JP2011258965A5 - 露光装置 - Google Patents

Claims (25)

1. 投影光学系と液体とを介して、基板ホルダ上に保持された基板の表面に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
   前記投影光学系下に位置付けられた前記基板上に局所的に液体を供給する液体供給装置と、
   回収口と、該回収口と真空系とを接続する流路とを有し、且つ前記液体供給装置により供給された液体を、該回収口を介して回収する回収装置を有し、
   前記流路の内壁面に撥液性材料が設けられていることを特徴とする露光装置。
2. 前記撥液性材料は、フッ素系樹脂材料、又はアクリル系樹脂材料を含む請求項１に記載の露光装置。
3. 前記内壁面に、前記撥液性材料からなる撥液層が形成されている請求項１又は２に記載の露光装置。
4. 前記流路が、前記撥液性材料により形成されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
5. 前記内壁面に囲まれた空間を通って前記液体が回収される請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
6. 前記流路に沿って前記撥液性材料が配置されている請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
7. 前記内壁面の外側に、さらに断熱性材料が設けられてなる請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
8. 投影光学系と液体とを介して、基板ホルダ上に保持された基板の表面に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
   前記投影光学系下に位置付けられた前記基板上に局所的に液体を供給する液体供給装置と、
   回収口と、該回収口と真空系とを接続する流路とを有し、且つ前記液体供給装置により供給された液体を、該回収口を介して回収する回収装置を有し、
   前記流路の近傍に断熱性材料が設けられていることを特徴とする露光装置。
9. 前記近傍は、前記流路と所定距離だけ離れて配置される部材と、前記流路との間である請求項８に記載の露光装置。
10. 前記流路は前記基板ホルダに設けられ、
    前記部材は、前記基板ホルダのうちの前記基板を支持する基材を含む請求項９に記載の露光装置。
11. 前記断熱性材料は、前記流路を囲むように設けられている請求項７〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
12. 前記断熱性材料は、前記基板ホルダを形成する材料よりも熱伝導率が低い材料を含む請求項７〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 前記断熱性材料は、前記液体に対して撥液性を有する請求項７〜１２のいずれか一項に記載の露光装置。
14. 前記断熱性材料は、フッ素系樹脂を含むことを特徴とする請求項７〜１３のいずれか一項に記載の露光装置。
15. 前記断熱性材料により前記流路が形成されていることを特徴とする請求項７〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
16. 前記断熱性材料からなる断熱層が、前記流路の外側に設けられている請求項７〜１５のいずれか一項に記載の露光装置。
17. 撥液性材料からなる撥液層が、前記流路と前記断熱層の間に介在している請求項１６に記載の露光装置。
18. 前記流路に沿って前記断熱性材料が配置されている請求項７〜１７のいずれか一項に記載の露光装置。
19. 前記基板ホルダに支持された前記基板の周囲に配置される上面を含み、
    前記基板ホルダに支持された前記基板と前記上面との間に形成されるギャップから浸入する液体が、前記回収口により回収される請求項１〜１８のいずれか一項に記載の露光装置。
20. 前記基板ホルダは、前記基板を支持する支持部と、前記支持部の外側に配置される周壁部とを含み、
    前記回収口は前記周壁部の外側に配置され、前記ギャップから浸入する前記液体が前記回収口を介して回収される請求項１９に記載の露光装置。
21. 前記基板ホルダは、前記基板を支持する支持部と、前記支持部の外側に配置される周壁部とを含み、
    前記回収口は前記周壁部の内側に配置されていることを特徴とする請求項１９に記載の露光装置。
22. 前記周壁部の上面は撥液性であることを特徴とする請求項２０又は２１に記載の露光装置。
23. 前記基板ホルダは前記基板を支持する支持部を含み、
    前記回収口は前記支持部の外側に配置されていることを特徴とする請求項１９に記載の露光装置。
24. 前記回収口は前記周壁部と前記支持部との間に配置されていることを特徴とする請求項２３に記載の露光装置。
25. 前記流路の少なくとも一部は、前記基板ホルダの内部に設けられている請求項１〜２４のいずれか一項に記載の露光装置。