JP7353714B2 - 研削方法 - Google Patents
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Description
4 研削装置
6 チャックテーブル(第1の保持テーブル,第2の保持テーブル)
6a 枠体
6b 多孔質プレート
6c 保持面(第1の保持面,第2の保持面)
6c1 端部、
6c2 中心
6d 回転軸
6e 一部
6f 直線
8 テーブル基台
10 傾き調整機構
10a 固定支持部材
10b 可動支持部材
12 研削ユニット
14a スピンドルハウジング
14b 回転軸
16 ホイールマウント
18 研削ホイール
18a ホイール基台
18b 下面(一面)
18c 研削砥石
18d 下面
18e 研削面
20 チャックテーブル
20a 枠体
20b 多孔質プレート
20c 保持面
20d 回転軸
11 ワーク
11a 第1面
11b 第2面
A 反り量
B 平面
C 突出量
Claims (2)
- 反りを有する板状のワークの凸状の第1面と凹状の第2面とを、円環状のホイール基台と該ホイール基台の一面側に環状に配置された砥石部とを有する研削ホイールの該砥石部で研削する研削方法であって、
外周部から中央部に向かうにつれて上方に突出する凸形状を有する第1の保持面を有する円盤状の第1の保持テーブルにおける該第1の保持面の該外周部に対する該中央部の突出量と、該第1の保持面で保持されていないときの該ワークの反り量との差の絶対値が、該ワークの反り量の許容値以下となる該突出量を有する該第1の保持面で該ワークの該第2面側を保持する第1の保持ステップと、
該砥石部の下面で規定される研削面を該ワークに接触させた場合に該研削面が、該第1の保持面の該中央部上に位置する該ワークの中央部に接触し該第1の保持面の該外周部上に位置する該ワークの外周部に接触しない様に、該第1の保持テーブルの回転軸の傾きを調整する第1の傾き調整ステップと、
該第1の保持ステップ及び該第1の傾き調整ステップの後、該第1の傾き調整ステップで調整した該第1の保持テーブルの回転軸の傾きを維持した状態で、該ワークの該第1面側を研削する第1の研削ステップと、
該第1の研削ステップの後、該ワークを該第1の保持テーブルから取り外し、該第1の研削ステップで研削された該第1面側を、円盤状の第2の保持テーブルの第2の保持面で保持する第2の保持ステップと、
該第2の保持面のうち該砥石部と該ワークとの接触領域の下方に位置する一部が、該研削面と平行になる様に、該第2の保持テーブルの回転軸の傾きを調整する第2の傾き調整ステップと、
該第2の保持ステップ及び該第2の傾き調整ステップの後、該第2の傾き調整ステップで調整した該第2の保持テーブルの回転軸の傾きを維持した状態で、該ワークの該第2面側を研削する第2の研削ステップと、を備え、
該ワークは、セラミックス粒子の圧縮成形及び焼成を経て形成されたポーラス板であることを特徴とする研削方法。 - 該第1の保持面及び該第2の保持面は、それぞれ円錐状であり、
該第1の傾き調整ステップでは、該第1の保持テーブルの該回転軸と、該研削面と、が直交する様に、該第1の保持テーブルの回転軸の傾きを調整し、
該第2の傾き調整ステップでは、該第2の保持テーブルの該第2の保持面の一部が該研削面と平行になる様に、該第2の保持テーブルの該回転軸の傾きを調整することを特徴とする請求項1に記載の研削方法。
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JP2021062459A JP2021062459A (ja) | 2021-04-22 |
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Citations (5)
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Family Cites Families (1)
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JPH09262762A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Naoetsu Seimitsu Kako Kk | 薄板の面加工方法および面加工装置 |
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2019
- 2019-10-16 JP JP2019189676A patent/JP7353714B2/ja active Active
Patent Citations (5)
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