JP2005101488A - 露光装置及び露光方法、デバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 液浸法で露光処理する場合において基板の外側に液体が流出しても環境変動を抑えて精度良くパターン転写できる露光装置を提供する。
【解決手段】 露光装置は、投影光学系ＰＬの像面側を局所的に液体５０で満たし、液体５０と投影光学系ＰＬとを介してパターンの像を基板Ｐ上に投影することによって、基板Ｐを露光するものであって、基板Ｐの外側に流出した液体５０を回収する回収装置２０を備えている。
【選択図】 図６

Description

本発明は、投影光学系の像面側を局所的に液体で満たした状態で投影光学系によって投影したパターンの像で露光する露光装置及び露光方法、この露光装置を用いるデバイス製造方法に関するものである。

半導体デバイスや液晶表示デバイスは、マスク上に形成されたパターンを感光性の基板上に転写する、いわゆるフォトリソグラフィの手法により製造される。このフォトリソグラフィ工程で使用される露光装置は、マスクを支持するマスクステージと基板を支持する基板ステージとを有し、マスクステージ及び基板ステージを逐次移動しながらマスクのパターンを投影光学系を介して基板に転写するものである。近年、デバイスパターンのより一層の高集積化に対応するために投影光学系の更なる高解像度化が望まれている。投影光学系の解像度は、使用する露光波長が短くなるほど、また投影光学系の開口数が大きいほど高くなる。そのため、露光装置で使用される露光波長は年々短波長化しており、投影光学系の開口数も増大している。そして、現在主流の露光波長は、ＫｒＦエキシマレーザの２４８ｎｍであるが、更に短波長のＡｒＦエキシマレーザの１９３ｎｍも実用化されつつある。また、露光を行う際には、解像度と同様に焦点深度（ＤＯＦ）も重要となる。解像度Ｒ、及び焦点深度δはそれぞれ以下の式で表される。

Ｒ＝ｋ_１・λ／ＮＡ … （１）
δ＝±ｋ_２・λ／ＮＡ^２ … （２）
ここで、λは露光波長、ＮＡは投影光学系の開口数、ｋ_１、ｋ_２はプロセス係数である。（１）式、（２）式より、解像度Ｒを高めるために、露光波長λを短くして、開口数ＮＡを大きくすると、焦点深度δが狭くなることが分かる。

焦点深度δが狭くなり過ぎると、投影光学系の像面に対して基板表面を合致させることが困難となり、露光動作時のフォーカスマージンが不足する恐れがある。そこで、実質的に露光波長を短くして、且つ焦点深度を広くする方法として、例えば国際公開第９９／４９５０４号公報に開示されている液浸法が提案されている。この液浸法は、投影光学系の下面と基板表面との間を水や有機溶媒等の液体で満たし、液体中での露光光の波長が、空気中の１／ｎ（ｎは液体の屈折率で通常１．２〜１．６程度）になることを利用して解像度を向上するとともに、焦点深度を約ｎ倍に拡大するというものである。
国際公開第９９／４９５０４号パンフレット

ところで、上記従来技術には以下に述べる問題が存在する。上記従来技術は、投影光学系の像面側の下面と基板（ウエハ）との間を局所的に液体で満たす構成であり、基板の中央付近のショット領域を露光する場合には液体の基板外側への流出は生じない。しかしながら、図１４に示す模式図のように、基板Ｐの周辺領域（エッジ領域）Ｅを投影光学系の投影領域１００に移動して、この基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光しようとすると、液体は基板Ｐの外側へ流出してしまう。この流出した液体を放置しておくと、基板Ｐがおかれている環境（湿度など）の変動をもたらし、基板Ｐを保持する基板ステージ位置情報を計測する干渉計の光路上や各種光学的検出装置の検出光の光路上の屈折率の変化を引き起こすなど、所望のパターン転写精度を得られなくなるおそれが生じる。更に、流出した液体により、基板Ｐを支持する基板ステージ周辺の機械部品などに錆びを生じさせるなどの不都合も生じる。基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光しないことにより液体を流出させないようにすることも考えられるが、エッジ領域Ｅにも露光処理を施してパターンを形成しておかないと、後工程である例えばＣＭＰ（化学的機械的研磨）処理時において、ＣＭＰ装置の研磨面に対してウエハである基板Ｐが片当たりして良好に研磨できないという別の問題が生じる。更に、流出した液体が、真空系（吸気系）の管内に浸入してしまうと、真空源となる真空ポンプなどが破損したり、故障したりするおそれもあった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、投影光学系と基板との間を液体を満たして露光処理する場合において、精度良くパターン転写できる露光装置及び露光方法、並びにこの露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す図１〜図１３に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定する意図は無い。

本発明の第１の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板（Ｐ）上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
前記基板の外側に流出した液体を回収する回収装置（２０）を備える露光装置（ＥＸ）が提供される。

本発明によれば、基板の外側に液体が流出しても、この流出した液体は放置されずに回収装置で回収される。したがって、基板のおかれている環境の変動が抑えられるとともに、基板を支持する基板ステージ周辺の機械部品に錆びなどが発生するといった不都合の発生も抑えられるので、基板に対して精度良くパターン転写でき、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。

本発明の第２の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
前記基板の上方から液体を供給する液体供給機構（１）と、
前記液体供給機構（１）から供給された液体を回収する回収装置（２０）とを備え、
前記回収装置は、前記基板の上方から液体の回収をしない露光装置（ＥＸ）が提供される。

本発明によれば、基板の上方からでなくても液体を回収（吸引）を行うことができる。それゆえ、基板の露光中に音や振動が発生するのを防止できる。また、基板の外側に流出した液体は回収装置によって回収されるので、基板の置かれている環境の変動や機械部品の錆び等の発生を防止することができる。したがって、基板に精度良くパターンを形成することができ、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。

本発明の第３の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板（Ｐ）上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
吸気口を有する吸気系（２４，３２，３３）と、
該吸気口から吸引された液体を回収する回収装置とを備える露光装置（ＥＸ）が提供される。

本発明によれば、例えば液体が流出して、吸気系の吸気口に液体が流入しても、その液体が回収され、その吸気の源としての真空源への液体の浸入が防止される。それゆえ、液浸露光を行っても、吸気系の機能が保証され、確実に基板を高精度なパターンで露光してデバイスを製造することができる。

本発明の第４の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板（Ｐ）上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
前記基板を保持する基板ステージ（ＰＳＴ）と、
前記基板ステージに少なくとも一部が設けられ、液体を回収する回収装置（２０）とを備える露光装置が提供される。本発明の露光装置は、基板の置かれている環境の変動や機械部品の錆び等の発生を防止することができる。

本発明の第５の態様に従えば、投影光学系により所定パターンの像を基板上に転写することで基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系と前記基板との間に液体を基板の上方から供給することと、
前記供給された液体を、基板の外側で且つ基板より低い位置から回収することと、本発明の露光方法では、液浸露光を行う際に、液体を基板の上方から供給するとともに基板の保持位置よりの下方から液体を回収するので、基板の露光中に音や振動が発生するのを有効に防止することができる。
前記液体の供給及び回収が行われている間に前記基板を露光することとを含む露光方法が提供される。

本発明では、さらに、上記第１〜４のいずれかの態様の露光装置（ＥＸ）を用いるデバイス製造方法が提供される。

本発明によれば、液体が流出してもこの流出した液体は放置されずに回収装置で回収される。したがって、流出した液体に起因する不都合を防止することができ、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。

以下、本発明の露光装置及びデバイス製造方法について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。図１は本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。

第１実施形態
図１において、露光装置ＥＸは、マスクＭを支持するマスクステージＭＳＴと、基板Ｐを支持する基板ステージＰＳＴと、マスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明する照明光学系ＩＬと、露光光ＥＬで照明されたマスクＭのパターンの像を基板ステージＰＳＴに支持されている基板Ｐに投影露光する投影光学系ＰＬと、基板Ｐ上に液体５０を供給する液体供給装置１と、基板Ｐの外側に流出した液体５０を回収する回収装置２０と、露光装置ＥＸ全体の動作を統括制御する制御装置ＣＯＮＴとを備えている。

ここで、本実施形態では、露光装置ＥＸとしてマスクＭと基板Ｐとを走査方向における互いに異なる向き（逆方向）に同期移動しつつマスクＭに形成されたパターンを基板Ｐに露光する走査型露光装置（所謂スキャニングステッパ）を使用する場合を例にして説明する。以下の説明において、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸと一致する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向に垂直な平面内でマスクＭと基板Ｐとの同期移動方向（走査方向）をＸ軸方向、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向（非走査方向）をＹ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわり方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。なお、ここでいう「基板」は半導体ウエハ上にレジストを塗布したものを含み、「マスク」は基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。

照明光学系ＩＬは、マスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明するものであり、露光用光源、露光用光源から射出された光束の照度を均一化するオプティカルインテグレータ、オプティカルインテグレータからの露光光ＥＬを集光するコンデンサレンズ、リレーレンズ系、露光光ＥＬによるマスクＭ上の照明領域をスリット状に設定する可変視野絞り等を有している。マスクＭ上の所定の照明領域は照明光学系ＩＬにより均一な照度分布の露光光ＥＬで照明される。照明光学系ＩＬから射出される露光光ＥＬとしては、例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）や、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ_２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）などが用いられる。本実施形態ではＡｒＦエキシマレーザ光を用いている。

マスクステージＭＳＴは、マスクＭを支持するものであって、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに垂直な平面内、すなわちＸＹ平面内で２次元移動可能及びθＺ方向に微小回転可能である。マスクステージＭＳＴはリニアモータ等のマスクステージ駆動装置ＭＳＴＤにより駆動される。マスクステージ駆動装置ＭＳＴＤは制御装置ＣＯＮＴにより制御される。マスクステージＭＳＴ上のマスクＭの２次元方向の位置、及び回転角はレーザ干渉計によりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。制御装置ＣＯＮＴはレーザ干渉計の計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置ＭＳＴＤを駆動することでマスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭの位置決めを行う。

投影光学系ＰＬは、マスクＭのパターンを所定の投影倍率βで基板Ｐに投影露光するものであって、複数の光学素子（レンズ）で構成されており、これら光学素子は金属部材としての鏡筒ＰＫで支持されている。本実施形態において、投影光学系ＰＬは、投影倍率βが例えば１／４あるいは１／５の縮小系である。なお、投影光学系ＰＬは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、本実施形態の投影光学系ＰＬの先端側（基板Ｐ側）には、光学素子（レンズ）６０が鏡筒ＰＫより露出している。この光学素子６０は鏡筒ＰＫに対して着脱（交換）可能に設けられている。

基板ステージＰＳＴは、基板Ｐを支持するものであって、基板Ｐを基板ホルダを介して保持するＺステージ５１と、Ｚステージ５１を支持するＸＹステージ５２と、ＸＹステージ５２を支持するベース５３とを備えている。基板ステージＰＳＴはリニアモータ等の基板ステージ駆動装置ＰＳＴＤにより駆動される。基板ステージ駆動装置ＰＳＴＤは制御装置ＣＯＮＴにより制御される。Ｚステージ５１を駆動することにより、Ｚステージ５１に保持されている基板ＰのＺ軸方向における位置（フォーカス位置）、及びθＸ、θＹ方向における位置が制御される。また、ＸＹステージ５２を駆動することにより、基板ＰのＸＹ方向における位置（投影光学系ＰＬの像面と実質的に平行な方向の位置）が制御される。すなわち、Ｚステージ５１は、基板Ｐのフォーカス位置及び傾斜角を制御して基板Ｐの表面をオートフォーカス方式、及びオートレベリング方式で投影光学系ＰＬの像面に合わせ込み、ＸＹステージ５２は基板ＰのＸ軸方向及びＹ軸方向における位置決めを行う。なお、ＺステージとＸＹステージとを一体的に設けてよいことは言うまでもない。

基板ステージＰＳＴ（Ｚステージ５１）上には、基板ステージＰＳＴとともに投影光学系ＰＬに対して移動する移動鏡５４が設けられている。また、移動鏡５４に対向する位置にはレーザ干渉計５５が設けられている。基板ステージＰＳＴ上の基板Ｐの２次元方向の位置、及び回転角はレーザ干渉計５５によりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。制御装置ＣＯＮＴはレーザ干渉計５５の計測結果に基づいて基板ステージ駆動装置ＰＳＴＤを駆動することで基板ステージＰＳＴに支持されている基板Ｐの位置決めを行う。

本実施形態では、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに、焦点深度を実質的に広くするために、液浸法を適用する。そのため、少なくともマスクＭのパターンの像を基板Ｐ上に転写している間は、基板Ｐの表面と投影光学系ＰＬの基板Ｐ側の光学素子（レンズ）６０の先端面（下面）７との間に所定の液体５０が満たされる。上述したように、投影光学系ＰＬの先端側にはレンズ６０が露出しており、液体５０はレンズ６０のみに接触するように供給されている。これにより、金属からなる鏡筒ＰＫの腐蝕等が防止されている。また、レンズ６０の先端面７は投影光学系ＰＬの鏡筒ＰＫ及び基板Ｐより十分小さく、且つ上述したように液体５０はレンズ６０のみに接触するように構成されているため、液体５０は投影光学系ＰＬの像面側に局所的に満たされている構成となっている。すなわち、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の液浸部分は基板Ｐより十分に小さい。本実施形態において、液体５０には純水が用いられる。純水は、ＡｒＦエキシマレーザ光のみならず、露光光ＥＬを例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）とした場合でも、これらの露光光ＥＬを透過可能である。

露光装置ＥＸは、投影光学系ＰＬの先端面（レンズ６０の先端面）７と基板Ｐとの間の空間５６に所定の液体５０を供給する液体供給装置１と、空間５６の液体５０、すなわち基板Ｐ上の液体５０を回収する第２回収装置としての液体回収装置２とを備えている。液体供給装置１は、投影光学系ＰＬの像面側を局所的に液体５０で満たすためのものであって、液体５０を収容するタンク、加圧ポンプ、及び空間５６に供給する液体５０の温度を調整する温度調整装置などを備えている。液体供給装置１には供給管３の一端部が接続され、供給管３の他端部には供給ノズル４が接続されている。液体供給装置１は供給管３及び供給ノズル４を介して空間５６に液体５０を供給する。

液体回収装置２は、吸引ポンプ、回収した液体５０を収容するタンクなどを備えている。液体回収装置２には回収管６の一端部が接続され、回収管６の他端部には回収ノズル５が接続されている。液体回収装置２は回収ノズル５及び回収管６を介して空間５６の液体５０を回収する。空間５６に液体５０を満たす際、制御装置ＣＯＮＴは液体供給装置１を駆動し、供給管３及び供給ノズル４を介して空間５６に対して単位時間当たり所定量の液体５０を供給するとともに、液体回収装置２を駆動し、回収ノズル５及び回収管６を介して単位時間当たり所定量の液体５０を空間５６より回収する。これにより投影光学系ＰＬの先端面７と基板Ｐとの間の空間５６に液体５０が保持され、液浸部分が形成される。ここで、制御装置ＣＯＮＴは、液体供給装置１を制御することで空間５６に対する単位時間当たりの液体供給量を任意に設定可能であるとともに、液体回収装置２を制御することで基板Ｐ上からの単位時間当たりの液体回収量を任意に設定可能である。

図２は、露光装置ＥＸの投影光学系ＰＬの下部、液体供給装置１、及び液体回収装置２等を示す図１の部分拡大図である。図２において、投影光学系ＰＬの最下端のレンズ６０は、先端部６０Ａが走査方向に必要な部分だけを残してＹ軸方向（非走査方向）に細長い矩形状に形成されている。走査露光時には、先端部６０Ａの直下の矩形の投影領域にマスクＭの一部のパターン像が投影され、投影光学系ＰＬに対して、マスクＭが−Ｘ方向（又は＋Ｘ方向）に速度Ｖで移動するのに同期して、ＸＹステージ５２を介して基板Ｐが＋Ｘ方向（又は−Ｘ方向）に速度β・Ｖ（βは投影倍率）で移動する。そして、１つのショット領域への露光終了後に、基板Ｐのステッピングによって次のショット領域が走査開始位置に移動し、以下、ステップ・アンド・スキャン方式で各ショット領域に対する露光処理が順次行われる。本実施形態では、基板Ｐの移動方向に沿って基板Ｐの移動方向と同一方向に液体５０を流すように設定されている。

図３は、投影光学系ＰＬのレンズ６０の先端部６０Ａと、液体５０をＸ軸方向に供給する供給ノズル４（４Ａ〜４Ｃ）と、液体５０を回収する回収ノズル５（５Ａ、５Ｂ）との位置関係を示す図である。図３において、レンズ６０の先端部６０Ａの形状はＹ軸方向に細長い矩形状となっており、投影光学系ＰＬのレンズ６０の先端部６０ＡをＸ軸方向に挟むように、＋Ｘ方向側に３つの供給ノズル４Ａ〜４Ｃが配置され、−Ｘ方向側に２つの回収ノズル５Ａ、５Ｂが配置されている。そして、供給ノズル４Ａ〜４Ｃは供給管３を介して液体供給装置１に接続され、回収ノズル５Ａ、５Ｂは回収管４を介して液体回収装置２に接続されている。また、供給ノズル４Ａ〜４Ｃと回収ノズル５Ａ、５Ｂとを先端部６０Ａの中心に対して略１８０°回転した位置に、供給ノズル８Ａ〜８Ｃと、回収ノズル９Ａ、９Ｂとが配置されている。供給ノズル４Ａ〜４Ｃと回収ノズル９Ａ、９ＢとはＹ軸方向に交互に配列され、供給ノズル８Ａ〜８Ｃと回収ノズル５Ａ、５ＢとはＹ軸方向に交互に配列され、供給ノズル８Ａ〜８Ｃは供給管１０を介して液体供給装置１に接続され、回収ノズル９Ａ、９Ｂは回収管１１を介して液体回収装置２に接続されている。

図４に示すように、先端部６０Ａを挟んでＹ軸方向両側のそれぞれに供給ノズル１３、１４及び回収ノズル１５、１６を設けることもできる。この供給ノズル及び回収ノズルにより、ステップ移動する際の基板Ｐの非走査方向（Ｙ軸方向）への移動時においても、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に液体５０を安定して供給することができる。

なお、上述したノズルの形状は特に限定されるものでなく、例えば先端部６０Ａの長辺について２対のノズルで液体５０の供給又は回収を行うようにしてもよい。なお、この場合には、＋Ｘ方向、又は−Ｘ方向のどちらの方向からも液体５０の供給及び回収を行うことができるようにするため、供給ノズルと回収ノズルと上下に並べて配置してもよい。

次に、基板Ｐの外側に流出した液体を回収する回収装置２０の一実施形態について図５及び図６を参照しながら説明する。図５はＺステージ５１（基板ステージＰＳＴ）の斜視図であり、図６は要部拡大断面図である。

図５及び図６において、回収装置２０は、Ｚステージ５１上においてホルダ部５７に保持された基板Ｐの周囲に配置されている液体吸収部材２１を備えている。液体吸収部材２１は所定幅を有する環状部材であって、Ｚステージ５１上に環状に形成された溝部２３に配置されている。また、Ｚステージ５１内部には、溝部２３と連続する流路２２が形成されており、溝部２３に配置されている液体吸収部材２１の底部は流路２２に接続されている。液体吸収部材２１は、例えば多孔質セラミックス等の多孔性材料により構成されている。あるいは液体吸収部材２１の形成材料として多孔性材料であるスポンジを用いても良い。多孔性材料からなる液体吸収部材２１は液体を所定量保持可能である。

Ｚステージ５１上において、液体吸収部材２１とホルダ部５７に保持されている基板Ｐとの間には、この基板Ｐの外周を所定幅で取り囲む環状の補助プレート部５９が設けられている。補助プレート部５９の表面の高さはＺステージ５１のホルダ部５７に保持されている基板Ｐの表面の高さとほぼ一致するように設定されている。この補助プレート部５９により、基板Ｐの周辺領域（エッジ領域）Ｅが投影光学系ＰＬのレンズ６０の下に位置するような場合でも、投影光学系ＰＬのレンズ６０と基板Ｐとの間に液体５０を保持し続けることができるようになっている。そして、この補助プレート部５９の外周を所定幅で取り囲むように配置されている液体吸収部材２１は、第２回収装置としての液体回収装置２で回収しきれず、補助プレート部５９の外側へ流出した液体５０を吸収（回収）する役割を果たしている。

ホルダ部５７は、Ｚステージ５１上で基板Ｐとほぼ同じ大きさに形成された円形凹部に、基板Ｐの裏面を支持するための複数の突出部５８を設けたものである。これら突出部５８のそれぞれには、基板Ｐを吸着保持するための吸着孔２４が設けられている。そして、吸着孔２４のそれぞれは、Ｚステージ５１内部に形成された流路２５に接続している。また、ホルダ部５７（円形凹部）の最外周付近には複数の液体回収孔４６が設けられている。これら液体回収孔４６は、液体吸収部材２１に接続している流路２２に接続している。なお、液体吸収部材２１（溝部２３）に接続している流路２２とは別の流路を設けて、液体回収孔４６に接続するようにしてもよい。

液体吸収部材２１及び液体回収孔４６のそれぞれに接続されている流路２２は、Ｚステージ５１外部に設けられている管路２６の一端部に接続されている。一方、管路２６の他端部は、Ｚステージ５１外部に設けられた第１タンク２７及びバルブ２８を介して吸引装置であるポンプ２９に接続されている。吸着孔２４に接続されている流路２５は、Ｚステージ５１外部に設けられている管路３０の一端部に接続されている。一方、管路３０の他端部は、Ｚステージ５１外部に設けられた第２タンク３１及びバルブ３２を介して吸引装置であるポンプ３３に接続されている。液体吸収部材２１及び液体回収孔４６からは基板Ｐの外側に流出した液体が周囲の気体（空気）とともに一緒に回収される。また、基板Ｐの裏面側に流入した液体が、周囲の気体（空気）とともに吸着孔２４から回収される。これらの液体回収方法についての詳細は、後述する。液体吸収部材２１及び液体回収孔４６並びに吸着孔２４から回収された液体（水）は気体（空気）と分離され、第１タンク２７と第２タンク３１の各々に一時的に蓄積される。この気液分離により真空源としての真空ポンプ２９、３３への液体の流入が防止され、真空ポンプ２９、３３の破損を防止することができる。第１、第２タンク２７、３１のそれぞれには排出流路２７Ａ、３１Ａが設けられており、水位センサなどを使って、液体が所定量溜まったら排出流路２７Ａ、３１Ａより排出されるようになっている。

なお、液体吸収部材２１（溝部２３）に接続している流路２２（タンク２７、バルブ２８、真空ポンプ２９）とは別の流路を設けて、液体回収孔４６に接続するようにしてもよい。また、図５において、Ｚステージ５１の＋Ｘ側端部にはＹ軸方向に延在する移動鏡５４Ｘが設けられ、Ｙ側端部にはＸ軸方向に延在する移動鏡５４Ｙが設けられている。レーザ干渉計はこれら移動鏡５４Ｘ、５４Ｙにレーザ光を照射して基板ステージＰＳＴのＸ軸方向及びＹ軸方向における位置を検出する。

次に、上述した露光装置ＥＸを用いてマスクＭのパターンを基板Ｐに露光する手順について説明する。

マスクＭがマスクステージＭＳＴにロードされるとともに、基板Ｐが基板ステージＰＳＴにロードされたら、制御装置ＣＯＮＴは液体供給装置１及び液体回収装置２を駆動し、空間５６に液体５０の液浸部分を形成する（図１参照）。そして、制御装置ＣＯＮＴは、照明光学系ＩＬによりマスクＭを露光光ＥＬで照明し、マスクＭのパターンの像を投影光学系ＰＬ及び液体５０を介して基板Ｐに投影する。ここで、基板Ｐの中央付近のショット領域を露光している間は、液体供給装置１から供給された液体５０は液体回収装置２により回収されることで、基板Ｐの外側に流出しない。

一方、図６に示すように、基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光処理することによって投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の液浸部分が基板Ｐのエッジ領域Ｅ付近にあるとき、補助プレート部５９により投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に液体５０を保持し続けることができるが、流体５０の一部が補助プレート部５９の外側に流出する場合があり、流出した流体５０は液体吸収部材２１に吸収（回収）される。ここで、制御装置ＣＯＮＴは、上記液体供給装置１及び液体回収装置２の駆動開始とともに、バルブ２８の開放及びポンプ２９の駆動を開始する。したがって、液体吸収部材２１で回収された液体５０は、吸引装置としてのポンプ２９の吸引により、周囲の空気とともに流路２２及び管路２６を介して第１タンク２７に吸い込まれるようにして集められる。

また、基板Ｐと補助プレート部５９との隙間から流出した液体５０は、基板Ｐの裏面側に設けられた液体回収孔４６を介して周囲の空気とともに流路２２側に吸い込まれ、管路２６を介して第１タンク２７に回収される。

更に、基板Ｐと補助プレート部５９との隙間を介して基板Ｐの裏面側に入り込んだ液体５０が基板Ｐを吸着保持するための吸着孔２４に流入する可能性もある。吸着孔２４は、前述したように、流路２５、管路３０及び第２タンク３１を介して吸引装置としてのポンプ３３に接続されているので、バルブ３２の開放及びポンプ３３の駆動を行うことにより、基板ＰをＺステージ５１上に吸着保持するとともに、吸着孔２４に流入した液体５０を流路２５及び管路３０を介して第２タンク３１に集めることができる。すなわち、吸着孔２４に流入した液体５０を回収する第３回収装置は、流路２５、管路３０、第２タンク３１、バルブ３２、ポンプ３３、及びこれらの駆動制御をする制御装置ＣＯＮＴを備えている。また、このときの吸着孔２４は基板Ｐの裏面側に設けられた液体回収孔（回収装置）としても機能している。

また吸着孔２４からは、液体回収孔４６と同様に、基板Ｐの裏面に回り込んだ液体と基板Ｐ裏面の気体（空気）とが流入することになるが、第２タンク３１に落下させることによって、液体（水）と気体（空気）とを分離する。第２タンク３１に溜まった液体を定期的に回収することで、真空源としての真空ポンプ３３への液体の流入が防止される。こうして、真空ポンプ３３の破損を防止するようにしている。

ところで、基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光処理するとき、すなわち投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の液浸部分が基板Ｐの周縁付近にあるとき、上述したように、液体５０の一部は基板Ｐの外側に流出する可能性がある。本実施形態では、液体５０が基板Ｐの外側に流出しても、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間を十分に液体５０で満たすことができるように、制御装置ＣＯＮＴは、液浸部分が基板Ｐのエッジ領域Ｅにあるときに、液体供給装置１を制御して空間５６への単位時間当たりの液体供給量を増加させることと、液体回収装置（第２回収装置）２を制御して空間５６からの単位時間当たりの液体回収量を低減させることとの少なくとも一方を行う。ここで、上記液体供給量の増加及び液体回収量の低減の制御において、制御装置ＣＯＮＴは、レーザ干渉計の基板Ｐ位置検出結果に基づいて、液体供給装置１及び／または液体回収装置２の制御を行ってもよく、あるいは、第１、第２タンク２７、３２、あるいは管路２６、３０等に、回収（流出）した液体量を検出する検出装置を設け、この検出装置の検出結果に基づいて、液体供給装置１及び／または液体回収装置２の制御を行ってもよい。

なお、本実施形態の露光装置ＥＸは所謂スキャニングステッパである。したがって、矢印Ｘａ（図３参照）で示す走査方向（−Ｘ方向）に基板Ｐを移動させて走査露光を行う場合には、供給管３、供給ノズル４Ａ〜４Ｃ、回収管４、及び回収ノズル５Ａ、５Ｂを用いて、液体供給装置１及び液体回収装置２により液体５０の供給及び回収が行われる。すなわち、基板Ｐが−Ｘ方向に移動する際には、供給管３及び供給ノズル４（４Ａ〜４Ｃ）を介して液体供給装置１から液体５０が投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に供給されるとともに、回収ノズル５（５Ａ、５Ｂ）、及び回収管６を介して液体５０が液体回収装置２に回収され、レンズ６０と基板Ｐとの間を満たすように−Ｘ方向に液体５０が流れる。一方、矢印Ｘｂで示す走査方向（＋Ｘ方向）に基板Ｐを移動させて走査露光を行う場合には、供給管１０、供給ノズル８Ａ〜８Ｃ、回収管１１、及び回収ノズル９Ａ、９Ｂを用いて、液体供給装置１及び液体回収装置２により液体５０の供給及び回収が行われる。すなわち、基板Ｐが＋Ｘ方向に移動する際には、供給管１０及び供給ノズル８（８Ａ〜８Ｃ）を介して液体供給装置１から液体５０が投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に供給されるとともに、回収ノズル９（９Ａ、９Ｂ）、及び回収管１１を介して液体５０が液体回収装置２に回収され、レンズ６０と基板Ｐとの間を満たすように＋Ｘ方向に液体５０が流れる。このように、制御装置ＣＯＮＴは、液体供給装置１及び液体回収装置２を用いて、基板Ｐの移動方向に沿って液体５０を流す。この場合、例えば液体供給装置１から供給ノズル４を介して供給される液体５０は基板Ｐの−Ｘ方向への移動に伴って空間５６に引き込まれるようにして流れるので、液体供給装置１の供給エネルギーが小さくでも液体５０を空間５６に容易に供給できる。そして、走査方向に応じて液体５０を流す方向を切り替えることにより、＋Ｘ方向、又は−Ｘ方向のどちらの方向に基板Ｐを走査する場合にも、レンズ６０の先端面７と基板Ｐとの間を液体５０で満たすことができ、高い解像度及び広い焦点深度を得ることができる。

以上説明したように、基板Ｐの外側に液体５０が流出しても、この流出した液体５０は放置されずに回収装置２０で回収される。したがって、基板Ｐのおかれている環境の変動が抑制されるとともに、基板Ｐを支持する基板ステージＰＳＴ周辺の機械部品に錆びなどが発生するといった不都合の発生も抑えられるので、基板Ｐに対して精度良くパターン転写でき、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。

また、回収装置２０として基板ステージＰＳＴ上に液体吸収部材２１を設けたことにより、液体５０を広い範囲で確実に保持（回収）することができる。また、液体吸収部材２１に流路を介して吸引装置としてのポンプ２９を接続したことにより、液体吸収部材２１に吸収された液体５０は常時基板ステージＰＳＴ外部に排出される。したがって、基板Ｐのおかれている環境の変動をより一層確実に抑制できるとともに、基板ステージＰＳＴの液体５０による重量変動を抑えることができる。また、基板の露光中はポンプ２９を停止させて、基板Ｐの外側に流出した液体５０は液体吸収部材２１などに保持しておき、基板の露光完了後に、ポンプ２９を動作させて、液体を排出するようにしてもよい。一方、ポンプ２９を設けずに、液体吸収部材２１で回収した液体５０を自重によりタンク２７側に垂れ流す構成であってもよい。更に、ポンプ２９、タンク２７、及び流路を設けずに、基板ステージＰＳＴ上に液体吸収部材２１のみを配置しておき、液体５０を吸収した液体吸収部材２１を定期的に（例えば１ロット毎に）交換する構成としてもよい。この場合、基板ステージＰＳＴは液体５０により重量変動するが、液体吸収部材２１で回収した液体５０の重量に応じてステージ制御パラメータを変更することで、ステージ位置決め精度を維持できる。

また、真空ポンプ２９、３３の手前に液体（水）と気体（空気）とを分離するためのタンク２７、３１を設けて、液体が真空ポンプ２９、３３に浸入するのを防止しているので、真空ポンプ２９、３３の故障や破損を防止できる。

なお、上述の実施形態における真空ポンプ２９、３３は、露光装置ＥＸ内に配置してもよいし、露光装置ＥＸが設置される工場に設置されているものでもよい。また、上述の実施形態においては、液体（水）と気体（空気）とを分離するためのタンクを基板Ｐの外側に流出した液体を回収する回収装置２０の真空系（真空ポンプの手前）、及び基板Ｐを吸着保持するための真空系に設けたが、液体（水）と気体（空気）とを分離するための機構（液体回収用のタンクなど）の設置はこれに限らず、液体が浸入してしまうおそれのある他の吸気口に接続された吸気系（真空系）に設けてもよい。例えば、気体軸受の気体回収系（吸気系）、基板搬送アームに基板Ｐを吸着保持するための吸気系、あるいは、基板保持部材を基板ステージに脱着可能に吸着保持するための吸気系に配置するようにしてもよい。気体軸受の気体回収系（吸気系）については、例えば特開平１１−１６６９９０号公報に、基板搬送アームに基板Ｐを吸着保持するための吸気系については、例えば特開平６−１８１１５７号公報に、また基板保持部材を基板ステージに脱着可能に吸着保持するための吸気系については、例えば特開平１０−１１６７６０号公報にそれぞれ開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、これらの米国特許の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。また、本実施形態においては、液体（水）と気体（空気）とを分離するタンクなどの機構を、基板Ｐ上の一部の領域に液浸領域を形成しながら基板Ｐの露光を行う露光装置に適用しているが、基板ステージを液槽の中で移動させる露光装置や、基板ステージ上に液体槽を形成してその中に基板を保持する露光装置に適用してもよい。基板ステージを液槽の中で移動させる露光装置の構造及び露光動作については、例えば特開平６−１２４８７３号公報に、基板ステージ上に液体槽を形成してその中に基板を保持する露光装置については、例えば特開平１０−３０３１１４号公報（米国特許５，８２５，０４３）に開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、これらの文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。

なお、上記実施形態において、液体吸収部材２１は基板Ｐの周囲全体を取り囲むように連続する環状に形成されているが、基板Ｐの周囲の一部に配置されていてもよいし、不連続に所定間隔で配置されていてもよい。また、本実施形態における液体吸収部材２１は環状に形成されているが、例えば矩形状等、その形状は任意に設定可能である。
また液体供給装置１と液体回収装置２の構成やノズルの配置は上記の実施形態に限られない。また基板Ｐの露光中に、必ずしも液体供給装置１と液体回収装置２とが並行して動作している必要はなく、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の露光光光路が液体５０で満たされていれば、どちらか一方を停止させていてもよいし、両方を止めておいてもよい。

上述したように、本実施形態における液体５０は純水を用いた。純水は、半導体製造工場等で容易に大量に入手できるとともに、基板Ｐ上のフォトレジストや光学素子（レンズ）等に対する悪影響がない利点がある。また、純水は環境に対する悪影響がないとともに、不純物の含有量が極めて低いため、基板Ｐの表面、及び投影光学系ＰＬの先端面に設けられている光学素子の表面を洗浄する作用も期待できる。

そして、波長が１９３ｎｍ程度の露光光ＥＬに対する純水（水）の屈折率ｎはほぼ１．４４であるため、露光光ＥＬの光源としてＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）を用いた場合、基板Ｐ上では１／ｎ、すなわち約１３４ｎｍに短波長化されて高い解像度が得られる。更に、焦点深度は空気中に比べて約ｎ倍、すなわち約１．４４倍に拡大されるため、空気中で使用する場合と同程度の焦点深度が確保できればよい場合には、投影光学系ＰＬの開口数をより増加させることができ、この点でも解像度が向上する。

本実施形態では、投影光学系ＰＬの先端にレンズ６０が取り付けられているが、投影光学系ＰＬの先端に取り付ける光学素子としては、投影光学系ＰＬの光学特性、例えば収差（球面収差、コマ収差等）の調整に用いる光学プレートであってもよい。あるいは露光光ＥＬを透過可能な平行平面板であってもよい。液体５０と接触する光学素子を、レンズより安価な平行平面板とすることにより、露光装置ＥＸの運搬、組立、調整時等において投影光学系ＰＬの透過率、基板Ｐ上での露光光ＥＬの照度、及び照度分布の均一性を低下させる物質（例えばシリコン系有機物等）がその平行平面板に付着しても、液体５０を供給する直前にその平行平面板を交換するだけでよく、液体５０と接触する光学素子をレンズとする場合に比べてその交換コストが低くなるという利点がある。すなわち、露光光ＥＬの照射によりレジストから発生する飛散粒子、または液体５０中の不純物の付着などに起因して液体５０に接触する光学素子の表面が汚れるため、その光学素子を定期的に交換する必要があるが、この光学素子を安価な平行平面板とすることにより、レンズに比べて交換部品のコストが低く、且つ交換に要する時間を短くすることができ、メンテナンスコスト（ランニングコスト）の上昇やスループットの低下を抑えることができる。

また液体５０の流れによって生じる投影光学系の先端の光学素子と基板Ｐとの間の圧力が大きい場合には、その光学素子を交換可能とするのではなく、その圧力によって光学素子が動かないように堅固に固定してもよい。

なお、本実施形態の液体５０は水であるが、水以外の液体であってもよい、例えば、露光光ＥＬの光源がＦ_２レーザである場合、このＦ_２レーザ光は水を透過しないので、この場合、液体５０としてはＦ_２レーザ光を透過可能な例えばフッ素系オイルやフッ化ポリエーテル（ＰＦＰＥ）などのフッ素系液体を用いればよい。また、液体５０としては、その他にも、露光光ＥＬに対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系ＰＬや基板Ｐ表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なもの（例えばセダー油）を用いることも可能である。

第２実施形態
次に、本発明の露光装置ＥＸの他の実施形態について、図７を参照しながら説明する。ここで、以下の説明において、上述した実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。本実施形態に係る特徴的な部分は、回収装置として液体吸収部材２１に代えて基板Ｐの周囲に液体回収溝３５を設けた点と、基板ステージＰＳＴと管路２６とが接続・分離自在となっている点である。

図７において、回収装置２０は、Ｚステージ５１上において補助プレート部５９の周囲に所定幅に形成された液体回収溝３５を備えている。また、流路２２の端部には接続弁３６が設けられている。一方、管路２６の端部には接続弁３６に対して接続・分離可能な接続弁３７が設けられている。接続弁３６、３７が分離されている状態では、流路２２の端部は閉塞され、流体５０がステージ外部に流出しないようになっている。一方、接続弁３６、３７が接続されることにより、流路２２の端部は開放され、流路２２の液体５０が管路２６に流通可能となる。

露光処理中においては、接続弁３６と接続弁３７とは分離される。したがって、露光処理中において基板ステージＰＳＴは管路２６と分離している状態なので、走査方向への移動（スキャン移動）、及び非走査方向への移動（ステップ移動）を円滑に行うことができる。露光処理中に基板Ｐの外側に流出した液体５０は、液体回収溝３５や流路２２に溜まる。

露光処理が終了したら、基板ステージＰＳＴは基板Ｐの交換位置（ロード・アンロード位置）に移動する。この基板交換位置において、接続弁３６、３７が接続される。接続弁３６、３７が接続されたら、制御装置ＣＯＮＴは、バルブ２８を開放するとともにポンプ２９を駆動する。これにより、回収装置としての液体回収溝３５に回収された液体５０は、基板交換位置においてステージ外部に排出される。

なお、本実施形態において液体回収溝３５に回収された液体５０は定期的（例えば１ロット毎）にステージ外部に排出される構成であるため、液体回収溝３５の大きさ（容積）は、例えば１ロット分で流出される量に相当する液体を保持可能な程度の大きさに設定されている。この場合、所定露光処理基板枚数（すなわち１ロット分）と流出する液体量との関係を予め求めておき、この求めた関係に基づいて、液体回収溝３５の大きさが設定される。あるいは、前記求めた関係に基づいて、接続弁３６、３７を接続する時間間隔（すなわちステージ外部に液体排出動作を行うタイミング）が設定される。

なお、上記実施形態において、液体回収溝３５は基板Ｐの周囲全体を取り囲むように連続する環状に形成されているが、基板Ｐの周囲の一部に配置されていてもよいし、不連続に所定間隔で配置されていてもよい。また、本実施形態における液体回収溝３５は環状に形成されているが例えば矩形状などその形状は任意に設定可能である。また、液体回収溝３５内に液体吸収部材を配置しておいてもよい。

また、上記各実施形態において、基板Ｐの外側に補助プレート部５９が設けられているが、この補助プレート部５９を設けることなく、基板Ｐの外周近傍に液体吸収部材２１や液体回収溝３５を設けるようにしてもよい。

また、上述の実施形態においては、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に局所的に液体を満たす露光装置を採用しているが、図６や図７に開示されているような基板Ｐを吸着保持するための吸着孔に流入した液体を回収する回収機構は、露光対象の基板を保持したステージを液槽の中で移動させる液浸露光装置や、ステージ上に所定深さの液体槽を形成しその中に基板を保持する液浸露光装置にも本発明を適用可能である。前述の通り、露光対象の基板を保持したステージを液槽の中で移動させる液浸露光装置の構造及び露光動作については、例えば特開平６−１２４８７３号に、ステージ上に所定深さの液体槽を形成しその中に基板を保持する液浸露光装置の構造及び露光動作については、例えば特開平１０−３０３１１４号（米国特許５，８２５，０４３）にそれぞれ開示されている。

第３実施形態
以下、図８〜図１０を参照しながら、回収装置の他の実施形態について説明する。

図８に示すように、Ｚステージ５１の上面は傾斜しており、基板Ｐを保持するホルダ部５７の上面は水平となっている。そして、ホルダ部５７の周囲を取り囲むように、液体回収溝３５が形成されている。このとき、液体回収溝３５は平面視において環状であるが、側面視において傾斜している。すなわち、液体回収溝３５はＺステージ５１の上面の傾斜に沿って形成されている。これにより、基板Ｐの外側に流出した液体５０は、液体回収溝３５の傾斜下部３５Ａに自然に溜まる。液体５０を回収する際にはこの傾斜下部３５Ａに溜まった液体５０を回収するだけでいいので、回収動作を容易に行うことができる。

図９（ａ）に示すように、Ｚステージ５１の上面一部に液体回収溝３５が設けられている。露光処理することで、液体回収溝３５に液体５０が溜まる。そして、図９（ｂ）に示すように、この液体回収溝３５に溜まった液体５０は、基板Ｐを基板ステージＰＳＴに対してロード・アンロードする搬送装置Ｈに取り付けられているチューブ３８を介して回収される。吸引装置の一部を構成するチューブ３７は、露光処理が終了した基板Ｐを基板ステージＰＳＴからアンロードするために搬送装置Ｈが基板ステージＰＳＴに対してアクセスするときに、液体回収溝３５に溜まっている液体５０を吸引する。

第４実施形態
また、回収装置の更に別の実施形態について、以下に説明する。図１０（ａ）に示すように、Ｚステージ５１の上面に液体回収溝３５が設けられている。液体回収溝３５はＺステージ５１の下面側に貫通する流路３９に接続している。流路３９にはバルブ３９Ａが設けられている。また、Ｚステージ５１の流路３９に対応して、ＸＹステージ５２及びベース５３のそれぞれには貫通孔である流路４０、４１が形成されている。露光処理中において、バルブ３９Ａは閉じられており、図１０（ａ）に示すように、液体５０が液体回収溝３５に溜まる。そして、露光処理が終了したら、制御装置ＣＯＮＴは、基板ステージＰＳＴを基板交換位置に移動し、バルブ３９Ａを開放する。これにより、図１０（ｂ）に示すように、液体回収溝３５の液体５０は基板交換位置において、流路３９、４０、及び４１を介して自重によりステージ外部に排出される。なお、液体回収溝３５の液体５０の回収は基板交換位置において行うのが好ましいが、基板交換位置とは別の位置で排出作業を行うようにしてもよい。

第５実施形態
ところで、上述した各実施形態においては、液体供給装置１が供給ノズル４を介して基板Ｐの上方から基板Ｐ上に液体５０を供給するとともに、第２回収装置としての液体回収装置２が回収ノズル５を介して基板Ｐの上方から基板Ｐ上の液体５０を回収することで、基板Ｐ上の一部に液浸領域を形成しているが、図１１に示すように、基板Ｐの上方に液体回収装置２（回収ノズル５）を設けずに、基板Ｐ上に供給されたほぼ全ての液体５０を、基板ステージＰＳＴに設けられた回収装置２０で回収するようにしてもよい。図１１には、投影光学系ＰＬの投影領域（光学素子６０）を挟んだ走査方向（Ｘ軸方向）両側のそれぞれに設けられた供給ノズル４、８が図示されている。基板Ｐを走査露光するときに液体５０を供給する際には、基板Ｐの移動方向に応じて供給ノズル４、８のうちのいずれか一方の供給ノズルから液体５０を供給するようにしてよいし、あるいは両方の供給ノズル４、８から同時に液体５０を供給するようにしてもよい。液体供給装置１より供給された液体５０は、基板Ｐ上において大きく拡がり、大きな液浸領域を形成することができる。そして、図１２の斜視図に示すように、基板Ｐ上に供給された液体５０はやがて基板Ｐの外側に流出するが、基板Ｐの周りに回収口として設けられた溝部２３（液体吸収部材２１）を有する回収装置２０によりほぼ全てを回収される。ここで、基板Ｐに対する露光処理中、液体供給装置１は基板Ｐ上に対して液体５０の供給を継続することにより基板Ｐ上に良好に液浸領域を形成できるとともに、供給した液体５０により基板Ｐ上の液体５０に流れを生じさせることができるため、新鮮（清浄）な液体５０を基板Ｐ上に常時供給するとともに基板Ｐ上の液体５０を溝部２３まで流すことができる。

上記第２液体回収装置としての液体回収装置２は、基板Ｐ上の液体５０を回収ノズル５を介して基板Ｐの上方から真空系を使って吸引回収する構成であって、液体（水）と気体（空気）とを一緒に回収することで、その液体が回収管６内壁などにあたって音や振動を生じる場合がある。この場合、図１１及び図１２に示す実施形態のように、基板Ｐの上方からの液体５０の吸引回収を行わずに基板ステージＰＳＴに設けられた回収装置２０のみを用いて液体５０の回収を行うことにより、基板Ｐの露光中の音や振動の発生を防止することができる。

なお、基板Ｐの上方から液体の回収を行わない本実施形態の場合には、回収装置２０として第２実施形態において図７に示した構成を用いてもよい。図７の場合には、真空ポンプ２９が基板Ｐの露光中に液体回収溝３５で回収された液体を吸引していないので、その液体の吸引に伴う音や振動の発生も抑えることができ、更に効果的である。
また先に説明した実施形態のように、基板Ｐの上方から回収ノズル５を介して液体の回収を行う液体回収装置２を配置しておき、基板Ｐの露光中は液体回収装置２を動作させずに回収装置２０のみで液体の回収を行い、基板Ｐの露光完了後に、液体回収装置２と回収装置２０とを併用して液体５０の回収を行うようにしてもよい。この場合も、基板Ｐの露光中の液体の吸引（回収）に伴う音や振動の影響を抑えることができる。

なお、上記各実施形態の基板Ｐとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエハ）等が適用される。

露光装置ＥＸとしては、マスクＭと基板Ｐとを同期移動してマスクＭのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置（スキャニングステッパ）の他に、マスクＭと基板Ｐとを静止した状態でマスクＭのパターンを一括露光し、基板Ｐを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパ）にも適用することができる。また、本発明は基板Ｐ上で少なくとも２つのパターンを部分的に重ねて転写するステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。

露光装置ＥＸの種類としては、基板Ｐに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。

また、本発明は、ツインステージ型の露光装置に適用することもできる。ツインステージ型の露光装置の構造及び露光動作については、特開平１０−１６３０９９号公報、特開平１０−２１４７８３号公報、特表２０００−５０５９５８号公報、米国特許６，３４１，００７号、６，４００，４４１号、６，５４９，２６９号及び６，５９０,６３４号等の文献に開示されており、それらを参照することができる。それらの米国特許を、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、援用して本文の記載の一部とする。

基板ステージＰＳＴやマスクステージＭＳＴにリニアモータを用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁気浮上型のどちらを用いてもよい。また、各ステージＰＳＴ、ＭＳＴは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。ステージにリニアモータを用いた例は、米国特許５，６２３，８５３及び５，５２８，１１８に開示されており、それぞれ本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、これらの文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。

各ステージＰＳＴ、ＭＳＴの駆動機構としては、二次元に磁石を配置した磁石ユニットと、二次元にコイルを配置した電機子ユニットとを対向させ電磁力により各ステージＰＳＴ、ＭＳＴを駆動する平面モータを用いてもよい。この場合、磁石ユニットと電機子ユニットとのいずれか一方をステージＰＳＴ、ＭＳＴに接続し、磁石ユニットと電機子ユニットとの他方をステージＰＳＴ、ＭＳＴの移動面側に設ければよい。

基板ステージＰＳＴの移動により発生する反力は、投影光学系ＰＬに伝わらないように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもよい。この反力の処理方法は、例えば特開平８−１６６４７５号公報（米国特許５，５２８，１１８）に詳細に開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、この文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。

マスクステージＭＳＴの移動により発生する反力は、投影光学系ＰＬに伝わらないように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもよい。この反力の処理方法は、例えば特開平８−３３０２２４号公報（米国特許５，８７４，８２０）に詳細に開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、この文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。

以上のように、本願実施形態の露光装置ＥＸは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。

半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図１３に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の露光装置ＥＸによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。

本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。 投影光学系の先端部と液体供給装置及び液体回収装置との位置関係を示す図である。 供給ノズル及び回収ノズルの配置例を示す図である。 供給ノズル及び回収ノズルの配置例を示す図である。 回収装置の一実施形態を示す斜視図である。 回収装置の一実施形態を示す要部拡大断面図である。 回収装置の他の実施形態を示す要部拡大断面図である。 回収装置の他の実施形態を示す斜視図である。 回収装置の他の実施形態を示す模式的な断面図である。 回収装置の他の実施形態を示す模式的な断面図である。 回収装置による液体回収動作の他の実施形態を示す図である。 回収装置による液体回収動作の他の実施形態を示す図である。 半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。 従来の課題を説明するための図である。

符号の説明

１…液体供給装置、２…液体回収装置、２０…回収装置、２１…液体吸収部材、
２４…吸着孔、回収孔、２７…第１タンク、２９…ポンプ、３１…第２タンク、
３３…ポンプ、３５…液体回収溝、５０…液体、ＣＯＮＴ…制御装置、
ＥＸ…露光装置、Ｐ…基板、ＰＬ…投影光学系、ＰＳＴ…基板ステージ

Claims (36)

1. パターンの像を液体を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、
   パターンの像を基板に投影する投影光学系と、
   前記基板の外側に流出した液体を回収する回収装置を備えることを特徴とする露光装置。
2. 前記基板を保持する基板ステージを備え、前記回収装置は、前記基板ステージに設けられている回収部を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記回収装置の回収部は、前記基板ステージに設けられた基板の保持部の周囲の少なくとも一部に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
4. 前記回収装置の回収部は、前記基板ステージに配置された液体吸収部材を含むことを特徴とする請求項２または３に記載の露光装置。
5. 前記液体吸収部材は、多孔質部材を含むことを特徴とする請求項４記載の露光装置。
6. 前記回収装置の回収部は、前記基板ステージに配置された液体回収溝を含むことを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
7. 前記回収装置の回収部は、前記基板ステージに設けられた回収孔を含むことを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
8. 前記回収装置は、前記基板ステージに保持された前記基板の裏面側に回り込んだ液体を回収することを特徴とする請求項２〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
9. 前記回収装置は、前記回収部で回収された液体を、前記基板ステージが基板交換位置に来たときに排出することを特徴とする請求項２〜８のいずれか一項に記載の露光装置。
10. 前記回収装置の回収部で回収された液体を吸引するための吸引装置を備えることを特徴とする請求項２〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
11. 前記回収装置の回収部で回収された液体を集めるタンクを備えることを特徴とする請求項２〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
12. 前記投影光学系と前記基板との間に液体を供給する供給装置を備え、前記投影光学系と前記基板との間の液浸部分が前記基板の周縁付近にあるときに、前記供給装置は液体の供給量を増やすことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 前記基板上の液体を回収する第２回収装置を備え、前記投影光学系と前記基板との間の液浸部分が前記基板の周縁付近にあるときに、前記第２回収装置は液体の回収量を減らすことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置。
14. 前記基板を保持する基板ステージは、前記基板を吸着保持するための吸着孔を有し、前記基板の外側に流出し前記吸着孔に流入した液体を回収する第３回収装置を備えることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置。
15. 前記第３回収装置は、前記吸着孔から流入した気体と液体とを分離する分離器を備えたことを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
16. 前記回収装置は、回収した液体とその液体とともに回収された気体とを分離する分離器を備えたことを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項記載の露光装置。
17. さらに、前記基板の上方から前記基板上の液体を回収する第２回収装置を備えたことを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載の露光装置。
18. 前記基板の上方から前記基板上に液体を供給する液体供給装置を備え、前記基板上に供給されたほぼ全ての液体は、前記回収装置で回収されることを特徴とする請求項１〜１１、１６のいずれか一項に記載の露光装置。
19. パターンの像を液体を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、
    パターンの像を基板に投影する投影光学系と、
    前記基板の上方から液体を供給する液体供給機構と、
    前記液体供給機構から供給された液体を回収する回収装置とを備え、
    前記回収装置は、前記基板の上方から液体の回収をしない露光装置。
20. パターンの像を液体を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、
    パターンの像を基板に投影する投影光学系と、
    吸気口を有する吸気系と、
    該吸気口から吸引された液体を回収する回収装置とを備える露光装置。
21. 前記回収装置は、前記吸気口から吸引された液体と気体とを分離することを特徴とする請求項２０に記載の露光装置。
22. 前記吸気口は、物体を所定位置に保持するために設けられている請求項２０または２１記載の露光装置。
23. さらに、基板ステージを備え、前記物体が基板であり、前記吸気口が基板を吸着保持するために前記基板ステージに設けられている請求項２２に記載の露光装置。
24. パターンの像を液体を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、
    パターンの像を基板に投影する投影光学系と、
    前記基板を保持する基板ステージと、
    前記基板ステージに少なくとも一部が設けられ、液体の回収を行う回収装置とを備える露光装置。
25. 前記回収装置は、前記基板の裏面に回り込んだ液体の回収を行う請求項２４記載の露光装置。
26. 前記回収装置は、前記基板ステージの上面に回収部を有する請求項２４に記載の露光装置。
27. 前記基板ステージは、前記基板の裏面を保持する保持部を有し、
    前記回収装置は、前記保持部にさらに別の回収部を有する請求項２６記載の露光装置。
28. 前記回収装置は、液体吸収部材を含む請求項２４〜２７のいずれか一項記載の露光装置。
29. 前記回収装置は、前記基板ステージに設けられた溝部を有する請求項２４〜２８のいずれか一項記載の露光装置。
30. 前記回収装置は、回収した液体を気体と分離する分離器を有する請求項２４〜２９のいずれか一項記載の露光装置。
31. 前記回収装置で回収された液体は、前記基板ステージが所定位置に移動したときに排出される請求項２４〜３０のいずれか一項記載の露光装置。
32. 前記所定位置は、基板交換位置を含む請求項３１記載の露光装置。
33. 前記基板ステージに設けられた干渉計ミラーをさらに備え、
    前記回収装置の液体回収部は、前記干渉計ミラーの近くに配置されている請求項２４〜３２のいずれか一項記載の露光装置。
34. 請求項１〜３３のいずれか一項に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイス製造方法。
35. 投影光学系により所定パターンの像を基板上に転写することで基板を露光する露光方法であって、
    前記投影光学系と前記基板との間に液体を基板の上方から供給することと、
    前記供給された液体を、基板の外側で且つ基板より低い位置から回収することと、
    前記液体の供給及び回収が行われている間に前記基板を露光することとを含む露光方法。
36. さらに、前記供給された液体を、基板の上方から回収することを含む請求項３５に記載の露光方法。
    

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