JP2015054256A - 清掃装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】清掃対象物92と対向する平坦な底面11を有し、清掃対象物92の超音波振動によって清掃対象物92上で浮上するパッド部2と、パッド部2の上面との間およびパッド部2の側面との間に隙間24を有しながらパッド部2の上面および側面を覆うカバー部3と、カバー部3に接続され、パッド部2とカバー部3との隙間の気体を吸引する吸引手段4と、を備え、カバー部3の下端部27とパッド部2の側面との間には開口部28が形成され、当該下端部27は、パッド部2の底面11よりも高い位置にある。
【選択図】図3
Description
2 パッド部
3 カバー部
4 吸引手段
11 底面
12 貫通孔
21 天板
22 側板
23 連結部材
24 隙間
25 配管接続口
26 配管
27 下端部
28 開口部
90 浮上搬送熱処理装置
91 基板浮上装置
92 振動板
93 超音波発生部
94 加熱装置
95 異物
96 異物
W 基板
Claims (2)
- 清掃対象物と対向する平坦な底面を有し、前記清掃対象物の超音波振動によって前記清掃対象物上で浮上するパッド部と、
前記パッド部の上面との間および前記パッド部の側面との間に隙間を有しながら前記パッド部の上面および側面を覆うカバー部と、
前記カバー部に接続され、前記パッド部と前記カバー部との隙間の気体を吸引する吸引手段と、
を備え、
前記カバー部の下端部と前記パッド部の側面との間には開口部が形成され、当該下端部は、前記パッド部の底面よりも高い位置にあることを特徴とする、清掃装置。 - 前記パッド部は、前記パッド部の上面もしくは側面と底面とを貫通する貫通孔を有し、前記吸引手段は、前記貫通孔を経由して前記パッド部の底面近傍の気体も吸引することを特徴とする、請求項1に記載の清掃装置。
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