JP2011249773A - 位置保持装置 - Google Patents
位置保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011249773A JP2011249773A JP2011088993A JP2011088993A JP2011249773A JP 2011249773 A JP2011249773 A JP 2011249773A JP 2011088993 A JP2011088993 A JP 2011088993A JP 2011088993 A JP2011088993 A JP 2011088993A JP 2011249773 A JP2011249773 A JP 2011249773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- holding device
- electromagnetic clutch
- position holding
- fixing member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/18—Handling of layers or the laminate
- B32B38/1825—Handling of layers or the laminate characterised by the control or constructional features of devices for tensioning, stretching or registration
- B32B38/1833—Positioning, e.g. registration or centering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
- B32B2309/60—In a particular environment
- B32B2309/68—Vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2457/00—Electrical equipment
- B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
- B32B2457/202—LCD, i.e. liquid crystal displays
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係る位置保持装置は、ワークを支持する支持部材と、所定の位置に固定された固定部材と、前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、を備え、前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定される。
【選択図】図3
Description
10,301 固定部材
12 固定孔
14 ガイド孔
16 ワッシャー
162 錐状の貫通孔
20 ガイド部材
22 ヘッド部
221 端面
223,32,82 ねじ孔
24 軸部
30,303 支持部材
31 支持面
34 装着孔
40 連結部材
41 第一連結端
43 第二連結端
50,305 第一電磁クラッチ
60,306 吸着部材
70 フレキシブルチューブ
72 管体
74 接続端
76 シールリング
80 接続部材
90 第二電磁クラッチ
200 真空密閉カバー
Claims (9)
- ワークを支持する支持部材と、
所定の位置に固定された固定部材と、
前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、
前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、
を備え、
前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定されることを特徴とする位置保持装置。 - 位置保持装置は、接続部材及びガイド部材をさらに備え、
前記固定部材には、ガイド孔が開設され、
前記ガイド部材の一端は、前記支持部材に固定され、前記ガイド部材の他端は、前記ガイド孔を貫いて前記接続部材に固定され、
前記第一電磁クラッチは、前記固定部材の前記接続部材に対向する片側に固定され、
前記吸着部材は、前記第一電磁クラッチに対向するように前記接続部材に固定されることを特徴とする請求項1に記載の位置保持装置。 - 位置保持装置は、前記固定部材のガイド孔に収容されるワッシャーをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の位置保持装置。
- 前記ワッシャーには、前記ガイド部材が貫通するための円錘状の貫通孔が開設され、
前記ガイド部材は、ヘッド部及び前記ヘッド部に固定されている軸部を備え、前記ヘッド部は、円錐台状であり、且つ前記ヘッド部材の面取り角度と前記円錐状の貫通孔の面取り角度とが同じであることを特徴とする請求項3に記載の位置保持装置。 - 前記位置保持装置は、前記固定部材と前記第一電磁クラッチとの間に設置される連結部材をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の位置保持装置。
- 前記位置保持装置は、両端がそれぞれ前記固定部材及び前記接続部材に固定されるフレキシブルチューブをさらに備え、前記フレキシブルチューブは、前記ガイド部材の軸部を囲んで設けられることを特徴とする請求項2に記載の位置保持装置。
- 前記フレキシブルチューブは、管体と、前記管体の両端に位置し且つ前記固定部材及び接続部材にそれぞれに固定される2つの接続端と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の位置保持装置。
- 前記フレキシブルチューブの接続端と前記固定部材及び前記連結部材との間には、全てシールリングが設置されていることを特徴とする請求項7に記載の位置保持装置。
- 前記位置保持装置は、前記接続部材の前記吸着部材から離れている側に固定される第二電磁クラッチをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の位置保持装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201010179201.4 | 2010-05-21 | ||
CN201010179201.4A CN102248746B (zh) | 2010-05-21 | 2010-05-21 | 位置保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011249773A true JP2011249773A (ja) | 2011-12-08 |
JP6014927B2 JP6014927B2 (ja) | 2016-10-26 |
Family
ID=44971852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011088993A Expired - Fee Related JP6014927B2 (ja) | 2010-05-21 | 2011-04-13 | 位置保持装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8720878B2 (ja) |
JP (1) | JP6014927B2 (ja) |
CN (1) | CN102248746B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9833697B2 (en) | 2013-03-11 | 2017-12-05 | Immersion Corporation | Haptic sensations as a function of eye gaze |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104701228A (zh) * | 2013-12-05 | 2015-06-10 | 李建金 | 一种改进型uvw工作平台 |
CN105479189A (zh) * | 2016-01-13 | 2016-04-13 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 多维调整台 |
CN108162085A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-06-15 | 苏州梅香雅筑工艺品有限公司 | 一种扇子加工用钻孔装置 |
CN109128886A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-01-04 | 嘉科(安徽)密封技术有限公司 | 一种离合器罩盖车边夹具 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61154637U (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-25 | ||
JPH02283021A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-20 | Toshiba Corp | 半導体ウェーハ保持装置 |
JP2006126879A (ja) * | 2006-02-10 | 2006-05-18 | Advanced Display Inc | 液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置 |
JP2006135113A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | デバイスウエハの真空チャックシステムおよびそれを用いてデバイスウエハ裏面を研磨する方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5094311A (en) * | 1991-02-22 | 1992-03-10 | Gmfanuc Robotics Corporation | Limited mobility transporter |
JP2000061757A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-02-29 | Howa Mach Ltd | ワ−ク固定治具 |
JP3751558B2 (ja) * | 2001-12-17 | 2006-03-01 | 東京パーツ工業株式会社 | ディスククランプ機構 |
CN1786808B (zh) * | 2004-12-11 | 2010-10-06 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 光学自动对焦装置 |
JP2006218567A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Nissan Motor Co Ltd | ワーク位置決め装置 |
CN100386180C (zh) * | 2005-05-24 | 2008-05-07 | 亚洲光学股份有限公司 | 精密定位夹具 |
-
2010
- 2010-05-21 CN CN201010179201.4A patent/CN102248746B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-29 US US12/981,465 patent/US8720878B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-04-13 JP JP2011088993A patent/JP6014927B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61154637U (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-25 | ||
JPH02283021A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-20 | Toshiba Corp | 半導体ウェーハ保持装置 |
JP2006135113A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | デバイスウエハの真空チャックシステムおよびそれを用いてデバイスウエハ裏面を研磨する方法 |
JP2006126879A (ja) * | 2006-02-10 | 2006-05-18 | Advanced Display Inc | 液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9833697B2 (en) | 2013-03-11 | 2017-12-05 | Immersion Corporation | Haptic sensations as a function of eye gaze |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8720878B2 (en) | 2014-05-13 |
CN102248746A (zh) | 2011-11-23 |
JP6014927B2 (ja) | 2016-10-26 |
US20110285068A1 (en) | 2011-11-24 |
CN102248746B (zh) | 2014-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6014927B2 (ja) | 位置保持装置 | |
JP4850207B2 (ja) | 垂直蒸着型マスクの製造装置及びこれを用いた垂直蒸着型マスクの製造方法 | |
TWI471971B (zh) | Substrate holding member, substrate bonding apparatus, laminated substrate manufacturing apparatus, substrate bonding method, laminated substrate manufacturing method, and laminated semiconductor device manufacturing method | |
JP3782523B2 (ja) | 基板吸着部材および装置 | |
JP2009010072A (ja) | 基板貼付装置 | |
JP6442994B2 (ja) | マスク吸着装置 | |
JP2007200914A (ja) | 部品実装ヘッドおよび部品実装装置 | |
JP2013184281A (ja) | 真空吸着ノズル | |
US20210335640A1 (en) | Holding device for holding a carrier or a component in a vacuum chamber, use of a holding device for holding a carrier or a component in a vacuum chamber, apparatus for handling a carrier in a vacuum chamber, and vacuum deposition system | |
JP2005258325A (ja) | 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法 | |
TW202040709A (zh) | 毛細管導引裝置以及打線接合裝置 | |
TWI459499B (zh) | 位置保持裝置 | |
KR102501606B1 (ko) | 기판 박리 장치, 기판 처리 장치, 및 기판 박리 방법 | |
CN104661159A (zh) | 扬声器 | |
JPH08290382A (ja) | 吸着装置及び搬送装置 | |
JP2010147246A (ja) | 部品実装装置及び部品実装方法 | |
JP2014050940A (ja) | ロボットハンド及び搬送装置 | |
CN110753669B (zh) | 固定方法、固定装置和贴合机 | |
JP2014220313A (ja) | 吸着ツール及び部品実装装置 | |
JP2003023060A (ja) | 吊り下げ型基板保持装置および液晶パネル製造装置 | |
JP2011165702A (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
WO2019090627A1 (zh) | 曲面贴合设备和曲面贴合方法 | |
KR102498153B1 (ko) | 기판 보유지지 부재, 기판 보유지지 장치, 기판 처리 장치, 기판 보유지지 방법, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 | |
KR102498151B1 (ko) | 기판 보유지지 장치, 기판 처리 장치, 기판 보유지지 방법, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 | |
JP4985667B2 (ja) | 基板保持装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140401 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150323 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160324 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160808 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160907 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160907 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6014927 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |