JP4596855B2 - 金属−セラミックス複合構造体およびこれからなるプラズマ発生用電極部材 - Google Patents
金属−セラミックス複合構造体およびこれからなるプラズマ発生用電極部材 Download PDFInfo
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Description
側壁に対向する前記第2部材の側面との間に介在する、アルミニウムまたはアルミニウムを含む合金が含浸されてなる金属層により接合されている金属−セラミックス複合構造体であることを特徴とする。
後、所定寸法に調整されたプレス成形装置の金型内に前記造粒粉体を充填し、プレス成形することにより所定寸法の成形体を得て、これを窒素ガス雰囲気に調整された焼成炉にて1700〜1900℃の温度で焼成することによってβ窒化珪素を主成分とするセラミックス多孔質焼結体が得られる。
、研磨加工で取り除き、本発明の金属−セラミックス複合構造体の実施例である試料No.1〜12を製造した。
2:第1部材
3:金属層
4:第2部材
4a:第2部材の接合面
4b:第2部材の接合面以外の表面
5:固定ネジ
6:金属板
7:位置決め用突起
8:空隙部
Claims (2)
- β窒化珪素を主成分とする多孔質焼結体の細孔に、溶融させたアルミニウムまたはアルミニウムを含む合金を含浸させることにより形成された金属−セラミックス複合体からなり、その表面に1箇所以上の凹部が形成された第1部材と、該第1部材の凹部内に配置される、窒化珪素,酸化アルミニウムまたはコージェライトのうちのいずれか1種を主成分とするセラミックス緻密体からなる第2部材とが、前記第1部材の凹部の底面と該底面に対向する前記第2部材の下面との間および前記第1部材の凹部の側壁と該側壁に対向する前記第2部材の側面との間に介在する、アルミニウムまたはアルミニウムを含む合金が含浸されてなる金属層により接合されていることを特徴とする金属−セラミックス複合構造体。
- 請求項1に記載の金属−セラミックス複合構造体からなることを特徴とするプラズマ発生用電極部材。
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