JP2006062898A - 金属−セラミックス複合構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多孔質焼結体の細孔に、金属を含浸させることにより形成された金属−セラミックス複合体からなり、その少なくとも表面に1箇所以上の凹部が形成された第1部材と、前記第1部材の凹部の少なくとも1箇所に、金属層を介して接合されたセラミックス緻密体からなる第2部材とから構成された金属−セラミックス複合構造体とする。
【選択図】図1
Description
2:第1部材
3:金属層
4:第2部材
4a:第2部材の接合面
4b:第2部材の接合面以外の表面
5:固定ネジ
6:金属板
7:位置決め用突起
8:空隙部
Claims (14)
- 多孔質焼結体の細孔に、金属を含浸させることにより形成された金属−セラミックス複合体からなり、その表面に1箇所以上の凹部が形成された第1部材と、前記第1部材の凹部の少なくとも1箇所に、金属層を介して接合されたセラミックス緻密体からなる第2部材とから構成された金属−セラミックス複合構造体。
- 前記第1部材と第2部材の室温から400℃における熱膨張係数差の絶対値が7×10−6/℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記多孔質焼結体がβ窒化珪素を主成分とするセラミックスからなることを特徴とする請求項1または2に記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記多孔質焼結体の平均細孔径が7μm未満であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記第2部材を構成するセラミックス緻密体が窒化珪素、炭化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、ジルコニア、ステアタイト、フォルステライト、ムライトのうちのいずれか1種以上を主成分とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記第1部材の熱伝導率が60W/m・K以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記第1部材の体積固有抵抗値が1×10−5Ω・cm以下であり、かつ第2部材が1×105Ω・cm以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記多孔質焼結体にPの含有量がP2O3換算で600ppm以下、Kの含有量がK2O換算で200ppm以下、Caの含有量がCaO換算で2000ppm以下、Feの含有量がFe2O3換算で500ppm以下、Niの含有量がNiO換算で500ppm以下、Cuの含有量がCuO換算で1000ppm以下、Znの含有量がZnO換算で1000ppm以下、Gaの含有量がGa2O3換算で400ppm以下、Yの含有量がY2O3換算で200ppm以下であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記多孔質焼結体は、累積気孔径分布における75体積%と25体積%の位置の気孔径の比が2以下であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記金属層が多孔質焼結体中に含浸させた金属と同材質であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記金属層がアルミニウムまたはアルミニウムを含む合金からなることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記金属層の厚みを0.1〜10mmとしたことを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 前記第2部材において、第1部材と接合される接合面の表面粗さ(Ra)が10μm以上、接合面以外の表面粗さ(Ra)を10μm未満としたことを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体。
- 請求項1乃至13のいずれかに記載の金属−セラミックス複合構造体の製造方法であって、前記多孔質焼結体が有する凹部にセラミックス緻密体からなる第2部材を遊嵌して耐圧容器内に投入し、500〜700℃に加熱溶融した金属を該耐圧容器内に注入する工程と、ピストンにより耐圧容器内に30MPa以上の圧力を付与して、前記多孔質焼結体の細孔に溶融金属を含浸させて第1部材の前駆体を形成し、該第1部材の前駆体と第2部材の間隙に溶融金属を圧入する工程と、前記溶融金属を冷却して、前記第1部材を得、且つ該第1部材と前記第2部材を前記溶融金属からなる金属層を介して接合する工程とからなることを特徴とする金属−セラミックス複合構造体の製造方法。
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