JP7343069B1 - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
10:静電チャック
100:誘電体基板
110:面
113:溝
151:開口
SP:空間
BS:底面
BS1:第1部分
BS2:第2部分
Claims (2)
- 誘電体基板を備える静電チャックであって、
前記誘電体基板のうち、被吸着物が載置される載置面には、
凹部と、
前記凹部の底面を貫く開口と、が形成されており、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記底面のうち、前記開口を包含する部分を第1部分とし、
前記底面のうち、前記第1部分に対し外側から隣り合う部分を第2部分としたときに、
前記第1部分の表面粗さが、前記第2部分の表面粗さよりも小さいことを特徴とする静電チャック。 - 前記第1部分が複数の前記開口を包含していることを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2023049638A JP7343069B1 (ja) | 2023-03-27 | 2023-03-27 | 静電チャック |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2023049638A JP7343069B1 (ja) | 2023-03-27 | 2023-03-27 | 静電チャック |
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JP7343069B1 true JP7343069B1 (ja) | 2023-09-12 |
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ID=87934839
Family Applications (1)
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JP2023049638A Active JP7343069B1 (ja) | 2023-03-27 | 2023-03-27 | 静電チャック |
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Country | Link |
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JP (1) | JP7343069B1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2023
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