JP2012164996A5 - 露光装置、デバイス製造方法、及びクリーニング方法 - Google Patents

Claims (15)

1. 基板保持部材に保持された基板を露光用の液体を介して露光光で露光する液浸露光装置であって、
   投影光学系と、
   前記基板の表面が対向する下面を有するノズル部材と、を備え、
   前記ノズル部材は、液体供給口と、前記下面に設けられた液体回収口とを有し、
   前記基板保持部材は、前記基板の裏面を支持する支持部材と、前記支持部材を囲むように設けられた第１壁と、前記第１壁を囲むように配置された第２壁と、前記第１壁と前記第２壁との間の空間から流体を吸引可能な第１吸引口を有し、
   露光動作のときに、前記液体供給口から前記露光用の液体を供給し、
   クリーニング動作のときに、前記第１壁の外側の空間に供給されたクリーニング用の液体の少なくとも一部を、前記基板保持部材の前記第１吸引口から回収する露光装置。
2. 前記クリーニング用の液体は、前記露光用の液体を含む請求項１記載の露光装置。
3. 前記クリーニング用の液体は、界面活性剤を含む液体を含む請求項１記載の露光装置。
4. 前記クリーニング用の液体は、機能水を含む請求項１記載の露光装置。
5. 前記クリーニング動作のときに、前記クリーニング用の液体に超音波が与えられる請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置。
6. 前記露光動作のときに、前記ノズル部材の前記液体供給口から、前記投影光学系の終端光学素子と前記ノズル部材との間に、前記露光用の液体が供給される請求項１〜５のいずれか一項記載の露光装置。
7. 前記クリーニング動作のときに、前記基板保持部材にクリーニング用部材が保持される請求項１〜６のいずれか一項記載の露光装置。
8. 前記基板保持部材は、前記第１壁の内側に形成され、流体を吸引可能な第２吸引口と、前記第１壁の内側に形成され、気体を供給可能な流通口と、を有し、
   前記クリーニング動作のときに、前記第１吸引口及び前記第２吸引口による吸引動作が行われる請求項７記載の露光装置。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
10. 投影光学系と、基板保持部材と、前記基板保持部材に保持された基板の表面が対向する下面を有するノズル部材とを備え、前記ノズル部材の液体供給口から露光用の液体を供給するとともに、前記ノズル部材の前記下面に設けられた液体回収口から前記露光用の液体を回収することによって前記基板の表面に前記露光用の液体で液浸領域を形成するとともに、前記露光用の液体を介して前記投影光学系からの露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられるクリーニング方法であって、
    前記基板保持部材にクリーニング用部材を支持することと、
    前記クリーニング用部材の裏面を支持する支持部材を囲むように配置された前記基板保持部材の第１壁の外側にクリーニング用の液体を供給することと、
    前記第１壁を囲むように配置された前記基板保持部材の第２壁と前記第１壁との間の空間から、前記クリーニング用の液体の少なくとも一部を、前記保持部材の第１吸引口を介して回収することと、
    を含むクリーニング方法。
11. 前記クリーニング用の液体は、前記露光用の液体を含む請求項１０記載のクリーニング方法。
12. 前記クリーニング用の液体は、界面活性剤を含む液体を含む請求項１０記載のクリーニング方法。
13. 前記クリーニング用の液体は、機能水を含む請求項１０記載のクリーニング方法。
14. 前記クリーニング動作のときに、前記クリーニング用の液体に超音波が与えられる請求項１０〜１３のいずれか一項記載のクリーニング方法。
15. 前記基板保持部材は、前記第１壁の内側に形成され、流体を吸引可能な第２吸引口と、前記第１壁の内側に形成され、気体を供給可能な流通口と、を有し、
    前記クリーニング動作のときに、前記第１吸引口及び前記第２吸引口による吸引動作が行われる請求項１０〜１４記載のクリーニング方法。