TWI459499B - 位置保持裝置 - Google Patents
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Description
本發明涉及一種位置保持裝置。
製造液晶顯示器或者觸控面板之過程中,會將兩塊玻璃板進行貼合,常採用專用之真空貼合設備來進行貼合。於真空貼合設備中,通常採用成像系統與X/Y/θ自動對位系統配合對兩塊玻璃板之位置進行校正,使玻璃板工件即可沿X軸及Y軸方向平動,又可沿θ軸方向轉動以使二玻璃板完全對準。然而,現有真空貼合設備於後續作業中不能對工件位置進行保持,仍需要依靠成像系統與X/Y/θ自動對位系統配合定位,給後續作業造成較大不便。
有鑑於此,有必要提供一種使工件定位後能保持位置之位置保持裝置。
一種位置保持裝置,其包括用於承載工件之承載台、固定件、第一電磁離合器及吸附件,固定件位置固定,第一電磁離合器固定於固定件及承載台其中之一,吸附件連接至固定件及承載台其中之另一且朝向第一電磁離合器,藉由第一電磁離合器通電以使第一電磁離合器吸引吸附件以將承載台固定至固定件。
該位置保持裝置,藉由設置固定件、第一電磁離合器及吸附件,使承載台位置調整結束後,對第一電磁離合器通電使其吸引吸附件,從而將承載台固定至固定件,由於固定件位置固定,從而承載台位置亦被固定,方便後續作業。
下面以具體實施方式並結合附圖對本發明實施方式提供之位置保持裝置作進一步詳細說明。
請參閱圖1與圖2,本發明第一實施方式之位置保持裝置100包括固定件10、導向件20、承載台30、轉接件40、第一電磁離合器50、吸附件60、波紋管70、連接件80及第二電磁離合器90。
請一併參閱圖3,固定件10大體為板狀,其上開設有固定孔12及導向孔14。固定孔12位於固定件10一端,用於將固定件10固定至一固定物體(例如,應用位置保持裝置100之真空貼合設備之機台)上使得該固定件10之位置固定不變。導向孔14為階梯孔,其垂直固定件10延伸且貫穿固定件10。本實施方式中,導向孔14之數量為四。每一導向孔14直徑較大之一端內設有一墊片16。墊片16開設有錐形孔162。
導向件20包括頭部22及桿部24。頭部22大體為圓台狀。其直徑較大之一端具有端面221。端面221上開設有螺孔223。桿部24大體為圓柱狀,自頭部22較小一端垂直端面221延伸。頭部22之錐度與錐形孔162之錐度相同。本實施方式中,導向件20之數量為四。
承載台30大體為方形板狀,其具有承載面31,承載面31上開設有分別與四導向孔14位置對應之四螺孔32。承載台30上還開設有複數裝配孔34,以將工件或固定工件之治具固定至承載台30。
轉接件40大體為柱狀,其具有第一轉接端41及與第一轉接端相隔預定距離之第二轉接端43。第一轉接端41用於與固定件10固定。
第一電磁離合器50設於轉接件40之第二轉接端43。
吸附件60大體為圓環狀,其由鐵磁性材質製成或為電磁鐵,可被第一電磁離合器50吸附。
波紋管70包括管體72、分別位於管體72之兩端之連接頭74及密封圈76。密封圈76設於連接頭74遠離管體72之一端。本實施方式中,波紋管70之數量為四,四波紋管70之一端之連接頭74均固定於固定件10遠離墊片16之一側且分別對準四導向孔14。管體72由不銹鋼材質製成。
連接件80大體為方向之板狀,其上開設有複數螺孔82。
第二電磁離合器90可將連接件80與對位系統(圖未示)連接。
組裝時,首先將轉接件40之第一轉接端41固定至固定件10遠離墊片16之一側,第一電磁離合器50固定至轉接件40之第二轉接端43。將波紋管70之一端之連接頭74固定至固定件10,使波紋管70與第一電磁離合器50位於固定件10之同一側且四波紋管70分別對準四導向孔14,此時密封圈76位於連接頭74及固定件10之間以使波紋管70與固定件10之間具有較佳之氣密性。將波紋管70之另一連接頭74固定至連接件80之一側。使用螺釘(圖未示)與螺孔82螺合將吸附件60固定至連接件80使其與波紋管70位於連接件80同側,將第二電磁離合器90固定至連接件80之另一側。將四導向件20之桿部24分別自四墊片16之錐形孔162插入波紋管70內並抵持連接件80,使用螺釘(圖未示)將桿部24遠離頭部22之一端固定至連接件80,此時頭部22收容於錐形孔162。使用螺釘(圖未示)與螺孔223及螺孔32螺合將承載台30固定至四導向件20,使端面221抵持承載台30。
請一併參閱圖4,使用時,將固定件10之位置固定,使得承載面31垂直於Z軸方向,將工件(圖未示)固定至承載台30之承載面31。啟動第二電磁離合器90以將連接件80連接至對位系統,對位系統帶動連接件80進而帶動承載台30進行X/Y/θ位置校正,對承載台30位置進行微調,校正結束後,固定於承載台30上之工件於X/Y/θ方向之位置確定。此時啟動第一電磁離合器50,對位系統帶動連接件80沿Z軸靠近固定件10,波紋管70壓縮直至固定至連接件80上之吸附件60被第一電磁離合器50吸附以將連接件80固定至固定件10,此時藉由導向件20固定至連接件80之承載台30之位置不可改變。第二電磁離合器90斷電,使連接件80脫離對位系統。此時,工件於X/Y/θ方向之位置固定。
請參閱圖5,將該位置保持裝置100應用於真空貼合設備(圖未示)時,該真空貼合設備之真空罩200罩至承載台30且與固定件10遠離該波紋管70之一側表面貼合,以使固定至承載台30工件處於真空狀態,波紋管70兩端分別連接至固定件10及連接件80,可防止外部氣體由導向孔14進入真空罩200。
藉由設置固定件10、第一電磁離合器50及吸附件60,使承載台30對位後固定至位置固定之固定件10,從而承載台30之位置亦被固定,方便後續加工。藉由設置第二電磁離合器90、連接件80及導向件20,使得承載台30可方便之連接並固定至對位系統。藉由設置波紋管70,使得位置保持裝置100可應用於真空貼合設備。
可理解,波紋管70可省卻,此時位置保持裝置100應用於其他非真空環境即可。第二電磁離合器90可省卻,此時使用機械夾等將連接件80連接至對位系統即可。轉接件40亦可省卻,此時將第一電磁離合器50直接固定至固定件10,調節波紋管70及導向件20之長度,使第一電磁離合器50及吸附件60之間距離合適即可。
請參閱圖6,本發明第二實施方式之位置保持裝置300包括固定件301、與固定件301相間隔之承載台303、固定至固定件301鄰近承載台303之一側之第一電磁離合器305及固定至承載台303鄰近固定件301一側之吸附件306。吸附件306遠離承載台303之一端與第一電磁離合器305遠離固定件301之一端貼合。使用時,使對位系統(圖未示)直接連接至承載台303對承載台303進行位置校正,校正後對第一電磁離合器305通電,使承載台303固定至固定件301。亦可先對第一電磁離合器305通以較小之電流使其與吸附件306之間保持較小之吸引力使承載台303相對固定件301位置可調以方便對位系統對承載台303進行位置校正,當位置校正後對第一電磁離合器305通以較大電流,此時吸附件306與第一電磁離合器305之間吸引力較大,使得承載台303固定至固定件301。亦可將第一電磁離合器305固定至承載台303,此時將吸附件306固定至固定件301。
綜上所述,本發明確已符合發明專利之要件,爰依法提出專利申請。惟,以上所述者僅為本發明之較佳實施方式,本發明之範圍並不以上述實施方式為限,舉凡熟悉本案技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變化,皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。
100、300‧‧‧位置保持裝置
10、301‧‧‧固定件
12‧‧‧固定孔
14‧‧‧導向孔
16‧‧‧墊片
162‧‧‧錐形孔
20‧‧‧導向件
22‧‧‧頭部
221‧‧‧端面
223、32、82‧‧‧螺孔
24‧‧‧桿部
30、303‧‧‧承載台
31‧‧‧承載面
34‧‧‧裝配孔
40‧‧‧轉接件
41‧‧‧第一轉接端
43‧‧‧第二轉接端
50、305‧‧‧第一電磁離合器
60、306‧‧‧吸附件
70‧‧‧波紋管
72‧‧‧管體
74‧‧‧連接頭
76‧‧‧密封圈
80‧‧‧連接件
90‧‧‧第二電磁離合器
200‧‧‧真空罩
圖1係本發明第一實施方式之位置保持裝置之立體組裝圖。
圖2係圖1所示位置保持裝置之立體分解圖。
圖3係圖1所示位置保持裝置沿III-III之剖視圖。
圖4係圖1所示位置保持裝置處於另一狀態之剖視圖。
圖5係圖1所示位置保持裝置應用於真空貼合設備之剖視圖。
圖6係本發明第二實施方式之位置保持裝置之結構示意圖。
10‧‧‧固定件
14‧‧‧導向孔
16‧‧‧墊片
162‧‧‧錐形孔
22‧‧‧頭部
24‧‧‧桿部
30‧‧‧承載台
31‧‧‧承載面
41‧‧‧第一轉接端
43‧‧‧第二轉接端
50‧‧‧第一電磁離合器
60‧‧‧吸附件
70‧‧‧波紋管
74‧‧‧連接頭
76‧‧‧密封圈
80‧‧‧連接件
90‧‧‧第二電磁離合器
Claims (10)
- 一種位置保持裝置,其包括用於承載工件之承載台,其改良在於:該位置保持裝置還包括固定件、第一電磁離合器及吸附件,該固定件位置固定,該第一電磁離合器固定於該固定件及該承載台其中之一,該吸附件連接至該固定件及該承載台其中之另一且朝向該第一電磁離合器,藉由該第一電磁離合器通電以使該第一電磁離合器吸引該吸附件以將該承載台固定至該固定件。
- 如申請專利範圍第1項所述之位置保持裝置,其中該位置保持裝置還包括連接件及導向件,該固定件上開設有導向孔,該導向件之一端固定於該承載台,該導向件另一端穿過該導向孔並固定至該連接件,該第一電磁離合器固定至該固定件鄰近該連接件之一側,該吸附件固定至該連接件鄰近該固定件之一側且朝向該第一電磁離合器。
- 如申請專利範圍第2項所述之位置保持裝置,其中該位置保持裝置還包括墊片,該墊片收容於該固定件之導向孔且套設於該導向件。
- 如申請專利範圍第3項所述之位置保持裝置,其中該墊片開設有錐形孔,該導向件包括頭部及自該頭部之一段延伸之桿部,該頭部為圓台狀且其錐度與該圓錐孔之錐度相同。
- 如申請專利範圍第2項所述之位置保持裝置,其中該位置保持裝置還包括轉接件,該轉接件設於該固定件及該第一電磁離合器之間。
- 如申請專利範圍第2項所述之位置保持裝置,其中該位置保持裝置還包括波紋管,該波紋管套設於該導向件且該波紋管之兩端分別固定至該固定件及該連接件。
- 如申請專利範圍第6項所述之位置保持裝置,其中該波紋管包括管體、分別位於管體兩端之二連接頭,該二連接頭分別固定至該固定件及該連接件。
- 如申請專利範圍第7項所述之位置保持裝置,其中該波紋管之連接頭與該固定件及該連接件之間均設有密封圈。
- 如申請專利範圍第1項所述之位置保持裝置,其中該位置保持裝置還包括固定於承載台上之第二電磁離合器。
- 如申請專利範圍第1項所述之位置保持裝置,其中該吸附件由鐵磁性材質製成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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TW099117269A TWI459499B (zh) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | 位置保持裝置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201142980A TW201142980A (en) | 2011-12-01 |
TWI459499B true TWI459499B (zh) | 2014-11-01 |
Family
ID=46765191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWI459499B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113013010B (zh) * | 2019-12-20 | 2023-09-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 波纹管结构、调整垂直度的方法及其等离子体处理装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5094311A (en) * | 1991-02-22 | 1992-03-10 | Gmfanuc Robotics Corporation | Limited mobility transporter |
-
2010
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US5094311A (en) * | 1991-02-22 | 1992-03-10 | Gmfanuc Robotics Corporation | Limited mobility transporter |
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---|---|
TW201142980A (en) | 2011-12-01 |
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