JP7198629B2 - 保持装置 - Google Patents
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Description
A-1.静電チャック100の構成:
図1は、第1実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、第1実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3は、第1実施形態における静電チャック100のXY平面(上面)構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、ヒータ電極層50の構成およびヒータ電極層50への給電のための構成について詳述する。上述したように、セラミックス部材10には、ヒータ電極層50と、ヒータ電極層50への給電のためのドライバ51および各種ビア53,54とが配置されている。また、静電チャック100には、ヒータ電極層50への給電のための他の構成(後述する端子用孔110に収容された給電端子72等)が設けられている。
本実施形態の静電チャック100は、セラミックス部材10とウェハWとの間の空間(以下、「中間空間SPi」という。)に不活性ガスを供給するための構成を備えている。以下、該構成について詳述する。なお、本実施形態では、不活性ガスとして、ヘリウムガスが用いられる。図5は、第1実施形態における静電チャック100のXY平面(上面)構成を概略的に示す説明図であり、図6は、セラミックス部材10の一部分(図5のX1部)のXY平面(上面)構成を拡大して示す説明図であり、図7は、セラミックス部材10の一部分の断面(Z軸に平行な断面)構成を拡大して示す説明図である。図7には、図6のVII-VIIの位置でのセラミックス部材10の一部分の断面構成が示されている。
本実施形態の静電チャック100の製造方法は、例えば以下の通りである。まず、セラミックスグリーンシートを複数枚作製し、所定のセラミックスグリーンシートに所定の加工を行う。所定の加工としては、例えば、ヒータ電極層50やドライバ51、給電パッド70等の形成のためのメタライズペーストの印刷、各種ビア53,54の形成のための孔空けおよびメタライズペーストの充填、ガス噴出流路132等の形成のための孔空け等が挙げられる。これらのセラミックスグリーンシートを積層して熱圧着し、切断等の加工を行うことにより、セラミックスグリーンシートの積層体を作製する。作製されたセラミックスグリーンシートの積層体を焼成することにより、セラミックス部材10を作製する。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100は、Z軸方向に略直交する略円形の吸着面S11を有する板状のセラミックス部材10と、セラミックス部材10の内部に配置されたチャック電極40とを備え、セラミックス部材10の吸着面S11上にウェハWを保持する装置である。本実施形態の静電チャック100では、セラミックス部材10に複数のガス用セグメントSEgが設定されており、複数のガス用セグメントSEgのそれぞれの境界に沿って、壁状凸部12が、セラミックス部材10の吸着面S11に形成されている。なお、ガス用セグメントSEgは、セラミックス部材10の少なくとも一部(具体的には内側部IP)を、Z軸方向視で、吸着面S11の中心点CPを中心とする同心円状の複数の分割線(第3の分割線DL3)によって複数のガス用環状部分CPgに仮想的に分割し、さらに、各ガス用環状部分CPgを周方向CDに並ぶ複数の部分に仮想的に分割することにより設定される。また、本実施形態の静電チャック100では、複数のガス用セグメントSEgのそれぞれに対応する吸着面S11に個別に開口するガス噴出流路132が、セラミックス部材10の内部に形成されている。
図8は、第2実施形態における静電チャック100を構成するセラミックス部材10の一部分のXY平面(上面)構成を拡大して示す説明図であり、図9は、第2実施形態における静電チャック100を構成するセラミックス部材10の一部分の断面(Z軸に平行な断面)構成を拡大して示す説明図である。図9には、図8のIX-IXの位置でのセラミックス部材10の一部分の断面構成が示されている。以下では、第2実施形態の静電チャック100の構成の内、上述した第1実施形態の静電チャック100の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (4)
- 第1の方向に略直交する略円形の第1の表面を有する板状のセラミックス部材と、
前記セラミックス部材の内部に配置されたチャック電極と、
を備え、前記セラミックス部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記セラミックス部材の少なくとも一部を、前記第1の方向視で、前記第1の表面の中心点を中心とする同心円状の複数の分割線によって複数のガス用環状部分に仮想的に分割し、さらに、各前記ガス用環状部分を周方向に並ぶ複数の部分に仮想的に分割することにより設定される複数のガス用セグメントのそれぞれの境界に沿って、壁状凸部が前記セラミックス部材の前記第1の表面に形成されており、
前記複数のガス用セグメントのそれぞれに対応する前記第1の表面に個別に開口するガス噴出流路が、前記セラミックス部材の内部に形成されており、
前記第1の方向視で、前記周方向に隣り合う2つの前記ガス用セグメントの境界の位置には、前記境界に略平行に延びる溝を挟んで隣り合う2つの前記壁状凸部が形成されており、
前記溝は、前記第1の方向に直交する第2の方向において、前記セラミックス部材の外周側の空間に連通している、
ことを特徴とする保持装置。 - 第1の方向に略直交する略円形の第1の表面を有する板状のセラミックス部材と、
前記セラミックス部材の内部に配置されたチャック電極と、
を備え、前記セラミックス部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記セラミックス部材の少なくとも一部を、前記第1の方向視で、前記第1の表面の中心点を中心とする同心円状の複数の分割線によって複数のガス用環状部分に仮想的に分割し、さらに、各前記ガス用環状部分を周方向に並ぶ複数の部分に仮想的に分割することにより設定される複数のガス用セグメントのそれぞれの境界に沿って、壁状凸部が前記セラミックス部材の前記第1の表面に形成されており、
前記複数のガス用セグメントのそれぞれに対応する前記第1の表面に個別に開口するガス噴出流路が、前記セラミックス部材の内部に形成されており、
前記第1の方向視で、前記周方向に隣り合う2つの前記ガス用セグメントの境界の位置には、前記境界に略平行に延びる溝を挟んで隣り合う2つの前記壁状凸部が形成されており、
前記セラミックス部材の内部には、前記溝に開口する溝用ガス噴出流路が形成されており、
前記複数のガス用環状部分のうちの最外周側の前記ガス用環状部分を構成し、かつ、前記周方向に隣り合う2つの前記ガス用セグメントの境界に位置する前記溝に対して外周側に、前記溝内から外周側へのガスの排出を抑止する第2の壁状凸部が前記セラミックス部材の前記第1の表面に形成されている、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置において、
前記複数のガス用環状部分のうち、一の前記ガス用環状部分を構成する前記ガス用セグメントの個数は、前記一のガス用環状部分より前記第1の表面の前記中心点に近い他の前記ガス用環状部分を構成する前記ガス用セグメントの個数より多い、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の保持装置において、さらに、
前記セラミックス部材の少なくとも一部を、前記第1の方向視で、前記第1の表面の中心点を中心とする同心円状の複数の分割線によって複数のヒータ用環状部分に仮想的に分割し、さらに、各前記ヒータ用環状部分を前記周方向に並ぶ複数の部分に仮想的に分割することにより設定される複数のヒータ用セグメントのそれぞれに配置され、抵抗発熱体により構成されたヒータライン部を有するヒータ電極を備え、
各前記ガス用セグメントの境界は、1つまたは複数の連続した前記ヒータ用セグメントにより構成される部分の境界に一致する、
ことを特徴とする保持装置。
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JP2010521820A (ja) | 2007-03-12 | 2010-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板内での処理の均一性を改善するための動的な温度背面ガス制御 |
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