JP2020078832A - ポーラスチャックテーブル及びポーラスチャックテーブルの製造方法 - Google Patents
ポーラスチャックテーブル及びポーラスチャックテーブルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020078832A JP2020078832A JP2018212064A JP2018212064A JP2020078832A JP 2020078832 A JP2020078832 A JP 2020078832A JP 2018212064 A JP2018212064 A JP 2018212064A JP 2018212064 A JP2018212064 A JP 2018212064A JP 2020078832 A JP2020078832 A JP 2020078832A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous
- porous plate
- chuck table
- workpiece
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 63
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 57
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 44
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 7
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 20
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 58
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 19
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット載置台
8 カセット
10 X軸移動テーブル
11 ウェーハ(被加工物)
11a 表面
11b 裏面
11c 切削溝
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
14a 保持面
14b 枠体
14b1 凹部
14b2 底部
14b3 環状部
14b4 上面
14c ポーラスプレート
14c1 密ポーラス部
14c1A 円盤部
14c1B 円柱部
14c2 粗ポーラス部
14d 第1の吸引路
14e 第2の吸引路
14f テーブル基台
14g 電磁バルブ
14h 吸引源
14i 表面
14j 裏面
14k 側面
14l 境界
14m 気孔
A 隙間
O 中心
D1、D3 直径
W2 幅
15 デバイス
16 搬送装置
17 切り欠き部
18 第1の支持構造
20 第1のレール
22 第1の昇降ユニット
24 第1の搬送ユニット
26 第2のレール
28 第2の昇降ユニット
30 第2の搬送ユニット
32 第2の支持構造
34 移動ユニット
36 切削ユニット
38a 切削ブレード
38b 切削液供給部
38c 切削液
38d 使用済切削液
40 洗浄ユニット
52 第1の成形体
52a 第1の砥粒(第1の粒状物質)
52b 気孔形成材
52c 結合材
52d 矢印
54 第2の成形体
54a 第2の砥粒(第2の粒状物質)
54b 気孔形成材
54c 矢印
54d ベース部
60 電気炉
62a 容器
62b 蓋部
70 研削ユニット
72 スピンドル
74 ホイールマウント
76 研削ホイール
78a ホイール基台
78b 研削砥石
80 チャックテーブル
80a 保持面
82 流路
84 保護テープ
86 電磁バルブ
88 吸引手段
90 円筒研磨装置
92 円筒砥石
94a、94b 回転挟持部
96a、96b 押圧部
98a、98b 回転部
Claims (3)
- 被加工物に液体を供給しつつ切削ブレードで該被加工物を切削する切削装置に設けられる、該被加工物を吸引保持するためのポーラスチャックテーブルであって、
該被加工物が載置される保持面と、該保持面とは反対側に位置する裏面と、該保持面と該裏面とを接続する側面とを有するポーラスプレートと、
該ポーラスプレートの該側面を囲み、該ポーラスプレートの該裏面を覆う枠体と、
該枠体に設けられ、吸引源に接続し該ポーラスプレートに負圧を作用させるための吸引路と、を備え、
該ポーラスプレートは、
該側面側に位置する粗ポーラス部と、
該粗ポーラス部によって側方を囲まれた密ポーラス部と、
を有し、
該ポーラスプレートの該保持面において、該粗ポーラス部の気孔の大きさの平均は、該密ポーラス部の気孔の大きさの平均よりも大きいことを特徴とするポーラスチャックテーブル。 - 該密ポーラス部は、該ポーラスプレートの該保持面側の中央領域の凹部に設けられており、該ポーラスプレートの該裏面には達していないことを特徴とする請求項1記載のポーラスチャックテーブル。
- 被加工物に液体を供給しつつ切削ブレードで該被加工物を切削する切削装置に設けられる、該被加工物を吸引保持するためのポーラスチャックテーブルの製造方法であって、
第1の粒径の粒状物質と、第2の粒径の気孔形成材と、結合材とを圧縮成形して、円盤状の第1の成形体を形成する段階と、
該第1の成形体と、第3の粒径の粒状物質と、該第2の粒径よりも大きい径を有する第4の粒径の気孔形成材と、該結合材とを圧縮成形して、該第1の成形体よりも大きな径を有する円盤状の第2の成形体を形成する段階と、
該第2の成形体を焼成してポーラスプレートを形成する焼成段階と、
該焼成段階後の該ポーラスプレートの両面及び側面を研削する第1の研削段階と、
金属で形成された枠体の凹部に該第1の研削段階後の該ポーラスプレートを接着させて固定する接着段階と、
該接着段階後に、該枠体の上面から突出している該ポーラスプレートの表面を研削して、該ポーラスプレートを薄くする第2の研削段階と、
を備えることを特徴とするポーラスチャックテーブルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018212064A JP2020078832A (ja) | 2018-11-12 | 2018-11-12 | ポーラスチャックテーブル及びポーラスチャックテーブルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018212064A JP2020078832A (ja) | 2018-11-12 | 2018-11-12 | ポーラスチャックテーブル及びポーラスチャックテーブルの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020078832A true JP2020078832A (ja) | 2020-05-28 |
Family
ID=70801260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018212064A Pending JP2020078832A (ja) | 2018-11-12 | 2018-11-12 | ポーラスチャックテーブル及びポーラスチャックテーブルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020078832A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114800119A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-07-29 | 洛阳天久科技有限公司 | 一种锅具的自动修磨装置 |
WO2023106859A1 (ko) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | 주식회사 기공기술 | 진공 척 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56151728U (ja) * | 1980-04-08 | 1981-11-13 | ||
JPH11309638A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Kyocera Corp | 真空吸着盤 |
JP2006062898A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 金属−セラミックス複合構造体およびその製造方法 |
JP2009224402A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Taiheiyo Cement Corp | 真空吸着装置 |
JP2011009424A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保持テーブルアセンブリ及び保持テーブルの製造方法 |
JP2011044472A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研削装置 |
JP2012178447A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Kyocera Corp | 吸着用部材 |
-
2018
- 2018-11-12 JP JP2018212064A patent/JP2020078832A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56151728U (ja) * | 1980-04-08 | 1981-11-13 | ||
JPH11309638A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Kyocera Corp | 真空吸着盤 |
JP2006062898A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 金属−セラミックス複合構造体およびその製造方法 |
JP2009224402A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Taiheiyo Cement Corp | 真空吸着装置 |
JP2011009424A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保持テーブルアセンブリ及び保持テーブルの製造方法 |
JP2011044472A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研削装置 |
JP2012178447A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Kyocera Corp | 吸着用部材 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023106859A1 (ko) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | 주식회사 기공기술 | 진공 척 |
CN114800119A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-07-29 | 洛阳天久科技有限公司 | 一种锅具的自动修磨装置 |
CN114800119B (zh) * | 2022-04-08 | 2024-02-27 | 洛阳天久科技有限公司 | 一种锅具的自动修磨装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5461104B2 (ja) | 保持テーブルおよび研削装置 | |
JP2011135026A (ja) | ワークユニットの保持方法および保持機構 | |
JP2013244537A (ja) | 板状物の加工方法 | |
JP4336340B2 (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
KR20200006013A (ko) | 포러스 척 테이블, 포러스 척 테이블의 제조 방법, 및 가공 장치 | |
JP2020078832A (ja) | ポーラスチャックテーブル及びポーラスチャックテーブルの製造方法 | |
JP7350438B2 (ja) | チャックテーブル及びチャックテーブルの製造方法 | |
JP2011249499A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6999322B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP6045926B2 (ja) | 研削研磨装置 | |
US20200391337A1 (en) | Grinding apparatus and use method of grinding apparatus | |
JP7313775B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
TW202147489A (zh) | 晶圓的加工方法、保護構件貼附裝置及加工裝置 | |
JP2021044330A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2021191598A (ja) | 被加工物の研削方法及び研削装置 | |
CN112420608A (zh) | 多个器件芯片的制造方法 | |
CN110867398B (zh) | 卡盘工作台和晶片的加工方法 | |
JP2020096044A (ja) | 被加工物の加工方法および樹脂シートユニット | |
JP7321649B2 (ja) | 研削方法 | |
JP2022142511A (ja) | ポーラスチャックテーブル | |
JP2012039039A (ja) | 加工方法 | |
JP7187113B2 (ja) | 再生ウェーハの製造方法 | |
TW202322234A (zh) | 封裝元件的製造方法 | |
CN106409761A (zh) | 被加工物的加工方法 | |
CN116100385A (zh) | 被加工物的磨削方法和磨削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220818 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20221206 |