JPS6040275Y2

JPS6040275Y2 - 吸着固定装置

Info

Publication number: JPS6040275Y2
Application number: JP4756980U
Authority: JP
Inventors: 臣二関家
Original assignee: 株式会社デイスコ
Priority date: 1980-04-08
Filing date: 1980-04-08
Publication date: 1985-12-04
Also published as: JPS56151728U

Description

【考案の詳細な説明】本考案は、吸気作用によって被吸着部材を載台の吸着面
上に吸着固定するための吸着固定装置に関するものであ
る。

例えば集積回路を印設したシリコンウェハ＼に、マイク
ロメータ単位の精密加工を施したり、または精密な測定
をする場合などには、吸気作用によってそのシリコンウ
ェハを吸着固定する。

この固定方法として、従来は、上面に溝や孔を形成して
吸着する方法や中心に多孔質の物質を用い、その外縁を
通気性のない金属や合成樹脂で包囲して吸着する方法が
採用されていた。

しかし、前者は、吸着面に溝や孔などの凹凸部を形成す
るためシリコンウェハと吸着面との間に空隙部分ができ
、回転砥石刃で切断するときとか表面を研摩するときの
ようにウェハに力が働いたとき、ウェハが薄いため局部
的に、歪曲し、切断寸法に狂いか生じ加工精度を悪くし
たり、研摩後の表面に凹凸がそのままあられれたりする
という欠点があった。

特に、マイクロメータ単位の精度を要するウェハ切断に
おいては無視できないものである。

また、後者は吸着面を構成する物質とその外縁を構成す
る物質とが異なるので、熱膨張係数の相違や湿度による
変形度合の相違により吸着面に歪曲が生じ前者と略同様
の欠点があった。

さらに、中心と外周とが異種材質であるため、吸着面を
研摩するときに、研摩用の砥石や刃物等をいため易いと
いう欠点もあった。

また、外縁を合成樹脂とした場合は、載台を形成すると
きに、樹脂が多孔質内部を通って吸着面上に浮き出てき
たり、膨張率の違いにより吸着面に凹凸が生じたり、変
形したりするという欠点があった。

本考案は、上述のような欠点を改良するためになされた
もので、中心の吸着面を構成する吸着部と外周の縁部と
は同質の無機物であって吸着部は気孔率の大きなものを
用い、外縁部は無気孔か気孔率の小さなものを用いて形
成したものである。

つぎに本考案の一実施例として、ＩＣを印設したシリコ
ンウェハ１をダイヤモンド粒子の回転砥石刃２で超精密
に切断または溝入れを行う切断装置の場合について説明
する。

第１図において、回転砥石刃２は、ダイヤモンド粒子を
主体とした厚さ２０μｍ程度の円盤状で、回転軸３を中
心に高速で回転する。

被吸着部材たるシリコンウェハ１は、上面にＩＣやＬＳ
Ｉが所定の間隔で多数個囲設され、互いの境界部分の４
０〜５０μｍの切代部分が回転砥石刃２によって切断ま
たは溝入れされる。

４は前記ウェハ１を吸着固定するための載台で、この載
台４は中心の円盤状の吸着部５と外周の縁部６とがとも
に同質の無機物、例えば磁器質やガラス質を用いて一体
に構成され、上面はウェハ１を載せたとき密接して相互
間に空隙ができないように平担に研摩される。

前記吸着部５は、たとえばアランダム砥粒８＠程度の粗
い粒子を用いて、気孔率を大きくするように成型され、
この吸着部５の外縁のリング状の外縁部６も同様にアラ
ンダム砥粒が用いられるが、気密性をもたせるため、た
とえば５０幡位の細かい粒子を用いて成型され、これら
の吸着部５と外縁部６はたとえは同時焼結またはビトリ
ファイド接合剤で密着接合される。

また、これら吸着部５と外縁部６は使用目的に応じて、
通常０．５Ｔｒａｎ〜５０ｗ７１の厚さに成型される。

このようにして成型され、かつ吸着面を研摩した載台４
はパツキン７を介して基台８の係合凹部９に気密に取付
けられる。

また載台４と基台８との間には吸気用間隙１０が形成さ
れるとともに係合凹部９の下面中心点位置には吸気装置
（図示せず）に連通ずる吸気孔１１が穿設されている。

また、回転砥石刃２の切削個所に臨ませて、冷却および
切屑排除のために水を噴射するパイプ１２が設けられて
いる。

このような構成において、吸気装置により吸気すると、
載台４は吸気孔１１を介して間隙１０で吸引されて基台
８に固着される。

同時に気孔率の大きい吸着部５内部のエアを吸引するの
で、ウェハ１は載台４の上面に略一様な力で吸着固定さ
れる。

このとき、載台４の外縁部６は気孔率を小さく選定しで
あるので、ウェハ１への吸着作用は効果的になされる。

また、載台４の吸着部５と外縁部６は、同質の無機物と
しての例えばセラミックスからできているので、熱によ
る膨張変形や湿度による変形が殆んどなく、あっても材
質が同じであるので、境界域において段差などの変形を
生じない。

前記実施例では、載台４の吸着部５および外縁部６は磁
器質やガラス質などの無機物であるアランダム砥粒を成
型加工した場合を例として説明したが、本考案はこれに
限るものでなく、組成の粗密による熱膨張係数変化が小
さく、湿度による変形歪が小さいものであればよく、例
えば、カーポランダムなどを用いてもよい。

前記実施例では、載台４の吸着部５および外縁部６を構
成する物質の粒度を８幡および５０幡としたが、これに
限られるものではなく、被吸着部材の種類や吸気装置の
吸気能力等により適宜に選択することができるのは勿論
である。

本考案は上述のように構成したので、研削時の発熱等に
よる温度変化や湿度変化が起っても、載台４の吸着面、
特に吸着部５と外縁部６との境界域において、凹凸を生
ずることがなく、同一平面状態が維持される。

きたがって載台４とウェハ１との間に空隙部ができず、
このウェハ１を回転砥石刃２で切断するときのようにウ
ェハ１に力が加わる場合に、ウェハ１が部分的に歪曲す
ることがない。

また、載台４の吸着部５および外縁部６は同質の無機物
で構成されているので、回転砥石刃２等を損傷すること
がないばかりか、再研摩時にも研摩用の刃物をいためず
、しかも平滑な吸着面を再生できる。

さらに、吸着部５と外縁部６との接合をビトリファイド
結合剤で行うようにした場合には、接合部は、吸湿、乾
燥による膨張、収縮が殆んどなく、熱変化にも強く、し
かも切削液、洗浄剤による質的劣化も起こさないから、
エアー漏れを有効に防ぐことができ、吸着作用がより効
果的となる。

【図面の簡単な説明】

図は本考案による吸着固定装置の一実施例を示すもので
、第１図は切断装置に応用した場合の縦断面図、第２図
は載台の平面図である。１・・・・・・シリコンウェハ、２・・・・・・回転砥
石刃、３・・・・・・回転軸、４・・・・・・載台、５
・・・・・・吸着部、６・・・・・・外縁部、７・・・
・・・パツキン、８・・・・・・基台、９・・・・・・
係合凹部、１０・・・・・・間隙部、１１・・・・・・
吸気孔。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

（１）吸着部をその外縁部で包囲してなる載台の吸着面
上に、被吸着部材を載置し吸気作用によって吸着固定す
るものにおいて、前記吸着部および外縁部は同質の無機物を用いかつ吸着
部は組織を粗にして気孔率を大きく、外縁部は組織を密
にして無気孔か気孔率を小さく形成してなることを特徴
とする吸着固定装置。
（２）吸着部および外縁部を構成する同質の無機物は、
粒度の異なるアランダム砥粒を成型加工してなる実用新
案登録請求の範囲第１項記載の吸着固定装置。
（３）吸着部と外縁部は焼結またはビトリファイド結合
剤で接合してなる実用新案登録請求の範囲第１項または
第２項記載の吸着固定装置。