JP2567433Y2 - 真空吸着パッド - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、真空吸着パッドに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、環状のワークを真空吸着し、ワー
クの内径を棒状ワークと位置合わせする真空吸着パッド
としては、例えば実開昭６１−１６９５４１号公報に開
示されるようなものがある。

【０００３】この真空吸着パッドは、図７に示すような
もので、ハウジング２９には、環状にかつ軸方向に沿っ
て設けられ、その一部が真空を発生する真空源９１に接
続された真空吸引通路２８が設けられている。また、ハ
ウジング２９には、その軸心と同軸上にかつ前記真空吸
引通路２８より外側位置にて円形ドーム状のパッド３０
が保持されている。ハウジング２９の真空吸引通路２８
と真空源９１とは、蓋３１により接続されている。そし
て、ハウジング２９と蓋３１との間には、不要な空気も
れを防ぐＯリング３２が設けられている。前記ハウジン
グ２９の軸心は、一端にワーク３３の穴３４に挿入され
てワーク３３と位置決めするための凸部３５が形成さ
れ、他端に圧縮ばね３６を支持する支持部３７が設けら
れたセンタリング軸３８が貫設されている。このセンタ
リング軸３８は、圧縮ばね３６のばね力によって軸方向
に移動する。さらに、このセンタリング軸３８の凸部３
５には、凸部３５が前記ワーク３３の穴３４に挿入する
と同時に前記ワーク３３の穴３４を気密状態に保つ気密
用のリング３９が固着されている。

【０００４】このような構成の真空吸着パッドによれ
ば、ワーク３３を吸着するとき、センタリング軸３８の
凸部３５によって、ワーク３３の所定位置にセンタリン
グ軸３８が位置決めされ、ワーク３３の軸心と真空吸着
パッドの軸心が一致する。したがって、ワーク３３の穴
３４を棒状ワーク４０に合わせるときに、真空吸着パッ
ドの軸心を棒状ワーク４０に合わせればよい。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
では、ワーク３３の軸心と真空吸着パッドの軸心をあわ
せ、更に真空吸着パッドの軸心を棒状ワーク４０の軸心
に合わせることにより、ワーク３３の軸心を棒状ワーク
４０の軸心に合わせている。このように位置合わせを２
回行っているので、位置合わせに伴う誤差が２回発生
し、誤差が大きくなってしまう。このため、どうしても
ワーク３３の軸心と棒状ワーク４０の軸心に、ずれが生
じ、正確な位置合わせができなかった。

【０００６】本考案は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されてもので、環状ワークの内径と棒状ワークの正確な
位置合わせが可能な真空吸着パッドを提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本考案は、被吸着物である環状ワークを吸着し、前
記環状ワークの内径に合う棒状ワークと、前記環状ワー
クの内径の位置とを調整する真空吸着パッドにおいて、
真空吸引通路を有しかつ前記環状ワークの内径がパッド
の上から見えるように穴を形成したパッドと、前記パッ
ドの真空吸引通路の一端においてパッドとの間で不要な
空気のもれを防ぐようにシールされかつ前記環状ワーク
の内径がパッドの穴を通して見えるような蓋と、前記環
状ワークの内径に合う棒状ワークと前記環状ワークの内
径の位置とを調整可能なステージと、前記パッドの真空
吸引通路を介して環状ワークを真空吸着する真空源とを
具備して真空吸着パッドを構成した。

【０００８】図１に本発明の概念図を示す。図１におい
て、棒状ワーク１に位置合わせされる被吸着物である環
状ワーク２を吸着するパッド６には、少なくとも一つの
真空吸引通路４が設けられ、環状ワーク２の内径３が上
から見えるように穴５が形成されている。パッド６の上
面には蓋７が設けられており、パッド６の少なくとも一
つの真空吸引通路４の一端において、不要な空気の漏れ
を防ぐようにシールされている。また、この蓋７は、環
状ワーク２の内径３が前記パッド６の穴５を通して見え
るように構成されている。また、この蓋７には、棒状ワ
ーク１と環状ワーク２の内径３の位置を調整するステー
ジ８が隣接されている。さらに、蓋７には、パッド６の
真空吸引通路４を介して環状ワーク２を真空吸着する真
空源９が接続されている。なお、図示は省略したが、所
定の位置に置かれた環状ワーク２を吸着したパッド６
を、棒状ワーク１上方まで運ぶ移動ステージが設けられ
ている。

【０００９】

【作用】ほぼ所定の位置に置かれた環状ワーク２を、真
空源９を用いてパッド６の真空吸引通路４から空気を吸
引し、パッド６に吸着する。環状ワーク２を吸着したま
ま、図示していない移動ステージにより、環状ワーク２
を棒状ワーク１の上方に運ぶ。ここで、パッド６には、
穴５が設けられているので、観察手段１０により環状ワ
ーク２の内径３と、棒状ワーク１とが観察できる。観察
手段１０で観察しながら、ステージ８を用いて棒状ワー
ク１と環状ワーク２の内径３の位置合わせを行う。

【００１０】観察手段１０により観察しながら位置調整
ができるので、棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の
位置合わせが正確に行える。

【００１１】

【実施例１】 （構成） 図２は本実施例の真空吸着パッドを示すもので、棒状ワ
ーク１に位置合わせされる被吸着物である環状ワーク２
を吸着するパッド６１は、環状体に９０度間隔で４本の
足５２を設け、中心部に穴５１を設けた形状になってい
る。各足５２には、パッド６１を貫通する真空吸引通路
４１がそれぞれ形成されている。パッド６１の上面には
蓋７１が設けられており、この蓋７１には、パッド６１
の４個の真空吸引通路４１に接続される４個の通路１１
と、環状ワーク２の内径３がパッド６１の穴５１を通し
て見えるような穴１２とが形成される。そして、パッド
６１の４個の真空吸引通路４１と、蓋７１の４個の通路
１１との接続箇所には、それぞれＯリング１３が封入さ
れている。

【００１２】さらに、蓋７１には、棒状ワーク１とパッ
ド６１の位置とを一致させるように、パッド６１をＸ方
向（図２において左右方向）、Ｙ方向（紙面に垂直方
向）に移動操作可能な２つのマイクロメータヘッド１４
ａ、１４ｂを備えたＸＹステージ１４が取り付けられて
いる。蓋７１の４個の通路１１には、それぞれ継手１５
が取り付けられており、これら継手１５にはそれぞれホ
ース１６を介して個別に真空ポンプ１７が接続されてい
る。また、ＸＹステージ１４の下部には、所定の位置に
置かれた環状ワーク２を吸着したパッド６１を棒状ワー
ク１上まで運ぶ移動ステージ８１が設置されている。

【００１３】一方、パッド６１の上方には、パッド６１
の４個の真空吸引通路４１を介して吸着された環状ワー
ク２の内径３を撮影するカメラ１８が設置されている。
このカメラ１８は、予め棒状ワーク１の軸心と、光軸と
が一致するように設定されている。また、カメラ１８に
は、カメラ１８の像を映すモニタ１９が接続されてい
る。

【００１４】なお、図２では、パット６１および蓋７１
の一部は断面図としているので、真空吸引通路４１、足
５２、真空ポンプ１７等は数を減らして図示している。

【００１５】（作用） まず、所定の位置に置かれた環状ワーク２上にパッド６
１を移動させる。次に、４個の真空ポンプ１７をそれぞ
れ動かし、ホース１６と継手１５、蓋７１の通路１１を
通して、パッド６１の４個の真空吸引通路４１からそれ
ぞれ空気を吸引し、環状ワーク２を前記パッド６１に吸
着する。環状ワーク２を吸着したまま、パッド６１を移
動ステージ８１で棒状ワーク１上に移動させる。

【００１６】棒状ワーク１上にパッド６１を移動させる
と、パッド６１には穴５１が、蓋７１には穴１２が開い
ているので、カメラ１８で棒状ワーク１と、環状ワーク
２の一部の像が、モニタ１９に映される。このときのモ
ニタ１９の画面の状態を示すものが図３であり、棒状ワ
ーク１と環状ワーク２の内径３の位置がずれていること
を示している。

【００１７】モニタ１９を見ることにより、棒状ワーク
１と環状ワーク２の内径３の位置ずれが分かり、ＸＹス
テージ１４の２つのマイクロメーターヘッド１４ａ，１
４ｂを回転操作して、位置調整を行う。

【００１８】 （効果） モニタ１９を見て、位置調整ができるので、正確な位置
合わせが行える。また、パッド６１の穴５１が４個の足
５２を残して広く開けてあるので、環状ワーク２の内径
３だけでなく、上面の状態も観察できる。さらに、４個
の真空吸引通路４１をそれぞれ独立の真空ポンプ１７で
吸引しているので、例えば１つの真空吸引通路４１と環
状ワーク２との間に隙間が生じた場合にも、他の３つの
真空吸引通路４１で吸着でき、常に安定して吸着でき
る。

【００１９】

【実施例２】 （構成） 図４は本実施例の真空吸着パッドを示すもので、棒状ワ
ーク１に位置合わせされる被吸着物である環状ワーク２
を吸着するパッド６２は、上方から環状ワーク２の内径
３が見えるように逆円錐形状の穴５３が形成された形状
になっている。そして、パッド６２には、真空吸引通路
４２が設けられており、その吸着面には、吸着力を上げ
るために、真空吸引通路４２と接続された環状の通路２
７が設けられている。

【００２０】パッド６２上には蓋７２が載置されてお
り、この蓋７２には、パッド６２の真空吸引通路４２に
接続される通路２０と、環状ワーク２の内径３がパッド
６２の穴５３を通して見えるような穴２２とが形成され
ている。また、パッド６２の真空吸引通路４２と、蓋７
２の通路２０との間には、Ｏリング２３が封入されてい
る。さらに、蓋７２の通路２０には継手２４が取り付け
られ、継手２４にはホース２５を介して真空ポンプ２６
が接続されている。その他の構成は実施例１と同様であ
り、その説明は省略する。

【００２１】（作用） まず、所定の位置に置かれた環状ワーク２上にパッド６
２を移動させる。次に真空ポンプ２６を動かし、ホース
２５と継手２４、蓋７２の通路２０を通して、パッド６
２の真空吸引通路４２から空気を吸引し、環状ワーク２
を前記パッド６２に吸着する。環状ワーク２を吸着した
まま、パッド６２を図示していない移動ステージで棒状
ワーク１上に移動させる。

【００２２】棒状ワーク１上にパッド６２が移動する
と、パッド６２には穴５３が、蓋７２には穴２２が開い
ているので、カメラ１８で棒状ワーク１と、環状ワーク
２の一部の像が、モニタ１９に映される。このときのモ
ニタ１９の画面の状態を示すものが図５であり、棒状ワ
ーク１と環状ワーク２の内径３の位置がずれていること
を示している。

【００２３】モニタ１９を見ることにより、棒状ワーク
１と環状ワーク２の内径３の位置のずれが分かり、ＸＹ
ステージ１４を用いて、位置調整を行う。その他の作用
は実施例１と同様である。

【００２４】 （効果） 本実施例によれば、実施例１に比べ、パッド６２の形状
が簡単になり、安価に加工できる。

【００２５】

【実施例３】 （構成） 図６は本実施例の真空吸着パッドを示すもので、実施例
２で用いた蓋７２を、パッド６２の真空吸引通路４２に
接続される通路２０を有する透明なアクリル板の蓋７３
に換えてある。その他の構成は実施例２と同様である。

【００２６】（作用） 環状ワーク２を吸着したパッド６２が、棒状ワーク２上
に移動すると、パッド６２には穴５３が開いており、蓋
７３は透明なアクリルでできているので、カメラ１８で
棒状ワーク１と、環状ワーク２の一部の像が、モニタ１
９に映される。

【００２７】モニタ１９を見ることにより、棒状ワーク
１と環状ワーク２の内径３の位置のずれが分かり、ＸＹ
ステージ１４を用いて、位置調整を行う。その他の作用
は、実施例２と同様である。

【００２８】 （効果） 本実施例によれば、実施例２に比べ、パッド６２の上が
透明なアクリル板７３で覆われているので、パッド６２
の穴５３や、環状ワーク２に、ホコリやゴミがかからな
い。

【００２９】

【考案の効果】以上のように、本考案の真空吸着パッド
によれば、被吸着物である環状ワークを吸着し、環状ワ
ークの内径に合う棒状ワークと、環状ワークの内径の位
置を調整する真空吸着パッドにおいて、環状ワークと棒
状ワークの正確な位置合わせが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の真空吸着パッドを示す概念図である。

【図２】本考案の実施例１の真空吸着パッドを示す一部
縦断正面図である。

【図３】実施例１のモニタ１９の画面状態を示す図であ
る。

【図４】本考案の実施例２の真空吸着パッドを示す一部
縦断正面図である。

【図５】実施例２のモニタ１９の画面状態を示す図であ
る。

【図６】本考案の実施例３の真空吸着パッドを示す一部
縦断正面図である。

【図７】従来の真空吸着パッドを示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ 棒状ワーク ２ 環状ワーク ３ 内径 ４，４１，４２ 真空吸引通路 ５，５１，５３ 穴 ６，６１，６２ パッド ７，７２，７３ 蓋 ８ ステージ ９ 真空源 １０ 観察手段 １２，２２ 穴 １４ ＸＹステージ １７，２６ 真空ポンプ １８ カメラ １９ モニタ ８１ 移動ステージ

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被吸着物である環状ワークを吸着し、前
   記環状ワークの内径に合う棒状ワークと、前記環状ワー
   クの内径の位置とを調整する真空吸着パッドにおいて、
   真空吸引通路を有しかつ前記環状ワークの内径がパッド
   の上から見えるように穴を形成したパッドと、前記パッ
   ドの真空吸引通路の一端においてパッドとの間で不要な
   空気のもれを防ぐようにシールされかつ前記環状ワーク
   の内径がパッドの穴を通して見えるような蓋と、前記環
   状ワークの内径に合う棒状ワークと前記環状ワークの内
   径の位置とを調整可能なステージと、前記パッドの真空
   吸引通路を介して環状ワークを真空吸着する真空源とを
   具備したことを特徴とする真空吸着パッド。