分を浸漬し、４　ｐ　ｐ　ｍで１回転
させた後のフレオン溶液中の１μｉ１１以上の塵埃量の
増加量により行なった。

従来の不織布による表面清掃では、フレオン２００ｃｃ
中に１μｍ以上の塵埃が約５００ケであったのに対し、
本実施例で清掃したディスクでは約１５０ケと３分の１
以下に低下した。

本実施例では大面積を持つ磁気ディスクに対する例で説
明を行なったが、表面清掃ヘット部の形状を小型化する
ことにより、小面積の表面の清（（）が可能であり、回
路パターン等の焼付けられた半導体回路基板の清掃が可
能であり、また表面清掃ヘッドの清掃面の曲率を被清掃
面と合わせることによりレーザ反射鏡等の高精度曲面の
清掃にも用いることが可能である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、表面に接触せずに表面付着ｇｑ埃を除
去できるため、非常に清浄な表面を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の実施例の概略図、第２図は。 本実施例の表面清掃ヘッドの断面図である。 １０・・・磁気ディスク、１１・・・基板、１２・・・
磁性膜。 １３・・・付着塵埃、１５・・・ディスク固定部、１６
・・・ディスク回転軸、２０・・・ヘッド保持アーム、
２１・・・ヘッド加圧バネ、３０・・・表面清掃ヘッド
、４０・・・ジンバル保持バネ、５０・・・移動台、５
１・・・移動レール、６０・・・移動モータ、７０・・
・空気供給パイプ、８０・・・真空吸引パイプ、１００
・・・ベース。 １１０・・・静圧浮上ポケット、１１１・・・オリフィ
ス。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、曲率一定の表面と清掃部分との間隔を一定にするた
   めの気体軸受部分と表面に付着している塵埃を吸引する
   ための真空吸引除塵部分とを持ち、気体軸受部分と真空
   吸引除塵部分とを一体として構成してなる清掃部分とを
   持つことを特徴とする表面清掃装置。