JPS63157419A - 微細パタ−ン転写装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明はサブミクロンパターンをウェーハ等の試料に
形成する微細パターン転写装置に関する。

（従来の技術） 従来、光を用いて微細パターンを転写する場合回折によ
る限界があるため、開口を大きくするとか、短波長の光
を用いる等の工夫が行われているが十分とは言えないの
が現状である。

（発明が解決しようとする問題点〕 本発明はこのような事情に鑑みなされたもので。

回折による光のボケを低減した微細パターン転写装置を
提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 従来、顕微鏡の対物レンズと試料間にオイル等の液体を
満たせば高解像になることは知られている。この原理を
ステッパーあるいはアライナに応用する。この時問題１
こなるのは、顕微鏡と異なり試料は大きく視野もＬｏｗ
角程度と大きく且つ試料とレンズ間の距離が大きいので
液体をレンズと試料間に如何にして保持するかが問題と
なる。さらにステッパーの場合、試料をステップアンド
リピートさせる必要がありこの対策も必要である。

本発明では高屈折率の液体を用い回折を小さくし、０リ
ングとベローズで光の通る空間を密閉し液体を充満可能
にし、ベローズでレンズど試料が動く余裕を作った。

（作用） 本発明に於いて１例えば屈折率が１．５の液体を用いれ
ば波長が１　／　１．５になり、回折が１　／　１．５
にな名ので１例えば０．５μｍの解像度を持つ光学系を
用いれば０．３３μｍに解像度を上げることができる。

（実施例） 本発明の一実施例による微細パターンの転写装置の構造
を第１図に示す。光学系の鏡筒１の外部にはベローズ３
が取付けられ、光が通る空間と外部は遮断されている。

ベローズの内部１１には高で、外部へ漏れないようシー
ルされている。レンズ２は試料６との間の空間の屈折率
が液体のそれに合うよう設計されている。試料はチャッ
ク板７によってフラットに固定され％０リングは締め具
５で押えられている。試料はステージ８によってｘ、ｙ
方向に移動できる。転写が完了すると、パージ装置１０
が作動して液体を追出し、ウェーハが交換される。その
後液体供給装置９が作動し、て液体を充満させた後転写
が行われる。

〔発明の効果〕

本発明によれば次の効果を奏する。

（１）　　液体の屈折率をｎとすると０倍の解像力が得
られる。

（２）ベローズでシールされているためｘｙ方向に移動
が可能である。

（３）高速で液体をパージしたり、供給したりする装置
を持つのでスループットが落ちない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による転写装置の一実施例の主要部を示
す断面図である。 １・・・光学鏡筒、２・・・最終レンズ、３・・・ベロ
ーズ。 ４・・・０リング、５・・・０リング押え金具、６・・
・試料ウェーハ、７・・・チャック板、８・・・ｘｙス
テージ。 ９・・・液体供給装置、１０・・・液体パージ装置。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）光あるいは紫外線で試料上に微細パターンを転写
   する装置において、最終レンズと試料間の光の通路を液
   体で満したことを特徴とする微細パターン転写装置。
2. （２）レンズと試料間の空間に液体を高速で充満させあ
   るいは高速でパージさせる装置を備えたことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の微細パターン転写装置。
3. （３）ベローズ及びＯリングで光の通路を含む空間を密
   閉できることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   微細パターン転写装置。