JP2012164995A5 - 露光装置、露光方法、デバイス製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、露光装置、露光方法、デバイス製造方法に関する。

Claims (14)

1. 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置であって、
   前記基板を保持する基板保持部を有し、前記投影光学系に対して移動可能なステージを備え、
   前記ステージは、前記基板保持部に保持された前記基板と前記基板保持部より外側に設けられたステージ上面との間のギャップに浸入した前記液体を回収する回収部を含み、
   前記回収部は、多孔体またはメッシュ部材と、前記ギャップに浸入し前記多孔体またはメッシュ部材を介した前記液体を回収するための流路と、を含む露光装置。
2. 請求項１に記載の露光装置において、
   前記ステージは、前記ステージ上面を含み着脱可能に設けられたプレート部材と、該プレート部材を保持するプレート保持部と、を含み、
   前記流路の回収口は、前記プレート保持部に保持された前記プレート部材の裏面側に設けられている。
3. 請求項１または２に記載の露光装置において、
   前記多孔体またはメッシュ部材は、前記プレート保持部に保持された前記プレート部材の裏面側に設けられている。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記流路の前記回収口は、前記プレート保持部の内部に設けられている。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記多孔体またはメッシュ部材は、前記プレート保持部の内部に設けられている。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記多孔体またはメッシュ部材は、前記流路の途中に設けられている。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記基板保持部は、前記基板を支持する支持部と、該支持部の周囲に設けられた壁部と、該壁部より内側の空間内のガスを吸引可能なように該内側の空間に接続されたガス流路とを含み、前記支持部に支持された前記基板を、前記内側の空間内のガスが前記ガス流路を介して吸引されて該内側の空間が負圧にされた状態で保持する。
8. 請求項７に記載の露光装置において、
   前記基板保持部は、前記支持部および前記壁部が上部に形成されたベース部を含み、
   前記ガス流路は、前記ベース部の内部に設けられ、
   前記ガス流路の吸引口は、前記ベース部の表面のうち前記内側の空間に面した表面に形成されている。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記ステージ上面は、前記基板保持部に保持された前記基板の上面とほぼ同じ高さになるように設けられている。
10. 請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置において、
    前記ステージ上面は、平坦面を含む。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記基板を露光する露光方法。
12. 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光方法であって、
    前記投影光学系に対して移動可能なステージが備える基板保持部により前記基板を保持することと、
    前記基板保持部に保持された前記基板と前記基板保持部より外側に設けられたステージ上面との間の前記ギャップに浸入した前記液体を、多孔体またはメッシュ部材と流路とを介して回収することと、
    を含む露光方法。
13. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光することと、
    前記パターンが露光された前記基板上にデバイスを組み立てることと、
    を含むデバイス製造方法。
14. 請求項１１または１２に記載の露光方法を用いて基板にパターンを露光することと、
    前記パターンが露光された前記基板上にデバイスを組み立てることと、
    を含むデバイス製造方法。