JP6730861B2 - 保持装置 - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 25
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 15
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 9
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 69
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 7
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Resistance Heating (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
A−1.静電チャック10の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック10の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2および図3は、本実施形態における静電チャック10の断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック10は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。図2には、図3のII−IIの位置における静電チャック10のZ軸に平行な断面構成が示されている。図3には、図2のIII−IIIの位置における静電チャック10のXY断面構成が示されている。
セラミックス板100は、例えば円形平面の板状部材であり、セラミックスにより形成されている。セラミックス板100の直径は、例えば50mm〜500mm程度(通常は200mm〜350mm程度)であり、セラミックス板100の厚さは、例えば1mm〜10mm程度である。
ベース板200は、例えばセラミックス板100と同径の、または、セラミックス板100より径が大きい円形平面の板状部材であり、例えば金属(例えば、アルミニウムやアルミニウム合金等)により形成されている。ベース板200の直径は、例えば220mm〜550mm程度(通常は220mm〜350mm)であり、ベース板200の厚さは、例えば20mm〜40mm程度である。
図3に示すように、ヒータ500は、第1のヒータ線510と、第2のヒータ線520と、第3のヒータ線530と、第4のヒータ線540とを含む。4つのヒータ線510〜540は、セラミックス板100の吸着面S1に平行な単一仮想平面Q1上に配置されている(図2参照)。また、4つのヒータ線510〜540は、セラミックス板100の内部において、Z軸方向視で、互いに異なる領域に配置されている。具体的には、Z方向視で、セラミックス板100の中心位置で互いに直交する2本の仮想直線Q2によって仕切られる4つの扇形状の領域を、第1の領域R1〜第4の領域R4とする。第1の領域R1に第1のヒータ線510が配置され、第2の領域R2に第2のヒータ線520が配置され、第3の領域R3に第3のヒータ530が配置され、第4の領域R4に第4のヒータ線540が配置されている。
図2に示すように、セラミックス板100の内部には、1つの内側ドライバ電極516と、4つの外側ドライバ電極526(図2には2つのみ図示)とが設けられている。内側ドライバ電極516は、4つのヒータ線510〜540の内側端部511〜541の下方に配置されている。内側ドライバ電極516は、導電性材料(例えば、タングステンやモリブデン等)により形成されており、柱状の導電体であるビア514を介して、4つのヒータ線510〜540の内側端部511〜541に電気的に接続されている。各外側ドライバ電極526は、各ヒータ線510〜540の外側端部512〜542の下方に配置されている。外側ドライバ電極526は、導電性材料(例えば、タングステンやモリブデン等)により形成されており、柱状の導電体であるビア524を介して、各ヒータ線510〜540の外側端部512〜542に電気的に接続されている。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック10では、ヒータ500は、セラミックス板100において互いに異なる領域に配置され、かつ、互いに独立に温度制御可能な複数のヒータ線510〜540を備えて構成されている。このため、ヒータが単一のヒータ線のみで構成されている場合に比べて、静電チャックに保持されたウェハの温度分布をより精度よく均一にすることができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (5)
- 第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面とを有し、絶縁材料で形成された板状の絶縁板と、前記絶縁板の内部、または、前記絶縁板の前記第2の表面側に配置されたヒータと、前記ヒータに電気的に接続される導電体である、複数の給電端子とを備え、前記絶縁板の前記第1の表面側で対象物を保持する保持装置において、
前記ヒータは、複数のヒータ線を含み、
前記複数の給電端子は、前記複数のヒータ線の少なくとも1つに電気的に接続される第1の給電端子と、前記第1の給電端子より多い数の前記ヒータ線に電気的に接続される第2の給電端子とを含み、
前記第2の給電端子の電流の流れ方向に直交する断面積は、前記第1の給電端子の電流の流れ方向に直交する断面積より大きいことを特徴とする、保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、
前記第1の給電端子と前記第2の給電端子とに電気的に接続されている全ての前記ヒータ線は、前記第1の表面に平行な単一仮想平面上に配置されていることを特徴とする、保持装置。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置において、
前記ヒータが前記絶縁板の内部に配置され、
前記第2の表面側には、前記第1の給電端子が接合される第1の端子パッドと、前記第2の給電端子が接合される第2の端子パッドと、が配置され、
前記絶縁板の内部には、一端が前記第1の給電端子に電気的に接続される各前記ヒータ線に電気的に接続されるとともに他端が前記第1の端子パッドと直接接続される第1の中間導電体と、一端が前記第2の給電端子に電気的に接続される各前記ヒータ線に電気的に接続されるとともに他端が前記第2の端子パッドと直接接続される第2の中間導電体と、が配置され、
前記第2の中間導電体の電流の流れ方向に直交する断面積は、前記第1の中間導電体の電流の流れ方向に直交する断面積より大きいことを特徴とする、保持装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の保持装置において、
前記第1の給電端子と前記第2の給電端子とは、前記絶縁板の前記第2の表面側から前記第1の表面とは反対側に突出するように延びており、
前記保持装置は、さらに、
前記絶縁板の前記第2の表面側に配置され、内部に冷媒流路が形成されたベース板を備え、
前記ベース板には、前記第1の給電端子の少なくとも一部を収容する第1の収容空間と、前記第2の給電端子の少なくとも一部を収容する第2の収容空間とが形成されており、
前記第1の収容空間の前記第1の給電端子の延びる方向に直交する断面積は、前記第2の収容空間の前記第2の給電端子の延びる方向に直交する断面積より小さいことを特徴とする、保持装置。 - 請求項4に記載の保持装置において、
前記絶縁板の内部には、ドライバ電極が配置されており、前記ドライバ電極は、複数のビアを介して、前記第1の給電端子より多い数の前記ヒータ線のそれぞれに電気的に接続されるとともに、単一のビアを介して、前記第2の給電端子に電気的に接続されており、
前記第1の表面に垂直な方向視で、前記単一のビアの幅寸法は、複数のビア同士の離間距離よりも小さいことを特徴する、保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016123708A JP6730861B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016123708A JP6730861B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017228649A JP2017228649A (ja) | 2017-12-28 |
JP6730861B2 true JP6730861B2 (ja) | 2020-07-29 |
Family
ID=60891837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016123708A Active JP6730861B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6730861B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6994953B2 (ja) * | 2018-01-15 | 2022-01-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
JP6943774B2 (ja) * | 2018-01-15 | 2021-10-06 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
KR102636178B1 (ko) | 2018-02-16 | 2024-02-14 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | 유지 장치 |
JP7164959B2 (ja) * | 2018-03-05 | 2022-11-02 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置、および、保持装置の製造方法 |
JP7152926B2 (ja) * | 2018-10-05 | 2022-10-13 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005026120A (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Ibiden Co Ltd | セラミックヒータ |
US20050217799A1 (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-06 | Tokyo Electron Limited | Wafer heater assembly |
JP2007157552A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Ge Speciality Materials Japan Kk | 石英ガラス製加熱装置 |
JP5239988B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2013-07-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台構造及び処理装置 |
JP2012160368A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Nihon Ceratec Co Ltd | セラミックスヒータ及びその製造方法 |
JP6463938B2 (ja) * | 2014-10-08 | 2019-02-06 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャック |
KR101776562B1 (ko) * | 2015-08-20 | 2017-09-07 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 정전 척 히터 |
-
2016
- 2016-06-22 JP JP2016123708A patent/JP6730861B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017228649A (ja) | 2017-12-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190613 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200306 |
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|
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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