JP7164979B2 - 静電チャック - Google Patents
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Description
A-1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3は、本実施形態における静電チャック100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図3には、図2のIII-IIIの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されている。また、図4は、図2のX1部の部分拡大図であり、図5は、図3のX2部の部分拡大図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、ヒータ電極50の構成およびヒータ電極50への給電のための構成について詳述する。上述したように、静電チャック100は、複数のヒータ電極50を備える(図2参照)。ヒータ電極50は、導電性材料(例えば、タングステン、モリブデン、白金等)により形成されている。なお、本実施形態では、ヒータ電極50は、チャック電極40より下側に配置されている。
図3に示すように、Z軸方向視、かつ、シールバンド180の幅方向Dにおいて、シールバンド領域SRと、内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部515との間には、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の内の一部分(例えば、図3中の部分Px)が配置されている。ここで、内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部515は、Z軸方向視、かつ、シールバンド180の幅方向Dにおいて、内側ヒータ電極510のヒータパッド部513,515の内、シールバンド領域SRに最も近接して配置されているヒータパッド部である。内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部515と同様に、Z軸方向視、かつ、シールバンド180の幅方向Dにおいて、シールバンド領域SRと、内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部513との間にも、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の内の一部分が配置されている。すなわち、Z軸方向視、かつ、シールバンド180の幅方向Dにおいて、シールバンド領域SRと、内側ヒータ電極510のヒータパッド部の内、シールバンド領域SRに最も近接して配置されているヒータパッド部513,515との間には、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の一部分が配置されている。
図5には、便宜的に、セラミックス部材10の上面S1の内の吸着面Scに形成されている突起170およびシールバンド180が破線で示されている。図4および図5に示すように、本実施形態において、ヒータライン部511の第1の部分P1の幅W1は、ヒータライン部511の第2の部分P2の幅W2と比較して小さい。ここで、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511における第1の部分P1は、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の内、シールバンド領域重なり部分SPに最も近接して配置されている部分である。また、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511における第2の部分P2は、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の内、ヒータライン部511における第1の部分P1に最も近接して配置されている部分である。なお、ヒータライン部511の幅W1,W2を含むヒータライン部511の幅とは、シールバンド180の幅方向Dにおける幅を意味する。ここで、幅方向Dは、セラミックス部材10における上面S1の略径方向である。
図3には、Z軸方向視において、セラミックス部材10の中心点POと、外側ヒータ電極530のヒータパッド部535と、を通る第1の仮想直線VL1が示されている。図3には、さらに、Z軸方向視において、外側ヒータ電極530のヒータパッド部535と、内側ヒータ電極510の内の最も外周側に配置されている内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部513と、を通る第2の仮想直線VL2が示されている。本実施形態において、第1の仮想直線VL1は、第2の仮想直線VL2に一致しない。換言すると、外側ヒータ電極530のヒータパッド部535と、内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部513とは、セラミックス部材10の径方向Dにおいて同一直線上に配置されていない。ここで、第1の仮想直線VL1上における外側ヒータ電極530のヒータパッド部535は、第1の仮想直線VL1上において、シールバンド領域重なり部分SPに最も近接して配置されているヒータパッド部535である。また、第2の仮想直線VL2上における内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部513は、内側ヒータ電極510Aのヒータパッド部513,515の内、外側ヒータ電極530のヒータパッド部535に最も近接して配置されているヒータパッド部513である。
図4および図5には、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の内、第1の部分P1と、第2の部分P2と、第3の部分P3とが示されている。本実施形態において、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の第3の部分P3の幅W3は、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の第1の部分P1の幅W1と比較して大きく、また、第2の部分P2の幅W2と比較して大きい。ここで、上述した通り、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511における第1の部分P1は、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の内、シールバンド領域重なり部分SPに最も近接して配置されている部分である。内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511における第2の部分P2は、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の内、ヒータライン部511における第1の部分P1に最も近接して配置されている部分である。内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511における第3の部分P3は、Z軸方向視において突起170と重なる部分である。換言すると、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の第3の部分P3は、突起170の幅A2で示される部分において突起170と重なる部分を含んでいる。一方、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の第1の部分P1および第2の部分P2は、突起170と重なる部分以外の部分である。換言すると、内側ヒータ電極510Aのヒータライン部511の第1の部分P1および第2の部分P2は、突起170と重なる部分を含んでいない。なお、セラミックス部材10の吸着面Scに形成されている突起170は点線で示されている。なお、本実施形態の内側ヒータ電極510Bについても、Z軸方向視において突起170と重なる部分を含むヒータライン部511の幅は、突起170と重なる部分を含んでいないヒータライン部511の幅と比較して大きい。
以上説明したように、本実施形態における静電チャック100では、Z軸方向に略直交する上面S1を有するセラミックス部材10を備え、セラミックス部材10の上面S1の内の吸着面Sc上に対象物(例えばウェハW)を保持する静電チャック100である。セラミックス部材10の上面S1は、シールバンド領域SRと、内側領域IRと、外側領域ORとを含んでいる。セラミックス部材10のシールバンド領域SRは、Z軸方向視において環状に、かつ、Z軸方向において凸状に形成されたシールバンド180が位置する領域である。セラミックス部材10の内側領域IRは、Z軸方向視においてシールバンド領域SRの内側に接し、かつ、Z軸方向において凸状の複数の突起170が形成された領域である。セラミックス部材10の外側領域ORは、Z軸方向視においてシールバンド領域SRの外側に接する領域である。また、本実施形態の静電チャック100は、2つの内側ヒータ電極510と、外側ヒータ電極530とを含むヒータ電極50を備える。内側ヒータ電極510と、外側ヒータ電極530とは、それぞれ、ヒータライン部511,531と、ヒータパッド部513,515,533,535と、を有する。2つの内側ヒータ電極510(510A,510B)は、Z軸方向視において、内側領域IRに重なる部分を有し、かつ、シールバンド領域SRに重なる部分を有しない。換言すれば、2つの内側ヒータ電極510(510A,510B)は、セラミックス部材10の内側領域重なり部分IPの内部に配置されている。また、外側ヒータ電極530は、Z軸方向視において、外側領域ORに重なる部分を有し、かつ、シールバンド領域SRに重なる部分を有しない。換言すれば、外側ヒータ電極530は、セラミックス部材10の外側領域重なり部分OPの内部に配置されている。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (4)
- 第1の方向に略直交する第1の表面を有する板状部材であって、
前記第1の表面が、
前記第1の方向視において環状に、かつ、前記第1の方向において凸状に形成されたシールバンドが位置するシールバンド領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の内側に接し、かつ、前記第1の方向において凸状の複数の突起が形成された内側領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の外側に接する外側領域と、
を含む、板状部材と、
前記板状部材の内部に配置され、かつ、前記第1の方向視で線状の抵抗発熱体であるヒータライン部と、前記ヒータライン部の端部に接続されたヒータパッド部と、を有する複数のヒータ電極と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、
前記複数のヒータ電極は、
前記第1の方向視において、前記内側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの内側ヒータ電極と、
前記第1の方向視において、前記外側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの外側ヒータ電極と、
を備え、
前記第1の方向視において、前記内側ヒータ電極の前記ヒータパッド部の幅は、前記内側ヒータ電極の前記ヒータライン部の幅と比較して大きく、
前記第1の方向視、かつ、前記シールバンドの幅方向において、前記シールバンド領域と、前記内側ヒータ電極の前記ヒータパッド部の内、前記シールバンド領域に最も近接して配置されている前記ヒータパッド部と、の間には、前記内側ヒータ電極の前記ヒータライン部の少なくとも一部分が配置されている、ことを特徴とする静電チャック。 - 第1の方向に略直交する第1の表面を有する板状部材であって、
前記第1の表面が、
前記第1の方向視において環状に、かつ、前記第1の方向において凸状に形成されたシールバンドが位置するシールバンド領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の内側に接し、かつ、前記第1の方向において凸状の複数の突起が形成された内側領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の外側に接する外側領域と、
を含む、板状部材と、
前記板状部材の内部に配置され、かつ、前記第1の方向視で線状の抵抗発熱体であるヒータライン部と、前記ヒータライン部の端部に接続されたヒータパッド部と、を有する複数のヒータ電極と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、
前記複数のヒータ電極は、
前記第1の方向視において、前記内側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの内側ヒータ電極と、
前記第1の方向視において、前記外側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの外側ヒータ電極と、
を備え、
前記第1の方向視において、前記内側ヒータ電極の前記ヒータライン部の内、前記シールバンドの幅方向において、前記シールバンド領域に最も近接して配置されている第1の部分における幅は、前記内側ヒータ電極の前記ヒータライン部の内、前記シールバンドの幅方向において、前記ヒータライン部の前記第1の部分に最も近接して配置されている第2の部分における幅と比較して小さい、
ことを特徴とする静電チャック。 - 第1の方向に略直交する第1の表面を有する板状部材であって、
前記第1の表面が、
前記第1の方向視において環状に、かつ、前記第1の方向において凸状に形成されたシールバンドが位置するシールバンド領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の内側に接し、かつ、前記第1の方向において凸状の複数の突起が形成された内側領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の外側に接する外側領域と、
を含む、板状部材と、
前記板状部材の内部に配置され、かつ、前記第1の方向視で線状の抵抗発熱体であるヒータライン部と、前記ヒータライン部の端部に接続されたヒータパッド部と、を有する複数のヒータ電極と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、
前記複数のヒータ電極は、
前記第1の方向視において、前記内側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの内側ヒータ電極と、
前記第1の方向視において、前記外側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの外側ヒータ電極と、
を備え、
前記第1の方向視において、前記外側ヒータ電極の前記ヒータパッド部の幅は、前記外側ヒータ電極の前記ヒータライン部の幅と比較して大きく、
前記第1の方向視において、前記板状部材の中心点と、一の前記外側ヒータ電極の一の前記ヒータパッド部と、を通る仮想直線は、前記一の外側ヒータ電極の前記一のヒータパッド部と、前記一の外側ヒータ電極の前記一のヒータパッド部に最も近接して配置されている前記内側ヒータ電極の前記ヒータパッド部と、を通る仮想直線に、一致しない、
ことを特徴とする静電チャック。 - 第1の方向に略直交する第1の表面を有する板状部材であって、
前記第1の表面が、
前記第1の方向視において環状に、かつ、前記第1の方向において凸状に形成されたシールバンドが位置するシールバンド領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の内側に接し、かつ、前記第1の方向において凸状の複数の突起が形成された内側領域と、
前記第1の方向視において前記シールバンド領域の外側に接する外側領域と、
を含む、板状部材と、
前記板状部材の内部に配置され、かつ、前記第1の方向視で線状の抵抗発熱体であるヒータライン部と、前記ヒータライン部の端部に接続されたヒータパッド部と、を有する複数のヒータ電極と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、
前記複数のヒータ電極は、
前記第1の方向視において、前記内側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの内側ヒータ電極と、
前記第1の方向視において、前記外側領域に重なる部分を有し、かつ、前記シールバンド領域に重なる部分を有しない少なくとも1つの外側ヒータ電極と、
を備え、
前記内側ヒータ電極の前記ヒータライン部の内、前記第1の方向視において前記突起と重なる部分における幅は、前記内側ヒータ電極の前記ヒータライン部の内、前記第1の方向視において前記突起と重なる部分以外の部分における幅と比較して大きい、
ことを特徴とする静電チャック。
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