JP7392887B1 - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
10:静電チャック
50:電極端子
100:誘電体基板
110,120:面
400:ヒーター
500,500A,500B:バイパス層
510:第1バイパス層
520:第2バイパス層
610,610A,610B:第1接続部
611:ビア部
620,620A,620B:第2接続部
621:ビア部
630B:第3接続部
631:ビア部
Claims (6)
- 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側となる位置に設けられた電極部と、
前記誘電体基板に内蔵された導体層と、
前記導体層と前記電極部との間となる位置において、前記誘電体基板に内蔵されたバイパス層と、
前記導体層と前記バイパス層との間を電気的に接続する複数の第1接続部と、
前記バイパス層と前記電極部との間を電気的に接続する第2接続部と、を備え、
前記第2接続部の1つあたりの電気抵抗は、前記第1接続部の1つあたりの電気抵抗よりも小さく、
前記バイパス層は、
第1バイパス層と、
前記第1バイパス層と前記電極部との間となる位置に設けられた第2バイパス層と、を含み、
前記導体層と前記第1バイパス層との間は、前記第1接続部によって電気的に接続されており、
第2バイパス層と前記電極部との間は、前記第2接続部によって電気的に接続されており、
前記第1バイパス層と前記第2バイパス層との間を電気的に接続する複数の第3接続部を更に備え、
前記第2接続部の1つあたりの電気抵抗は、前記第3接続部の1つあたりの電気抵抗よりも小さいことを特徴とする静電チャック。 - 前記第1接続部及び前記第2接続部のそれぞれは、前記載置面に対し垂直な方向に沿って伸びる複数のビア部を含むことを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。
- 前記第2接続部が含む前記ビア部の数は、前記第1接続部が含む前記ビア部の数よりも多いことを特徴とする、請求項2に記載の静電チャック。
- 前記第1接続部が含む前記ビア部の1つあたりの断面積と、前記第2接続部が含む前記ビア部の1つあたりの断面積と、は互いに等しいことを特徴とする、請求項3に記載の静電チャック。
- 前記第1接続部及び前記第2接続部のそれぞれにおいて、複数の前記ビア部は周方向に等間隔で並ぶように配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の静電チャック。
- 前記第2接続部及び前記第3接続部のそれぞれは、前記載置面に対し垂直な方向に沿って伸びる複数のビア部を含み、
前記第2接続部が含む前記ビア部の数は、前記第3接続部が含む前記ビア部の数よりも多いことを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。
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