JP7379171B2 - 保持装置 - Google Patents
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Description
A-1.静電チャック100の構成:
図1は、第1実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、第1実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、板状部材10とベース部材20との接合の詳細構成について説明する。図3は、第1実施形態の静電チャック100における板状部材10とベース部材20との接合の詳細構成を示す説明図である。図3には、静電チャック100の一部分(図2のX1部)のXZ断面構成が拡大して示されている。
次に、第1実施形態における静電チャック100の製造方法の一例を説明する。図4は、第1実施形態における静電チャック100の製造方法の概要を示す説明図である。
以上説明したように、第1実施形態の静電チャック100は、Z軸方向に略直交する吸着面S11と、吸着面S11とは反対側の下面S2と、を有する板状部材10と、上面S3を有し、上面S3が板状部材10の下面S2側に位置するように配置され、板状部材10の形成材料の熱膨張率とは異なる熱膨張率を有する材料により形成されたベース部材20の本体部22とを備え、板状部材10の吸着面S11上にウェハWを保持する保持装置である。第1実施形態の静電チャック100は、さらに、ベース部材20に形成された複数の凸部70を備える。複数の凸部70は、金属材料により形成され、Z軸方向において板状部材10とベース部材20の本体部22との間に配置されている。また、板状部材10には、凸部70の少なくとも一部分をそれぞれ収容する複数の凹部80が形成されている。また、第1実施形態の静電チャック100は、さらに、無機材料により形成され、各凹部80内に配置され、各凹部80の表面と、各凹部80に収容された各凸部70とを接合する接合部90を備える。
図5は、第2実施形態の静電チャック100における板状部材10とベース部材20との接合の詳細構成を示す説明図である。以下では、第2実施形態の静電チャック100の構成の内、上述した第1実施形態の静電チャック100の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図6は、第3実施形態の静電チャック100における板状部材10とベース部材20との接合の詳細構成を示す説明図である。以下では、第3実施形態の静電チャック100の構成の内、上述した第1,2実施形態の静電チャック100の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (5)
- 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状部と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記板状部の前記第2の表面側に位置するように配置され、前記板状部の形成材料の熱膨張率とは異なる熱膨張率を有する材料により形成されたベース部と、
を備え、前記板状部の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
金属材料により形成され、前記第1の方向において前記板状部と前記ベース部との間に配置された複数の金属部を備え、
前記板状部と前記ベース部との一方には、前記金属部の少なくとも一部分をそれぞれ収容する複数の凹部が形成されており、
前記保持装置は、さらに、無機材料により形成され、各前記凹部内に配置され、各前記凹部の表面と、各前記凹部に収容された各前記金属部と、を接合する接合部を備える、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、
各前記金属部は、前記板状部側の端部である第1の端部と、前記ベース部側の端部である第2の端部と、を有し、
各前記金属部における前記第1の端部の径は、前記第2の端部の径より大きい、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置において、
前記板状部は、セラミックスにより形成されており、
前記複数の凹部は、前記板状部に形成されており、
前記無機材料は、金属である、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の保持装置において、
前記ベース部は、金属により形成されており、
前記複数の金属部と前記ベース部とは、一体部材である、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置において、
各前記金属部は、前記板状部側の端部である第1の端部と、前記ベース部側の端部である第2の端部と、を有し、
各前記金属部における前記第1の端部は、金属製のロウ付け部により、前記板状部の表面にロウ付けされており、
前記第1の方向視で、各前記ロウ付け部の面積は、各前記金属部の前記第1の端部の面積より大きい、
ことを特徴とする保持装置。
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