JP7210192B2

JP7210192B2 - 保持装置の製造方法

Info

Publication number: JP7210192B2
Application number: JP2018161559A
Authority: JP
Inventors: 翔太齊藤; 真宏井上
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date: 2018-08-30
Filing date: 2018-08-30
Publication date: 2023-01-23
Anticipated expiration: 2038-08-30
Also published as: JP2020035906A

Description

本明細書に開示される技術は、保持装置の製造方法に関する。

例えば半導体製造装置の真空チャンバー内でウェハを保持する保持装置として、静電チャックが用いられる。静電チャックは、例えばセラミックス製の板状部材と、例えば金属製のベース部材と、板状部材とベース部材とを接合する接合部と、板状部材の内部に設けられたチャック電極とを備えており、チャック電極に電圧が印加されることにより発生する静電引力を利用して、板状部材の表面（以下、「吸着面」という。）にウェハを吸着して保持する。

静電チャックの吸着面に保持されたウェハの温度が所望の温度にならないと、ウェハに対する各処理（成膜、エッチング等）の精度が低下するおそれがあるため、静電チャックにはウェハの温度分布を制御する性能が求められる。そのため、例えば、板状部材の内部に配置されたヒータ電極による加熱や、ベース部材の内部に形成された冷媒流路に冷媒を供給することによる冷却によって、板状部材の吸着面の温度分布の制御（ひいては、吸着面に保持されたウェハの温度分布の制御）が行われる。

板状部材とベース部材との接合の際には、例えば、ベース部材または板状部材の表面に、スクリーン印刷等によってペースト状接着材料を塗布することにより接着材料部を形成し、板状部材とベース部材とを接着材料部を介して貼り合わせた状態で、接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、硬化した接着材料部である接合部を形成する。また、板状部材とベース部材との接合の際に、接着材料部の接着箇所以外の箇所への流れ出しを抑制するために、ベース部材または板状部材の表面に、接合部の外周部に相当する形状の環状部（ダム）を含む第１の接着材料部を形成し、第１の接着材料部に対して硬化処理を行い、ベース部材または板状部材の表面における、第１の接着材料部の環状部（ダム）によって囲まれた領域に第２の接着材料部を形成し、板状部材とベース部材とを第１の接着材料部および第２の接着材料部を介して貼り合わせ、第１の接着材料部および第２の接着材料部が硬化した接合部を形成する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１４－１６５２６７号公報

上記従来の技術では、ペースト状接着材料を塗布することにより第１の接着材料部を形成する際に、塗布厚さのバラツキが発生し、これに起因して、環状部（ダム）の高さのバラツキが発生し、その結果、製造される接合部の厚さのバラツキが発生するおそれがある。静電チャックにおいて接合部の厚さのバラツキが発生すると、接合部の各位置を介した板状部材とベース部材との間の伝熱特性（熱引き特性）にバラツキが発生し、その結果、板状部材の吸着面における温度分布の制御性が低下するおそれがある。

なお、このような課題は、静電引力を利用してウェハを保持する静電チャックに限らず、板状部材とベース部材とを備え、板状部材の表面上に対象物を保持する保持装置一般に共通の課題である。

本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。

本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本明細書に開示される保持装置の製造方法は、第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、冷媒流路が内部に形成されたベース部材と、前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着する接合部と、を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、前記接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部を形成する第１の塗布工程と、治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えるプレス工程と、前記プレス工程以降の前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行う第１の硬化工程と、前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面における、硬化処理が行われた前記第１の接着材料部の前記第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部を形成する第２の塗布工程と、前記板状部材と前記ベース部材とを前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部を介して貼り合わせた状態で、少なくとも前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する第２の硬化工程と、を備える。

本保持装置の製造方法では、ベース部材の第３の表面または板状部材の第２の表面に、接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部が形成され、第１の接着材料部に対して硬化処理が行われ、硬化処理が行われた第１の接着材料部の第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に第２の接着材料部が形成される。そのため、硬化処理が行われた第１の接着材料部の第１の環状部がダムとして機能することにより、その後に第２の接着材料部に対して硬化処理を行っても、軟化した第２の接着材料部が接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制することができる。また、本保持装置の製造方法では、ベース部材の第３の表面または板状部材の第２の表面に形成された第１の接着材料部が治具を用いてプレスされることによって高さが揃えられた後に、第１の接着材料部に対して硬化処理が行われ、該硬化処理後の第１の接着材料部の第１の環状部によって囲まれた領域に第２の接着材料部が形成される。そのため、第１の接着材料部および第２の接着材料部を硬化させて形成した接合部の厚さのバラツキを抑制することができ、接合部の厚さのバラツキに起因する板状部材の第１の表面における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。このように、本保持装置の製造方法によれば、接着材料部が接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制しつつ、接合部の厚さのバラツキを抑制して板状部材の第１の表面における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

（２）上記保持装置の製造方法において、前記第１の接着剤は、前記第２の接着剤と同種の接着剤である構成としてもよい。本保持装置の製造方法によれば、製造された接合部の内、第１の接着材料部から形成された部分と第２の接着材料部から形成された部分との間の熱伝導率を揃えることができ、接合部の局所的な熱伝導率の相違に起因する板状部材の第１の表面における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

（３）上記保持装置の製造方法において、前記プレス工程は、前記治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えると共に、前記第１の接着材料部の先端を尖頭形状にする工程である構成としてもよい。本保持装置の製造方法によれば、第１の接着材料部の先端を尖頭形状にすることにより、硬化工程後の第１の接着材料部の先端部分に配置された第２の接着材料部がすべって流れてしまうことを抑制することができ、製造された接合部の内、第１の接着材料部から形成された部分と第２の接着材料部から形成された部分との間の剥離の発生を抑制することができる。

（４）上記保持装置の製造方法において、前記第１の接着材料部は、前記第１の環状部によって囲まれた領域に位置する柱状部を含む構成としてもよい。本保持装置の製造方法では、プレス工程において、接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部と、第１の環状部によって囲まれた領域に位置する柱状部と、を含む第１の接着材料部の高さが揃えられる。従って、本保持装置の製造方法によれば、第１の接着材料部および第２の接着材料部を硬化させて形成した接合部の厚さのバラツキを効果的に抑制することができ、接合部の厚さのバラツキに起因する板状部材の第１の表面における温度分布の制御性の低下を効果的に抑制することができる。

（５）上記保持装置の製造方法において、前記ベース部材の前記第３の表面には、開口部が形成されており、前記第１の接着材料部は、前記第１の環状部によって囲まれた領域に位置し、前記開口部を取り囲む形状の第２の環状部を含む構成としてもよい。本保持装置の製造方法では、プレス工程において、接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部と、第１の環状部によって囲まれた領域に位置し、ベース部材の第３の表面の開口部を取り囲む形状の第２の環状部と、を含む第１の接着材料部の高さが揃えられる。また、その後に第１の接着材料部に対する硬化処理が行われることにより、第１の接着材料部の第２の環状部がダムとして機能する。従って、本保持装置の製造方法によれば、第２の環状部の存在によりベース部材の第３の表面の開口部への第２の接着材料部の流出を抑制しつつ、第１の接着材料部および第２の接着材料部を硬化させて形成した接合部の厚さのバラツキを抑制することができ、接合部の厚さのバラツキに起因する板状部材の第１の表面における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

（６）上記保持装置の製造方法において、前記プレス工程において、前記治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスした状態で前記第１の硬化工程を行い、前記第１の硬化工程の後に、前記第１の接着材料部から前記治具を離間させる構成としてもよい。本保持装置の製造方法では、プレス工程によりプレスされた第１の接着材料部の形状（高さや表面形状）が、第１の接着材料部から治具を離間させる動作に伴い変化することを抑制することができる。従って、本保持装置の製造方法によれば、第１の接着材料部および第２の接着材料部を硬化させて形成した接合部の厚さのバラツキを効果的に抑制することができる。

（７）上記保持装置の製造方法において、前記第１の硬化工程において、前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部を仮硬化し、前記第２の硬化工程において、互いに接した状態の前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する構成としてもよい。本保持装置の製造方法では、第１の硬化工程において第１の接着材料部を完全硬化し、第２の硬化工程において第２の接着材料部のみに対して硬化処理を行う形態と比較して、第１の接着材料部と第２の接着材料部との間の密着性を向上させることができる。従って、本保持装置の製造方法によれば、製造された接合部の内、第１の接着材料部から形成された部分と第２の接着材料部から形成された部分との間の剥離の発生を効果的に抑制することができる。

（８）本明細書に開示される保持装置の製造方法は、第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、冷媒流路が内部に形成されたベース部材と、前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着する接合部と、を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、前記接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部を形成する第１の塗布工程と、治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えるプレス工程と、前記プレス工程以降の前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の環状部を含むシート状接着材料部を形成するシート形成工程と、前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面に、前記シート状接着材料部を配置する配置工程と、前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面における、前記シート状接着材料部の前記第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部を形成する第２の塗布工程と、前記板状部材と前記ベース部材とを前記シート状接着材料部および前記第２の接着材料部を介して貼り合わせた状態で、前記シート状接着材料部および前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記シート状接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する第２の硬化工程と、を備える。

本保持装置の製造方法では、接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部が形成され、第１の接着材料部に対して硬化処理が行われることにより、第１の環状部を含むシート状接着材料部が形成され、ベース部材の第３の表面または板状部材の第２の表面にシート状接着材料部が配置され、シート状接着材料部の第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に第２の接着材料部が形成される。そのため、シート状接着材料部の第１の環状部がダムとして機能することにより、その後に第２の接着材料部に対して硬化処理を行っても、軟化した第２の接着材料部が接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制することができる。また、本保持装置の製造方法では、第１の接着材料部が治具を用いてプレスされることによって高さが揃えられた後に、第１の接着材料部に対して硬化処理が行われ、該硬化処理により形成されたシート状接着材料部の第１の環状部によって囲まれた領域に第２の接着材料部が形成される。そのため、シート状接着材料部および第２の接着材料部を硬化させて形成した接合部の厚さのバラツキを抑制することができ、接合部の厚さのバラツキに起因する板状部材の第１の表面における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。このように、本保持装置の製造方法によれば、接着材料部が接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制しつつ、接合部の厚さのバラツキを抑制して板状部材の第１の表面における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、保持装置、静電チャック、真空チャック、または、ヒータ装置の製造方法等の形態で実現することが可能である。

第１実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。第１実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。第１実施形態における静電チャック１００のＸＹ断面構成を概略的に示す説明図である。第１実施形態の静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートである。第１実施形態の静電チャック１００の製造方法を概念的に示す説明図である。第２実施形態の静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートである。第２実施形態の静電チャック１００の製造方法を概念的に示す説明図である。

Ａ．第１実施形態：
Ａ－１．静電チャック１００の構成：
図１は、第１実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、第１実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図であり、図３は、第１実施形態における静電チャック１００のＸＹ断面構成を概略的に示す説明図である。図３には、図２のＩＩＩ－ＩＩＩの位置における静電チャック１００のＸＹ断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。また、以下では、Ｚ軸方向に直交する方向を「面方向」という。

静電チャック１００は、対象物（例えばウェハＷ）を静電引力により吸着して保持する装置であり、例えば半導体製造装置の真空チャンバー内でウェハＷを固定するために使用される。静電チャック１００は、所定の配列方向（本実施形態では上下方向（Ｚ軸方向））に並べて配置された板状部材１０およびベース部材２０を備える。板状部材１０とベース部材２０とは、板状部材１０の下面Ｓ２（図２参照）とベース部材２０の上面Ｓ３とが、後述する接合部３０を挟んで上記配列方向に対向するように配置される。すなわち、ベース部材２０は、ベース部材２０の上面Ｓ３が板状部材１０の下面Ｓ２側に位置するように配置される。板状部材１０の下面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当し、ベース部材２０の上面Ｓ３は、特許請求の範囲における第３の表面に相当する。

板状部材１０は、略円板状部材であり、例えばセラミックス（例えば、アルミナや窒化アルミニウム等）により形成されている。より詳細には、板状部材１０は、外周に沿って上側に切り欠きが形成された部分である外周部ＯＰと、外周部ＯＰの内側に位置する内側部ＩＰとから構成されている。板状部材１０における内側部ＩＰの厚さ（Ｚ軸方向における厚さであり、以下同様）は、外周部ＯＰに形成された切り欠きの分だけ、外周部ＯＰの厚さより厚くなっている。すなわち、板状部材１０の外周部ＯＰと内側部ＩＰとの境界の位置で、板状部材１０の厚さが変化している。

板状部材１０の内側部ＩＰの直径は例えば５０ｍｍ～５００ｍｍ程度（通常は２００ｍｍ～３５０ｍｍ程度）であり、板状部材１０の外周部ＯＰの直径は例えば６０ｍｍ～５１０ｍｍ程度（通常は２１０ｍｍ～３６０ｍｍ程度）である（ただし、外周部ＯＰの直径は内側部ＩＰの直径より大きい）。また、板状部材１０の内側部ＩＰの厚さは例えば１ｍｍ～１０ｍｍ程度であり、板状部材１０の外周部ＯＰの厚さは例えば０．５ｍｍ～９．５ｍｍ程度である（ただし、外周部ＯＰの厚さは内側部ＩＰの厚さより薄い）。

板状部材１０の上面Ｓ１の内、内側部ＩＰにおける上面（以下、「吸着面」ともいう）Ｓ１１は、Ｚ軸方向に略直交する略円形の表面である。吸着面Ｓ１１は、対象物（例えばウェハＷ）を保持する吸着面として機能する。吸着面Ｓ１１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当する。

板状部材１０の吸着面Ｓ１１における外縁付近には、連続的な壁状の凸部（以下、「壁状凸部」という。）１２が形成されている。壁状凸部１２は、シールバンドとも呼ばれる。Ｚ軸方向視での壁状凸部１２の形状は、板状部材１０の吸着面Ｓ１１の中心を中心とした略円環状である。また、図２に示すように、壁状凸部１２の断面（Ｚ軸に平行で、かつ、上記中心を通る断面）の形状は、略矩形である。壁状凸部１２の高さは、例えば、１０μｍ～２０μｍ程度である。また、壁状凸部１２の幅（Ｚ軸方向視での壁状凸部１２の延伸方向に直交する方向の大きさ）は、例えば、０．５ｍｍ～５．０ｍｍ程度である。

また、板状部材１０の吸着面Ｓ１１における壁状凸部１２より内側の領域には、複数の独立した柱状の凸部（以下、「柱状凸部」という。）１４が形成されている。Ｚ軸方向視での各柱状凸部１４の形状は、略円形である。また、Ｚ軸方向視で、複数の柱状凸部１４は、略均等間隔で配置されている。また、図２に示すように、各柱状凸部１４の断面（Ｚ軸に平行な断面）の形状は、略矩形である。柱状凸部１４の高さは、凸部１２の高さと略同一であり、例えば、１０μｍ～２０μｍ程度である。また、柱状凸部１４の幅（Ｚ軸方向視での柱状凸部１４の最大径）は、例えば、０．５ｍｍ～１．５ｍｍ程度である。なお、板状部材１０の吸着面Ｓ１１における壁状凸部１２より内側の領域の内、柱状凸部１４が形成されていない部分は、凹部１６となっている。

ウェハＷは、板状部材１０の吸着面Ｓ１１における壁状凸部１２と複数の柱状凸部１４とに支持される。ウェハＷが壁状凸部１２および複数の柱状凸部１４に支持された状態では、ウェハＷの表面（下面）と、板状部材１０の吸着面Ｓ１１（より詳細には吸着面Ｓ１１の凹部１６）との間に、空間が存在することとなる。後述するように、この空間には、不活性ガス（例えば、ヘリウムガス）が供給される。

板状部材１０の上面Ｓ１の内、外周部ＯＰにおける上面（以下、「外周上面」ともいう）Ｓ１２は、Ｚ軸方向に略直交する略円環状の表面である。板状部材１０の外周上面Ｓ１２には、例えば、静電チャック１００を固定するための治具（不図示）が係合する。

図２に示すように、板状部材１０の内部には、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）により形成されたチャック電極４０が配置されている。Ｚ軸方向視でのチャック電極４０の形状は、例えば略円形である。チャック電極４０に電源（不図示）から電圧が印加されると、静電引力が発生し、この静電引力によってウェハＷが板状部材１０の吸着面Ｓ１１に吸着固定される。

また、板状部材１０の内部には、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）を含む抵抗発熱体により構成されたヒータ電極５０が配置されている。ヒータ電極５０に電源（不図示）から電圧が印加されると、ヒータ電極５０が発熱することによって板状部材１０が温められ、板状部材１０の吸着面Ｓ１１に保持されたウェハＷが温められる。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。

ベース部材２０は、例えば板状部材１０の外周部ＯＰと同径の、または、板状部材１０の外周部ＯＰより径が大きい円形平面の板状部材であり、例えば金属（アルミニウムやアルミニウム合金等）により形成されている。ベース部材２０の直径は例えば２２０ｍｍ～５５０ｍｍ程度（通常は２２０ｍｍ～３５０ｍｍ）であり、ベース部材２０の厚さは例えば２０ｍｍ～４０ｍｍ程度である。

ベース部材２０は、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置された接合部３０によって、板状部材１０に接合されている。接合部３０は、例えば、熱硬化型接着剤であるシリコーン系接着剤により構成されている。また、接合部３０は、上記接着剤より熱伝導率の高いフィラー（例えば、アルミナ等のセラミックスの粉末）を含んでいてもよい。接合部３０の厚さは、例えば０．１ｍｍ～１ｍｍ程度である。接合部３０の構成は、後にさらに詳述する。

ベース部材２０の内部には冷媒流路２１が形成されている。冷媒流路２１に冷媒（例えば、フッ素系不活性液体や水等）が流されると、ベース部材２０が冷却され、接合部３０を介したベース部材２０と板状部材１０との間の伝熱（熱引き）により板状部材１０が冷却され、板状部材１０の吸着面Ｓ１１に保持されたウェハＷが冷却される。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。

また、図２に示すように、静電チャック１００は、板状部材１０とウェハＷとの間の伝熱性を高めてウェハＷの温度分布の制御性をさらに高めるため、板状部材１０の吸着面Ｓ１１とウェハＷの表面との間に存在する空間に不活性ガス（例えば、ヘリウムガス）を供給する構成を備えている。すなわち、静電チャック１００には、ベース部材２０の下面Ｓ４から上面Ｓ３にわたって上下方向に延びる第１のガス流路孔１３１と、ベース部材２０の第１のガス流路孔１３１に連通すると共に接合部３０を上下方向に貫通する貫通孔１３５と、後述する凹部１３４を介して接合部３０の貫通孔１３５に連通すると共に板状部材１０の吸着面Ｓ１１に開口する第２のガス流路孔１３２とが形成されている。また、板状部材１０の内部には、第２のガス流路孔１３２と連通すると共に面方向に環状に延びる横流路１３３が形成されており、板状部材１０の下面Ｓ２には、凹部１３４が形成されている。凹部１３４には、通気性を有する充填部材（通気性プラグ）１６０が充填されている。ヘリウムガス源（不図示）から供給されたヘリウムガスが、ベース部材２０の第１のガス流路孔１３１内に流入すると、流入したヘリウムガスは、第１のガス流路孔１３１から接合部３０の貫通孔１３５および凹部１３４内に充填された通気性を有する充填部材１６０の内部を経て、板状部材１０の第２のガス流路孔１３２内に流入し、横流路１３３を介して面方向に流れつつ、吸着面Ｓ１１に形成されたガス噴出孔から噴出する。このようにして、吸着面Ｓ１１とウェハＷの表面との間に存在する空間に、ヘリウムガスが供給される。

Ａ－２．接合部３０の詳細構成：
次に、接合部３０の詳細構成について説明する。図３に示すように、本実施形態の静電チャック１００では、接合部３０が、面方向に並ぶ２つの部分である第１の接合部３１０および第２の接合部３２０を備えている。第１の接合部３１０は、後述する静電チャック１００の製造方法において、第１の接着材料部３１０ａから形成された部分であり、第２の接合部３２０は、後述する静電チャック１００の製造方法において、第２の接着材料部３２０ａから形成された部分である。第１の接合部３１０および第２の接合部３２０の厚さは、接合部３０の厚さと同様に、例えば０．１ｍｍ～１ｍｍ程度である。なお、第１の接合部３１０および第２の接合部３２０は、実際には、互いに一体となっている。

図３に示すように、第１の接合部３１０は、面方向に並ぶ３つの部分である外周環状部３１１、柱状部３１３および開口部環状部３１２を含んでいる。外周環状部３１１は、Ｚ軸方向視での接合部３０の外周部に相当する環状の部分である。外周環状部３１１の幅（Ｚ軸方向視で、延伸方向に直交する方向の大きさ）は、例えば０．１ｍｍ～５ｍｍ程度である。

第１の接合部３１０の柱状部３１３は、外周環状部３１１によって囲まれた領域に位置する柱状の部分である。柱状部３１３の径（Ｚ軸方向視での大きさ）は、例えば０．１ｍｍ～１０ｍｍ程度である。本実施形態では、第１の接合部３１０は複数の柱状部３１３を含んでいる。複数の柱状部３１３は、外周環状部３１１によって囲まれた領域に、略均等に配置される。

第１の接合部３１０の開口部環状部３１２は、外周環状部３１１によって囲まれた領域に位置し、かつ、Ｚ軸方向視でベース部材２０の上面Ｓ３に形成された開口部（例えば、第１のガス流路孔１３１の開口部）を取り囲む環状の部分である。なお、開口部環状部３１２により囲まれた空間が、接合部３０を貫通する貫通孔（例えば、貫通孔１３５）となる。開口部環状部３１２の幅（Ｚ軸方向視で、延伸方向に直交する方向の大きさ）は、例えば０．１ｍｍ～１０ｍｍ程度である。なお、図３には、１つの開口部環状部３１２のみが図示されているが、ベース部材２０の上面Ｓ３に複数の開口部（例えば、リフトピン用の開口部や給電端子用の開口部等）が形成されている場合には、該複数の開口部のそれぞれに対応して開口部環状部３１２が設けられる。

また、第２の接合部３２０は、第１の接合部３１０の外周環状部３１１によって囲まれた領域の内、柱状部３１３および開口部環状部３１２が存在する領域を除く領域の全体にわたって配置された部分である。

本実施形態では、第１の接合部３１０に含まれる接着剤は、第２の接合部３２０に含まれる接着剤と同種の接着剤である。また、第１の接合部３１０が接着剤に加えてフィラーを含む場合には、第２の接合部３２０も接着剤に加えて同種のフィラーを含むことが好ましい。

Ａ－３．静電チャック１００の製造方法：
次に、第１実施形態の静電チャック１００の製造方法について説明する。図４は、第１実施形態の静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートであり、図５は、第１実施形態の静電チャック１００の製造方法を概念的に示す説明図である。

はじめに、板状部材１０とベース部材２０とを準備する（Ｓ１１０）。板状部材１０およびベース部材２０は、公知の製造方法によって製造可能である。例えば、板状部材１０は以下の方法で製造される。すなわち、複数のセラミックスグリーンシート（例えばアルミナグリーンシート）を準備し、所定のセラミックスグリーンシートに所定の加工を行う。所定の加工としては、例えば、チャック電極４０やヒータ電極５０等の形成のためのメタライズペーストの印刷、各ビアの形成のための孔開けおよびメタライズペーストの充填、各ガス流路の形成のための孔開け等が挙げられる。これらのセラミックスグリーンシートを積層して熱圧着し、切断等の加工を行うことにより、セラミックスグリーンシートの積層体を得る。得られたセラミックスグリーンシートの積層体を焼成することによりセラミックス焼成体を作製し、研磨加工や、壁状凸部１２および柱状凸部１４を形成するためのショットブラスト加工等の所定の加工を行うことにより、板状部材１０が製造される。

次に、準備されたベース部材２０の上面Ｓ３に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第１の接着材料部３１０ａを形成する（Ｓ１２０、図５のＡ欄参照）。第１の接着材料部３１０ａは、接合部３０の内の第１の接合部３１０を形成するための接着材料部であり、おおよそ第１の接合部３１０の形状と同様の形状に形成される。第１の接着材料部３１０ａは、第１の接合部３１０を構成する各部（外周環状部３１１、開口部環状部３１２および柱状部３１３）を形成するための部分を含む。説明の便宜上、第１の接着材料部３１０ａの内、外周環状部３１１、開口部環状部３１２および柱状部３１３を形成するための部分を、それぞれ、第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａ、開口部環状部３１２ａおよび柱状部３１３ａという。Ｓ１２０の塗布工程は、例えば、第１の接着材料部３１０ａを構成する各部（外周環状部３１１ａ、開口部環状部３１２ａおよび柱状部３１３ａ）の形状に対応する開口部が形成されたマスクを用いたスクリーン印刷によって行う。また、Ｓ１２０の塗布工程に用いられるペースト状接着材料の粘度は、塗布後に自身の形状を保持することができる程度の粘度に設定される。なお、スクリーン印刷等の塗布工程では、塗布厚さのバラツキが発生するため、Ｓ１２０の塗布工程により形成された第１の接着材料部３１０ａにおいては、高さのバラツキが発生する。なお、ここでいう第１の接着材料部３１０ａの高さのバラツキとは、第１の接着材料部３１０ａを構成する１つの部分（例えば、外周環状部３１１ａ）における各位置での高さのバラツキと、第１の接着材料部３１０ａを構成する複数の部分（例えば、外周環状部３１１ａと柱状部３１３ａ）との間での高さのバラツキと、の少なくとも一方を意味する。Ｓ１２０の工程は、特許請求の範囲における第１の塗布工程に相当し、外周環状部３１１ａは、特許請求の範囲における第１の環状部に相当し、開口部環状部３１２ａは、特許請求の範囲における第２の環状部に相当する。

次に、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスすることにより、第１の接着材料部３１０ａの高さを揃える（Ｓ１３０、図５のＢ欄参照）。この工程により、上述した第１の接着材料部３１０ａの高さのバラツキが補正され、第１の接着材料部３１０ａの高さが略均一となる。なお、この工程に用いられる治具４００は、第１の接着材料部３１０ａの高さを揃えることができるものであればよく、治具４００の表面（プレス面）の形状は任意に設定可能である。例えば、治具４００のプレス面の形状が、治具４００によってプレスされた第１の接着材料部３１０ａの先端が平坦形状となるような形状であってもよい。ただし、本実施形態では、治具４００のプレス面の形状が、治具４００によってプレスされた第１の接着材料部３１０ａの先端が尖頭形状となるような形状であるとしている。Ｓ１３０の工程は、特許請求の範囲におけるプレス工程に相当する。

次に、Ｓ１３０のプレス工程以降の第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行う（Ｓ１４０）。本実施形態では、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行うことにより、第１の接着材料部３１０ａを仮硬化する。なお、本明細書において、仮硬化とは、接着材料部がゴム硬度計（ショアＡ）で測定した際に２０以上５０以下の値を示す状態を意味する。Ｓ１４０における硬化処理としては、例えば、１２０℃、０．５～１時間の熱処理が行われる。なお、本実施形態では、Ｓ１４０における硬化処理は、Ｓ１３０において治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスした状態で行われる。Ｓ１４０における硬化処理の後に、第１の接着材料部３１０ａから治具４００を離間する。Ｓ１４０の工程は、特許請求の範囲における第１の硬化工程に相当する。

次に、ベース部材２０の上面Ｓ３における、硬化処理が行われた第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａによって囲まれた領域（ただし、柱状部３１３ａおよび開口部環状部３１２ａが存在する領域を除く）に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部３２０ａを形成する（Ｓ１５０、図５のＣ欄参照）。第２の接着材料部３２０ａは、接合部３０の内の第２の接合部３２０を形成するための接着材料部であり、おおよそ第２の接合部３２０の形状と同様の形状に形成される。Ｓ１５０の塗布工程は、例えば、第２の接着材料部３２０ａの形状に対応する開口部が形成されたマスクを用いたスクリーン印刷によって行う。本実施形態では、Ｓ１５０の塗布工程に用いられるペースト状接着材料に含まれる第２の接着剤として、Ｓ１２０の塗布工程に用いられるペースト状接着材料に含まれる第１の接着剤と同種の接着剤が用いられる。また、Ｓ１５０の塗布工程に用いられるペースト状接着材料の粘度は、Ｓ１２０の塗布工程に用いられるペースト状接着材料の粘度と同程度に設定される。また、Ｓ１５０の塗布工程により形成される第２の接着材料部３２０ａの厚さは、例えば、Ｓ１４０の硬化工程後の第１の接着材料部３１０ａの厚さの１０５～１１０％程度の厚さに設定される。Ｓ１５０の工程は、特許請求の範囲における第２の塗布工程に相当する。

次に、板状部材１０をベース部材２０の上面Ｓ３側に配置することにより、板状部材１０とベース部材２０とを第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａを介して貼り合わせた状態とし、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行う（Ｓ１６０、図５のＤ欄参照）。この硬化処理により、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａが硬化して（完全硬化して）、それぞれ、第１の接合部３１０および第２の接合部３２０となり、第１の接合部３１０と第２の接合部３２０とから構成された接合部３０が形成される。なお、本明細書において、完全硬化とは、接着材料部がゴム硬度計（ショアＡ）で測定した際に５０より大きい値を示す状態を意味する。Ｓ１６０における硬化処理としては、例えば、１５０℃、３～５時間の熱処理が行われる。また、Ｓ１６０における硬化処理の際には、板状部材１０とベース部材２０との積層体が積層方向に加圧されるとしてもよい。Ｓ１６０の工程は、特許請求の範囲における第２の硬化工程に相当する。主として以上の工程により、本実施形態の静電チャック１００が製造される。

Ａ－４．本実施形態の効果：
以上説明したように、本実施形態の静電チャック１００は、板状部材１０と、ベース部材２０と、接合部３０とを備える。板状部材１０は、吸着面Ｓ１１と、吸着面Ｓ１１とは反対側の下面Ｓ２とを有する。ベース部材２０は、上面Ｓ３を有し、上面Ｓ３が板状部材１０の下面Ｓ２側に位置するように配置される。ベース部材２０の内部には、冷媒流路２１が形成されている。接合部３０は、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置されて板状部材１０とベース部材２０とを接着する。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法は、ベース部材２０の上面Ｓ３に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、接合部３０の外周部に相当する形状の外周環状部３１１ａを含む第１の接着材料部３１０ａを形成する工程（第１の塗布工程、Ｓ１２０）と、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスすることにより、第１の接着材料部３１０ａの高さを揃える工程（プレス工程、Ｓ１３０）と、プレス工程以降の第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行う工程（第１の硬化工程、Ｓ１４０）と、ベース部材２０の上面Ｓ３における、硬化処理が行われた第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａによって囲まれた領域の少なくとも一部（開口部環状部３１２ａおよび柱状部３１３ａが存在する領域を除く領域）に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部３２０ａを形成する工程（第２の塗布工程、Ｓ１５０）と、板状部材１０とベース部材２０とを第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａを介して貼り合わせた状態で、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行うことにより、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａが硬化した接合部３０を形成する工程（第２の硬化工程、Ｓ１６０）とを備える。

このように、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、ベース部材２０の上面Ｓ３に、接合部３０の外周部に相当する形状の外周環状部３１１ａを含む第１の接着材料部３１０ａが形成され、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理が行われ、硬化処理が行われた第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａによって囲まれた領域の少なくとも一部に第２の接着材料部３２０ａが形成される。そのため、硬化処理が行われた第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａがダムとして機能することにより、その後に第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行っても、軟化した第２の接着材料部３２０ａが接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制することができる。また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、ベース部材２０の上面Ｓ３に形成された第１の接着材料部３１０ａが治具４００を用いてプレスされることによって高さが揃えられた後に、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理が行われ、該硬化処理後の第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａによって囲まれた領域に第２の接着材料部３２０ａが形成される。そのため、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを抑制することができ、接合部３０の厚さのバラツキに起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。このように、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、接着材料部が接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制しつつ、接合部３０の厚さのバラツキを抑制して板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１の接着材料部３１０ａを形成するペースト状接着材料に含まれる第１の接着剤は、第２の接着材料部３２０ａを形成するペースト状接着材料に含まれる第２の接着剤と同種の接着剤である。そのため、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、製造された接合部３０の内、第１の接着材料部３１０ａから形成された第１の接合部３１０と第２の接着材料部３２０ａから形成された第２の接合部３２０との間の熱伝導率を揃えることができ、接合部３０の局所的な熱伝導率の相違に起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、上記プレス工程は、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスすることにより、第１の接着材料部３１０ａの高さを揃えると共に、第１の接着材料部３１０ａの先端を尖頭形状にする工程である。そのため、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、第１の接着材料部３１０ａの先端を尖頭形状にすることにより、硬化工程後の第１の接着材料部３１０ａの先端部分に配置された第２の接着材料部３２０ａがすべって流れてしまうことを抑制することができ、製造された接合部３０の内、第１の接着材料部３１０ａから形成された第１の接合部３１０と第２の接着材料部３２０ａから形成された第２の接合部３２０との間の剥離の発生を抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１の接着材料部３１０ａは、外周環状部３１１ａによって囲まれた領域に位置する柱状部３１３ａを含む。そのため、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、Ｓ１３０のプレス工程において、接合部３０の外周部に相当する形状の外周環状部３１１ａと、外周環状部３１１ａによって囲まれた領域に位置する柱状部３１３ａと、を含む第１の接着材料部３１０ａの高さが揃えられる。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを効果的に抑制することができ、接合部３０の厚さのバラツキに起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を効果的に抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、ベース部材２０の上面Ｓ３に、開口部（例えば第１のガス流路孔１３１）が形成されており、第１の接着材料部３１０ａは開口部環状部３１２ａを含む。開口部環状部３１２ａは、外周環状部３１１ａによって囲まれた領域に位置し、上記開口部を取り囲む形状の部分である。そのため、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、Ｓ１３０のプレス工程において、接合部３０の外周部に相当する形状の外周環状部３１１ａと、外周環状部３１１ａによって囲まれた領域に位置し、ベース部材２０の上面Ｓ３の開口部を取り囲む形状の開口部環状部３１２ａと、を含む第１の接着材料部３１０ａの高さが揃えられる。また、その後に第１の接着材料部３１０ａに対する硬化処理が行われることにより、第１の接着材料部３１０ａの開口部環状部３１２ａがダムとして機能する。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、開口部環状部３１２ａの存在によりベース部材２０の上面Ｓ３の開口部への第２の接着材料部３２０ａの流出を抑制しつつ、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを抑制することができ、接合部３０の厚さのバラツキに起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、Ｓ１３０のプレス工程において、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスした状態でＳ１４０の硬化工程を行い、Ｓ１４０の硬化工程の後に、第１の接着材料部３１０ａから治具４００を離間させる。そのため、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、Ｓ１３０のプレス工程によりプレスされた第１の接着材料部３１０ａの形状（高さや表面形状）が、第１の接着材料部３１０ａから治具４００を離間させる動作に伴い変化することを抑制することができる。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを効果的に抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、Ｓ１４０の硬化工程において、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行うことにより、第１の接着材料部３１０ａを仮硬化し、Ｓ１６０の硬化工程において、互いに接した状態の第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行うことにより、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａが（完全）硬化した接合部３０を形成する。そのため、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、Ｓ１４０の硬化工程において第１の接着材料部３１０ａを完全硬化し、Ｓ１６０の硬化工程において第２の接着材料部３２０ａのみに対して硬化処理を行う形態と比較して、第１の接着材料部３１０ａと第２の接着材料部３２０ａとの間の密着性を向上させることができる。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、製造された接合部３０の内、第１の接着材料部３１０ａから形成された第１の接合部３１０と第２の接着材料部３２０ａから形成された第２の接合部３２０との間の剥離の発生を効果的に抑制することができる。

Ｂ．第２実施形態：
図６は、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートであり、図７は、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法を概念的に示す説明図である。以下では、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法の内、上述した第１実施形態の静電チャック１００の製造方法と同一の工程については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

はじめに、第１実施形態と同様に、板状部材１０とベース部材２０とを準備する（Ｓ１１０）。

次に、作業台５００の上面に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第１の接着材料部３１０ａを形成する（Ｓ１２２、図７のＡ欄参照）。Ｓ１２２の工程は、第１の接着材料部３１０ａの形成面がベース部材２０の上面Ｓ３から作業台５００の上面に変更された点を除き、第１実施形態におけるＳ１２０の工程と同様である。Ｓ１２２の工程は、特許請求の範囲における第１の塗布工程に相当し、外周環状部３１１ａは、特許請求の範囲における第１の環状部に相当する。

次に、第１実施形態と同様に、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスすることにより、第１の接着材料部３１０ａの高さを揃える（Ｓ１３０、図７のＢ欄参照）。

次に、Ｓ１３０のプレス工程以降の第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行うことにより、シート状接着材料部３１０ｂを形成する（Ｓ１４２、図７のＢ欄参照）。シート状接着材料部３１０ｂは、第１の接着材料部３１０ａが仮硬化した状態のものである。説明の便宜上、シート状接着材料部３１０ｂの内、第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａ、開口部環状部３１２ａおよび柱状部３１３ａが仮硬化した部分を、それぞれ、外周環状部３１１ｂ、開口部環状部３１２ｂおよび柱状部３１３ｂという。Ｓ１４２における硬化処理としては、例えば、１２０℃、０．５～１時間の熱処理が行われる。なお、本実施形態では、Ｓ１４２における硬化処理は、Ｓ１３０において治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスした状態で行われる。Ｓ１４２における硬化処理の後に、第１の接着材料部３１０ａ（シート状接着材料部３１０ｂ）から治具４００を離間する。Ｓ１４２の工程は、特許請求の範囲におけるシート形成工程に相当する。

次に、ベース部材２０の上面Ｓ３に、Ｓ１４２で形成されたシート状接着材料部３１０ｂを配置する（Ｓ１４４、図７のＣ欄参照）。ベース部材２０の上面Ｓ３へのシート状接着材料部３１０ｂの配置の際には、外周環状部３１１ｂが接合部３０の外周部となる位置となり、開口部環状部３１２ｂがベース部材２０の上面Ｓ３の開口部を取り囲む位置となるように、ベース部材２０とシート状接着材料部３１０ｂとの間の相対位置が調整される。Ｓ１４４の工程は、特許請求の範囲における配置工程に相当する。

次に、ベース部材２０の上面Ｓ３における、シート状接着材料部３１０ｂの外周環状部３１１ｂによって囲まれた領域（ただし、柱状部３１３ｂおよび開口部環状部３１２ｂが存在する領域を除く）に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部３２０ａを形成する（Ｓ１５２、図７のＤ欄参照）。この塗布工程は、第１の接着材料部３１０ａがシート状接着材料部３１０ｂに変更された点を除き、第１実施形態におけるＳ１５０の工程と同様である。Ｓ１５２の工程は、特許請求の範囲における第２の塗布工程に相当する。

次に、板状部材１０をベース部材２０の上面Ｓ３側に配置することにより、板状部材１０とベース部材２０とをシート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａを介して貼り合わせた状態とし、シート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行う（Ｓ１６２、図７のＥ欄参照）。この硬化処理により、シート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａが硬化して（完全硬化して）、それぞれ、第１の接合部３１０および第２の接合部３２０となり、第１の接合部３１０と第２の接合部３２０とから構成された接合部３０が形成される。この硬化工程は、第１の接着材料部３１０ａがシート状接着材料部３１０ｂに変更された点を除き、第１実施形態におけるＳ１６０の工程と同様である。Ｓ１６２の工程は、特許請求の範囲における第２の硬化工程に相当する。主として以上の工程により、第２実施形態の静電チャック１００が製造される。

以上説明したように、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法は、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、接合部３０の外周部に相当する形状の外周環状部３１１ａを含む第１の接着材料部３１０ａを形成する工程（第１の塗布工程、Ｓ１２２）と、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスすることにより、第１の接着材料部３１０ａの高さを揃える工程（プレス工程、Ｓ１３０）と、プレス工程以降の第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行うことにより、外周環状部３１１ａを含むシート状接着材料部３１０ｂを形成する工程（シート形成程、Ｓ１４２）と、ベース部材２０の上面Ｓ３にシート状接着材料部３１０ｂを配置する工程（配置工程、Ｓ１４４）と、ベース部材２０の上面Ｓ３における、シート状接着材料部３１０ｂの外周環状部３１１ｂによって囲まれた領域の少なくとも一部（開口部環状部３１２ｂおよび柱状部３１３ｂが存在する領域を除く領域）に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部３２０ａを形成する工程（第２の塗布工程、Ｓ１５２）と、板状部材１０とベース部材２０とをシート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａを介して貼り合わせた状態で、シート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行うことにより、シート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａが（完全）硬化した接合部３０を形成する工程（第２の硬化工程、Ｓ１６２）とを備える。

このように、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、作業台５００の上面に、接合部３０の外周部に相当する形状の外周環状部３１１ａを含む第１の接着材料部３１０ａが形成され、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理が行われることにより、外周環状部３１１ｂを含むシート状接着材料部３１０ｂが形成され、ベース部材２０の上面Ｓ３にシート状接着材料部３１０ｂが配置され、シート状接着材料部３１０ｂの外周環状部３１１ｂによって囲まれた領域の少なくとも一部に第２の接着材料部３２０ａが形成される。そのため、シート状接着材料部３１０ｂの外周環状部３１１ｂがダムとして機能することにより、その後に第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行っても、軟化した第２の接着材料部３２０ａが接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制することができる。また、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、作業台５００の上面に形成された第１の接着材料部３１０ａが治具４００を用いてプレスされることによって高さが揃えられた後に、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理が行われ、該硬化処理により形成されたシート状接着材料部３１０ｂの外周環状部３１１ｂによって囲まれた領域に第２の接着材料部３２０ａが形成される。そのため、シート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを抑制することができ、接合部３０の厚さのバラツキに起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。このように、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、接着材料部が接着箇所以外の箇所へ流れ出すことを抑制しつつ、接合部３０の厚さのバラツキを抑制して板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１実施形態と同様に、第１の接着材料部３１０ａを形成するペースト状接着材料に含まれる第１の接着剤は、第２の接着材料部３２０ａを形成するペースト状接着材料に含まれる第２の接着剤と同種の接着剤であるため、製造された接合部３０の内、第１の接着材料部３１０ａ（シート状接着材料部３１０ｂ）から形成された第１の接合部３１０と第２の接着材料部３２０ａから形成された第２の接合部３２０との間の熱伝導率を揃えることができ、接合部３０の局所的な熱伝導率の相違に起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１実施形態と同様に、上記プレス工程は、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスすることにより、第１の接着材料部３１０ａの高さを揃えると共に、第１の接着材料部３１０ａの先端を尖頭形状にする工程であるため、第１の接着材料部３１０ａを仮硬化させたシート状接着材料部３１０ｂの先端部分に配置された第２の接着材料部３２０ａがすべって流れてしまうことを抑制することができ、製造された接合部３０の内、第１の接着材料部３１０ａ（シート状接着材料部３１０ｂ）から形成された第１の接合部３１０と第２の接着材料部３２０ａから形成された第２の接合部３２０との間の剥離の発生を抑制することができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１実施形態と同様に、第１の接着材料部３１０ａは、外周環状部３１１ａによって囲まれた領域に位置する柱状部３１３ａを含むため、第１の接着材料部３１０ａを仮硬化させたシート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを効果的に抑制することができ、接合部３０の厚さのバラツキに起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を効果的に抑制することができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１実施形態と同様に、ベース部材２０の上面Ｓ３に、開口部（例えば第１のガス流路孔１３１）が形成されており、第１の接着材料部３１０ａは、外周環状部３１１ａによって囲まれた領域に位置し、上記開口部を取り囲む形状の開口部環状部３１２ａを含むため、開口部環状部３１２ａの存在によりベース部材２０の上面Ｓ３の開口部への第２の接着材料部３２０ａの流出を抑制しつつ、第１の接着材料部３１０ａを仮硬化させたシート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを抑制することができ、接合部３０の厚さのバラツキに起因する板状部材１０の吸着面Ｓ１１における温度分布の制御性の低下を抑制することができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１実施形態と同様に、Ｓ１３０のプレス工程において、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスした状態でＳ１４２のシート形成工程を行い、Ｓ１４２のシート形成工程の後に、第１の接着材料部３１０ａを仮硬化させたシート状接着材料部３１０ｂから治具４００を離間させるため、Ｓ１３０のプレス工程によりプレスされた第１の接着材料部３１０ａの形状（高さや表面形状）が、シート状接着材料部３１０ｂから治具４００を離間させる動作に伴い変化することを抑制することができ、シート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａを硬化させて形成した接合部３０の厚さのバラツキを効果的に抑制することができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、第１実施形態と同様に、Ｓ１４２のシート形成工程において、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行うことにより第１の接着材料部３１０ａが仮硬化したシート状接着材料部３１０ｂを形成し、Ｓ１６２の硬化工程において、互いに接した状態のシート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行うことにより、シート状接着材料部３１０ｂおよび第２の接着材料部３２０ａが（完全）硬化した接合部３０を形成するため、シート状接着材料部３１０ｂと第２の接着材料部３２０ａとの間の密着性を向上させることができ、製造された接合部３０の内、シート状接着材料部３１０ｂから形成された第１の接合部３１０と第２の接着材料部３２０ａから形成された第２の接合部３２０との間の剥離の発生を効果的に抑制することができる。

Ｃ．変形例：
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。

上記実施形態における静電チャック１００の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、接合部３０の第１の接合部３１０が外周環状部３１１と開口部環状部３１２と柱状部３１３とを含んでいるが、第１の接合部３１０が開口部環状部３１２と柱状部３１３との少なくとも一方を含まないとしてもよい。

また、上記実施形態では、板状部材１０が、外周に沿って上側に切り欠きが形成された部分である外周部ＯＰと、外周部ＯＰの内側に位置する内側部ＩＰとから構成されているが、板状部材１０に切り欠きが形成されておらず、板状部材１０のＺ軸方向の厚さが全体にわたって一様であるとしてもよい。また、上記実施形態では、板状部材１０の吸着面Ｓ１１に、壁状凸部１２と柱状凸部１４とが形成されているが、壁状凸部１２や柱状凸部１４が形成されていなくてもよい。また、上記実施形態では、板状部材１０の内部に１つのチャック電極４０が設けられた単極方式が採用されているが、板状部材１０の内部に一対のチャック電極４０が設けられた双極方式が採用されてもよい。また、上記実施形態の静電チャック１００における各部材を形成する材料は、あくまで例示であり、各部材が他の材料により形成されてもよい。

また、上記実施形態における静電チャック１００の製造方法は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記第１実施形態では、ベース部材２０の上面Ｓ３に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより第１の接着材料部３１０ａを形成し（Ｓ１２０）、ベース部材２０の上面Ｓ３における、硬化処理が行われた第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａによって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより第２の接着材料部３２０ａを形成しているが（Ｓ１５０）、ベース部材２０の上面Ｓ３に代えて板状部材１０の下面Ｓ２に、第１の接着材料部３１０ａを形成し、板状部材１０の下面Ｓ２における、硬化処理が行われた第１の接着材料部３１０ａの外周環状部３１１ａによって囲まれた領域の少なくとも一部に第２の接着材料部３２０ａを形成するとしてもよい。

同様に、上記第２実施形態では、ベース部材２０の上面Ｓ３に、シート状接着材料部３１０ｂを配置し（Ｓ１４４）、ベース部材２０の上面Ｓ３における、シート状接着材料部３１０ｂの外周環状部３１１ｂによって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより第２の接着材料部３２０ａを形成しているが（Ｓ１５２）、ベース部材２０の上面Ｓ３に代えて板状部材１０の下面Ｓ２に、シート状接着材料部３１０ｂを配置し、板状部材１０の下面Ｓ２における、シート状接着材料部３１０ｂの外周環状部３１１ｂによって囲まれた領域の少なくとも一部に第２の接着材料部３２０ａを形成するとしてもよい。

また、上記第１実施形態では、Ｓ１４０の硬化工程において、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行うことにより第１の接着材料部３１０ａを仮硬化し、Ｓ１６０の硬化工程において、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行うことにより、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａが完全硬化した接合部３０を形成するとしているが、これに代えて、Ｓ１４０の硬化工程において、第１の接着材料部３１０ａに対して硬化処理を行うことにより第１の接着材料部３１０ａを完全硬化し、Ｓ１６０の硬化工程において、第２の接着材料部３２０ａに対して硬化処理を行うことにより、第１の接着材料部３１０ａおよび第２の接着材料部３２０ａが完全硬化した接合部３０を形成するとしてもよい。

また、上記各実施形態では、第１の接着材料部３１０ａを形成するペースト状接着材料に含まれる第１の接着剤は、第２の接着材料部３２０ａを形成するペースト状接着材料に含まれる第２の接着剤と同種の接着剤であるとしているが、これらが異種の接着剤であってもよい。また、上記各実施形態では、プレス工程において、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスすることにより第１の接着材料部３１０ａの先端を尖頭形状にするとしているが、プレス工程後の第１の接着材料部３１０ａの先端形状は、尖頭形状以外の形状であってもよい。また、上記各実施形態では、第１の接着材料部３１０ａが外周環状部３１１ａと開口部環状部３１２ａと柱状部３１３ａとを含んでいるが、第１の接着材料部３１０ａが開口部環状部３１２ａと柱状部３１３ａとの少なくとも一方を含まないとしてもよい。また、上記各実施形態では、Ｓ１３０のプレス工程において、治具４００を用いて第１の接着材料部３１０ａをプレスした状態で硬化処理を行い、該硬化処理の後に第１の接着材料部３１０ａ（またはシート状接着材料部３１０ｂ）から治具４００を離間させるとしているが、硬化処理の前に第１の接着材料部３１０ａから治具４００を離間させるとしてもよい。

また、本発明は、静電引力を利用してウェハＷを保持する静電チャック１００の製造方法に限らず、板状部材１０とベース部材２０とを備え、板状部材１０の表面上に対象物を保持する他の保持装置（例えば、真空チャックやヒータ装置等）の製造方法にも適用可能である。

１０：板状部材１２：壁状凸部１４：柱状凸部１６：凹部２０：ベース部材２１：冷媒流路３０：接合部４０：チャック電極５０：ヒータ電極１００：静電チャック１３１：第１のガス流路孔１３２：第２のガス流路孔１３３：横流路１３４：凹部１３５：貫通孔１６０：充填部材３１０：第１の接合部３１０ａ：第１の接着材料部３１０ｂ：シート状接着材料部３１１：外周環状部３１１ａ：外周環状部３１１ｂ：外周環状部３１２：開口部環状部３１２ａ：開口部環状部３１２ｂ：開口部環状部３１３：柱状部３１３ａ：柱状部３１３ｂ：柱状部３２０：第２の接合部３２０ａ：第２の接着材料部４００：治具５００：作業台ＩＰ：内側部ＯＰ：外周部Ｓ１１：吸着面Ｓ１２：外周上面Ｓ１：上面Ｓ２：下面Ｓ３：上面Ｓ４：下面Ｗ：ウェハ

Claims

第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、
第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、冷媒流路が内部に形成されたベース部材と、
前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、前記接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部を形成する第１の塗布工程と、
治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えるプレス工程と、
前記プレス工程以降の前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行う第１の硬化工程と、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面における、硬化処理が行われた前記第１の接着材料部の前記第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部を形成する第２の塗布工程と、
前記板状部材と前記ベース部材とを前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部を介して貼り合わせた状態で、少なくとも前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する第２の硬化工程と、
を備え、
前記プレス工程は、前記治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えると共に、前記第１の接着材料部の先端を尖頭形状にする工程である、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、
第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、冷媒流路が内部に形成されたベース部材と、
前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、前記接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部を形成する第１の塗布工程と、
治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えるプレス工程と、
前記プレス工程以降の前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行う第１の硬化工程と、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面における、硬化処理が行われた前記第１の接着材料部の前記第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部を形成する第２の塗布工程と、
前記板状部材と前記ベース部材とを前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部を介して貼り合わせた状態で、少なくとも前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する第２の硬化工程と、
を備え、
前記プレス工程において、前記治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスした状態で前記第１の硬化工程を行い、前記第１の硬化工程の後に、前記第１の接着材料部から前記治具を離間させる、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、
第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、冷媒流路が内部に形成されたベース部材と、
前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面に、第１の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、前記接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部を形成する第１の塗布工程と、
治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えるプレス工程と、
前記プレス工程以降の前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行う第１の硬化工程と、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面における、硬化処理が行われた前記第１の接着材料部の前記第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部を形成する第２の塗布工程と、
前記板状部材と前記ベース部材とを前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部を介して貼り合わせた状態で、少なくとも前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する第２の硬化工程と、
を備え、
前記第１の硬化工程において、前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部を仮硬化し、
前記第２の硬化工程において、互いに接した状態の前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の保持装置の製造方法において、
前記第１の接着剤は、前記第２の接着剤と同種の接着剤である、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の保持装置の製造方法において、
前記第１の接着材料部は、前記第１の環状部によって囲まれた領域に位置する柱状部を含む、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の保持装置の製造方法において、
前記ベース部材の前記第３の表面には、開口部が形成されており、
前記第１の接着材料部は、前記第１の環状部によって囲まれた領域に位置し、前記開口部を取り囲む形状の第２の環状部を含む、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、
第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、冷媒流路が内部に形成されたベース部材と、
前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、
第１の接着剤を含むペースト状接着材料をベース部材または板状部材とは異なる部材上に塗布することにより、前記接合部の外周部に相当する形状の第１の環状部を含む第１の接着材料部を形成する第１の塗布工程と、
治具を用いて前記第１の接着材料部をプレスすることにより、前記第１の接着材料部の高さを揃えるプレス工程と、
前記プレス工程以降の前記第１の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記第１の環状部を含むシート状接着材料部を形成するシート形成工程と、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面に、前記シート状接着材料部を配置する配置工程と、
前記ベース部材の前記第３の表面または前記板状部材の前記第２の表面における、前記シート状接着材料部の前記第１の環状部によって囲まれた領域の少なくとも一部に、第２の接着剤を含むペースト状接着材料を塗布することにより、第２の接着材料部を形成する第２の塗布工程と、
前記板状部材と前記ベース部材とを前記シート状接着材料部および前記第２の接着材料部を介して貼り合わせた状態で、前記シート状接着材料部および前記第２の接着材料部に対して硬化処理を行うことにより、前記シート状接着材料部および前記第２の接着材料部が硬化した前記接合部を形成する第２の硬化工程と、
を備える、ことを特徴とする保持装置の製造方法。